JP2003286958A

JP2003286958A - 液体供給装置

Info

Publication number: JP2003286958A
Application number: JP2002087531A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Kitazawa; 裕之北澤; Tsutomu Kamiyama; 勉上山
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2002-03-27
Filing date: 2002-03-27
Publication date: 2003-10-10
Anticipated expiration: 2022-03-27
Also published as: JP3874687B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ノズルからの液体の吐出・停止を応答性よ
く、しかも吐出量を正確に設定または制御することが可
能な液体供給装置を提供する。【解決手段】ノズル４０にマイクロポンプ５０が組み
込まれている。このマイクロポンプ５０ではチューブ４
１の先端部に中空円筒形の弾性部材５１が接続されてお
り、チューブ４１を介して流れてくる有機ＥＬ材料など
の液体を中空部分を流路５１１としてガラス基板Ｓに向
けて流通可能となっている。この弾性部材５１の外周面
に沿って圧電素子５４が４個、流路５１１とほぼ平行に
配列されている。そして、各圧電素子５４は駆動制御部
から印加される電圧に応じて機械的に変位して流路５１
１とほぼ直交する方向から弾性部材５１に対して等方的
に変形を加えて弾性部材５１の表面にガラス基板Ｓに向
かう進行波を形成して吐出孔５３１から液体Ｌをガラス
基板Ｓに向けて吐出可能となっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、有機ＥＬ（エレ
クトロルミネッセンス）材料やレジスト液などの液体を
ノズルから吐出しつつ該ノズルを基板に対して相対的に
移動させることで前記基板上に液体をストライプ状に供
給する液体供給装置に関するものである。ここで、「基
板」とは、半導体ウエハ、有機ＥＬ表示用ガラス基板、
フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プ
ラズマ表示用ガラス基板、光ディスク用基板などの各種
基板を意味している。

【０００２】

【従来の技術】有機ＥＬ表示装置などの表示装置を形成
する装置として、例えば特開２００２−７５６４０号公
報に記載された製造装置がある。この装置では、基板上
に有機ＥＬ材料をストライプ状に塗布するために上記し
た液体供給装置を装備している。

【０００３】図７は従来の液体供給装置を装備した有機
ＥＬ表示装置の製造装置を示す図である。この製造装置
は、同図に示すように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１
０ａ〜１０ｃの塗布を受けるガラス基板Ｓを載置するス
テージ１と、このステージ１を所定方向に移動させるス
テージ移動機構部２と、ガラス基板Ｓ上に形成された位
置合わせマークの位置を検出する位置合わせマーク検出
部３と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａを赤色用のノズル４
ａに供給する第１供給部５と、緑色の有機ＥＬ材料１０
ｂを緑色用のノズル４ｂに供給する第２供給部６と、青
色の有機ＥＬ材料１０ｃを青色用のノズル４ｃに供給す
る第３供給部７と、各色のノズル４ａ〜４ｃを所定方向
に移動させるノズル移動機構部８と、ステージ移動機構
部２と位置合わせマーク検出部３と第１〜第３供給部５
〜７とノズル移動機構部８とを制御する制御部９とで構
成されている。

【０００４】これらの構成要素のうち、第１供給部５
は、例えば、赤色の有機ＥＬ材料１０ａの供給源２０ａ
と、この供給源２０ａから赤色の有機ＥＬ材料１０ａを
取り出すためのポンプ２１と、赤色の有機ＥＬ材料１０
ａの流量を検出する流量計２２と、赤色の有機ＥＬ材料
１０ａ中の異物を除去するためのフィルタ２３とを備え
ている。

【０００５】また、第２供給部６は、例えば、緑色の有
機ＥＬ材料１０ｂの供給源２０ｂと、この供給源２０ｂ
から緑色の有機ＥＬ材料１０ｂを取り出すためのポンプ
２１と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂの流量を検出する流
量計２２と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂ中の異物を除去
するためのフィルタ２３とを備えている。

【０００６】また、第３供給部７は、例えば、青色の有
機ＥＬ材料１０ｃの供給源２０ｃと、この供給源２０ｃ
から青色の有機ＥＬ材料１０ｃを取り出すためのポンプ
２１と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃの流量を検出する流
量計２２と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃ中の異物を除去
するためのフィルタ２３とを備えている。

