JP2010255898A - 送風制御パターン作成装置、送風制御装置、送風制御パターン作成方法、送風制御パターン作成プログラム、送風制御方法、および風量制御システム - Google Patents
送風制御パターン作成装置、送風制御装置、送風制御パターン作成方法、送風制御パターン作成プログラム、送風制御方法、および風量制御システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010255898A JP2010255898A JP2009104875A JP2009104875A JP2010255898A JP 2010255898 A JP2010255898 A JP 2010255898A JP 2009104875 A JP2009104875 A JP 2009104875A JP 2009104875 A JP2009104875 A JP 2009104875A JP 2010255898 A JP2010255898 A JP 2010255898A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air volume
- air
- clean room
- blower
- control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Abstract
【解決手段】クリーンルームC1,C2の清浄度を取得する清浄度取得部71と、クリーンルームC1,C2の風量を取得する風量取得部72と、取得した前記清浄度と風量とに基づいて必要風量を算出する必要送風量算出部76と、該必要風量に基づいて送風を制御するパターンデータを作成する送風制御パターン生成部77とを備えた送風制御パターン作成装置3を提供する。
【選択図】図4
Description
この態様により、時刻によって送風レベルを切り替えることが可能となり、消費電力を削減することができる。
これにより、送風装置の風量を制御しなくとも、風量装置の稼働台数を制御することで、クリーンルームの室内の風量を容易に制御することができる。
これにより、送風装置に供給する動力を制御することで、送風装置による送風のON/OFFを容易に制御でき、クリーンルーム内の風量を制御することができる。
前記作業用設備は、半導体集積回路の製造設備、液晶パネルの製造設備、プラズマパネルの製造設備、マイクロマシンの製造設備、手術室の手術設備、医薬品や滅菌医療機器の製造設備、食品の製造など、クリーンルーム内での作業に用いられる適宜の設備とすることができる。
前記動力削減余地算出手段は、前記動力取得手段で取得した動力と前記制御後動力推定手段により取得した動力の差に基づいて動力削減余地を算出する構成とすることができる。
これにより、動力削減余地を事前に算出することができ、動力制御による動力削減効果を認識した上で導入するか否かを判断することができる。
これにより、パターンデータを採用するか否か事前に判定することができ、消費電力の削減によってクリーンルームに要求される環境を維持できなくなるといったことを防止できる。
これにより、温度、湿度、室間差圧、またはこれらの複数からなる環境について、クリーンルームに要求される値を維持できるようにパターンデータの採用/不採用を決定することができる。
前記送風装置は、クリーンルームに設置される送風システムや送風機など、送風を行う装置を対象とすることができる。
前記所定風量は、送風制御データにより定められる風量とすることができ、稼働させるファンの数で定める、ファンの回転数で定めるなど、適宜の方法によって定めることができる。
この発明により、従来の送風装置を制御し、クリーンルームの性能を維持した上で消費電力を削減することを容易に実行できる。
これにより、クリーンルームの風量を適切の制御して消費電力を削減することができる。
図1は、非一方向流のクリーンルームC1の設備2Aの構成を説明する構成図であり、図2は、クリーンルームC1の風量を制御する風量制御システム1Aのブロック図を示す。
また、これらのセンサ類20〜27は、クリーンルームC1の設備2Aとして予め設置されているものを利用できるが、設置されていなければ、センサ類20〜27を別途取り付けてもよい。また、図示の例ではセンサ類20〜27から送風制御パターン作成装置3の演算制御部31に検知データを伝達しているが、別途の記憶装置に検知データを時系列に蓄積しておき、この蓄積した検知データを送風制御パターン作成装置3に別途送信する構成としてもよい。いずれの場合であっても、送風制御パターン作成装置3が必要なデータを取得すればよい。
演算制御部31は、センサ類20〜27から受け取る検知データに基づいて発塵量や必要送風量や風力制御パターン等を演算する各種演算処理、表示部33や記憶部34やI/F部35に接続された他の装置などを適宜動作制御する制御処理など、適宜の処理を実行する。
表示部33は、演算制御部31の制御信号に従って各種の画面を表示する。
コントローラ41は、送風制御プログラムに従って制御処理を行うCPUなどの装置であり、I/F部43を介して送風制御パターン作成装置3から動力制御パターンデータを取得し記憶部42に記憶する処理、記憶部42の動力制御パターンデータに従ってI/F部43を介して空調システム5の駆動を制御する処理を実行する。
記憶部42は、動力制御パターンデータなどの各種データと、送風制御プログラムなどの各種プログラムを記憶する。この送風制御プログラムは、送風制御パターン作成装置3が送風制御パターン作成プログラムにより作成した動力制御パターンデータを取得しておき、この動力制御パターンデータに従って送風を制御するためのプログラムである。
