JP2010223790A - プローブカード検査方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカード検査方法及び装置においては、ホルダー付きプローブカードを有する移載機をプローブカード検査装置に連結せしめ、ホルダー付きプローブカードを受け取り、検査装置上に移載せしめる、ホルダー受け部材が原点に戻ったとき上昇手段によってホルダー受け部材とホルダー付きプローブカードを上昇させプローブカードを観察手段によって観察し、ホルダー付きプローブカード挟持手段によってホルダー付きプローブカードを反転枠に固定せしめ、ホルダー受け部材を下降せしめ、上記プローブカード反転枠を180度回転せしめ、プローブカードの下面(裏面)を観察手段によって観察する。
【選択図】図3
Description
2 検査装置
3 支えピン
4 移載機
5 受け部材
6 前後及び上下動手段
7 軸
8 プローブカード挟持手段
9 プローブカード反転枠
10 プローブカード反転手段
11 駆動ローラ
12 プローブカード回動手段
13 観察手段
15 プローブカード載せ部
16 下部ロック手段
Claims (4)
- ホールダー付きプローブカードを観察、検査する検査装置と、この検査装置に上記ホルダー付きプローブカードを移載するためのプローブカード移載機とより成り、上記検査装置が、上記ホルダー付きプローブカードを受け取るホルダー受け部材と、このホルダー受け部材を前後及び上下動せしめる前後及び上下動手段と、上記ホルダー付きプローブカードをクランプするプローブカード反転枠と、このプローブカード反転枠を180度回転せしめる手段と、上記ホルダー付きプローブカードを観察する手段とを有することを特徴とするプローブカード検査装置。
- 上記プローブカード反転枠によってクランプされた上記ホールダー付きプローブカードを上記プローブカード反転枠に相対的に水平面内で所定円周角回転せしめる手段を更に有することを特徴とする請求項1記載のプローブカード検査装置。
- ホルダー付きプローブカードを有する移載機をプローブカード検査装置に連結せしめる工程と、
上記検査装置における前後及び上下動手段によって検査装置側ホルダー受け部材を前後に移動し、ホルダー付きプローブカードを受け取り、検査装置上に移載せしめる工程と、
検査装置側ホルダー受け部材が原点に戻ったとき上昇手段によって検査装置側ホルダー受け部材とホルダー付きプローブカードを上昇させる工程と、
ホルダー付きプローブカード挟持手段によってホルダー付きプローブカードをプローブカード反転枠に固定せしめる工程と、
上記プローブカード反転枠を180度回転せしめ、プローブカードの下面(裏面)を観察手段によって観察する工程とより成ることを特徴とするプローブカード検査方法。 - ホルダー付きプローブカードを有する移載機をプローブカード検査装置に連結せしめる工程と、
上記検査装置における前後及び上下動手段によって検査装置側ホルダー受け部材を前後に移動し、ホルダー付きプローブカードを受け取り、検査装置上に移載せしめる工程と、
検査装置側ホルダー受け部材が原点に戻ったとき上昇手段によって検査装置側ホルダー受け部材とホルダー付きプローブカードを上昇させる工程と、
ホルダー付きプローブカードを挟持手段によってホルダー付きプローブカードをプローブカード反転枠に固定せしめる工程と、
ホルダー付きプローブカードを上記プローブカード反転枠に相対的に水平面内で所定円周角回転せしめる工程と、
上記プローブカード反転枠を180度回転せしめ、プローブカードの下面(裏面)を観察手段によって観察する工程とより成ることを特徴とするプローブカード検査方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61283138A (ja) * | 1985-06-07 | 1986-12-13 | Canon Inc | プロ−バ |
JPH01309346A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-12-13 | Tokyo Electron Ltd | 高周波測定用プローブ装置 |
JP2570151Y2 (ja) * | 1992-02-17 | 1998-05-06 | 株式会社東京精密 | 半導体素子検査装置 |
JPH11125647A (ja) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | プローブカード検査方法 |
JP2007147536A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード移載補助装置及び検査設備 |
JP2008016676A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード自動交換機構及び検査装置 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61283138A (ja) * | 1985-06-07 | 1986-12-13 | Canon Inc | プロ−バ |
JPH01309346A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-12-13 | Tokyo Electron Ltd | 高周波測定用プローブ装置 |
JP2570151Y2 (ja) * | 1992-02-17 | 1998-05-06 | 株式会社東京精密 | 半導体素子検査装置 |
JPH11125647A (ja) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | プローブカード検査方法 |
JP2007147536A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード移載補助装置及び検査設備 |
JP2008016676A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード自動交換機構及び検査装置 |
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