【０００７】そして、制御部９はステージ１を所定方向
に所定量だけ移動させるようにステージ移動機構部２を
制御し、ノズル４ａ〜４ｃを所定方向に所定量だけ移動
させるようにノズル移動機構部８を制御するとともに、
第１〜第３供給部５〜７の各流量計２２からの検出値ａ
〜ｃに応じてノズル４ａ〜４ｃから所定流量の有機ＥＬ
材料１０ａ〜１０ｃを流し出すように第１〜第３供給部
５〜７の各ポンプ２１に指令ｄ〜ｆを出力する。具体的
には、制御部９が装置各部を以下のように制御して有機
ＥＬ材料をガラス基板Ｓ上でストライプ状に塗布してい
る。

【０００８】ガラス基板Ｓの塗布開始位置にノズル４ａ
〜４ｃが位置すると、制御部９は、各ノズル４ａ〜４ｃ
からガラス基板Ｓへの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの吐
出開始を各ポンプ２１に指示するとともに、ノズル４ａ
〜４ｃをほぼ直線状に移動させるように制御する。これ
によって、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃ
が同時にガラス基板Ｓ上にストライプ状に塗布されてい
く。

【０００９】そして、制御部９は、ガラス基板Ｓの塗布
停止位置にノズル４ａ〜４ｃが位置すると、各ノズル４
ａ〜４ｃからガラス基板Ｓへの有機ＥＬ材料１０ａ〜１
０ｃの吐出を停止させるよう各ポンプ２１に指示すると
ともに、ノズル４ａ〜４ｃの移動を停止させる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に構成された装置では、制御部９からの吐出開始指示に
応じてポンプ２１が作動すると、有機ＥＬ材料１０ａ〜
１０ｃは流量計２２およびフィルタ２３を介してノズル
４ａ〜４ｃにそれぞれ圧送され、各ノズル４ａ〜４ｃか
らガラス基板Ｓに向けて吐出されるように構成されてい
る。また、供給停止についても、制御部９からの指示に
応じて各ポンプ２１が停止することで行われている。こ
のため、いずれの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃについて
も、ポンプ２１からノズル４ａ〜４ｃまでの距離が比較
的長くなり、制御応答性（レスポンス）が悪く、しかも
微小流量を正確に制御するのが困難となっている。

【００１１】また、塗布完了と同時に単にポンプ２１を
停止した場合、ノズル４ａ〜４ｃの吐出口に有機ＥＬ材
料１０ａ〜１０ｃがそれぞれ付着することがある。ここ
で、この付着物が乾いてはがれ落ちると、これがパーテ
ィクルとしてガラス基板Ｓに付着すると、製品不良とな
り、歩留り低下の主要因のひとつとなってしまう。

【００１２】この発明は上記課題に鑑みなされたもので
あり、ノズルからの液体の吐出・停止を応答性よく、し
かも吐出量を正確に設定または制御することが可能な液
体供給装置を提供することを第１の目的とする。

【００１３】また、この発明は、上記第１の目的に加え
て、さらにノズルからの液体吐出を停止した際にノズル
先端に液体が付着するのを防止することができる液体供
給装置を提供することを第２の目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】この発明は、ノズルから
基板に向けて液体を吐出しつつ該ノズルを基板に対して
相対的に移動させることで基板上に液体をストライプ状
に供給する液体供給装置であって、上記第１の目的を達
成するため、ノズルに組み込まれてノズル中の液体を圧
送するマイクロポンプと、マイクロポンプを駆動制御す
る駆動制御部とを備えている。

【００１５】このように構成された発明では、ノズルに
マイクロポンプが組み込まれ、該マイクロポンプによっ
て液体が基板に向けて吐出される。したがって、ノズル
とポンプとが分離されていた従来技術に比べて制御応答
性（レスポンス）が格段に向上され、ノズルからの液体
の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確に設定
することが可能となる。特に、マイクロポンプをノズル
の先端に取り付けるのがより好適である。

【００１６】ここで、マイクロポンプについては、次の
ような構成を採用することができる。

【００１７】(1)液体の流路を形成する弾性部材の外周
面に沿って流路とほぼ平行に複数の圧電素子を配列し、
それらの圧電素子のそれぞれに印加する電圧を制御する
ことで弾性部材の流路表面に基板に向かう進行波を形成
してノズルから液体を吐出するように構成してもよい。