空調制御盤51は、複数のFFU52および排気ファン53への電力供給を制御する。この電力供給の制御は、ファン制御装置4によってコントロールされる。すなわち、ファン制御装置4から風量レベルを切り替えるための電力切替信号を受け取ると、この電力切替信号に従って複数のFFU52および排気ファン53への電力供給量を変更し、風量および消費電力を切替制御する。
排気ファン53は、排気を行うファンであり、空調制御盤51の制御に従ってクリーンルームC1内の空気を排気する。
これにより、図5に示す清浄度としての室内塵埃濃度Nr、および外気汚染度としての外気塵埃濃度Nfaを取得する。取得した清浄度は、図7(A)のグラフに示すように、時系列に並べて把握できる。このグラフは、縦軸が清浄度(個/m3)を示し、横軸が時間(h:m:s)を示す。
この風量を測定する風量取得部72は、送風制御パターン作成プログラムに従って動作する演算制御部31が排気風量センサ24と換気風量センサ25と給気風量センサ26とから測定データを取得する機能ブロックである。
これにより、図5に示す外気量Qf、送風量Qs、換気風量Qr、および排気量Qeを取得する。
この室内発塵量算出部75は、送風制御パターン作成プログラムに従って動作する演算制御部31が、清浄度取得部71と風量取得部72とで取得した測定データに基づいて室内発塵量Gを算出する機能ブロックである。
NrQe+NrQr
=NfaQf×(1−η1)×(1−η2)+NrQr(1−η2)+G
※Nfa:外気塵埃濃度(個/m3), Nr:室内塵埃濃度(個/m3),
Qe:排気量(m3/min), Qf:外気量(m3/min),
Qr:換気風量(m3/min), G:室内発塵量(個/min),
η1:プレフィルタ効率(%), η2:HEPAフィルタ効率(%)
[式2]
G=NrQe−NfaQf(1−η1)(1−η2)+NrQrη2
この必要送風量算出部76は、送風制御パターン作成プログラムに従って動作する演算制御部31が、室内発塵量算出部75により算出した室内発塵量と清浄度取得部71と風量取得部72とで取得した測定データとに基づいて必要風量を算出する機能ブロックである。
Qs=Qr+Qf
※Qf:外気量(m3/min),Qr:換気風量(m3/min)
[式4]
Qs
={NfaQf(1−η1)(1−η2)+G}/Nrη2−Qe/η2+Qf
※Nfa:外気塵埃濃度(個/m3), Nr:室内塵埃濃度(個/m3),
Qe:排気量(m3/min), G:室内発塵量(個/min),
η1:プレフィルタ効率(%), η2:HEPAフィルタ効率(%)
この送風制御パターン生成部77は、送風制御パターン作成プログラムに従って動作する演算制御部31が、必要送風量算出部76で算出した必要風量に応じて送風制御を行うための送風制御パターンを作成する機能ブロックである。
そして、特に非稼働時は、生産設備や機器が停止していて発塵量が少ないため、風量制御後の風量を稼働時より少なく設定できる。
また、室間差圧の影響の有無は、クリーンルームC1の内側と外側の気圧差を、操作部32での入力等によって適宜指定された気圧差以上に保てるか否かにより判断するとよい。
この送風動力取得部74は、送風制御パターン作成プログラムに従って動作する演算制御部31が、電力センサ27から測定データを取得する機能ブロックである。電力センサ27は、空調システム5のFFU52や排気ファン53の駆動による消費電力を検知するセンサである。なお、この実施例では消費電力を動力として取得しているが、電流値や振動データを取得する構成にしてもよい。
図11は、一方向流のクリーンルームC2の設備2Bの構成を説明する構成図であり、図12は、クリーンルームC2の風量を制御する風量制御システム1Bのブロック図を示す。
その他の構成は、実施例1と同一であるので、同一要素に同一符号を付してその詳細な説明を省略する。また、送風制御パターン作成装置3の演算制御部31が送風制御パターン作成プログラムに従って実行する動作は、実施例1で図3および図4と共に説明したもの計算方法を除いて同一であるため、その詳細な説明を省略する。
この計算式により計算するために、図3に説明したステップS1で、清浄度取得部71により、図13に示す清浄度としての室内塵埃濃度Nr、および換気清浄度としての換気塵埃濃度Nfbを取得する。
Gn=Qsn×{Nrn−(1−η)×Nfb}
※Nr:室内塵埃濃度(個/m3), Nfb:換気塵埃濃度 (個/m3)
Qe:排気量(m3/min), Qsn:換気風量(m3/min)
Gn:室内発塵量(個/min)
Qsn=Gn/{Nrn−Nfb×(1−η)}
※Gn:室内発塵量(個/min), Nrn:室内塵埃濃度(個/m3)
Nfb:換気塵埃濃度(個/m3), Qsn:必要風量(m3/min)
Claims (15)
- クリーンルームの清浄度を取得する清浄度取得手段と、
クリーンルームの風量を取得する風量取得手段と、
取得した前記清浄度と風量とに基づいて必要風量を算出する必要風量算出手段と、
該必要風量に基づいて送風を制御するパターンデータを作成する送風制御パターン作成手段とを備えた
送風制御パターン作成装置。 - 前記パターンデータは、
風量を変更する時刻と、該時刻から送風すべき送風量を示す送風レベルとで構成されている
請求項1記載の送風制御パターン作成装置。 - 前記送風レベルは、前記クリーンルームに備えられた送風装置の稼働台数を定める構成である
請求項2記載の送風制御パターン作成装置。 - 前記送風レベルは、前記クリーンルームに備えられた送風装置に供給する動力を定める構成である
