JP2010271054A - エンコーダ信号処理回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】エンコーダ停止時の誤カウントなどを防止可能なエンコーダ信号処理回路を提供する。
【解決手段】A相およびB相のパルスをそれぞれ入力信号とする第1および第2のダブルラッチと、2つのダブルラッチの出力信号位相ずれからエンコーダの方向弁別する方向弁別回路と、2つのダブルラッチの出力信号から4逓倍パルス生成する4逓倍パルス生成回路と、撮像手段へ水平同期信号を供給する水平同期信号生成回路と、弁別された方向からアップまたはダウンカウントするアップダウンカウンタと、撮像開始信号を生成する撮像開始信号生成回路と、水平同期信号生成回路の出力信号が入力される第1シングルラッチと、撮像開始信号生成回路および方向弁別回路の出力信号が入力される第2シングルラッチと、4逓倍パルス間のシステムクロックパルス数を監視するエンコーダ速度監視回路と、を有するエンコーダ信号処理回路。
【選択図】図3

Description

本発明は位相が互いに異なる2相パルスを入力信号とするエンコーダ信号処理回路に関するものであり、特に、ロータリエンコーダやリニアエンコーダが停止している時に、機械的微振動等のノイズによる誤カウントやカウント値のずれの蓄積を防止することが可能な、信頼性の高いエンコーダ信号処理回路に関するものである。
エンコーダは、モータ等の回転位置を検出するために使用されるが、そのモータに対して電力を供給している電源や電源線の近くに設置されたり、そのモータにより駆動されているXYステージなどの搬送手段の近くに設置されたりする場合が多いことから、電気的、機械的ノイズを受け易い。従って、そのようなエンコーダについては、ノイズの影響をいかにして排除するかが課題となっている。
ノイズの影響を排除するために、図1(a)に示すように、エンコーダが出力するパルス信号のレベルをクロック同期で検出する方式がある。すなわち、例えば、システムクロック信号がローレベルからハイレベルに切りかわるとき(エッジ出力タイミング)だけエンコーダ信号を読み取りに行くようにし、そのときのエンコーダ信号レベルに変化がなければ、エンコーダは停止中であるとする方式である。
さらに特許文献1には、エンコーダが出力するパルス信号をクロック同期で検出し、パルス信号のハイレベル、ローレベルが夫々4クロック分連続した場合にRSフリップフロップをセット、リセットすることで、クロック4周期分の期間にわたり同一のレベルが継続しなければパルス信号の出力を変化させないようにした構成が開示されている。
特開2000−270575号公報
しかしながら、特許文献1のようにクロック同期で検出を行う方式では、図1(a)に示すタイミングで発生したノイズを排除することはできるが、図1(b)に示すようなシステムクロックのエッジ出力タイミングに合わせてグリッチが発生すると、誤検出になることが避けられないという問題がある。
また、機械的微振動等のノイズの影響は、エンコーダが停止している時に顕著である。例えば、図2はエンコーダが等速で動いている状態から、減速し、やがて停止するまでのA、B相パルスの振舞いを示したものであり、A相のパルスがちょうど立ち下がった直後というタイミングで、エンコーダが停止した様子を示したものである。
パルス信号の立ち下がり、または、立ち上がりのエッジ部近傍でエンコーダが停止した状態では、エンコーダに微小振動が加わって、エンコーダが僅かに回転するだけで、パルスは立ち上がりと立ち下がりを繰り返すことになる。これが誤カウントの原因となり、エンコーダが停止する度にカウント値のずれが蓄積される原因にもなる。
その結果、例えば、図3に示すような外観検査装置においては、次のような問題が発生する。
図3は、エンコーダ31の信号をエンコーダ信号処理回路32によって処理して撮像対象物33の動きと撮像手段34の同期を取るような外観検査装置の概略を示したものである。撮像手段34の撮像範囲35は撮像対象物33よりも狭いので、撮像対象物33を全面撮像するためには、図示しないX方向の搬送手段にて撮像対象物33、または、撮像手段34を移動させながら撮像対象物33の一部を撮像してから、図示しないY方向の搬送手段にて撮像対象物33、または、撮像手段34を移動し、再びX方向の搬送手段を用いて撮像対象物33の一部を撮像するという一連の動作を複数回繰り返す必要がある。
そのため、エンコーダ信号処理回路32は、エンコーダ31の信号を入力し、それを処理し、撮像手段34に同期信号や撮像開始信号を出力する役割を果たさなければならない。しかし前述した理由から、撮像対象物33、または、撮像手段34をX方向に往復させる度にカウント値のずれが蓄積し、次第に適切なタイミングで撮像を開始できなくなり、検査領域の一部を撮像し損ねたり、撮像する必要の無い非検査領域を必要以上に撮像してしまったりする問題があった。