【００１８】(2)液体の流路を形成する弾性部材の外周
面に沿って流路とほぼ平行に複数の磁歪素子を配列し、
それらの磁歪素子のそれぞれに印加する電圧を制御する
ことで弾性部材の流路表面に基板に向かう進行波を形成
してノズルから液体を吐出するように構成してもよい。

【００１９】(3)液体の流路を形成する弾性部材の外周
面に表面弾性波素子を配置し、その表面弾性波素子に印
加する電気信号を制御することで表面弾性波素子におい
て基板に向かう表面弾性波を発生させるとともに、該表
面弾性波を弾性部材を介して流路中の液体に与えてノズ
ルから液体を吐出するように構成してもよい。

【００２０】(4)マイクロポンプ内に形成される液体の
流路に表面弾性波素子を配置し、その表面弾性波素子に
印加する電気信号を制御することで表面弾性波素子にお
いて基板に向かう弾性波を発生させてノズルから液体を
吐出するように構成してもよい。

【００２１】なお、上記(1)〜(4)のような構成を採用し
た液体供給装置では、各素子に印加する電圧、磁界や電
気信号などを制御することで基板と反対側に向かう進行
波を形成してノズル内に液体を吸引させることができ
る。そこで、基板への液体供給を停止した後に、ノズル
先端の液体をノズル内に吸引する、いわゆるサックバッ
クすることでノズル先端に液体が付着するのを防止可能
となっている。また、基板上に供給される液体はストラ
イプ状を呈するが、ノズルからの液体の吐出を間欠的に
行い、即ち、短線状（ドット状）に供給してストライプ
状を呈するように構成してもよい。

【００２２】

【発明の実施の形態】図１は、この発明にかかる液体供
給装置の第１実施形態を示す斜視図である。また、図２
は図１の液体供給装置に適用されている、また適用可能
な圧電素子の形状を示す図である。さらに、図３は図１
の液体供給装置を構成するマイクロポンプの断面図であ
る。この液体供給装置は、図７の有機ＥＬ表示装置の製
造装置などに用いられるノズル４０に組み込まれたマイ
クロポンプ５０と、マイクロポンプ５０を駆動制御する
駆動制御部６０とを備えている。

【００２３】このマイクロポンプ５０では、ノズル４０
を構成するチューブ４１の先端部に図示を省略する接着
剤や継手などにより中空円筒形の弾性部材５１が接続さ
れており、中空部分を流路５１１としてチューブ４１を
介して流れてくる有機ＥＬ材料などの液体をガラス基板
Ｓに向けて流通可能となっている。このように、この実
施形態では弾性部材５１は流路形成部材として機能して
いる。また、この弾性部材５１の先端部には、スリット
支持部材５２を介してスリット５３が取り付けられてお
り、流路５１１を流れてきた液体がスリット５３の中央
部に穿設された２個の吐出孔５３１からガラス基板Ｓに
向けて吐出可能となっている。なお、この実施形態では
吐出孔の個数を「２」としているが、吐出孔５３１の個
数や形状などに関しては任意である。

【００２４】また、上記のように構成された弾性部材５
１の外周面に沿って、図２（ａ）に示すように平面視で
円環形状を有しているリング状圧電素子５４が４個、流
路５１１とほぼ平行に配列されている。そして、各リン
グ状圧電素子５４は駆動制御部６０と電気的に接続され
ており、駆動制御部６０から印加される電圧に応じて機
械的に変位して流路５１１とほぼ直交する方向から弾性
部材５１に対して等方的に変形を加える。さらに、この
実施形態では、駆動制御部６０から各リング状圧電素子
５４に印加する電圧を制御することで圧電素子５４の極
性（図３矢印参照）を周期的に変化させて弾性部材５１
の表面にガラス基板Ｓに向かう進行波（図３の破線）を
形成して吐出孔５３１から液体Ｌをガラス基板Ｓに向け
て吐出可能となっている。

【００２５】次に、上記のように構成された液体供給装
置の動作について説明する。ガラス基板Ｓに液体Ｌをス
トライプ状に塗布する場合、まずノズル４０をガラス基
板Ｓの塗布開始位置に移動させる。そして、ノズル４０
がこの塗布開始位置に位置すると、駆動制御部６０が各
圧電素子５４に所定の電圧を印加して弾性部材５１の流
路表面にガラス基板Ｓに向かう進行波を形成する。これ
によって流路５１１内の液体がガラス基板Ｓに向けて圧
送され、吐出孔５３１からの液体Ｌの吐出が開始され
る。

