JP2010212113A - 電気光学装置、その製造方法、および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】発光時における輝度ムラや、発光色ムラの発生を低減すること。
【解決手段】発光装置１００によれば、それぞれ隔壁で区画された個別のＥＬ層を備えた複数の発光画素ＰａがＸ軸方向に配列される構成となっている。よって、各発光画素Ｐａにおける凹部内での対流が相対的に小さいものとなり、ＥＬ層の層厚のバラつきを低減することができる。さらに、発光画素Ｐａの形状は、開口部１０を横切る部分の幅Ｗ１から、その棒形状の両末端における幅Ｗ２に向って徐々に細くなっている。よって、比較例としてのトラック形状の発光画素に比べて、凹部の面積が小さくなり、同量の液状体を塗布した場合において、より厚いＥＬ層の層厚を得ることができる。従って、層厚の均一化を図ることができるため、輝度ムラや、発光色ムラを低減することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、電気光学装置、その製造方法、および当該電気光学装置を備えた電子機器に関する。

有機ＥＬ（Electro Luminescence）材料が溶解または分散した溶液（以降、「液状体」という）をインクジェット法により隔壁（バンク）に囲まれた凹部に吐出、および乾燥させて、発光画素を形成した電気光学装置が知られている。また、１つの発光画素には、１つ、または複数の開口部が設けられており、当該開口部からＥＬ層が放つ光を出射する構成となっていた。この開口部は、電気光学装置の用途に応じて、ライン状や、マトリックス状に複数配置されていた。
このような液滴吐出法を用いてＥＬ層を形成した場合、複数の開口部間におけるＥＬ層の厚さにバラつきが生じ易く、これに起因して、開口部間における発光輝度のバラつきや、発光色ムラが発生してしまうという問題があった。
特許文献１には、これらの問題を解決するための構成として、１つの大きな隔壁（共通バンク）内に複数の開口部（光出射部）形成するという、技術思想が開示されている。

図１２は従来の発光装置の平面図である。
従来の発光装置５００は、多数の開口部１０を１つの大きな隔壁５２０に囲まれた凹部Ｕに形成したボトムエミッション型の発光装置である。発光装置５００は、電子写真方式プリンタのライン状の露光ヘッドに用いられ、複数の開口部１０から放たれる光を、紙面の奥行き方向（Ｚ軸（＋）方向）に出射する構成となっていた。

特開２００７−１４１４７２号公報

図１３は、発光画素の出射光の輝度比率を示すグラフである。
しかしながら、従来の発光装置５００では、依然として開口部間における発光輝度のバラつきや、発光色ムラが発生してしまうという課題があった。換言すれば、ＥＬ層の膜厚にバラつきがあるという課題があった。
図１３は、図１２における基板１の長手方向の端部側に位置する開口部１０ｊと、基板１の中央側に位置する開口部１０ｋとが発する光の輝度比率を示したグラフである。
当該グラフに示されるように、端部側の開口部１０ｊの輝度は略１００％を超えているのに対し、中央側の開口部１０ｋの輝度は８０％に満たない明るさであることが解る。

これは、開口部１０ｊにおけるＥＬ層の層厚と、開口部１０ｋにおけるＥＬ層の層厚とが異なることに起因している。この層厚のバラつきの一因は、液状体を吐出した後の乾燥工程において、液状体が隔壁５２０の凹部Ｕ内で対流し、その対流により凹部Ｕの周縁部に厚く析出物が堆積されることによるものと考察される。
特に、発光装置５００は、細長い形状であるため、長手方向の端部と中央部とでは、液状体の溶媒分子分圧が異なり、また、乾燥速度も異なるため、これらの要因も加味されて層厚のバラつきが助長されていた。
また、液状体は、凹部Ｕ内に略均一に塗布されるため、発光に寄与する開口部１０に重なる部分よりも、その周辺部位の方に多く積層されてしまうという課題もあった。換言すれば、開口部１０において、液状体の塗布量に見合うＥＬ層の層厚を得ることが困難であり、ＥＬ材料の利用効率が良いとは言い難かった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例又は形態として実現することが可能である。

（適用例）
第１の方向に略等間隔に配列された複数の発光画素を備えた電気光学装置であって、複数の発光画素の各々は、発光画素の輪郭を形成する隔壁に囲まれて形成された凹部と、凹部に形成された電気光学層と、凹部に形成され、電気光学層が放射する光を出射する開口部と、を少なくとも有し、凹部は、第１の方向と交差する第２の方向の長さが、第１の方向の長さよりも長く形成された棒形状をなし、棒形状における第１の方向の長さを幅としたときに、棒形状における第２の方向の末端における幅が、開口部を横断する部分の幅よりも、細いことを特徴とする電気光学装置。

この電気光学装置によれば、１つの大きな隔壁に囲まれた凹部において、乾燥時に大きな対流が発生していた従来の発光装置と異なり、それぞれ隔壁で区画された個別の電気光学層を備えた複数の発光画素が第１の方向に配列される構成となっている。
よって、各発光画素における凹部内での対流が相対的に小さいものとなり、電気光学層の層厚のバラつきを低減することができる。
また、１つの大きな凹部内に略均一に液状体を塗布していたため、開口部に重なる部分よりも、その周辺部位の方に多く電気光学層（ＥＬ層）が積層されてしまう従来の発光装置と異なり、それぞれ隔壁で区画された個別の凹部に電気光学層を形成する構成となっている。
よって、液状体の塗布量に見合う電気光学層の層厚を得ることが可能となり、材料の利用効率が良い。

さらに、開口部を横断する部分の幅を延在したトラック形状の発光画素と比べた場合、棒形状における長手方向の末端における幅が、開口部を横断する部分の幅よりも細くなっている。
よって、凹部の面積がトラック形状の発光画素よりも小さくなるため、同量の液状体を塗布した場合において、より厚い電気光学層の層厚を得ることができる。
従って、電気光学層の層厚を均一にすることが可能な電気光学装置を提供することができる。さらに、層厚の均一化により、輝度ムラや、発光色ムラを低減することもできる。

また、上記幅は、開口部を横断する部分の幅から、末端に向って徐々に細くなることが好ましい。
また、幅は、開口部を横断する部分の幅から、末端に向って段階的に細くなることが好ましい。
また、末端は、棒形状における一方の末端と、他方の末端との両方であることが好ましい。
また、末端の幅は、開口部の幅と同じか、それよりも細いことが好ましい。
また、棒形状の延在方向が、第２の方向に沿った線分から傾斜していることが好ましい。
また、第１の方向における複数の発光画素の配列の前後には、ダミー発光画素が形成され、ダミー発光画素は、隔壁を少なくとも備え、凹部には、複数の発光画素と同様な電気光学層が形成されることが好ましい。なお、本発明において、ダミー発光画素とは、画素において発光素子から出射された発光光が、表示装置の表示またはプリンタヘッドの光源または照明装置の光源等に利用されない画素、または光を発しない画素である。