請求項2または3記載の送風制御パターン作成装置。 - 前記パターンデータは、前記クリーンルームに設置された作業用設備が稼働している稼働時と該作業用設備が稼働していない非稼働時とで前記送風レベルを切り替える構成である
請求項2、3または4記載の送風制御パターン作成装置。 - 前記クリーンルームに備えられた送風装置の動力を取得する動力取得手段と、
前記パターンデータに従った送風レベルの制御を行った場合の前記送風装置の動力を推定する制御後動力推定手段と、
前記動力取得手段により取得した動力と前記制御後動力推定手段により推定した動力に基づいて動力削減余地を算出する動力削減余地算出手段とを備えた
請求項2から5のいずれか1つに記載の送風制御パターン作成装置。 - 前記クリーンルーム内の環境に関する環境情報を取得する環境情報取得手段と、
前記パターンデータを採用した場合の前記環境情報を推定し、該パターンデータを採用するか否か判定する採用判定手段とを備えた
請求項2から6のいずれか1つに記載の送風制御パターン作成装置。 - 前記環境情報は、温度、湿度、室間差圧、またはこれらの複数である
請求項7記載の送風制御パターン作成装置。 - 前記クリーンルームとして非一方向流方式のクリーンルームを対象とし、
前記清浄度取得手段は、前記清浄度として前記クリーンルームに入ってくる外気塵埃量と前記クリーンルームから出て行く室内塵埃量とを取得する構成であり、
前記風量取得手段は、前記風量として外気量と換気風量と排気量とを取得する構成であり、
前記必要風量算出手段は、
前記室内塵埃量と前記排気量と前記外気塵埃量と前記外気量と前記換気風量とに基づいて室内発塵量を算出し、
該室内発塵量と前記外気塵埃量と前記外気量と前記室内塵埃量と前記排気量とに基づいて必要風量を算出する構成である
請求項1から8のいずれか1つに記載の送風制御パターン作成装置。 - 前記クリーンルームとして一方向流方式のクリーンルームを対象とし、
前記清浄度取得手段は、前記清浄度として前記クリーンルーム内で循環する換気塵埃量と前記クリーンルームから出て行く室内塵埃量とを取得する構成であり、
前記風量取得手段は、前記風量として換気風量を取得する構成であり、
前記必要風量算出手段は、
前記換気風量と前記室内塵埃量と前記換気塵埃量とにより室内発塵量を算出し、
該室内発塵量と前記室内塵埃量と前記換気塵埃量とにより前記必要風量を算出する構成である
請求項1から8のいずれか1つに記載の送風制御パターン作成装置。 - 送風を制御するパターンデータの入力を受け付けるパターンデータ入力受付手段と、
該パターンデータを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶した前記パターンデータに従って送風装置の送風量を所定時点で所定風量に切替制御する送風量制御手段とを備えた
送風制御装置。 - クリーンルームの清浄度を清浄度取得手段により取得し、
クリーンルームの風量を風量取得手段により取得し、
取得した前記清浄度と風量とに基づいて必要風量を算出し、
該必要風量に基づいて送風を制御するパターンデータを作成する
クリーンルームの送風制御パターン作成方法。 - コンピュータを、
クリーンルームの清浄度を取得する清浄度取得手段と、
クリーンルームの風量を取得する風量取得手段と、
取得した前記清浄度と風量とに基づいて必要風量を算出する必要風量算出手段と、
該必要風量に基づいて送風を制御するパターンデータを作成する送風制御パターン作成手段として機能させる
送風制御パターン作成プログラム。 - 送風を制御するパターンデータの入力をパターンデータ入力受付手段により受け付け、
該パターンデータを記憶手段に記憶し、
送風を行う送風装置に送風装置接続手段を接続し、
前記記憶手段に記憶した前記パターンデータに従って送風量制御手段により前記送風装置の送風量を所定時点で所定風量に切替制御する
送風制御方法。 - クリーンルームの清浄度を取得する清浄度取得手段と、
クリーンルームの風量を取得する風量取得手段と、
取得した清浄度と風量とに基づいて必要風量を算出する必要風量算出手段と、
該必要風量に基づいて送風を制御するパターンデータを作成する送風制御パターン作成手段と、
該パターンデータを出力する出力手段とを有する
送風制御パターン作成装置と、
前記送風制御パターン作成装置からパターンデータの入力を受け付けるパターンデータ入力受付手段と、
該パターンデータを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶した前記パターンデータに従って送風装置の送風量を所定時点で所定風量に切替制御する送風量制御手段とを有する
送風制御装置とを備え、
作成したパターンデータに従ってクリーンルームの風量制御を行う
風量制御システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009104875A JP5381277B2 (ja) | 2009-04-23 | 2009-04-23 | 送風制御パターン作成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009104875A JP5381277B2 (ja) | 2009-04-23 | 2009-04-23 | 送風制御パターン作成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010255898A true JP2010255898A (ja) | 2010-11-11 |
JP5381277B2 JP5381277B2 (ja) | 2014-01-08 |