上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、
A相パルスを入力信号とする2段のDフリップフロップで構成される第1のダブルラッチと、
B相パルスを入力信号とする2段のDフリップフロップで構成される第2のダブルラッチと、
前記第1および第2のダブルラッチそれぞれの出力信号であるクロック同期のA相パルスとクロック同期のB相パルスの位相のずれを検出してエンコーダの方向弁別を行う方向弁別回路と、
前記第1および第2のダブルラッチそれぞれの出力信号であるクロック同期のA相パルス、およびクロック同期のB相パルスの、それぞれの立ち上がりエッジ、立ち下がりエッジを検出して4逓倍パルスを生成する4逓倍パルス生成回路と、
前記4逓倍パルスを分周して撮像手段への水平同期信号として供給する水平同期信号生成回路と、
前記方向弁別回路により、A相パルスの位相がB相パルスよりも進んでいると判断される場合はアップカウントし、A相パルスの位相がB相パルスよりも遅れていると判断される場合はダウンカウントするアップダウンカウンタと、
コンパレータ(一致回路)を有し、前記方向弁別回路と、前記アップダウンカウンタの出力信号に基づいて撮像開始を示す信号を生成する撮像開始信号生成回路と、
前期水平同期信号生成回路の出力信号を入力信号とする1段のDフリップフロップで構成される第1のシングルラッチと、
前記撮像開始信号生成回路および前記方向弁別回路の出力信号を入力信号とする1段のDフリップフロップで構成される第2のシングルラッチと、
前記4逓倍パルス生成回路の出力信号である4逓倍パルス間に含まれるシステムクロックのパルス数を監視するエンコーダ速度監視回路と、
を有することを特徴とするエンコーダ信号処理回路、としたものである。
また、請求項2に記載の発明は、
前記エンコーダ速度監視回路は、システムクロックパルス数の上限値、または、下限値のうち少なくとも1つを入力する入力端子を持ち、カウントしたシステムクロックパルス数が、該上限値を上回った場合、あるいは、下限値を下回った場合には、前記アップダウンカウンタのカウントイネーブル端子にディセーブル信号を入力することを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ信号処理回路、としたものである。
本発明によれば、ロータリエンコーダやリニアエンコーダが停止している時に、機械的微振動等のノイズによって、誤カウントせず、また、カウント値のずれの蓄積を防止することができる。
(a)クロック同期で除去できるノイズ、(b)クロック同期では除去できないノイズの例を示した説明図である。 エンコーダが減速して停止したときのノイズの影響を示したタイミングチャート図である。 本発明のエンコーダ信号処理回路を適用可能な外観検査装置の模式図である。 本発明のエンコーダ信号処理回路のブロック図である。 本発明のエンコーダ信号処理回路に含まれるエンコーダ速度監視回路のブロック図である。 本発明の効果を示すタイミングチャートである。
以下、本発明に係るエンコーダ信号処理回路を、図面を用いて説明する。
図4は、本発明に係るエンコーダ信号処理回路の実施の形態を示す構成図であり、図5は、図4におけるエンコーダ速度監視回路の一例を示す構成図であり、図6は、図4および図5の回路で整形される信号を説明するタイミングチャート、および、グラフである。
図4に示したようなエンコーダ信号処理回路において、エンコーダ信号(A相パルス、B相パルス)はシステムクロックとは非同期であるため、フリップフロップのセットアップタイム、および、ホールドタイムを保証できないタイミングで入力されてしまう場合が必ず存在する。そこで、そのようなフリップフロップの出力が安定しない所謂メタステーブル現象の発生を防ぐために、ダブルラッチ41、42を配置する。これにより、図1(a)のようなノイズも除去することができる。ダブルラッチ41、42の出力は、システムクロックに同期したクロック同期A相パルス、クロック同期B相パルスとなる。
このクロック同期A相パルス、クロック同期B相パルスは、4逓倍パルス生成回路および方向弁別回路43に入力される。ここでは、クロック同期A相パルスの立ち上がりエッジ、および、立ち下がりエッジと、クロック同期B相パルスの立ち上がりエッジ、および、立ち下がりエッジを検出して4逓倍のパルスを生成する。また、クロック同期A相パルスとクロック同期B相パルスの位相を検出して、エンコーダの方向、すなわち、ロータリエンコーダであれば回転方向を、リニアエンコーダであれば進行方向を弁別する。
