JP2010215432A - シリカガラスの加熱成形装置及び加熱成形方法 - Google Patents
シリカガラスの加熱成形装置及び加熱成形方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】シリカガラスの加熱成形装置10は、シリカガラス1を収納するカーボン容器11と、このシリカガラス1をカーボン容器11内で溶融させて加熱加工させる真空加熱炉12と、を備えている。そして、カーボン容器11は、その内側に緩衝材14を設置し、さらに緩衝材14の内側に密度0.5g/cm3〜2.0g/cm3のカーボンホイル15を内設している。
【選択図】図1
Description
これにより、フェルト材102がクッション性を持たなくなり、冷却時のグラファイト製成形容器101の収縮がフェルト材102で吸収できなくなって、シリカガラス103を破損させる虞があった。
また、緩衝材が劣化していないので、冷却時にカーボン容器が収縮する際に、これを緩衝材が吸収することができる。これにより、シリカガラスの破損が防止され、高品質なシリカガラスを成形することができる。
なお、カーボンホイルの密度が下限値0.5g/cm3を下回ると、加熱溶融したシリカガラスと接触した際に、劣化して消滅してしまい易くなる。カーボンホイルが消滅してしまうと、緩衝材にシリカガラスが直接接触する形になってしまうため、緩衝材の劣化が始まってしまう。逆に、密度が上限値2.0g/cm3を超えると、可撓性が乏しくなる。これにより、緩衝材内側ヘの内設が困難になったり、セット中にカーボンホイル自体に亀裂が入ってしまう。
内側に緩衝材を設置し、さらに該緩衝材の内側に密度0.5g/cm3〜2.0g/cm3のカーボンホイルを内設したカーボン容器内に柱形状のシリカガラスを収納し、該カーボン容器を加熱炉内に設置して、前記シリカガラスを潰して断面積が大きくなるように加熱加工することを特徴としている。
緩衝材の劣化を防止することができるため、シリカガラス冷却時にカーボン容器が収縮する際に、これを緩衝材が吸収することができ、シリカガラスの破損が防止され、高品質なシリカガラスを成形することができる。
また、緩衝材が劣化しないので、冷却時にカーボン容器が収縮する際に、これを緩衝材が吸収することができる。これにより、シリカガラスの破損が防止され、高品質なシリカガラスを成形することができる。
図1は本発明の一実施形態に係るシリカガラスの加熱成形方法を適用する成形前の加熱成形装置の断面図、図2は図1の成形後の断面図である。
なお、カーボン容器11や緩衝材14等のカーボン部品に含まれる灰分は、10wtppm以下の高純度品が望ましい。灰分の割合が大きいと、カーボン部品に含まれる不純物がシリカガラス1に浸透してしまう。その結果、後工程でシリカガラス成形体2の表面を削る等して、不純物を除去する必要がある。
これにより、熱処理されたシリカガラス1は、カーボンホイル15の内側まで潰されながら塑性変形して、例えば、外径305mm、高さ48mmのシリカガラス成形体2が成形される。
次に、本発明に係るシリカガラスの加熱成形装置および加熱成形方法の作用効果を確認するために行う実施例について説明する。
具体的には、カーボンホイルの密度ρと厚みt2の積(ρ×t2)の最適範囲について、密度ρが0.2g/cm3、0.5g/cm3、2.0g/cm3、2.2g/cm3の4種類に対して、厚みt2が0.1mm、0.2mm、0.5mm、1.0mm、1.5mmの5種類の各々組み合わせを選択した場合の緩衝材の加熱成形時の熱劣化の有無と、合成石英ガラス成形体のクラックの有無を目視で確認する。その結果を表1に示す。
また、カーボンホイルの厚みt2は、0.1mmと1.5mmの時に複数のNGが発生し、密度ρでは、0.2g/cm3と2.2g/cm3の時に複数のNGが発生する。
したがって、カーボンホイルの最適密度ρは、0.5g/cm3〜2.0g/cm3であり、最適厚みt2は、0.2mm〜1.0mmであり、密度ρと厚みt2の積(ρ×t2)の最適範囲は、0.01≦ρ×t2≦0.2g/cm2であることが分かる。
2 シリカガラス成形体
10 シリカガラスの加熱成形装置
11 カーボン容器
12 真空加熱炉
13 押圧機構
14 緩衝材
15 カーボンホイル
18 押圧板
19 錘
Claims (4)
- 柱形状のシリカガラスが収納されるカーボン容器と、該カーボン容器を内部に設置して加熱する加熱炉と、を備え、該加熱炉内で前記シリカガラスを潰して断面積が大きくなるように加熱加工するシリカガラスの加熱成形装置であって、
前記カーボン容器の内側に緩衝材を設置し、さらに該緩衝材の内側に密度0.5g/cm3〜2.0g/cm3のカーボンホイルを内設することを特徴とするシリカガラスの加熱成形装置。 - 前記カーボンホイルは、その厚みが、0.2mm〜1.0mmであることを特徴とする請求項1記載のシリカガラスの加熱成形装置。
- 前記カーボンホイルは、その密度ρと厚みtの積が、0.01≦ρ×t≦0.2g/cm2を満たすことを特徴とする請求項1または2記載のシリカガラスの加熱成形装置。
- 内側に緩衝材を設置し、さらに該緩衝材の内側に密度0.5g/cm3〜2.0g/cm3のカーボンホイルを内設したカーボン容器内に柱形状のシリカガラスを収納し、該カーボン容器を加熱炉内に設置して、前記シリカガラスを潰して断面積が大きくなるように加熱加工することを特徴とするシリカガラスの加熱成形方法。
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JP2009061619A JP2010215432A (ja) | 2009-03-13 | 2009-03-13 | シリカガラスの加熱成形装置及び加熱成形方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2009
- 2009-03-13 JP JP2009061619A patent/JP2010215432A/ja active Pending
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