Family
ID=43317021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009104875A Active JP5381277B2 (ja) | 2009-04-23 | 2009-04-23 | 送風制御パターン作成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5381277B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2527755A2 (en) | 2011-05-25 | 2012-11-28 | Omron Corporation | Method for controlling air quality adjustment, method for controlling ventilation air flow and ventilation air flow controlling system |
JP2013011460A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Seiko Instruments Inc | センサネットワークシステム |
JP2013167934A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Omron Corp | システム監視装置およびその制御方法 |
JP2014525347A (ja) * | 2011-09-05 | 2014-09-29 | チェッキ,マイケル | 空気濾過および空気浄化装置 |
WO2018061147A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 三菱電機株式会社 | 換気システム |
EP4001926A4 (en) * | 2019-08-21 | 2022-09-07 | Minebea Mitsumi Inc. | AIR FLOW MEASUREMENT SYSTEM AND COMMUNICATION MODULE |
JP7390857B2 (ja) | 2019-02-06 | 2023-12-04 | 清水建設株式会社 | 空気清浄システム |
JP7423400B2 (ja) | 2020-02-18 | 2024-01-29 | 清水建設株式会社 | 空気清浄システム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5980629U (ja) * | 1982-11-24 | 1984-05-31 | 東洋熱工業株式会社 | クリ−ンル−ムの送風量制御装置 |
JPS60164141A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-27 | Takasago Thermal Eng Co Lts | 清浄度と室圧の同時制御機構を備えたクリ−ンル−ム装置 |
JPS61286500A (ja) * | 1985-06-11 | 1986-12-17 | 三菱電機株式会社 | 換気制御装置 |
JPH03263535A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-25 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルーム |
-
2009
- 2009-04-23 JP JP2009104875A patent/JP5381277B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5980629U (ja) * | 1982-11-24 | 1984-05-31 | 東洋熱工業株式会社 | クリ−ンル−ムの送風量制御装置 |
JPS60164141A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-27 | Takasago Thermal Eng Co Lts | 清浄度と室圧の同時制御機構を備えたクリ−ンル−ム装置 |
JPS61286500A (ja) * | 1985-06-11 | 1986-12-17 | 三菱電機株式会社 | 換気制御装置 |
JPH03263535A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-25 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンルーム |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2527755A2 (en) | 2011-05-25 | 2012-11-28 | Omron Corporation | Method for controlling air quality adjustment, method for controlling ventilation air flow and ventilation air flow controlling system |
JP2013011460A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Seiko Instruments Inc | センサネットワークシステム |
JP2014525347A (ja) * | 2011-09-05 | 2014-09-29 | チェッキ,マイケル | 空気濾過および空気浄化装置 |