【００２６】そして、上記のようにして液体Ｌをノズル
４０から吐出させつつ、ノズル４０をガラス基板Ｓに対
して相対的に直線状に移動させる。これによって、液体
Ｌがガラス基板Ｓにストライプ状に供給されてストライ
プ状の塗布部７０が形成される。

【００２７】一方、ガラス基板Ｓの塗布停止位置にノズ
ル４０が位置すると、駆動制御部６０は各圧電素子５４
への電圧印加を停止して液体Ｌの吐出を停止させる。こ
のとき、単にノズル４０からの液体Ｌの吐出を停止させ
るだけでなく、必要に応じてサックバック動作を実行す
るようにしてもよい。すなわち、この実施形態にかかる
マイクロポンプ５０では各圧電素子５４に印加する電圧
を周期的に変化させることで上記したようにガラス基板
Ｓに向かう進行波を形成することができるだけでなく、
印加電圧を制御することでガラス基板Ｓと反対側に向か
う進行波を発生させることができる。そこで、ノズル４
０からの液体Ｌの吐出停止後に、弾性部材５１の流路表
面にガラス基板Ｓと反対側に向かう進行波が発生するよ
うに駆動制御部６０が各圧電素子５４に所定の電圧を印
加すると、ノズル４０先端の液体をノズル４０内に吸引
する、いわゆるサックバックすることができ、ノズル４
０先端に液体が残留するのを防止することができ、この
残留液体Ｌの乾燥に伴うパーティクルの発生を効果的に
防止することができる。なお、サックバック動作につい
ては後の実施形態においても同様である。

【００２８】以上のように、この第１実施形態にかかる
液体供給装置によれば、ノズル４０にマイクロポンプ５
０を組み込んでいるため、ノズルとポンプとを分離配置
していた従来技術（特開２００２−７５６４０号公報に
記載の装置）に比べて制御応答性（レスポンス）が格段
に向上され、ノズル４０からの液体の吐出・停止を応答
性よく、しかも吐出量を正確に設定または制御すること
ができる。

【００２９】なお、上記第１実施形態では、圧電素子５
４を図２（ａ）に示すように平面視で円環形状を有する
ものを用いているが、圧電素子５４の形状や配置などに
関しては上記実施形態に限定されるものではなく、弾性
部材５１を変形させて弾性部材５１の流路表面に進行波
を発生させることができる限り任意である。例えば同図
（ｂ）に示すように一部に切欠を有する平面視が略Ｃ字
形状を有する圧電素子５４ａや同図（ｃ）に示すように
複数の圧電素子片５４１ｂを組み合わせてなる圧電素子
５４ｂを用いることができる。特に、これらの圧電素子
５４，５４ａ，５４ｂはいずれも弾性部材５１の外周面
を取り囲むように配置されているため、弾性部材５１を
流路５１１とほぼ直交する方向から弾性部材５１に対し
て等方的に変形を加えることができ、液体Ｌの圧送効率
を高める上で好適である。

【００３０】また、上記第１実施形態では、弾性部材５
１の流路表面に進行波を発生させるために圧電素子を用
いているが、これらの代わりに磁歪素子を配置するとと
もに、それらの磁歪素子に印加する磁界を制御すること
で各磁歪素子の機械的変位をコントロールして弾性部材
５１の流路表面に進行波を発生させるように構成しても
よい。

【００３１】また、上記第１実施形態では、弾性部材５
１の流路表面に進行波を発生させるために圧電素子を用
いているが、これらの代わりに表面弾性波素子を用いて
もよい。以下、表面弾性波素子を用いた第２ないし第４
実施形態について図４〜図６をそれぞれ参照しつつ説明
する。

【００３２】図４は、この発明にかかる液体供給装置の
第２実施形態を示す図である。この第２実施形態が第１
実施形態と大きく相違している点は、弾性部材５１の流
路表面に進行波を発生させるために表面弾性波素子８０
を用いている点である。なお、その他の構成は基本的に
第１実施形態と同一であり、以下、相違点を中心に第２
実施形態にかかる液体供給装置の構成および動作につい
て説明する。

