JP2006213556A - シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボとその製造方法、および取り出し方法 - Google Patents
シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボとその製造方法、および取り出し方法 Download PDFInfo
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Abstract
【手段】 外表面の全面または一部、好ましくはルツボ側壁の外表面に結晶化促進剤を含有し、高温下で外表面が結晶化するシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、ルツボ外表面の結晶層の厚みが0.5〜2mmとなるように形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボであり、引上げ終了後の冷却時にルツボ外層がサセプターに密着しても小さく破損するので、工具などで破砕する必要がなく、高価なサセプターを損傷する虞がない。
【選択図】 なし
Description
(1)外表面の全面または一部に結晶化促進剤を含有し、高温下で外表面が結晶化するシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、ルツボ外表面の結晶層の厚みが0.5〜2mmとなるように形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボ。
(2)ルツボ側壁の外表面の全面または一部に結晶化促進剤を含有し、ルツボ側壁外表面の結晶層の厚みが0.5〜2mmとなるように形成されている上記(1)の石英ガラスルツボ。
(3)アーク溶融回転モールド法による石英ルツボの製造方法において、ルツボ外表面部分を形成する原料石英粉として結晶化促進剤を混在させたものを用い、結晶化促進剤を含有する原料石英粉の堆積厚みを制御することによって、結晶化時におけるルツボ外表面の結晶層の厚みを0.5〜2mmにする石英ガラスルツボの製造方法。
(4)上記(1)または(2)の石英ガラスルツボを使用したシリコン単結晶引上げ後に、サセプターに装着した状態で使用済みルツボを冷却して破砕し、そのルツボ残を除去することを特徴とする使用済みルツボの取り出し方法。
本発明のルツボは、外表面の全面または一部に結晶化促進剤を含有し、高温下で外表面が結晶化するシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、ルツボ外表面の結晶層の厚みが0.5〜2mmとなるように形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボである。特に、本発明のルツボは、ルツボ側壁の外表面の全面または一部に結晶化促進剤を含有し、ルツボ側壁外表面の結晶層の厚みが0.5〜2mmとなるように形成されている石英ガラスルツボである。
Claims (4)
- 外表面の全面または一部に結晶化促進剤を含有し、高温下で外表面が結晶化するシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、ルツボ外表面の結晶層の厚みが0.5〜2mmとなるように形成されていることを特徴とする石英ガラスルツボ。
- ルツボ側壁の外表面の全面または一部に結晶化促進剤を含有し、ルツボ側壁外表面の結晶層の厚みが0.5〜2mmとなるように形成されている請求項1の石英ガラスルツボ。
- アーク溶融回転モールド法による石英ルツボの製造方法において、ルツボ外表面部分を形成する原料石英粉として結晶化促進剤を混在させたものを用い、結晶化促進剤を含有する原料石英粉の堆積厚みを制御することによって、結晶化時におけるルツボ外表面の結晶層の厚みを0.5〜2mmにする石英ガラスルツボの製造方法。
- 請求項1または2の石英ガラスルツボを使用したシリコン単結晶引上げ後に、サセプターに装着した状態で使用済みルツボを冷却して破砕し、そのルツボ残を除去することを特徴とする使用済みルツボの取り出し方法。
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