また、複数の発光画素のうち、第１の方向に連続して配列された複数の発光画素を含む第１画素行と、第１画素行の第２の方向側に配置され、第１画素行と同様の配列である複数の発光画素を含む第２画素行と、を備え、第１画素行の発光画素と、第２画素行の発光画素との位置は、第２画素行の発光画素の開口部が第１画素行の発光画素の開口部に対して、所定ピッチ分第１の方向にシフトしていることが好ましい。
また、凹部には、複数の開口部が形成されており、複数の開口部は第２の方向において間隙を持って配置されるとともに、複数の発光画素のうち第１の方向において隣り合う発光画素の対応する開口部と、それぞれ配列をなしていることが好ましい。

上記記載の電気光学装置と、電気光学装置の発光画素が出射する光を所定の位置に集光させる光学部材とを、少なくとも備えたことを特徴とする電子機器。

第１の方向に略等間隔に配列された複数の発光画素を備えた電気光学装置の製造方法であって、複数の発光画素の各々は、発光画素の輪郭を形成する隔壁に囲まれて形成された凹部と、凹部に形成された電気光学層と、凹部に形成され、電気光学層が放射する光を出射する開口部と、を少なくとも有し、凹部は、第１の方向と交差する第２の方向の長さが、第１の方向の長さよりも長く形成された棒形状をなし、棒形状における第１の方向の長さを幅としたときに、棒形状における第２の方向の末端における幅が、開口部を横断する部分の幅よりも細く形成されてなり、電気光学層を形成する工程は、電気光学層を構成する溶質を溶解した溶液を凹部に液滴吐出法によって塗布する工程と、溶質を乾燥させる工程と、を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

実施形態１に係る電気光学装置の平面図。 露光ヘッドの概要を示す斜視図。 画素回路、および駆動回路を示す回路図。 図１のｑ−ｑ断面を示す断面図。 （ａ）液状体の塗布工程の一態様を示す断面図、（ｂ）乾燥工程後のＥＬ層を示す断面図。 （ａ）比較例に係る発光装置の平面図、（ｂ）発光画素の比較図。 発光画素の出射光の輝度比率を示すグラフ図。 実施形態２に係る発光装置の平面図。 （ａ），（ｂ）実施形態３に係る発光装置の平面図。 実施形態４に係る発光装置の平面図。 電子機器としてのプリンタを示す模式断面図。 従来の発光装置の平面図。 従来の発光装置における発光画素の出射光の輝度比率を示すグラフ図。 変形例１に係る発光装置の断面図。 （ａ），（ｂ）変形例３に係る発光装置の平面図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。

（実施形態１）
「電気光学装置の概要」
図１は、本実施形態に係る発光装置の平面図である。図２は、露光ヘッドの概要を示す斜視図である。
まず、本発明の実施形態１に係る電気光学装置としての発光装置１００の概要について説明する。なお、図１２で説明した従来の発光装置５００と同一の部位については、同一の番号を附して説明する。
発光装置１００は、電子写真方式プリンタの露光ヘッドの光源として用いられる発光装置であり、図２に示すように、円柱状の感光ドラム７１におけるＸ軸方向（円柱の高さ方向）の側面に沿って配置された露光ヘッド２００に搭載される。
発光装置１００は、ボトムエミッション型の発光装置であり、複数の発光画素Ｐａから図１における紙面の奥行き方向（Ｚ軸（＋）方向）に光を出射する。詳しくは、発光画素Ｐａにおいてハッチングで示された、画素電極の少なくとも一部が絶縁層８から露出するように絶縁層８に形成された開口部１０から光を出射する。
図２の露光ヘッド２００は、発光装置１００、レンズアレイ１８０などから構成されており、発光装置１００から出射される光の焦点をレンズアレイ１８０によって感光ドラム７１の感光体からなる表面（感光面）に合せ、感光面をライン状に照射する。

ここで、感光ドラム７１は、回転軸７９を中心にして矢印方向に回転するため、発光装置１００は、当該回転に同期して、１行ずつ画像信号に応じた輝度で各発光画素を点灯させることにより、感光ドラム７１の感光面を順次露光する。
また、以降の説明において、発光装置１００から捕らえて、感光ドラム７１の回転方向に相当するＹ軸方向のことを「副走査方向」とも表現する。また、副走査方向と交差する方向（Ｘ軸方向）のことを「主走査方向」ともいう。なお、このような露光ヘッド２００や感光ドラム７１を備えた電子機器としてのプリンタの詳細については後述する。

図１に戻る。
発光装置１００は、細長い長方形をなしており、その長手方向（Ｘ軸方向）沿って複数の発光画素Ｐａを備えている。なお、Ｘ軸方向が第１の方向に相当し、Ｙ軸方向が第２の方向に相当している。また、連続して配置された複数の発光画素Ｐａからなる発光画素行の前後には、ダミー画素Ｐｄが１つずつ形成されている。なお、ダミー画素Ｐｄの数は、前後にそれぞれ１つ以上形成されていれば良い。また、Ｙ軸方向に細長い棒形状をなした発光画素Ｐａの中央には、ハッチングで示すように、円形の画素電極の開口部１０が配置されている。
なお、図１は、発光装置１００を光の出射面の反対側から見た平面図であるため、本来、画素電極は観察されないが、説明を容易にするために、図１では、透過図として画素電極の開口部１０を図示している。なお、以降の説明において、画素電極のことを画素電極１０と称することもある。

図１において、発光画素Ｐａおよびダミー画素Ｐｄの形状は、Ｙ軸方向に細長い菱形からなる棒形状をなしており、Ｙ軸方向の末端は角Ｒ４０（丸み）が付けられている。棒形状は、開口部１０をＸ軸方向に横断する部分の幅が、幅Ｗ１で、Ｙ軸方向における末端部の幅が、幅Ｗ１より細い幅Ｗ２となっている。また、Ｙ軸方向における棒形状の長さは、長さＬとなっている。長さＬは、開口部１０の直径Ｆの３倍以上であれば良く、図１においては、約７倍の長さに設定されている。
幅Ｗ２は、角Ｒ４０の略直径となっており、その寸法は、開口部１０の直径Ｆと同じか、それよりも細（短）ければ良く、図１においては、直径Ｆの約半分に設定されている。
幅Ｗ１は、開口部１０の直径Ｆよりも太く（長く）、直径Ｆの１．５倍以上の太さに設定されている。なお、直径Ｆの２倍以上であることが好ましい。
つまり、発光画素Ｐａおよびダミー画素Ｐｄの形状は、開口部１０を横切る部分の幅Ｗ１から、その棒形状の両末端における幅Ｗ２に向って徐々に細くなっている。
なお、これら形状は、各画素を互いに区画する隔壁の輪郭（平面形状）を示しており、発光画素Ｐａから出射される光は、画素電極の開口部１０から出射されることになる。
また、発光画素Ｐａおよびダミー画素Ｐｄは、Ｘ軸方向に略等間隔に配置されている。詳しくは、画素ピッチｍで配列されている。画素ピッチｍは、例えば、約０．０４２ｍｍに設定されている。

