JP2010231866A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スパッタリング装置を用いた成膜工程を含む垂直磁気記録媒体の製造方法であって、成膜時にチャンバー内のターゲット近傍、好ましくはターゲット位置から20mm以内の範囲にほぼ均一な材料ガス分布が存在するように、材料ガスの噴出口を前記ターゲットの近傍に配置した。
【選択図】図1
Description
(構成1)
スパッタリング装置を用いた成膜工程を含む垂直磁気記録媒体の製造方法であって、成膜時の材料ガスの流れがチャンバー内のターゲットの中心部に誘引されるように、材料ガスの噴出口を前記ターゲットの近傍に配置したことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
スパッタリング装置を用いた成膜工程を含む垂直磁気記録媒体の製造方法であって、成膜時にチャンバー内のターゲット近傍にほぼ均一な材料ガス分布が存在するように、材料ガスの噴出口を前記ターゲットの近傍に配置したことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
前記ターゲットの位置から20mm以内の範囲にほぼ均一な材料ガス分布が存在するようにすることを特徴とする構成2に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
(構成4)
前記ターゲットと相対する位置であって、前記ターゲットの外周部に沿って、複数の材料ガス噴出孔を設けることを特徴とする構成1乃至3のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
前記ターゲット又は前記ターゲット固定部材に隙間を設け、該隙間に材料ガス噴出孔を設けることを特徴とする構成1乃至3のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
(構成6)
前記ターゲットの外側に配設されたカソードシールドに材料ガス噴出孔を設けることを特徴とする構成1乃至3のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
前記カソードシールドに設けた材料ガス噴出孔から噴出された材料ガスを前記カソードシールド壁面に衝突させ、その反射された材料ガスを前記ターゲットに向かって導入することを特徴とする構成6に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
まず、本発明により製造される垂直磁気記録媒体の概略を説明する。
本発明に係わる垂直磁気記録媒体の構成としては、具体的には、例えば、基板上に、密着層、軟磁性層、シード層、下地層、磁気記録層(垂直磁気記録層)、保護層、潤滑層などを積層したものである。
具体的に上記強磁性層を構成するCo系磁性材料としては、非磁性物質である酸化ケイ素、酸化チタン(TiO2)等を含有するCoCrPt(コバルト−クロム−白金)からなる硬磁性体のターゲットを用いて、hcp結晶構造を成型する材料が望ましい。また、この強磁性層の膜厚は、例えば20nm以下であることが好ましい。
また、上記磁気記録層を複数層有する構成とし、各磁気記録層の間に磁気的な結合を調整するための非磁性層を設ける構成とすることができる。
中央のチャンバー12内には2つのターゲット2,2がターゲット固定部材7によって所定位置に取り付けられており、ターゲット2の外側にはカソードシールド5及びリングシールド6が配設されている。チャンバー12の上面には材料ガス導入口8が設置され、チャンバー12の上部にはガス流量制御器(マスフロー)3が取り付けられている。また、チャンバー12の底部には、排気用の真空ポンプ4が設置されている。
このガス噴出し位置はガス導入口8が取り付いているシールドに、ターゲット面から40mm程離れたターゲット近傍の位置に設けるのが望ましい。この場合、該材料ガス噴出孔9から噴出された材料ガスはターゲット2に対してほぼ垂直に当たる。図中の太線Aは、材料ガスの大まかな流れを示している。
図2の実施の形態においては、ターゲット2をリール状に変更し、ターゲット2外周側の周方向に沿って複数の隙間を設け、該複数の隙間に材料ガス噴出孔10を設けている。図中の太線Aは、この場合の材料ガスの大まかな流れを示している。
図3の実施の形態においては、ターゲット2の外側に配設されたカソードシールド5にターゲット外周部に沿うように複数の材料ガス噴出孔11を設けている。この場合、該カソードシールド5に設けた材料ガス噴出孔11から噴出された材料ガスをリングシールド(カソードシールド壁面)6に衝突させ、その反射させた材料ガスをターゲット2に向かって導入している。図中の太線Aは、この場合の材料ガスの大まかな流れを示している。
特に低成膜圧力において前述の従来技術の課題が発生するので、低い圧力で成膜される必要のある例えば前記補助記録層や複数の磁気記録層間の非磁性層を備える構成の垂直磁気記録媒体の製造に本発明は特に好適である。
(実施例)
アモルファスのアルミノシリケートガラスをダイレクトプレスで円盤状に成型し、ガラスディスクを作成した。このガラスディスクに研削、研磨、化学強化を順次施し、化学強化ガラスディスクからなる平滑な非磁性ガラス基板を得た。ディスク直径は65mmである。このガラス基板の主表面の表面粗さをAFM(原子間力顕微鏡)で測定したところ、Rmaxが2nm、Raが0.2nmという平滑な表面形状であった。なお、Rmax及びRaは、日本工業規格(JIS)に従う。
まず、密着層としてCrTi層を成膜した。
次に、軟磁性層として、FeCoTaZr、Ru層、FeCoTaZrを成膜した。