したがって、4逓倍パルス生成回路および方向弁別回路43の出力は、4逓倍パルスと、エンコーダの方向を表す信号となる。エンコーダの方向を表す信号は、例えば図3のような外観検査装置の場合であれば、進行方向が+X方向ならハイ、−X方向ならローとなり、ロータリエンコーダの場合であれば、回転方向が時計回りであればハイ、反時計回りであればローとなる。
4逓倍パルス生成回路および方向弁別回路43の出力の1つである4逓倍パルスは、水平同期信号生成回路44に入力される。水平同期信号生成回路44では、図示しないデータバスを介してレジスタに設定された分周値で4逓倍パルスを分周して分周パルス信号として出力する。分周パルス信号は、グリッチを除去するためのシングルラッチ47を通されて水平同期信号となる。水平同期信号は図3の撮像手段34に入力され、撮像手段34は水平同期信号に基づいて撮像を行う。なお、4逓倍パルスはエンコーダ速度監視回路49にも入力されるが、これについては後述する。
一方、4逓倍パルス生成回路および方向弁別回路43のもう1つの出力であるエンコーダの方向を表す信号は、水平同期信号生成回路44の出力である分周パルスととともに、アップダウンカウンタ45に入力される。ここでは、エンコーダの方向を表す信号の論理に基づき、分周パルスの立ち上がりエッジでカウント値をアップ、または、ダウンする。
アップダウンカウンタ45の出力であるカウント値は、システムリセットが有効になった場合、または、カウントリセット信号が有効になった場合にゼロクリアされる。カウントリセットは、例えば、データバスを介してレジスタに値を設定することによって実現される。なお、アップダウンカウンタ45には、エンコーダ速度監視回路49からのカウントイネーブル信号も入力されるが、これについては後述する。
そして、アップダウンカウンタ45の出力であるカウント値は、撮像開始信号生成回路46に入力される。撮像開始信号生成回路46では、図示しないデータバスを介してレジスタに設定された撮像開始カウント値との比較を行い、両者の値が一致したタイミングで出力信号を有効にし、グリッチを除去するためのシングルラッチ48を通して撮像開始信号を生成する。
ただし、カウント値の比較だけでは、エンコーダの方向に関わりなく撮像開始信号が有効になってしまうため、4逓倍パルス生成回路および方向弁別回路43の出力であるエンコーダの方向を表す信号も参照するようにしている。これにより、例えば、図3で撮像対象物33が+X方向に進んでいる状態で、かつ、カウント値が指定のカウント値になったタイミングで撮像手段34に撮像開始信号を入力することができ、撮像対象物33が−X方向に進んでいる状態においては、カウント値が指定カウント値になっても撮像開始信号が入力されるのを防ぐことができる。
以上のようにして、撮像手段34には、撮像のために必要な信号である水平同期信号と、撮像開始信号が入力されるが、このままでは、エンコーダ停止時の機械的微振動等により、誤カウントをおこしたり、カウント値のずれが蓄積してしまったりする問題を防ぐことはできない。そこで、図4のエンコーダ信号処理回路では、エンコーダ速度監視回路49を含むようにしている。
以下、エンコーダ速度監視回路49について、図5を用いて説明する。
図5は、エンコーダ速度監視回路49の構成を示すブロック図である。エンコーダ速度監視回路49は、入力端子として、システムクロックと、システムリセットと、4逓倍パルスと、カウントイネーブル上限値と、カウントイネーブル下限値と、READとを有し、出力端子として、カウントイネーブルと、4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数を有する。
まず、アップカウンタ51は、初期設定としてカウント値がゼロであり、4逓倍パルスの立ち上がりエッジを検出したタイミングから、システムクロックの立ち上がりエッジを検出する毎にそのカウント値をカウントアップする。再び、4逓倍パルスの立ち上がりエッジを検出すると、そのカウント値を出力カウント値として出力した後、カウント値をゼロクリアして、システムクロックの立ち上がりエッジを検出する毎に、カウント値をカウントアップする動作を繰り返す。つまり、4逓倍パルスの1周期の間に含まれるシステムクロック数をカウントして、出力カウント値として出力する。
アップカウンタ51の出力カウント値は、大小比較回路52および53に入力される。大小比較回路52および53には、カウントイネーブル上限閾値、カウントイネーブル下限閾値がデータバスを介してレジスタにそれぞれ設定されており、出力カウント値は、カウントイネーブル上限閾値、カウントイネーブル下限閾値と大小比較される。