「画素回路」
図３は、画素回路、および駆動回路を示す回路図である。
ここでは、発光装置１００の画素回路、および駆動回路の概要について説明する。
図１の発光画素Ｐａの各々には、図３の画素回路４が形成されている。
画素回路４は、画素を選択するためのスイッチングＴＲ１と、ＥＬ層１５に電流を流すための駆動用ＴＲ２と、保持容量Ｃなどから構成されている。また、スイッチングＴＲ１、および駆動用ＴＲ２は、ＴＦＴとして構成されている。
スイッチングＴＲ１のゲート端子には、走査線駆動回路１７からの走査線ＳＬが接続されており、ソース端子には、データ線駆動回路１８からのデータ線ＤＬが接続されている。スイッチングＴＲ１のドレイン端子には、駆動用ＴＲ２のゲート端子と、保持容量Ｃの一端が接続されている。
駆動用ＴＲ２のソース端子と、保持容量Ｃの他端とは、電源電位が供給されているＶＤＤラインに接続されている。そして、駆動用ＴＲ２のドレイン端子は、画素電極１０に接続されている。
また、画素電極１０と、共通電極２３との間には、ＥＬ層１５が配置されている。また、共通電極２３は、アースラインに接続されている。

走査線駆動回路１７、およびデータ線駆動回路１８には、外部機器（図示せず）から画像信号に基づいたタイミング信号、および画像内容を規定したデータ信号が供給される。
走査線駆動回路１７は、シフトレジスタや出力バッファ（いずれも図示せず）を含んで構成され、外部機器からのタイミング信号に基づき、走査線ＳＬに走査信号を供給する。なお、タイミング信号は、感光ドラム７１の回転と同期している。
また、ここでは、画素行が１行の構成となっているが、Ｙ軸方向に複数の画素行が形成される構成であっても良い。
データ線駆動回路１８は、シフトレジスタやラッチ回路（いずれも図示せず）を含んで構成され、外部機器からのタイミング信号、およびデータ信号に基づき、複数のデータ線ＤＬに画像信号に規定された輝度に応じたデータ信号を供給する。

このような画素回路４において、走査信号によってスイッチングＴＲ１が選択されると、当該ＴＦＴはオンし、データ信号が駆動用ＴＲ２に供給される。これにより、駆動用ＴＲ２がオンし、ＶＤＤラインからＥＬ層１５にデータ信号の電圧に応じた電流が流れ、発光層から光が放射される。
また、駆動用ＴＲ２がオンするのと並行して、保持容量Ｃにデータ信号が保持されるため、保持容量Ｃの容量に応じた時間、発光が維持される。
なお、上述の画素回路は、ＥＬ層１５を発光させるための最も基本的な回路構成の一例であり、この回路構成に限定するものではなく、ＥＬ層１５を効率的に発光させることが可能な回路構成であれば、適宜、変更を加えた回路構成を用いることであっても良い。

「発光装置の構成」
図４は、図１のｑ−ｑ断面を示す断面図である。
ここでは、発光装置１００のより詳細な構成について説明する。
発光装置１００は、基板１、素子層６、絶縁層７、画素電極１０、隔壁２０、ＥＬ層１５、共通電極２３などから構成されている。また、発光素子は少なくともＥＬ層１５を含んでいる。
基板１は、ガラス、石英、樹脂（プラスチック、プラスチックフィルム）などの透明な材質から構成されている。
素子層６は、図３で説明した画素回路４の回路素子を含み、ゲート絶縁膜２、絶縁層３、配線層５などから構成されている。詳しくは、基板１上に、非晶質シリコンや、多結晶シリコンなどからなるＴＦＴを含む画素回路４の回路素子が形成され、その上に、ゲート絶縁膜２、および絶縁層３が積層されている。また、絶縁層３の上層には、走査線ＳＬおよびデータ線ＤＬなどの各種配線が形成された配線層５が形成されている。
また、図４に示すように、駆動用ＴＲ２を含むＴＦＴは、隔壁２０に重なるように配置されており、素子層６において画素電極１０の開口部と重なる部分は、透明に形成されている。

絶縁層７は、シリコン酸化物、シリコン窒化物、シリコン酸窒化物などの透明な絶縁材料から構成されている。なお、前述のゲート絶縁膜２や、絶縁層３も同様な材質から構成されており、絶縁層３のことを「第１層間絶縁膜」、絶縁層７のことを「第２層間絶縁膜」ともいう。
絶縁層７の上には、画素電極１０が形成されている。画素電極１０と駆動用ＴＲ２のドレイン端子との間には、絶縁層３，７を貫通するコンタクトホールを介して、当該間を電気的に接続するための配線が形成されている。
画素電極１０は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）や、ＺｎＯなどの透明電極から構成された透明電極である。
また、開口部を除く画素電極１０の上層には、例えば、ＳｉＯ₂からなる絶縁層８が形成されており、ＥＬ層１５に電位を印加可能な有効画素領域を規定している。換言すれば、絶縁層８は、画素電極１０とＥＬ層１５とが接触する領域を区画している。
また、画素電極１０の開口部は、図１に示すように略円形となっており、寸法は、直径Ｆに設定されている。直径Ｆは、例えば、約２５μｍに設定されている。なお、開口部の形状は、円形に限定するものではなく、例えば、正方形や、長方形であっても良い。

隔壁２０は、黒色の樹脂などの絶縁材料からなる断面が台形状のバンクであり、各画素を互いに区画している。材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素系樹脂などを用いることができ、光硬化性であることが好ましい。
隔壁２０は、１μｍ程度の高さ（厚さ）に形成され、その表面は液状体に対して、絶縁層８よりも撥液性を有している。なお、撥液性は、隔壁２０の材質自体が撥液性を有していることであっても良いし、後加工によって、撥液性を付与することであっても良い。また、隔壁２０は、光学的には、ブラックマトリックスの機能を有している。
隔壁２０の平面形状は、図１で説明した通り、Ｙ軸方向に長く、Ｘ軸方向に短い棒形状となっている。

ここで、平面的に隔壁２０に囲まれた凹形状の部分を凹部Ｕと定義している。凹部Ｕとは、図４の断面において、画素電極１０が形成された面を底面として、両端の隔壁２０の傾斜面を側面とし、隔壁２０の天面を結ぶ平面を天面とし、これらの底面、側面、天面によって囲まれた台形部を指している。この台形部が発光素子の形成領域に相当する。また、凹部Ｕのサイズは、当該台形の底面におけるＸ軸、およびＹ軸方向の寸法を用いて表しており、図１における長さＬ、および幅Ｗ１，Ｗ２などの発光画素Ｐａの輪郭を示す寸法も、凹部Ｕの寸法を用いている。

