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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5707359B2 (ja) * 2011-05-30 2015-04-30 富士フイルム株式会社 パターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、電子デバイスの製造方法及び電子デバイス
US8956799B2 (en) * 2011-12-31 2015-02-17 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Photoacid generator and photoresist comprising same
JP5719788B2 (ja) * 2012-02-24 2015-05-20 富士フイルム株式会社 パターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びレジスト膜、並びにこれらを用いた電子デバイスの製造方法、及び電子デバイス
JP6007155B2 (ja) * 2013-07-30 2016-10-12 東京エレクトロン株式会社 現像処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び現像処理装置
JP2015045836A (ja) * 2013-08-02 2015-03-12 富士フイルム株式会社 パターン形成方法及びそれに用いられる表面処理剤、並びに、電子デバイスの製造方法及び電子デバイス
JP6159746B2 (ja) * 2014-02-28 2017-07-05 富士フイルム株式会社 パターン形成方法、処理剤、電子デバイス及びその製造方法
JP2018088615A (ja) 2016-11-29 2018-06-07 セイコーエプソン株式会社 測色値の検査装置、検査方法、及び、検査プログラム
JP7280560B2 (ja) * 2019-11-15 2023-05-24 日産化学株式会社 現像液及びリンス液を用いた樹脂製レンズの製造方法、並びにそのリンス液

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4491628A (en) * 1982-08-23 1985-01-01 International Business Machines Corporation Positive- and negative-working resist compositions with acid generating photoinitiator and polymer with acid labile groups pendant from polymer backbone
JPH02161436A (ja) * 1988-12-15 1990-06-21 Oki Electric Ind Co Ltd フォトレジスト組成物及びその使用方法
JP2881969B2 (ja) * 1990-06-05 1999-04-12 富士通株式会社 放射線感光レジストとパターン形成方法
JP2723350B2 (ja) * 1990-09-27 1998-03-09 三菱電機株式会社 感光性樹脂組成物
JPH0635195A (ja) * 1992-07-22 1994-02-10 Fujitsu Ltd レジスト組成物
JP3339157B2 (ja) * 1993-05-31 2002-10-28 ソニー株式会社 感光性組成物及びパターン形成方法
JP2715881B2 (ja) * 1993-12-28 1998-02-18 日本電気株式会社 感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
JPH07261392A (ja) * 1994-03-17 1995-10-13 Fujitsu Ltd 化学増幅レジスト及びこれを用いるレジストパターンの形成方法
US6114082A (en) * 1996-09-16 2000-09-05 International Business Machines Corporation Frequency doubling hybrid photoresist having negative and positive tone components and method of preparing the same
KR100273172B1 (ko) * 1998-08-01 2001-03-02 윤덕용 아크릴 측쇄에 디옥사스피로환기 유도체를 갖는 화합물을 이용한 포토레지스트
US6569602B1 (en) * 1998-10-05 2003-05-27 E. I. Du Pont De Nemours And Company Ionization radiation imageable photopolymer compositions
JP3943741B2 (ja) * 1999-01-07 2007-07-11 株式会社東芝 パターン形成方法
JP2000315647A (ja) * 1999-05-06 2000-11-14 Mitsubishi Electric Corp レジストパターン形成方法
JP4083035B2 (ja) * 2002-02-13 2008-04-30 富士フイルム株式会社 電子線、ｅｕｖ又はｘ線用レジスト組成物
AU2003261921A1 (en) * 2002-09-09 2004-03-29 Nec Corporation Resist and method of forming resist pattern
JP2004347985A (ja) * 2003-05-23 2004-12-09 Fuji Photo Film Co Ltd ポジ型レジストパターン形成方法
JP4533771B2 (ja) * 2004-02-20 2010-09-01 富士フイルム株式会社 ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
WO2006056905A2 (en) * 2004-11-25 2006-06-01 Koninklijke Philips Electronics N.V. Lithographic method
JP2006276444A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法
JP4496120B2 (ja) * 2005-03-30 2010-07-07 富士フイルム株式会社 化学増幅型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
TW200715067A (en) * 2005-09-06 2007-04-16 Koninkl Philips Electronics Nv Lithographic method
JP4554665B2 (ja) * 2006-12-25 2010-09-29 富士フイルム株式会社 パターン形成方法、該パターン形成方法に用いられる多重現像用ポジ型レジスト組成物、該パターン形成方法に用いられるネガ現像用現像液及び該パターン形成方法に用いられるネガ現像用リンス液

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