大小比較回路52は、出力カウント値がカウントイネーブル上限閾値より小さいときのみ信号出力する。また、大小比較回路53は、出力カウント値がカウントイネーブル下限閾値より大きいときのみ信号出力する。
大小比較回路52および53の出力は、AND回路54に入力される。AND回路54は、大小比較回路52および53から、ともに信号出力があったときのみ信号を出力し、その出力信号が非同期リセット端子付きのDフリップフロップ55に入力される。
非同期リセット端子付きのDフリップフロップ55の出力は、カウントイネーブル信号として、図4のアップダウンカウンタ45のイネーブル端子に接続される。つまり、アップダウンカウンタ45は、4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数が、カウントイネーブル上限閾値以下で、かつ、カウントイネーブル下限閾値以上の条件を満たす場合のみ、アップカウント、または、ダウンカウントを行うことになる。
従って、エンコーダが停止している時の機械的微振動等のノイズにより、A相パルス、または、B相パルスのレベルが発振し、それによって4逓倍パルスが無秩序に生成されたとしても、カウントイネーブル上限閾値と、カウントイネーブル下限閾値を適切な値に設定しておけば、アップダウンカウンタ45はカウント動作を行わない。更に、エンコーダの速度がある一定の範囲にある場合のみ、カウント動作をさせるようにすることもできる。
また、アップカウンタ51の出力である出力カウント値は、クロックイネーブル端子付きのDフリップフロップ56に入力されており、そのイネーブル端子には、4逓倍パルスと、READ(後述)と、システムリセットとを入力とするAND回路57の出力を反転した信号が接続されている。
クロックイネーブル端子付きのDフリップフロップ56は、4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数を図示しないレジスタに順次書き込む。そして、ユーザーは、アドレスを指定して、READ信号を有効にするといった一般的なバスアクセスを行うことによって、このレジスタに書き込まれたデータ、すなわち、4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数を取得することができるようになっている。そのため、このデータを閾値調整のための基礎データとして、カウントイネーブル上限閾値、および、カウントイネーブル下限閾値を適切な値に設定することができる。
また、クロックイネーブル端子付きのDフリップフロップ56のイネーブル端子に接続される信号は、システムリセットが無効状態で、ユーザーがこのレジスタからデータを読み込んでいない条件下で、4逓倍パルスの論理がハイのタイミングでデータをラッチするためのものである。特に、READは、ユーザーがレジスタからデータを読み込んでいる最中に、このレジスタに新たなデータが書き込まれ、その結果、正しくデータを読み込めなくなることを防止するためのものである。ここで、4逓倍パルスは、4逓倍パルス生成回路および方向弁別回路43により、システムクロック1クロック分の長さにワンショット化されているものとする。
図6は、以上の説明をタイミングチャート、および、グラフに示したものであり、図2(エンコーダが等速で動いている状態から、減速し、やがて停止するまでのA、B相パルスの振舞いを示したものであり、A相のパルスがちょうど立ち下がるタイミングで、エンコーダが停止するときの様子を示したもの)に対して、本発明のエンコーダ信号処理回路を適用した例を図示したものである。
エンコーダが等速で動いている状態では、4逓倍パルスの周期も一定であり、4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数も一定である。
エンコーダが減速し始めると、4逓倍パルスの周期が長くなり、4逓倍パルスの1周期の間に含まれるシステムクロック数は次第に大きくなる。
そして、エンコーダが完全停止したとき、機械的微振動等のノイズの影響をまったく受けないのであれば、完全停止直前の4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数がラッチされているはずであり、4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数は、図6中の(A)で示した点線のような振舞いを示すはずである。