ＥＬ層１５は、正孔注入層や、発光層などを含む複数層から形成された有機ＥＬ発光層である。なお、ＥＬ層１５の形成方法については、後述する。
共通電極２３は、Ｍｇ−Ａｇ合金（例えば重量比１０：１）などの導電性および光反射性を兼ね備えた仕事関数の低い材料から構成された反射層、兼電極であり、ＥＬ層１５および隔壁２０を覆って（ＥＬ層１５および隔壁２０と平面的に重なるように）形成されている。
また、共通電極２３の上層を熱硬化型のエポキシ樹脂で充填し、封止しても良い。ＥＬ層１５は、水分を嫌うため、封止することによって、信頼性を向上させることができる。また、エポキシ樹脂を接着剤として、ガラスや金属などからなる封止基板をさらに備える構成であっても良い。この構成によれば、より防湿性を高めることができる。
このような構成の発光装置１００において、ＥＬ層１５に駆動電流が流れると、ＥＬ層１５は発光し、光を放射する。ＥＬ層１５から放射される光のうち、画素電極１０側に進む光は、画素電極１０を透過して、図４の白矢印で示されるように、基板１からＺ軸（＋）方向に出射される。また、共通電極２３側に進む光は、共通電極２３で反射され、ＥＬ層１５を介して、画素電極１０を透過し、白矢印で示される光に合成されて、基板１からＺ軸（＋）方向に出射される。

「ＥＬ層の形成方法」
図５（ａ）は液状体の塗布工程の一態様を示す断面図であり、（ｂ）は乾燥工程後のＥＬ層を示す断面図である。図５（ａ），（ｂ）ともに、図４（ａ）に対応している。
ここでは、ＥＬ層の形成方法について説明する。
ＥＬ層１５は、正孔注入層１１、中間層１２、発光層１３を含む複数の有機薄膜層からなり、画素電極１０側からこの順に積層されている。
これらの有機薄膜層は液滴吐出法（インクジェット法）を用いて成膜されており、この成膜工程は、「塗布工程」と「乾燥工程」とに大別される。

まず、「塗布工程」では、ダミー画素Ｐｄを含む全ての画素に対して液状体が塗布される。詳しくは、図１の左端のダミー画素Ｐｄから、発光画素行の各発光画素Ｐａ、そして右端のダミー画素Ｐｄまで、順番に液状体が塗布される。また、液状体の吐出量は、液滴吐出装置によって、全ての画素において、略一定になるように制御されている。
図５（ａ）は、正孔注入層１１を形成するための液状体ｄを１つの発光画素Ｐａの凹部Ｕに塗布した状態を示している。
液滴吐出装置（図示せず）の吐出ヘッド３５０から吐出された液状体ｄの液滴は、凹部Ｕに着弾し、図５（ａ）に示すように、凹部Ｕにおいて凸状に充填（塗布）される。なお、液状体ｄが凸状となるのは、隔壁２０が液状体に対して撥液性を有しているためであり、液状体ｄは、その表面張力によって水滴状の膨らみを持って凹部Ｕに満たされることになる。
このようにして、発光装置１００の全ての画素に液状体が塗布されると「乾燥工程」が行われる。なお、液状体の塗布は、インクジェット法に限定するものではなく、凹部Ｕに液状体を塗布可能な方法であれば良い。例えば、ジェットディスペンサ法や、ニードルディスペンサ法などのディスペンサ法を用いることもできる。

「乾燥工程」では、塗布された液状体の溶媒成分を除去し、乾燥した有機薄膜層を形成する。詳しくは、液状体が塗布された状態の発光装置１００を加熱し、溶媒成分を蒸発させることにより液状体を乾燥させて、有機薄膜層を形成する。
加熱方法は、各画素を均一に加熱可能な加熱方法であれば良く、発光装置１００をホットプレート上に載せて加熱する方法や、発光装置１００の上方から赤外線ランプを照射する方法などを採用することができる。また、これらの方法を組み合せても良い。または、減圧環境や、真空環境において乾燥を行っても良い。このような方法によれば、より効率的に乾燥を行うことができる。

このようにして、図５（ｂ）に示すような正孔注入層１１が成膜される。
続いて、成膜された正孔注入層１１の上層に、中間層１２形成用の液状体を用いて、同様に「塗布工程」および「乾燥工程」を行い、中間層１２を成膜する。
最後に、成膜された中間層１２の上層に、発光層１３形成用の液状体を用いて、同様に「塗布工程」および「乾燥工程」を行い、発光層１３を成膜する。
この状態が、図５（ｂ）に示されており、正孔注入層１１、中間層１２、発光層１３の３層構造からなるＥＬ層１５が形成されている。なお、中間層１２は、正孔注入層１１と発光層１３との間に設けられ、発光層１３に対する正孔の輸送性（注入性）を向上させると共に、発光層から正孔注入層に電子が浸入することを抑制するために設けられている。つまり、発光層１３における正孔と電子との結合による発光の効率を改善するものである。また、これらの積層構造に限定するものではなく、正孔注入層１１と発光層１３との２層構造であっても良い。あるいは、正孔注入層１１と、発光層１３と、ＬｉＦ（フッ化リチウム）などからなる電子注入層との３層構造であっても良い。

上述した「塗布工程」で用いられる液状体は、溶剤などの溶媒に、それぞれの有機薄膜層の材料（溶質）を溶解または分散した溶液であり、以下に、好適な各有機薄膜層の材料を挙げる。
正孔注入層１１の材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等のポリチオフェン誘導体にドーパントとしてのポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）を加えた混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）や、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやその誘導体を用いてもよい。
中間層１２の材料としては、例えば、正孔輸送性が良好なトリフェニルアミン系ポリマーを含んだものが挙げられる。

発光層１３の材料としては、蛍光または燐光を発光する発光材料を用いることが好ましい。例えば、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）等のポリチオフェニレン誘導体、ポリメチルフェニレンシラン（ＰＭＰＳ）等を用いることができる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素等の高分子材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクドリン等低分子材料をドープしてもよい。
また、本実施形態では、好適な事例として、上記材料の中から発光波長帯域が赤色に対応した材料を用いて発光層１３を構成している。つまり、各発光画素Ｐａからは、赤色光が出射される構成となっている。また、赤色に限定されず、単色であれば良く、例えば、青色や、緑色に対応した材料を用いることもできる。
特に、赤色に対応した材料を用いた場合には、他の色調に比べて発光寿命が長いことが知られている。
また、発光層１３が赤色に対応している場合、図２の感光ドラム７１の表面（感光面）には、赤色の波長領域を感知する感光体が塗布、または貼り付けられている。

「ＥＬ層の層厚分布」
図５（ｂ）に示すように、ＥＬ層１５の厚さ分布は、画素電極１０に重なる部分よりも、隔壁２０近傍の方が厚くなっている。この現象は、発光画素Ｐａの幅方向（Ｘ軸方向）の断面においても同様である。
つまり、ＥＬ層１５は、凹部Ｕの周縁部に厚く形成されることになる。
これは、いわゆるコーヒーの染み現象に起因したものであり、液状体の乾燥にともない、凹部Ｕの周縁部（隔壁２０の内周縁）に析出物が厚く堆積されて形成されたものである。コーヒーの染み現象とは、液体乾燥時の溶質の自発的な輸送現象である。詳しくは、液滴の乾燥にともない、液体の中心から外側に向かう微小な対流が生じ、溶質が外側に向かって移動し、周縁部に厚く堆積される現象を指す。

図６（ａ）は、比較例に係る発光装置の平面図であり、（ｂ）は、発光画素の比較図である。
ここで、本実施形態に係る発光装置１００によれば、画素電極１０に重なる部分のＥＬ層１５の厚さを、従来の発光装置よりも厚く形成することができる。
ここでは、この現象の理由について、図６（ａ）に示した比較例を用いて説明する。
前述したように、図１２の従来の発光装置５００では、大きな隔壁５２０に囲まれた１つの凹部Ｕに多数の開口部１０を形成する構成であったため、以下の課題があった。
詳しくは、塗布工程において、液状体を１つの凹部Ｕ内に略均一に塗布するため、発光に寄与する開口部１０に重なる部分よりも、その周辺部位の方に多く積層されてしまうという課題があった。また、乾燥工程において、１つの凹部Ｕ内で、コーヒーの染み現象による大きな対流が生じ、図１３で説明したように、開口部の位置によっては大きな層厚差が生じてしまうという課題があった。

これらの課題は、比較例の発光装置４００の構成によっても、一定の解決を図ることができる。
発光装置４００は、細長い長方形をなしており、その長手方向（Ｘ軸方向）沿って複数の発光画素Ｃａを備えている。また、複数の発光画素Ｃａからなる発光画素行の前後には、ダミー画素Ｃｄが１つずつ形成されている。また、発光画素Ｃａの形状は、開口部１０をＸ軸方向に横切る部分の幅が、幅Ｗ１で、Ｙ軸方向の長さが、長さＬの棒形状をなしている。長さＬ方向の端部には、角Ｒ４１（丸み）が付けられている。換言すれば、幅Ｗ１を直径とする２つの半円（角Ｒ４１）間を略平行な２本の直線で結んだトラック形状となっている。
発光装置４００は、上述したように、発光画素Ｃａの平面形状が発光画素Ｐａと異なること以外は、発光装置１００と同様である。

発光装置４００によれば、それぞれ隔壁で互いに区画された個別のＥＬ層を備えた複数の発光画素ＣａがＸ軸方向に配列される構成となっている。
この構成により、１つの大きな隔壁２０に囲まれた凹部Ｕにおいて、乾燥時に大きな対流が発生していた従来の発光装置と比べて、各発光画素Ｃａにおける凹部内での対流が相対的に小さいものとなり、ＥＬ層の層厚のバラつきを低減することができる。
また、それぞれ隔壁で互いに区画された個別の凹部ごとに、選択的にＥＬ層を塗布する構成となっている。この構成により、１つの大きな凹部Ｕ内に略均一に液状体を塗布していたため、開口部の周辺部位の方に多くのＥＬ層が取られてしまっていた従来の発光装置と比べて、同量の液状体を塗布した場合において、開口部に重なる部分により厚くＥＬ層を積層することが可能となっている。
このように、比較例の発光装置４００によっても、従来の発光装置５００の課題について、一定の解決を図ることが可能であった。

発光装置１００は、比較例の発光装置４００をさらに改良したものであり、発光装置４００よりも、開口部により厚くＥＬ層を積層することができる。
図６（ｂ）は、比較例の発光画素Ｃａと発光装置１００の発光画素Ｐａとを重ねた状態で示した平面図である。
図６（ｂ）に示すように、発光装置１００の発光画素Ｐａは、その端部に向って細く形成されているため、その外形は、トラック形状の発光画素Ｃａの中に納まることになる。
つまり、発光画素Ｐａの面積は、発光画素Ｃａの面積より、ハッチングで示した分だけ小さくなっている。
これにより、発光画素Ｐａと発光画素Ｃａとに、同一量の液状体を塗布した際に、例えば、例えば、コーヒーの染み現象によって同じ分量の液状体が取られたとしても、残る液状体の分量は、発光画素Ｐａの方が多くなり、その結果、開口部に積層されるＥＬ層の厚さが、発光画素Ｃａよりも厚くなる。
また、発光画素Ｐａの外形が発光画素Ｃａの外形内に収まっていることから明らかなように、発光画素Ｐａの外周は、発光画素Ｃａの外周よりも短くなる。
よって、コーヒーの染み現象によってＥＬ層が厚く積層される周縁部の長さが短くなるため、その分、開口部に積層されるＥＬ層の厚さが、発光画素Ｃａよりも厚くなる。

図７は、発光画素の出射光の輝度比率を示すグラフであり、図１３に対応している。
図７は、図１における左側の最端部（Ｘ軸（−）側）に位置する発光画素Ｐａの開口部１０ａと、中央側に位置する発光画素Ｐａの開口部１０ｂとが発する光の輝度比率を示したグラフである。
当該グラフに示されるように、端部側の開口部１０ａの輝度、および中央側の開口部１０ｂの輝度ともに、略同様の輝度分布を示し、また、そのピークは略１００％に達していることが解る。
なお、発明者等の実験結果によれば、開口部１０ａ，１０ｂ以外の発光画素においても、当該発光画素と同様の輝度分布、およびピーク輝度が確保されていることが、確認されている。

上述した通り、本実施形態に係る発光装置１００によれば、以下の効果を得ることができる。
発光装置１００によれば、それぞれ隔壁で区画された個別のＥＬ層を備えた複数の発光画素ＰａがＸ軸方向に配列される構成となっている。
この構成により、１つの大きな隔壁に囲まれた凹部において、乾燥時に大きな対流が発生していた従来の発光装置と比べて、各発光画素Ｐａにおける凹部内での対流が相対的に小さいものとなり、ＥＬ層の層厚のバラつきを低減することができる。
また、それぞれ隔壁で互いに区画された個別の凹部ごとに、選択的にＥＬ層を塗布する構成となっている。この構成により、１つの大きな凹部Ｕ内に略均一に液状体を塗布していたため、開口部の周辺部位の方に多くのＥＬ層が取られてしまっていた従来の発光装置と比べて、同量の液状体を塗布した場合において、開口部に重なる部分により厚くＥＬ層を積層することができる。

