JP2010283289A - 薄膜型共通モードノイズフィルタとその製作方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁材料で構成された基板上に、順次、薄膜コイルおよび複数の電気絶縁層を旋回塗装、リソグラフィ、薄膜金属堆積、エッチングなどの手法で形成し、最後に構成体の頂面を接合、旋回塗装、またはスクリーン・プリンティングなどの過程によって磁気材料層を被覆して構成することによって、共通モードノイズのフィルタ性能を−30dBと高くできる、薄膜型共通モードノイズフィルタを提供する。
【選択図】図1
Description
2、502 第1絶縁層、
3 第1コイル引出層
4、504 第2絶縁層、
5 第1コイル主体層
6、506 第3絶縁層、
7 第2コイル主体層
8、508 第4絶縁層、
9 第2コイル引出層
10、600 絶縁/接合層、
11、601 磁気材料層、
31、51、71、91 第1電極、
32、52、72、92 第2電極、
33、93 導線、
41、81 貫通孔、
53、73 渦状コイル、
301、302、401、402、403、404 磁気材料層、
501 絶縁基板、
503 第1組コイル引出層、
505 第1組コイル主体層、
507 第2組コイル主体層、
509 第2組コイル引出層。
Claims (15)
- 電子回路のノイズフィルタであって、
1つの絶縁基板と、
前記絶縁基板の上に形成された第1絶縁層と、
前記第1絶縁層の上に形成されて、第1電極と、第2電極と、前記両電極を接続する導線とを含んだ第1コイル引出層と、
前記第1コイル引出層の上に形成され、貫通孔を備えた第2絶縁層と、
前記第2絶縁層の上に形成され、第1電極と、第2電極と、前記両電極間に接続された渦状コイルとを含み、前記第1電極は前記第2絶縁層の導線接続孔を通じて、前記第1コイル引出層の第1電極に接続した、第1コイル主体層と、
前記第1コイル主体層の上に形成された第3絶縁層と、
前記第3絶縁層の上に形成され、第1電極と、第2電極と、前記両電極間に接続された渦状コイルとを含む第2コイル主体層と、
前記第2コイル主体層の上に形成され、貫通孔を備えた第4絶縁層と、
前記第4絶縁層の上に形成され、第1電極と、第2電極と、前記両電極間を接続する導線とを含み、前記第1電極は前記第4絶縁上の貫通孔を通じて、前記第2コイル主体層の第1電極に接続されている第2コイル引出層と、
前記第2コイル引出層の上に形成された、絶縁/接合層と、
前記絶縁/接合層の上に形成された、磁気材料層と、
を含む、薄膜型共通モードノイズフィルタ。 - 前記絶縁基板の構成材料は、Al2O3、AlN、ガラス、石英、その他のセラミック材料の中の1つからなる、請求項1に記載のフィルタ。
- 前記絶縁層の構成材料は、ポリイミド、エポキシ・レジン、BCB、またはその他の高分子ポリマーの中の1つからなる、請求項1または請求項2に記載のフィルタ。
- 前記コイル引出層の構成材料は、Ag、Pd、Al、Cr、Ni、Ti、Au、Cu、Pt、またはそれらの合金の中の1つから選択される、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 前記磁気材料層は、磁性のある物質、または接着剤に磁性のある物質の粉末を混入した材料よりなる、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載のフィルタ。
- 前記接着剤はポリイミド、エポキシ・レジン、またはその他の高分子ポリマーに磁性のある物質の粉末を混入して構成する、請求項5に記載のフィルタ。
- 前記磁気材料層は、構造体の頂面、底面、または電極が形成されていない端面を包覆する、請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載のフィルタ
- 製作過程において、
1つの絶縁基板を準備するステップと、
旋回塗装法で前記絶縁基板の上に、第1絶縁層を形成するステップと、
前記第1絶縁層の上に第1電極と、第2電極と、前記両電極間を接続する導線とを含む、第1コイル引出層を形成するステップと、
旋回塗装法で、貫通孔を備えた第2絶縁層を、前記第1コイル引出層の上に形成するステップと、
前記第2絶縁層の上に、第1電極と、第2電極と、前記両電極間に接続された渦状コイルとを含む、第1コイル主体層を形成するステップと、
前記第1コイル主体層の上に、第3絶縁層を形成するステップと、
前記第3絶縁層の上に、第1電極と、第2電極と、前記両電極間に接続された渦状コイルとを含む、第2コイル主体層を形成するステップと、
前記第2コイル主体層の上に、貫通孔を備えた第4絶縁層を形成するステップと、
前記第4絶縁層の上に、第1電極と、第2電極と、前記両電極間を接続する導線を含む、第2コイル引出層を形成するステップと、
前記第2コイル引出層の上に、絶縁/接合層を形成するステップと、
前記絶縁/接合層の上に磁気材料層を形成するステップと、
を含む薄膜型共通モードノイズフィルタの製作方法。 - 前記絶縁基板の構成材料は、Al2O3、AlN、ガラス、石英、その他のセラミック材料の中の1つからなる、請求項8に記載のフィルタの製作方法。
- 前記絶縁は、ポリイミド、エポキシ・レジン、BCB、またはその他の高分子ポリマーの材料中の1つからなる、請求項8または請求項9に記載のフィルタの製作方法。
- 前記コイル主体層とコイル引出層はAg、Pd、Al、Cr、Ni、Ti、Au、Cu、Pt、またはそれらの合金材料の中の1つからなる、請求項8〜請求項10のいずれか一項に記載のフィルタの製作方法。
- 前記コイル主体層とコイル引出層は、選択的にリソグラフィ、薄膜金属堆積、電気メッキ、及びエッチング手法で形成される、請求項8〜請求項11のいずれか一項に記載のフィルタの製作方法。
- 前記磁気材料層は、磁性のある物質、または接着剤に磁性のある物質の粉末を混入した材料よりなる、また接着剤は、ポリイミド、エポキシ・レジン、またはその他の高分子ポリマーに磁性のある物質の粉末を混入して構成する、請求項8〜請求項12のいずれか一項に記載のフィルタの製作方法。
- 前記絶縁層の貫通孔は、リソグラフィ、またはエッチング手法で作成する、請求項8〜請求項13のいずれか一項に記載のフィルタの製作方法。
- 前記エッチング手法は、RIEを使用する乾式エッチング、または、化学溶液をエッチング剤に使用する湿式エッチングのいずれかである、請求項12または請求項14に記載のフィルタの製作方法。
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