ところが、実際にはエンコーダは完全に停止することはなく、常にノイズの影響を受けて微小運動する。したがって、図6に示したように例えばA相のパルスがちょうど立ち下がるタイミングでエンコーダが停止すると、A相のパルスはエンコーダの微小運動に伴って立ち上がりと立ち下がりを繰り返す状態となる。このとき、4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数は、図6中の(B)で示した実線のような振舞いを示し、これが誤カウントや、カウントずれの蓄積の原因となる。
そこで、カウントイネーブル上限閾値と、カウントイネーブル下限閾値を適切な値に設定して、この2つの閾値の間(図6中ではグラフ内の網掛部分)に、4逓倍パルス間に含まれるシステムクロック数があるときだけ、カウントイネーブル信号がエンコーダ速度監視回路49から出力されるようにすることにより、誤カウントや、カウントずれの蓄積を防ぐことができる。
例えば、図3に示した外観検査装置では、撮像対象物33のアライメント完了時に、カウントリセットを有効にしてアップダウンカウンタ45の出力であるカウント値をゼロクリアしておき、図示しない搬送手段が駆動を開始することでカウント値が増加し、指定の値になったタイミングで撮像を開始するようにしている。
以上のように、本発明によれば、誤カウントせず、また、カウント値のずれの蓄積を防止する信頼性の高いエンコーダ信号処理回路を実現することができる。
31・・・エンコーダ
32・・・エンコーダ信号処理回路
33・・・撮像対象物
34・・・撮像手段
35・・・撮像範囲
41・・・ダブルラッチ
42・・・ダブルラッチ
43・・・4逓倍パルス生成回路および方向弁別回路
44・・・水平同期信号生成回路
45・・・アップダウンカウンタ
46・・・撮像開始信号生成回路
47・・・シングルラッチ
48・・・シングルラッチ
49・・・エンコーダ速度監視回路
51・・・アップカウンタ
52・・・大小比較回路
53・・・大小比較回路
54・・・AND回路
55・・・非同期リセット端子付きDフリップフロップ
56・・・クロックイネーブル端子付きDフリップフロップ
57・・・AND回路

Claims (2)

  1. A相パルスを入力信号とする2段のDフリップフロップで構成される第1のダブルラッチと、
    B相パルスを入力信号とする2段のDフリップフロップで構成される第2のダブルラッチと、
    前記第1および第2のダブルラッチそれぞれの出力信号であるクロック同期のA相パルスとクロック同期のB相パルスの位相のずれを検出してエンコーダの方向弁別を行う方向弁別回路と、
    前記第1および第2のダブルラッチそれぞれの出力信号であるクロック同期のA相パルス、およびクロック同期のB相パルスの、それぞれの立ち上がりエッジ、立ち下がりエッジを検出して4逓倍パルスを生成する4逓倍パルス生成回路と、
    前記4逓倍パルスを分周して撮像手段への水平同期信号として供給する水平同期信号生成回路と、
    前記方向弁別回路により、A相パルスの位相がB相パルスよりも進んでいると判断される場合はアップカウントし、A相パルスの位相がB相パルスよりも遅れていると判断される場合はダウンカウントするアップダウンカウンタと、
    コンパレータ(一致回路)を有し、前記方向弁別回路と、前記アップダウンカウンタの出力信号に基づいて撮像開始を示す信号を生成する撮像開始信号生成回路と、
    前期水平同期信号生成回路の出力信号を入力信号とする1段のDフリップフロップで構成される第1のシングルラッチと、
    前記撮像開始信号生成回路および前記方向弁別回路の出力信号を入力信号とする1段のDフリップフロップで構成される第2のシングルラッチと、
    前記4逓倍パルス生成回路の出力信号である4逓倍パルス間に含まれるシステムクロックのパルス数を監視するエンコーダ速度監視回路と、
    を有することを特徴とするエンコーダ信号処理回路。
  2. 前記エンコーダ速度監視回路は、システムクロックパルス数の上限値、または、下限値のうち少なくとも1つを入力する入力端子を持ち、カウントしたシステムクロックパルス数が、該上限値を上回った場合、あるいは、下限値を下回った場合には、前記アップダウンカウンタのカウントイネーブル端子にディセーブル信号を入力することを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ信号処理回路。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US10509385B2 (en) 2015-08-03 2019-12-17 Lsis Co., Ltd. Method of controlling encoder principle axis speed synchronization

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