さらに、発光画素Ｐａおよびダミー画素Ｐｄの形状は、開口部１０を横切る部分の幅Ｗ１から、その棒形状の両末端における幅Ｗ２に向って徐々に細くなっている。
これにより、図６（ｂ）で説明したように、比較例のトラック状の発光画素Ｃａに比べて、凹部の面積が小さく、かつ、周縁部の長さが短くなるため、同量の液状体を塗布した場合において、より厚いＥＬ層の層厚を得ることができる。換言すれば、液状体の塗布量に見合うＥＬ層の層厚を得ることが可能となり、液状体の利用効率が良い。
従って、電気光学層の層厚を均一にすることが可能な発光装置１００を提供することができる。さらに、層厚の均一化により、輝度ムラや、発光色ムラを低減することもできる。なお、発光画素Ｐａの棒形状における両末端が幅Ｗ１よりも細くなる構成に限定するものではなく、いずれか一つの末端が幅Ｗ１よりも細くなる構成であれば、同様の効果を得ることができる。これは、他の実施形態、および変形例においても同様である。

また、Ｘ軸方向においては、複数の発光画素Ｐａからなる発光画素行の前後に、ダミー画素Ｐｄが１つずつ形成されている。また、Ｙ軸方向においては、当該方向を長手方向とし棒形状の発光画素Ｐａの中央部に画素電極の開口部１０が形成されている。
これらの構成によれば、乾燥工程において、複数の発光画素Ｐａにおける液状体の溶媒分子分圧が均一化されるため、乾燥速度が均一化され、発光画素Ｐａ間におけるＥＬ層１５の層厚を均一にすることができる。詳しくは、Ｘ軸方向においては、発光画素行の周囲がダミー画素Ｐｄで囲まれており、Ｙ軸方向においては、画素電極１０の開口部が棒形状の発光画素Ｐａの間隙部に囲まれているため、各開口部における液状体の溶媒分子分圧が均一化される。

（実施形態２）
図８は、実施形態２に係る発光装置の平面図であり、図１に対応している。
以下、本発明の実施形態２に係る電気光学装置としての発光装置１１０について説明する。
本実施形態における発光装置１１０は、副走査方向（Ｙ軸方向）に画素行を２段（行）備えていることが、実施形態１の発光装置１００と異なる。
ここでは、実施形態１における説明と重複する部分は省略し、相違点を中心に説明する。また、同一の構成部位については同一の番号を附している。

図８に示すように、発光装置１１０は、Ｙ軸方向の上段（Ｙ軸（＋）側）に、実施形態１の発光装置１００と同様の画素行（第１画素行）を備えている。詳しくは、発光画素行および発光画素行の前後に配置されたダミー画素Ｐｄを含む第１画素行を備えている。
また、第１画素行の各画素は、基準線１１１を起点として、発光装置１００と同じ画素ピッチｍでＸ軸方向に配列している。なお、画素ピッチｍは、例えば、約０．０４２ｍｍに設定されている。なお、基準線１１１は、図８において、第１画素行において最も左側（Ｘ軸（−）側）に位置し、発光画素行の始点となる発光画素Ｐａの中心を通り、Ｙ軸と平行な線分である。

また、第１画素行の下段（Ｙ軸（−）側）にも、同様の画素行（第２画素行）が配置されている。
第２画素行は、基準線１１１から画素ピッチｍの約半分（ｍ／２）、Ｘ軸（＋）方向にシフトした基準線１１２を起点として、画素ピッチｍでＸ軸方向に配列している。換言すれば、主走査方向における第１画素行の発光画素（の開口部）と、第２画素行の発光画素（の開口部）との位置は、画素ピッチｍの約半分、主走査方向にシフトして配置されている。ここで、第２画素行の各画素の上部は、第１画素行の画素間に形成された三角状の窪みに納まるように、嵌め合わされている。これは、細長い菱形状の画素の配列により、第１画素行の下部には、鋭利な三角波状の隙間が形成され、当該隙間に、画素ピッチｍの約半分シフトした同じ配列を有する第２画素行の上部形状が丁度収まるからである。

また、発光装置１１０では、画素行を２段備えているため、それに伴い、基板１のサイズが大きくなっている。
また、図３の画素回路においては、第１画素行と同じ画素回路が、第２画素行にも形成されている。発光装置１１０を点灯駆動する場合には、走査線駆動回路１７によって、第１画素行、第２画素行の順番に走査信号が供給され、感光ドラム７１の回転に同期して、交互に点灯駆動される。

上述した通り、本実施形態に係る発光装置１１０によれば、実施形態１の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
図２で説明した通り、発光装置１１０は、感光ドラム７１の回転に同期して、点灯駆動されるため、感光ドラム７１の水平方向（Ｘ軸方向）における１つの感光行に対して、第１画素行により光を照射した後、感光ドラム７１を１画素行分回転させて、第２画素行による照射を行えば、１つの感光行に対して２倍の解像度による露光を行うことができる。
例えば、画素ピッチｍが、約０．０４２ｍｍである場合には、１つの画素行における水平解像度は、約６００ｄｐｉであるが、主走査方向に画素ピッチが半分シフトしてレイアウトされた第１画素行と第２画素行とで、時系列に照射することにより、約１２００ｄｐｉの水平解像度による露光を行うことができる。
従って、高解像度の発光装置１１０を提供することができる。

また、第１画素行の下部に形成された三角波状の隙間に、第２画素行の各画素の上部が勘合する構成となっているため、副走査方向の長さを短くすることができる。
従って、コンパクトな発光装置１１０を提供することができる。

（実施形態３）
図９（ａ），（ｂ）は、実施形態３に係る発光装置の平面図であり、図１に対応している。以下、本発明の実施形態３に係る電気光学装置としての発光装置について説明する。
本実施形態における発光装置１２０，１３０は、異なる形状の発光画素Ｐａ、およびダミー画素Ｐｄを備えていることが、実施形態１の発光装置１００と異なる。
ここでは、実施形態１における説明と重複する部分は省略し、相違点を中心に説明する。また、同一の構成部位については同一の番号を附している。