【００３３】この液体供給装置では、表面弾性波素子８
０の表面８１を接着剤８２により弾性部材５１の外周面
に接続している。そして、その表面８１に形成された電
極８３に駆動制御部（図示省略）から電気信号を印加す
ることで、その表面８１に電気的に表面弾性波を発生さ
せるように構成している。このため、表面８１で発生し
た表面弾性波は弾性部材５１を介して流路５１１中の液
体に与えられる。したがって、電極８３に印加する電気
信号を制御することでガラス基板Ｓに向かう表面弾性波
や逆にガラス基板Ｓと反対側に向かう表面弾性波を発生
させることができる。

【００３４】そこで、液体Ｌの塗布を行う場合には、駆
動制御部が表面弾性波素子８０に所定の電気信号を印加
してガラス基板Ｓに向かう表面弾性波を発生させる。こ
れによって、この表面弾性波が弾性部材５１を介して流
路５１１中の液体に対してガラス基板Ｓに向かう進行波
として与えられ、流路５１１内の液体Ｌがガラス基板Ｓ
に向けて圧送され、吐出孔５３１からの液体Ｌの吐出が
開始される。そして、上記のようにして液体Ｌをノズル
４０から吐出させつつ、ノズル４０をガラス基板Ｓに対
して相対的に直線状に移動させる。これによって、液体
Ｌがガラス基板Ｓにストライプ状に供給されてストライ
プ状の塗布部７０（図１参照）が形成される。一方、ガ
ラス基板Ｓの塗布停止位置にノズル４０が位置すると、
駆動制御部は表面弾性波素子８０への電気信号の印加を
停止して液体Ｌの吐出を停止させる。そして、必要に応
じて第１実施形態と同様にサックバック処理を実行して
もよい。

【００３５】以上のように、この第２実施形態にかかる
液体供給装置においても、第１実施形態と同様に、ノズ
ル４０にマイクロポンプ５０を組み込んでいるため、ノ
ズルとポンプとを分離配置していた従来技術（特開２０
０２−７５６４０号公報に記載の装置）に比べて制御応
答性（レスポンス）が格段に向上され、ノズル４０から
の液体の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確
に設定または制御することができる。

【００３６】なお、表面弾性波素子８０の配設位置につ
いては、第２実施形態に限定されるものではなく、図５
に示す第３実施形態のごとく流路５１１の表面に直接取
り付けるようにしたり、図６に示す第４実施形態のごと
く流路５１１内に配置するようにしてもよい。これら第
３および第４実施形態では、弾性部材５１を介して流路
５１１中の液体Ｌに対して進行波を与えていた第１およ
び第２実施形態に比べて表面弾性波（進行波）を直接、
かつ効率的に与えることができる。特に、表面弾性波の
効率を考えると、図６に示すように表面弾性波素子８０
の両面に電極８３を設けて各面で弾性波を発生させるの
がより好適である。なお、図５および図６中の符号「８
４」は電極シールである。

【００３７】また、第３および第４実施形態によれば、
流路５１１を形成する流路形成部材５１を構成する材料
については任意となり、第１および第２実施形態に比べ
て設計自由度を高めることができ、この点においても有
利である。

【００３８】なお、本発明は上記した実施形態に限定さ
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて
上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能であ
る。例えば、上記実施形態では、本発明にかかる液体供
給装置を有機ＥＬ表示装置の製造装置に適用した場合に
ついて説明したが、本発明の適用範囲はこれに限定され
るものではなく、基板上に液体をストライプ状に供給す
る液体供給装置全般について本発明を適用することがで
きる。

【００３９】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、ノズ
ルにマイクロポンプを組み込み、該マイクロポンプによ
って液体を基板に向けて吐出するように構成しているの
で、制御応答性（レスポンス）の高めてノズルからの液
体の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確に設
定または制御することができる。

【００４０】また、基板への液体供給を停止した後に、
基板と反対側に向かう進行波を形成してノズル先端の液
体をノズル内に液体を吸引する、いわゆるサックバック
することでノズル先端に液体が付着するのを効果的に防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる液体供給装置の第１実施形態
を示す斜視図である。

【図２】図１の液体供給装置に適用されている、また適
用可能な圧電素子の形状を示す図である。

【図３】図１の液体供給装置を構成するマイクロポンプ
の断面図である。

【図４】この発明にかかる液体供給装置の第２実施形態
を示す図である。

【図５】この発明にかかる液体供給装置の第３実施形態
を示す図である。

【図６】この発明にかかる液体供給装置の第４実施形態
を示す図である。

【図７】従来の液体供給装置を装備した有機ＥＬ表示装
置の製造装置を示す図である。

【符号の説明】

４０…ノズル５０…マイクロポンプ５１…弾性部材、流路形成部材５４，５４ａ，５４ｂ…圧電素子６０…駆動制御部８０…表面弾性波素子５１１…流路Ｌ…液体Ｓ…ガラス基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０５Ｂ 33/10 Ｈ０５Ｂ 33/14 Ａ 33/14 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０２Ｚ (72)発明者上山勉京都府京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１大日本スクリーン製造株式会社内Ｆターム(参考） 2C056 EA17 FA04 FA15 FB01 FD20 3H077 AA01 BB10 CC04 CC08 CC10 DD06 EE16 EE40 FF07 FF34 FF36 3K007 AB18 DB03 FA01 4F041 AA02 AA05 AB02 BA10 BA17 BA22 BA36 BA60 4F042 AA02 AA07 AA10 BA01 BA12 BA21 CB02 CB07 CB11 CC03 CC08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズルから基板に向けて液体を吐出しつ
つ該ノズルを前記基板に対して相対的に移動させること
で前記基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給
装置において、前記ノズルに組み込まれて前記ノズル中の液体を圧送す
るマイクロポンプと、前記マイクロポンプを駆動制御する駆動制御部とを備え
たことを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】前記マイクロポンプが前記ノズルの先端
に取り付けられている請求項１記載の液体供給装置。
【請求項３】前記マイクロポンプは、液体の流路を形
成する弾性部材と、前記弾性部材の外周面に沿って前記
流路とほぼ平行に配列された複数の圧電素子とを備える
一方、前記駆動制御部は、前記複数の圧電素子のそれぞれに印
加する電圧を制御することで前記弾性部材の流路表面に
前記基板に向かう進行波を形成して前記ノズルから液体
を吐出する請求項１または２記載の液体供給装置。
【請求項４】前記駆動制御部は、前記基板への液体供
給を停止した後に、前記複数の圧電素子のそれぞれに印
加する電圧を制御することで前記弾性部材の流路表面に
前記基板と反対側に向かう進行波を形成して前記ノズル
先端の液体を前記ノズル内に吸引する請求項３記載の液
体供給装置。
【請求項５】前記マイクロポンプは、液体の流路を形
成する弾性部材と、前記弾性部材の外周面に沿って前記
流路とほぼ平行に配列された複数の磁歪素子とを備える
一方、前記駆動制御部は、前記複数の磁歪素子のそれぞれに印
加する磁界を制御することで前記弾性部材の流路表面に
前記基板に向かう進行波を形成して前記ノズルから液体
を吐出する請求項１または２記載の液体供給装置。
【請求項６】前記駆動制御部は、前記基板への液体供
給を停止した後に、前記複数の磁歪素子のそれぞれに印
加する磁界を制御することで前記弾性部材の流路表面に
前記基板と反対側に向かう進行波を形成して前記ノズル
先端の液体を前記ノズル内に液体を吸引する請求項５記
載の液体供給装置。
【請求項７】前記マイクロポンプは、液体の流路を形
成する弾性部材と、前記弾性部材の外周面に配置された
表面弾性波素子とを備える一方、前記駆動制御部は、前記表面弾性波素子に印加する電気
信号を制御することで前記表面弾性波素子において前記
基板に向かう弾性波を発生させるとともに、該弾性波を
前記弾性部材を介して前記流路中の液体に与えて前記ノ
ズルから液体を吐出する請求項１または２記載の液体供
給装置。
【請求項８】前記マイクロポンプは、液体の流路を形
成する流路形成部材と、前記流路内に配置された表面弾
性波素子とを備える一方、前記駆動制御部は、前記表面弾性波素子に印加する電気
信号を制御することで前記表面弾性波素子において前記
基板に向かう弾性波を発生させて前記ノズルから液体を
吐出する請求項１または２記載の液体供給装置。
【請求項９】前記駆動制御部は、前記基板への液体供
給を停止した後に、前記表面弾性波素子に印加する電気
信号を制御することで前記表面弾性波素子において前記
基板と反対側に向かう進行波を形成して前記ノズル先端
の液体を前記ノズル内に吸引する請求項７または８記載
の液体供給装置。