次にシード層としてNiWを成膜し,下地層として2層のRu層を成膜した。
さらに、その上に垂直磁気記録層として、CoCrPt-CrO酸化物を第1記録層とし、CoCrPt-SiO酸化物-TiO酸化物を第2記録層とし、磁気結合制御層として、Ruを成膜した後、補助記録層として、CoCrPtBを成膜した。この補助記録層の成膜には、前述の図3のカソードシールドにスパイラル状の材料ガス噴出孔を設け、材料ガス、ArガスやO2、N2、これらの混合ガスをリングシールドに衝突させ、螺旋型に排気できる材料ガスの導入方法で成膜を行った。なお、補助記録層以外の成膜は従来方式でガス導入を実施した。
以上の製造工程により、実施例の垂直磁気記録媒体が得られた。
基板上への密着層から補助記録層までの成膜において、図4の従来の材料ガス導入方法にしたがって成膜を行い、比較例の垂直磁気記録媒体を作製した。なお、各層の材料、膜厚は実施例と同じである。
[磁気特性評価]
磁気特性の評価は、垂直磁気特性Kerr効果測定装置(米国テンコール社製、モデルModel-32kt Gauss meter)を用いて行った。基板面内角度(X軸)に対する保磁力Hc(Y軸)の分布を評価した結果を図5に示した。(a)は実施例、(b)は比較例の垂直磁気記録媒体の結果である。なお、測定角度180度が排気側に位置する。
2 ターゲット
5 カソードシールド
6 リングシールド
7 ターゲット固定部材
8 材料ガス導入口
9,10,11 材料ガス噴出孔
12 チャンバー
Claims (7)
- スパッタリング装置を用いた成膜工程を含む垂直磁気記録媒体の製造方法であって、
成膜時の材料ガスの流れがチャンバー内のターゲットの中心部に誘引されるように、材料ガスの噴出口を前記ターゲットの近傍に配置したことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - スパッタリング装置を用いた成膜工程を含む垂直磁気記録媒体の製造方法であって、
成膜時にチャンバー内のターゲット近傍にほぼ均一な材料ガス分布が存在するように、材料ガスの噴出口を前記ターゲットの近傍に配置したことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - 前記ターゲットの位置から20mm以内の範囲にほぼ均一な材料ガス分布が存在するようにすることを特徴とする請求項2に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記ターゲットと相対する位置であって、前記ターゲットの外周部に沿って、複数の材料ガス噴出孔を設けることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記ターゲット又は前記ターゲット固定部材に隙間を設け、該隙間に材料ガス噴出孔を設けることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記ターゲットの外側に配設されたカソードシールドに材料ガス噴出孔を設けることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 前記カソードシールドに設けた材料ガス噴出孔から噴出された材料ガスを前記カソードシールド壁面に衝突させ、その反射された材料ガスを前記ターゲットに向かって導入することを特徴とする請求項6に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
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JP2009080732A JP2010231866A (ja) | 2009-03-29 | 2009-03-29 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9105279B2 (en) | 2012-06-18 | 2015-08-11 | Hitachi, Ltd. | Microwave assisted magnetic recording and magnetic storage device |
CN111593311A (zh) * | 2020-06-23 | 2020-08-28 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 用于半导体工艺设备中的靶材和半导体工艺设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH05230640A (ja) * | 1992-02-25 | 1993-09-07 | Fujitsu Ltd | スパッタ装置 |
JPH07238370A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Mitsubishi Electric Corp | スパッタリング式成膜装置 |
JP2001040474A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理方法とその装置 |
JP2004346406A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Anelva Corp | スパッタリング装置 |
-
2009
- 2009-03-29 JP JP2009080732A patent/JP2010231866A/ja active Pending
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