図９（ａ）の発光装置１２０は、図１の発光装置１００とは異なる形状の発光画素Ｐａ、およびダミー画素Ｐｄを備えている。
まず、図１の画素との共通点は、Ｙ軸方向に細長い棒形状をなしており、長手方向の中央部が太く両端部が細いこと、および外形サイズ「長さＬ×幅Ｗ１」が同じであることである。なお、開口部の大きさや、画素の配置ピッチなども、図１の構成と同じである。
また、相違点は、中央部が開口部１０を中心にした長方形をなしており、当該長方形から階段状に幅Ｗ３の棒状の形状が両端に伸びていることである。換言すれば、画素の幅が、幅Ｗ１から幅Ｗ３に段階的に細くなっている。幅Ｗ３の棒状形状の両端には、角Ｒ４２が設けられている。角Ｒ４２の直径は、幅Ｗ３となっている。
つまり、発光装置１２０の発光画素Ｐａは、幅Ｗ３を直径とする２つの半円（角Ｒ４２）間を略平行な２本の直線で結んだトラック形状の中央部に、開口部１０を含む長方形を配置した形状となっている。また、基板１のＹ軸方向の寸法は、画素の長さＬの両端から若干隙間を取った、長さＬよりも長い長さＬｂとなっていた。
また、発光装置１２０の発光画素Ｐａも、その端部に向って細く形成されているため、その外形は、図６の比較例におけるトラック形状の発光画素Ｃａの中に納まる。

図９（ｂ）の発光装置１３０は、各画素の長手方向がＹ軸に対して傾斜していることが、図９（ａ）の発光装置１２０と異なる。
図９（ｂ）に示すように、発光装置１３０の発光画素Ｐａおよびダミー画素Ｐｄは、その長手方向がＹ軸に対して傾斜して配置されている。詳しくは、発光画素Ｐａは、Ｙ軸に対して平行な基準線１１１に対して、その長手方向が角度θ傾いた状態で配置されている。なお、発光画素Ｐａの長手方向とは、両端の角Ｒ４２の中心を結ぶ線分のことであり、当該線分が基準線１１１に対して角度θ傾いている。また、他の発光画素Ｐａ、およびダミー画素Ｐｄも同じ傾きを持って配置されている。

ここで、基板１のＹ軸方向の寸法は、画素の長さＬと同じ長さとなっている。換言すれば、長さＬの複数の画素からなる画素行が、長さＬ（幅）の基板に収まっている。これは、各画素が斜めに配置されているからである。例えば、図９（ｂ）のように、角度θを３０°とした場合について説明する。
この場合、三角関数から、Ｙ軸方向における発光画素Ｐａの長さは、（√３／２）・Ｌであり、長さＬの約０．８７倍となるため、両端に若干の隙間を取っても長さＬ（幅）の基板に収めることが可能となる。
なお、角度θは、３０°に限定するものではなく、基準線１１１に対して傾斜していれば良い。例えば、実施形態２のように、画素行を複数段形成する場合には、１０〜４５°度の範囲内であれば、レイアウト（設計）し易くなる。

上述した通り、本実施形態に係る発光装置１２０，１３０によれば、実施形態１の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
発光画素Ｐａを含む各画素が、幅Ｗ３を直径とする２つの半円（角Ｒ４２）間を略平行な２本の直線で結んだトラック形状の中央部に、開口部１０を含む長方形を配置したであっても、その外形を図６の比較例におけるトラック形状の発光画素Ｃａの中に納めることができる。
よって、比較例のトラック状の発光画素Ｃａに比べて、凹部の面積が小さく、かつ、周縁部の長さが短く構成されているため、同量の液状体を塗布した場合において、より厚いＥＬ層の層厚を得ることができる。換言すれば、液状体の塗布量に見合うＥＬ層の層厚を得ることが可能となり、液状体の利用効率が良い。
従って、電気光学層の層厚を均一にすることが可能な発光装置１２０，１３０を提供することができる。また、層厚の均一化により、輝度ムラや、発光色ムラを低減することもできる。

発光装置１３０によれば、発光画素Ｐａおよびダミー画素ＰｄをＹ軸に対して傾斜して配置させることにより、副走査方向の長さを短くすることができる。
従って、コンパクトな発光装置１３０を提供することができる。
上述したように、画素の形状は、末端部における幅Ｗ３が、開口部１０を横断する部分の幅Ｗ１よりも細ければ、幅Ｗ１から幅Ｗ３への変化が段階的であっても良いため、換言すれば、比較例の発光画素Ｃａの中に納まる形状であれば同様の作用効果を得ることができる。また、画素の配置を斜めにしても良いことから、開口部の配置を含む画素形状や、画素の配列態様など、設計上の選択肢が広がり、設計の自由度を向上させることができる。なお、実施形態１における図１の発光画素Ｐａも、図９（ｂ）の発光画素Ｐａと同様にその長手方向がＹ軸に対して傾斜して配置することで、副走査方向の長さを短くすることができ、図１の場合に比べてコンパクトな発光装置１００を提供することができる。

（実施形態４）
図１０は、実施形態４に係る発光装置の平面図であり、図８に対応している。
以下、本発明の実施形態４に係る電気光学装置としての発光装置１４０について説明する。
本実施形態における発光装置１４０は、副走査方向に画素行を２段（行）備えた構成を有し、当該画素行における画素として、図９の発光画素Ｐａを変形させた画素を備えていることが、実施形態２の発光装置１１０と異なる。
ここでは、上記各実施形態における説明と重複する部分は省略し、相違点を中心に説明する。また、同一の構成部位については同一の番号を附している。

発光装置１４０の発光画素Ｐａは、幅Ｗ３を直径とする２つの半円（角Ｒ４２）間を略平行な２本の直線で結んだトラック形状の下側（Ｙ軸（−）側）に、開口部１０を含む長方形を配置した形状をなしている。つまり、開口部１０を含む長方形の位置以外は、図９（ａ）の発光画素と同様である。また、ダミー画素Ｐｄの形状も同様である。
また、この開口部１０が下側に配置された発光画素Ｐａ、およびダミー画素Ｐｄの配列からなる第１画素行の下段に、Ｘ軸方向において画素配列が約ｍ／２シフトした第２画素行を備えている。
第２画素行の発光画素Ｐａは、幅Ｗ３を直径とする２つの半円（角Ｒ４２）間を略平行な２本の直線で結んだトラック形状の上側（Ｙ軸（＋）側）に、開口部１０を含む長方形を配置した形状をなしている。換言すれば、第２画素行の発光画素Ｐａは、第１画素行の発光画素ＰａをＸ軸に対してミラー反転した（線対称な）形状となっている。

そして、図８と同様に、第２画素行の各画素の上部は、第１画素行の画素間に形成された窪みに納まるように、嵌め合わされている。これは、棒形状の画素の配列により、第１画素行の下部には、凹部が周期的に現れる矩形波状の隙間が形成され、当該隙間に、画素ピッチｍの約半分シフトした同様の配列を有する第２画素行の上部形状が丁度収まるからである。

上述した通り、本実施形態に係る発光装置１４０によれば、実施形態１の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
画素の幅が、開口部１０を横断する部分の幅Ｗ１から、末端部における幅Ｗ３に段階的に変化する発光画素Ｐａを備えた発光装置１４０においても、第１画素行の下段に、Ｘ軸方向において画素配列が約ｍ／２シフトした第２画素行を備えることにより、図８の発光装置１１０と同様に高解像度化を図ることができる。
従って、高解像度の発光装置１４０を提供することができる。