JP2013167934A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Omron Corp | システム監視装置およびその制御方法 |
WO2018061147A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 三菱電機株式会社 | 換気システム |
TWI645893B (zh) * | 2016-09-29 | 2019-01-01 | 三菱電機股份有限公司 | 換氣系統 |
JPWO2018061147A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2019-03-07 | 三菱電機株式会社 | 換気システム |
JP7390857B2 (ja) | 2019-02-06 | 2023-12-04 | 清水建設株式会社 | 空気清浄システム |
EP4001926A4 (en) * | 2019-08-21 | 2022-09-07 | Minebea Mitsumi Inc. | AIR FLOW MEASUREMENT SYSTEM AND COMMUNICATION MODULE |
JP7423400B2 (ja) | 2020-02-18 | 2024-01-29 | 清水建設株式会社 | 空気清浄システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5381277B2 (ja) | 2014-01-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5381277B2 (ja) | 送風制御パターン作成装置 | |
Shen et al. | Leveraging existing occupancy-related data for optimal control of commercial office buildings: A review | |
JP5492522B2 (ja) | 空調制御装置および方法 | |
CN110300874B (zh) | 环境控制系统和环境控制方法 | |
Jelicic et al. | Context-adaptive multimodal wireless sensor network for energy-efficient gas monitoring | |
JP6625239B2 (ja) | 空気調和機および空気調和システム | |
US7886986B2 (en) | Building, ventilation system, and recovery device control | |
US10731885B2 (en) | Thermostat with occupancy detection via proxy measurements of a proxy sensor | |
JP2012247078A (ja) | 空気の品質調整制御方法、換気風量制御方法および換気風量制御システム | |
WO2011024424A1 (ja) | 連携気流制御装置 | |
WO2012053230A1 (ja) | 空調制御装置、空調制御方法及びプログラム | |
JP5627504B2 (ja) | 空調設備保守システム及びデータ解析装置 | |
WO2020255875A1 (ja) | 空気質制御システム、空気質制御方法、及び、プログラム | |
GB2551714A (en) | Cleanroom control system and method | |
JPWO2018189925A1 (ja) | 空気調和機およびその制御方法、並びに制御プログラム | |
US20130325368A1 (en) | System for monitoring air flow efficiency | |
JP6453684B2 (ja) | 窓開閉指示通知システム用プログラム、及び窓開閉指示通知システム | |
KR102333933B1 (ko) | 환기장치 원격제어시스템 및 방법 | |
JP5666393B2 (ja) | センサネットワークシステム | |
JPWO2017098562A1 (ja) | 換気システム及びコントローラ | |
JP5905213B2 (ja) | センサ端末、センサネットワークシステム、センサ端末制御方法 | |
JP2010025432A (ja) | 空調システム | |
US10648690B2 (en) | Multi-function thermostat with event schedule controls | |
KR101710029B1 (ko) | 건물 에너지 분석 시스템 | |
JPS60164141A (ja) | 清浄度と室圧の同時制御機構を備えたクリ−ンル−ム装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130321 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130326 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130916 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5381277 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |