JP2010245479A - 半導体チップ搭載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップ搭載装置において、基体搬送装置によって複数の基体を搬送し、ウエハ蓄積装置によって伸縮テープに粘着されるウエハを複数枚蓄積する。更に半導体チップ搭載装置は、ウエハ蓄積装置から取り出されたウエハを一時待機させ、且つ伸縮テープを拡張させてこのウエハを半導体チップに分割する待機空間と、この待機空間で分割されたウエハが搬入されて半導体チップを供給可能とする搭載空間を用意しておく。また、待機空間に待機している前記ウエハを搭載空間に搬入すると同時に、搭載空間に既に配置しているウエハをウエハ蓄積装置側に搬出するウエハ交換装置を設ける。
【選択図】図1
Description
10 基体搬送装置
12 基体
20 ウエハ蓄積装置
22 ウエハ
24 ダイシングテープ
26 ウエハリング
30 待機空間
34 搭載空間
40 ウエハ交換装置
42 第1X−Y移動装置
52 第2X−Y移動装置
60 ピックアップ装置
70 接着剤塗布装置
Claims (7)
- 半導体チップが搭載される複数の基体を搬送する基体搬送装置と、
伸縮テープに粘着されるウエハを複数枚蓄積するウエハ蓄積装置と、
前記ウエハ蓄積装置から取り出された前記ウエハを一時待機させる待機空間と、
前記ウエハが搬入され、該ウエハにより前記半導体チップを供給可能とする搭載空間と、
前記待機空間に待機している前記ウエハを前記搭載空間に搬入すると同時に、前記搭載空間に既に配置している前記ウエハを前記ウエハ蓄積装置側に搬出するウエハ交換装置と、
前記搭載空間に位置する前記ウエハから前記半導体チップをピックアップし、前記基体に搭載するピックアップ装置と、
を備えることを特徴とする半導体チップ搭載装置。 - 前記待機空間には、前記ウエハ蓄積装置から取り出された前記ウエハの前記伸縮テープを拡張させて該ウエハ上の半導体チップを離反させるエキスパンド機構が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ搭載装置。
- 前記ウエハ交換装置は、
前記待機空間と前記搭載空間の間において前記ウエハを搬送する第1X−Y移動装置と、
前記第1X−Y移動装置に設けられて前記ウエハの前記伸縮テープを拡張させる第1エキスパンド機構と、
前記待機空間と前記搭載空間の間において前記ウエハを搬送する第2X−Y移動装置と、
前記第2X−Y移動装置に設けられて前記ウエハの前記伸縮テープを拡張させる第2エキスパンド機構と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ搭載装置。 - 前記第1X−Y移動装置による前記ウエハの搬入・搬出経路と、前記第2X−Y移動装置による前記ウエハの搬入・搬出経路とが、干渉しないことを特徴とする、
請求項3に記載の半導体チップ搭載装置。 - 前記待機空間に配置され、前記ウエハにおける前記半導体チップの位置情報を検出する待機側位置検出装置を備えることを特徴とする、
請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体チップ搭載装置 - 前記待機空間に配置され、前記ウエハの識別情報を検出する待機側ウエハ情報検出装置を備えることを特徴とする、
請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体チップ搭載装置 - 前記ウエハ交換装置は、
前記待機空間と前記搭載空間の間に配置され、前記ウエハを回転搬送するインデックステーブルを備えることを特徴とする、
請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体チップ搭載装置。
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