JP2010269215A - 圧電素子駆動装置および塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のピエゾ素子6の充放電に伴う伸縮動作により液体を吸込んで吐出する圧電素子駆動装置において、各ピエゾ素子6への充電用のエネルギーをチャージする複数のインダクタ11を備え、これらインダクタ11が互いに磁気結合しない構成とした。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明に係る塗布装置の構成を示す正面図である。塗布装置100は、略直方体形状のベース101を有する。ベース101上には、Y軸方向に沿って配置された一対のガイド部材102が配置され、このガイド部材102上で、例えば、液晶表示パネルの製造に用いられるガラス基板などの基板Wを載置する搬送テーブル103がY軸方向に移動可能に支持される。この搬送テーブル103は、不図示のY軸駆動装置によって、Y軸方向に往復移動される。
駆動信号を受けてからタイマ23aによる時間T1の計時が終了すると、昇圧回路3のMOSFET12のオン,オフが繰り返され、そのオン時に実線矢印のようにインダクタ11に電流が流れてインダクタ11にエネルギーがチャージされる。そして、MOSFET12のオフ時に、インダクタ11にチャージされるエネルギーによってインダクタ11と整流ダイオード13のアノードの接続点の電圧が急上昇し(昇圧)、その電圧が整流ダイオード13を介してピエゾ素子6に印加され、ピエゾ素子6が充電されていく。この充電に伴うピエゾ素子6の動作により、液体が吸込まれる。
図6および図7に示すように、1つの回路基板50の上面に、開放型のコイルを用いたインダクタ11を、縦横に、かつそれぞれの軸心方向が互いに隣り合うもの同士で直交する状態に、平面配置する。この配置により、たとえ各インダクタ11の配置間隔が狭くても、各インダクタ11の漏れ磁束(二点鎖線)が互いに作用し合う磁気結合を回避することができる。
各インダクタ11の配置については、縦横に配置するだけで、第1の実施形態のような千鳥状の配置は不要である。
回路基板50上に各インダクタ11が縦横に平面的に配置され、その各インダクタ11の相互間に透磁率の高いシート部材51が設けられる。シート部材51は、各インダクタ11と対応する位置にそれぞれ開口51aを有し、これら開口51aに各インダクタ11を嵌合させて装着される。
他の構成は第1の実施形態と同じである。よって、その説明は省略する。
回路基板50上の平面的に配置した各インダクタ11の全体を、透磁率の高い1枚のシート部材52で被っている。このシート部材52は、各インダクタ11に対する小さな閉磁路を個々に形成する。この小さな閉磁路の個々の形成により、たとえ各インダクタ11の配置間隔が狭くても、各インダクタ11の磁気結合を回避することができる。
他の構成は第1の実施形態と同じである。よって、その説明は省略する。
Claims (8)
- 複数の圧電素子を有し、これら圧電素子の充放電に伴う伸縮動作により前記圧電素子に対応して配置された個々のノズルから液体を吐出させる圧電素子駆動装置において、
前記各圧電素子への充電用のエネルギーをチャージする複数のインダクタを備え、これらインダクタ相互の磁気結合を防止する構成を備えたことを特徴とする圧電素子駆動装置。 - 前記各インダクタ相互の磁気結合を防止する構成は、前記各インダクタを千鳥状に平面配置する構成であることを特徴とする請求項1記載の圧電素子駆動装置。
- 千鳥状に平面配置された前記インダクタを多層で配置し、この層方向においても、前記インダクタを千鳥状に配置することを特徴とする請求項2記載の圧電素子駆動装置。
- 前記各インダクタは、開放型のコイルであり、
前記各インダクタ相互の磁気結合を防止する構成は、前記各コイルをそれぞれの軸心方向が互いに隣り合うもの同士で直交する状態に平面配置する構成である、
ことを特徴とする請求項1記載の圧電素子駆動装置。 - 前記平面配置された前記インダクタを多層で配置し、この層方向において、前記コイルをそれぞれの軸心方向が互いに隣り合うもの同士で直交するよう前記インダクタを配置することを特徴とする請求項4記載の圧電素子駆動装置。
- 前記各インダクタ相互の磁気結合を防止する構成は、前記各インダクタの相互間に透磁率の高い部材を設ける構成であることを特徴とする請求項1記載の圧電素子駆動装置。
- 前記各インダクタ相互の磁気結合を防止する構成は、前記各インダクタを透磁率の高い部材で被う構成であることを特徴とする請求項1記載の圧電素子駆動装置。
- 液滴吐出ヘッドが備える複数のノズルから圧電素子の伸縮動作によって液体を液滴状にして吐出させ、基盤に塗布する塗布装置において、
前記圧電素子を伸縮動作させる圧電素子駆動装置は、請求項1〜7いずれかに記載の圧電素子駆動装置であることを特徴とする塗布装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015066535A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 圧電素子駆動回路および液滴塗布装置 |
WO2015156101A1 (ja) * | 2014-04-08 | 2015-10-15 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
US9444424B2 (en) | 2013-02-15 | 2016-09-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Polar-type low pass filter and demultiplexer equipped therewith |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0722243A (ja) * | 1993-07-02 | 1995-01-24 | Murata Mfg Co Ltd | インダクタアレイ |
JPH11224817A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型インダクタアレイ |
JP2002344273A (ja) * | 2001-05-15 | 2002-11-29 | Sharp Corp | フィルター及びフィルター装置 |
JP2003059719A (ja) * | 2001-08-16 | 2003-02-28 | Denki Kagaku Kogyo Kk | コイル回路付き金属ベース回路基板 |
JP2004015572A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Murata Mfg Co Ltd | 複合部品 |
JP2008301645A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 非接触式受電装置及びこれを具えた電子機器 |
WO2009014148A1 (ja) * | 2007-07-26 | 2009-01-29 | Shibaura Mechatronics Corporation | 圧電素子駆動装置および塗布装置 |
-
2009
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0722243A (ja) * | 1993-07-02 | 1995-01-24 | Murata Mfg Co Ltd | インダクタアレイ |
JPH11224817A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層型インダクタアレイ |
JP2002344273A (ja) * | 2001-05-15 | 2002-11-29 | Sharp Corp | フィルター及びフィルター装置 |
JP2003059719A (ja) * | 2001-08-16 | 2003-02-28 | Denki Kagaku Kogyo Kk | コイル回路付き金属ベース回路基板 |
JP2004015572A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Murata Mfg Co Ltd | 複合部品 |
JP2008301645A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 非接触式受電装置及びこれを具えた電子機器 |
WO2009014148A1 (ja) * | 2007-07-26 | 2009-01-29 | Shibaura Mechatronics Corporation | 圧電素子駆動装置および塗布装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9444424B2 (en) | 2013-02-15 | 2016-09-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Polar-type low pass filter and demultiplexer equipped therewith |
JP2015066535A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 圧電素子駆動回路および液滴塗布装置 |
WO2015156101A1 (ja) * | 2014-04-08 | 2015-10-15 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
CN106134090A (zh) * | 2014-04-08 | 2016-11-16 | 株式会社村田制作所 | 高频模块 |
JPWO2015156101A1 (ja) * | 2014-04-08 | 2017-04-13 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
KR101848721B1 (ko) * | 2014-04-08 | 2018-04-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 고주파 모듈 |
CN106134090B (zh) * | 2014-04-08 | 2019-01-22 | 株式会社村田制作所 | 高频模块 |
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Publication number | Publication date |
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