JP2010221696A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】駆動部を形成するそれぞれの圧電体を分離してクロストークを低減できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、インクを収容する複数のチャンバが形成されるインクジェットヘッドを製造する方法であって、チャンバの位置に対応して圧電体の一面が区画されるように圧電体の一面に分離溝を形成する工程と、分離溝の位置に合わせて圧電体の他面が区画されるように圧電体の他面に位置合わせ溝を形成する工程と、チャンバの位置に対応して位置合わせ溝が配置されるように圧電体をチャンバが形成されるインクジェットヘッドの一面に配置する工程と、圧電体の一面をインクジェットヘッドの一面に接合する工程と、分離溝が露出するように圧電体を分離する工程と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、インクを収容する複数のチャンバが形成されるインクジェットヘッドを製造する方法であって、チャンバの位置に対応して圧電体の一面が区画されるように圧電体の一面に分離溝を形成する工程と、分離溝の位置に合わせて圧電体の他面が区画されるように圧電体の他面に位置合わせ溝を形成する工程と、チャンバの位置に対応して位置合わせ溝が配置されるように圧電体をチャンバが形成されるインクジェットヘッドの一面に配置する工程と、圧電体の一面をインクジェットヘッドの一面に接合する工程と、分離溝が露出するように圧電体を分離する工程と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関する。
インクジェットプリンタは電気的信号を物理的な力に変換してノズルを介してインク液滴を吐出することにより印刷が行われる装置である。近年、インクジェットヘッド技術は、従来の紙や繊維に印刷するグラフィックインクジェット産業分野だけではなく、プリント基板、LCDパネルなどの電子部品製作にも使用されるなど、その適用が拡大されている。
しかし、従来のグラフィックプリント技術に比べて、機能性インクを正確かつ精密に吐出しなければならない電子部品用インクジェットプリント技術においては、従来には要求されなかった機能が要求される。
インクジェットヘッドは、インクを収容するチャンバ、インクが吐出されるようにチャンバの一側に形成されるノズル、及びチャンバの他側に形成されるメンブレイン上に結合する駆動部を含んでなることができる。このとき、駆動部の動作によりメンブレインを介してチャンバに圧力が提供されると、チャンバに収容されていたインクはノズルを介して吐出される。
一方、従来には圧電体をインクジェットヘッドの一面のメンブレインに接合した後、それぞれのチャンバ上に独立した駆動部を形成するためにダイシング(dicing)工程が行われた。
このとき、圧電体を完全に切断するためにダイシング工程を行うと、インクジェットヘッドのメンブレインをなすシリコン基板に大きなストレスを与えることがある。しかし、この問題から圧電体を完全に切断しないと、隣接するそれぞれの駆動部が互いに連結されてクロストーク(crosstalk)を誘発することがある。
さらに、ダイシング工程時、インクジェットヘッドのシリコン基板へのストレスを最小化するために薄い切断刃(saw blade)を用いて二回のダイシング工程を行うと、隣接した駆動部間に壁(wall)形態の圧電体の残存物が残って、クロストークを誘発する原因となった。
こうした従来技術の問題点に鑑み、本発明は、クロストークを低減できる駆動部を備えたインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一実施形態によれば、インクを収容する複数のチャンバが形成されるインクジェットヘッドを製造する方法であって、チャンバの位置に対応して圧電体の一面が区画されるように圧電体の一面に分離溝を形成する工程と、分離溝の位置に合わせて圧電体の他面が区画されるように圧電体の他面に位置合わせ溝を形成する工程と、チャンバの位置に対応して位置合わせ溝が配置されるように圧電体をチャンバが形成されるインクジェットヘッドの一面に配置する工程と、圧電体の一面をインクジェットヘッドの一面に接合する工程と、分離溝が露出するように圧電体を分離する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
ここで、分離溝を形成する工程は圧電体の一面をダイシングすることで行われてもよく、分離溝を形成する工程は圧電体の一側を基準として行われてもよい。そして、位置合わせ溝を形成する工程は圧電体の一側を基準として圧電体の他面をダイシングすることで行われてもよい。
また、圧電体を分離する工程は、位置合わせ溝の位置に合わせて圧電体の他面をダイシングすることで行われてもよく、このとき、圧電体を分離する工程は、位置合わせ溝及び分離溝よりも小さい幅で圧電体の他面をダイシングすることで行われてもよい。
位置合わせ溝を形成する工程は、分離溝の深さと同一に位置合わせ溝を形成してもよく、また、位置合わせ溝を形成する工程は、分離溝の幅と同一に位置合わせ溝を形成してもよい。
本発明の実施形態によれば、駆動部をなすそれぞれの圧電体を分離してクロストークを低減できるインクジェットヘッドを製造することができる。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施例を有することができるため、本願では特定実施例を図面に例示し、詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物及び代替物を含むものとして理解されるべきである。
先ず、図1はインクジェットヘッド100の構造を示す側断面図であり、図2はインクジェットヘッド100の構造を示す正断面図である。図1及び図2に示すように、インクジェットヘッド100は、リザーバ110、リストリクタ108、チャンバ106、メンブレイン107、駆動部120、及びノズル104を含むことができる。
リザーバ110はインクを収容し、以下で説明するリストリクタ108を介してチャンバ106にインクを供給する。リザーバ110は流入口112を介してインクジェットヘッド100の外部からインクの供給を受けることができる。
リストリクタ108は、リザーバ110と以下で説明するチャンバ106とを連結させてリザーバ110からチャンバ106にインクを供給するチャンネルとしての機能を行うことができる。
リストリクタ108はリザーバ110よりも小さい断面積を有するように形成され、後述する駆動部120によりチャンバ106に圧力が提供される場合、リザーバ110からチャンバ106に供給されるインクの流れを制御することができる。
チャンバ106の一端はリストリクタ108に連結され、その他端はノズル104に連結される。チャンバ106はインクジェットヘッド100の内部に形成されてインクを収容し、その一側はメンブレイン107によりカバーされる。チャンバ106は、インクジェットヘッド100の長手方向に沿って複数個が並んで形成されてもよく、チャンバ106間には隔壁109が形成されてそれぞれのチャンバ106を区画することができる。
ノズル104、チャンバ106、メンブレイン107、リストリクタ108、リザーバ110、及び流入口112は、複数のシリコンウェハを積層して形成されるボディ102内に形成されることができる。
メンブレイン107上には駆動部120が結合される。駆動部120は、チャンバ106に圧力を提供する部分であって、メンブレイン107が形成されるインクジェットヘッド100の一面にチャンバ106に対応して並んで結合されてもよい。
駆動部120は、圧電体と、圧電体に電気的接続を提供する共通電極(図示せず)及び個別電極(図示せず)を含んでなることができる。駆動部120に電圧が印加されると、圧電体が上下方向に変形されてメンブレイン107を介してチャンバ106に圧力を提供することができる。
ノズル104は、チャンバ106を中心として駆動部120と対向して形成される。チャンバ106に収容されているインクが圧力を受けて、ノズル104を介してインクジェットヘッド100の外部に吐出されることができる。
以下、本発明によるインクジェットヘッド100の製造方法の実施例を添付図面を参照して詳細に説明し、添付図面を参照して説明するに当たって、同一または対応する構成要素は同一の図面番号を付し、これに対する重複説明は省略する。
図3は本発明の一実施例によるインクジェットヘッド100の製造方法を示す順序図である。図3に示すように、本発明の一実施例によるインクジェットヘッド100の製造方法は、ステップS100で、チャンバ106の位置に対応して圧電体200の一面が区画されるように圧電体200の一面に分離溝210を形成する工程と、ステップS200で、分離溝210の位置に合わせて圧電体200の他面が区画されるように圧電体200の他面に位置合わせ溝220を形成する工程と、ステップS300で、チャンバ106の位置に対応して位置合わせ溝220が配置されるように圧電体200をチャンバ106が形成されるインクジェットヘッド100の一面に配置する工程と、ステップS400で、圧電体200の一面をインクジェットヘッド100の一面に接合する工程と、ステップS500で、分離溝210が露出するように圧電体200を分離する工程と、を含むことにより、駆動部120をなすそれぞれの圧電体200を分離してクロストークを低減できるインクジェットヘッド100を製造することができる。
図4は、本発明の一実施例によるインクジェットヘッド100の一部を示す平面図である。図4に示すように、チャンバ106はインクジェットヘッド100の内部にインクを収容するように形成され、複数のチャンバ106がインクジェットヘッド100の長手方向に沿って並んで形成されてもよい。
図5は、本発明の一実施例による分離溝210を形成する工程を示す斜視図である。ステップS100で、図5に示すように、チャンバ106の位置に対応して圧電体200の一面が区画されるように、圧電体200の一側を基準として圧電体200の一面をダイシングして分離溝210を形成することができる。
圧電体200は、圧電セラミックが厚膜の形態を有するように焼結されたものであってもよい。圧電体200は一定の厚さを有し、長手方向に延長される形態を有してもよい。圧電体200の他面は、例えば、紫外線テープ(UV tape)400のようなキャリア上に付着された状態で、ダイシング工程を行ってもよい。
圧電体200の一側は、例えば、ジグ402のような固定物で支持されてもよく、これにより、ダイシング工程の間にダイシングブレード(dicing blade)と一定の位置関係を維持することができる。
分離溝210はチャンバ106の位置に対応して、具体的に、チャンバ106の隔壁109の位置と一致するように圧電体200の一面に形成でき、ダイシング工程により形成可能である。
すなわち、圧電体200の一側を開始点としてチャンバ106の隔壁109の位置に合わせて離隔して分離溝210を形成することにより、圧電体200の一側をダイシング工程の基準点として利用することができる。
分離溝210は、以後のダイシングにより圧電体200を分離するステップS500で圧電体200が完全に分離されるように、インクジェットヘッド100の一面に接合される圧電体200の一面に形成されるものであってもよい。
このとき、圧電体200を分離するステップS500での分離溝210の深さはダイシング工程の誤差を考慮して、ダイシングブレードがメンブレイン107を損傷しないようにダイシングブレードとメンブレイン107との間に確保しなければならない距離以上であってもよい。
分離溝210が形成されると、圧電体200の他面に付着された紫外線テープ400を除去し、圧電体200の一面に紫外線テープ400を付着して後の工程で圧電体200を支持することができる。
図6は、本発明の一実施例による位置合わせ溝220を形成する工程を示す斜視図である。ステップS200で、図6に示すように、分離溝210の位置に合わせて圧電体200の他面が区画されるように、圧電体200の一側を基準として圧電体200の他面をダイシングして位置合わせ溝220を形成することができる。
位置合わせ溝220は、圧電体200の一面に形成された分離溝210と同じ位置の圧電体200の他面に形成される。このとき、圧電体200の一側をジグ402で固定して圧電体200の他面をダイシングすることにより、圧電体200の一側を基準として位置合わせ溝220と分離溝210を圧電体200の両面の同じ位置にそれぞれ形成することができる。
位置合わせ溝220の幅w2及び深さd2は、分離溝210の幅w1及び深さd1と同様に形成されることができる。これにより、圧電体200は上下対称構造を有することになり、以後の圧電体200をインクジェットヘッド100の一面に接合する工程で圧電体200に熱が加えられた場合に発生する反り(warpage)を防止することができる。
位置合わせ溝220が形成されたら、紫外線テープ400は除去され、圧電体200は後の工程に進む。
図7は、本発明の一実施例による圧電体200を接合する工程を示す正断面図である。ステップS300で、図7に示すように、チャンバ106の位置に対応して位置合わせ溝220が配置されるように圧電体200をチャンバ106が形成されるインクジェットヘッド100の一面に配置することができる。
分離溝210はインクジェットヘッド100の一面と対向する圧電体200の一面に形成され、これと同じ位置の圧電体200の他面に位置合わせ溝220が形成されるので、位置合わせ溝220の位置を用いて分離溝210の位置を確認することができる。
具体的に、圧電体200の一面とインクジェットヘッド100の一面とが対向するように圧電体200をインクジェットヘッド100の一面に配置した後、位置合わせ溝220がチャンバ106の隔壁109の位置と同じ位置に配置されるように圧電体200の位置を調節して、圧電体200とインクジェットヘッド100を容易に位置合わせすることができる。
圧電体200をインクジェットヘッド100の一面上に配置する前に、インクジェットヘッド100の一面に導電層を形成することにより、圧電体200に電気的接続を提供する共通電極を形成することができる。共通電極を形成した後に共通電極上にエポキシ樹脂のような接合剤を塗布して圧電体200とインクジェットヘッド100の一面との間に接合層を形成することができる。
次に、ステップS400で、圧電体200の一面をインクジェットヘッド100の一面に接合することができる。圧電体200を接合する工程は、接合剤が接合力を有する温度まで接合剤を加熱して圧電体200をインクジェットヘッド100側に加圧することで行われることができる。
上述したように、このとき、圧電体200は上下対称構造を有するので、反りの発生を防止することができる。
図8は、本発明の一実施例による圧電体200を分離する工程を示す正断面図である。ステップS500で、図8に示すように、分離溝210が露出するように、位置合わせ溝220の位置に合わせて圧電体200の他面をダイシングして圧電体200を分離することができる。
位置合わせ溝220は分離溝210と同じ位置に形成されるので、圧電体200を分離する工程でのダイシング工程は位置合わせ溝220の位置に合わせて行われることができる。つまり、位置合わせ溝220を用いてダイシング工程の位置合わせの精度を向上させることができる。
本工程で用いられるダイシングブレードの幅は、上述した分離溝210を形成するステップS100及び位置合わせ溝220を形成するステップS200で用いられるダイシングブレードの幅より小さくてもよい。これにより、位置合わせ溝220と分離溝210との間に発生し得る段差の発生を防止することができる。
また、ダイシング工程は、圧電体200の両面に形成された位置合わせ溝220と分離溝210が貫通されるように行われて、圧電体200が分離されて形成されるそれぞれの駆動部120間を完全に分離することができる。
したがって、隣接する駆動部120が互いに連結されて隣接するチャンバ106間に振動が伝達されることによるクロストークの発生を防止することができる。
一方、圧電体200を分離するステップS500の後に、分離されたそれぞれの圧電体200に個別電極を付着してそれぞれの駆動部120を形成することができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
100 インクジェットヘッド
106 チャンバ
107 メンブレイン
120 駆動部
200 圧電体
210 分離溝
220 位置合わせ溝
106 チャンバ
107 メンブレイン
120 駆動部
200 圧電体
210 分離溝
220 位置合わせ溝
Claims (8)
- インクを収容する複数のチャンバが形成されるインクジェットヘッドを製造する方法であって、
前記チャンバの位置に対応して圧電体の一面が区画されるように前記圧電体の一面に分離溝を形成する工程と、
前記分離溝の位置に合わせて前記圧電体の他面が区画されるように前記圧電体の他面に位置合わせ溝を形成する工程と、
前記チャンバの位置に対応して前記位置合わせ溝が配置されるように前記圧電体を前記チャンバが形成される前記インクジェットヘッドの一面に配置する工程と、
前記圧電体の一面を前記インクジェットヘッドの一面に接合する工程と、
前記分離溝が露出するように前記圧電体を分離する工程と、
を含むインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記分離溝を形成する工程が、
前記圧電体の一面をダイシングして行われることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記分離溝を形成する工程が、
前記圧電体の一側を基準として行われることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記位置合わせ溝を形成する工程が、
前記圧電体の一側を基準として前記圧電体の他面をダイシングして行われることを特徴とする請求項3に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記圧電体を分離する工程が、
前記位置合わせ溝の位置に合わせて前記圧電体の他面をダイシングして行われることを特徴とする請求項4に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記圧電体を分離する工程が、
前記位置合わせ溝及び前記分離溝よりも小さい幅で前記圧電体の他面をダイシングして行われることを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記位置合わせ溝を形成する工程が、
前記分離溝の深さと同一に前記位置合わせ溝を形成することを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記位置合わせ溝を形成する工程が、
前記分離溝の幅と同一に前記位置合わせ溝を形成することを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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