また、発光装置１４０における第１画素行の開口部から、第２画素行の開口部までの距離は、図８の発光装置１１０の当該距離よりも短くなっている。これは、第１画素行における開口部の位置が下方（Ｙ軸（−）側）にシフトし、また、第２画素行における開口部の位置が上方（Ｙ軸（＋）側）にシフトしているからである。
また、開口部１０の位置が第１、第２画素行間に近づいても、それぞれの画素の長さＬは同じであるため、複数の開口部は、自らの幅Ｗ３の棒状形状に取り囲まれた状態となる。このため、乾燥工程において、複数の開口部１０における液状体の溶媒分子分圧が均一化されるため、乾燥速度が均一化され、開口部１０間におけるＥＬ層の層厚をより均一にすることができる。

（電子機器）
図１１は、上述の発光装置を露光ヘッドの光源として備えた電子機器としてのプリンタを示す模式断面図である。
以下、電子写真方式のプリンタ３００の構成について、図１１を中心に、適宜、図２を交えながら説明する。
プリンタ３００は、上述の発光装置１００〜１４０のいずれかを光源とした４つの露光ヘッド２００Ｋ，２００Ｃ，２００Ｍ，２００Ｙと、これらの露光ヘッドに対応する４個の感光ドラム（像担持体）７１Ｋ，７１Ｃ，７１Ｍ，７１Ｙとを備えた、タンデム型の電子写真方式プリンタである。
なお、以降の説明において、発光装置１００〜１４０を総称する場合には、発光装置１００と表現する。また、５つの露光ヘッドを総称する場合、または、代表として説明する場合には、露光ヘッド２００という表現を用いることがある。感光ドラム７１という表現も、同様の意味で用いる場合がある。

図２に示すように、露光ヘッド２００は、円柱状の感光ドラム７１と平行に、これと対向した状態で用いられる。換言すれば、感光ドラム７１の回転軸７９と平行に、かつ、露光ヘッド２００から出射される光が、回転軸７９を照射するように配置されている。
光学部材としてのレンズアレイ１８０は、セルフォック（登録商標）レンズであり、発光装置１００から入射する光を、感光ドラム７１の表面で集光し、露光（描画）する。

図１１に戻る。
プリンタ３００は、駆動ローラ９１と従動ローラ９２とテンションローラ９３とを備え、これらの各ローラに中間転写ベルト９０を、矢印方向（反時計方向）に循環駆動するよう張架したものである。
この中間転写ベルト９０に対して、感光ドラム７１Ｋ，７１Ｃ，７１Ｍ，７１Ｙが所定間隔で配置されている。これら感光ドラム７１Ｋ，７１Ｃ，７１Ｍ，７１Ｙは、その外周面が像担持体としての感光層となっている。
なお、上記符号中のＫ、Ｃ、Ｍ、Ｙは、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエローを意味し、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエロー用の感光体であることを示している。
また、これら符号（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の意味は、他の部材についても同様である。感光ドラム７１は、中間転写ベルト９０の駆動と同期して、それぞれが矢印方向（時計方向）に回転駆動するようになっている。

感光ドラム７１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の周囲には、それぞれ感光ドラム７１の外周面を一様に帯電させる帯電手段（コロナ帯電器）７２（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）と、この帯電手段７２（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）によって一様に帯電させられた外周面を感光ドラム７１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の回転に同期して順次ライン走査する露光ヘッド２００（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）とが設けられている。
また、露光ヘッド２００（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）で形成された静電潜像に現像剤としてのトナーを付与して可視像（トナー像）とする現像装置７４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）と、現像装置７４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）で現像されたトナー像を一次転写対象としての中間転写ベルト９０に順次転写する転写手段としての一次転写ローラ７５（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）とが設けられている。
また、転写された後に感光ドラム７１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニング装置７６（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）がそれぞれ設けられている。

また、露光ヘッド２００（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の主発光波長と、感光ドラム７１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の感度ピーク波長とが略一致するように設定されている。
現像装置７４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）は、例えば、現像剤として非磁性一成分トナーを用いている。そして、その一成分現像剤を例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着した現像剤の膜厚を規制ブレードで規制し、その現像ローラを感光ドラム７１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）に接触させるか、または押圧せしめることにより、感光ドラム７１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の電位レベルに応じて現像剤を付着させ、トナー像として現像する。

このような４色の単色トナー像形成ステーションにより形成された黒、シアン、マゼンタ、イエローの各トナー像は、一次転写ローラ７５（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）に印加される一次転写バイアスによって中間転写ベルト９０上に順次一次転写される。
そして、中間転写ベルト９０上で順次重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ６６において「紙」等の記録媒体Ｒに二次転写され、更に、定着部である定着ローラ対６１を通ることで記録媒体Ｒ上に定着される。その後、記録媒体Ｒは、排紙ローラ対６２によって装置上部に形成された排紙トレイ６８上に排出される。

また、給紙カセット６３は、複数枚の記録媒体Ｒを保持するための着脱自在に設けられた用紙ホルダであり、ピックアップローラ６４は給紙カセット６３から記録媒体Ｒを一枚ずつ給送するためのローラ部材である。
ゲートローラ対６５は、二次転写部としての二次転写ローラ６６への記録媒体Ｒの供給タイミングを規定するためのローラ部材である。
また、クリーニングブレード６７は、二次転写後に中間転写ベルト９０の表面に残留しているトナーを除去するためのクリーニング部材である。

上述したように、プリンタ３００は、露光ヘッド２００の光源として、輝度ムラや、発光色ムラが低減された発光装置１００を備えている。
従って、プリンタ３００によれば、均一な露光による高品位な画像を得ることができる。

また、電子機器としてはプリンタに限定するものではなく、各種照明装置や、表示装置などにも適用することができる。
また、表示装置に適用する場合には、発光装置１００の画素行を複数段形成してマトリックス状の表示エリアを構成するとともに、画素行における発光色を赤、緑、青の繰り返しパターンとする。これにより、フルカラーの有機ＥＬパネルを構成することができる。
この有機ＥＬパネルは、例えば、携帯電話、カーナビゲーションシステム用の表示装置や、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）、モバイルコンピュータ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、車載機器、オーディオ機器などの各種電子機器に用いることができる。
これらの電子機器によれば、輝度ムラや、発光色ムラが低減された高品位の表示を得ることができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。

（変形例１）
図１４は、変形例１に係る発光装置の断面図であり、図４に対応している。
実施形態１の発光装置１００では、ボトムエミッション型を採用していたが、トップエミッション型であっても良い。
図１４は、発光装置１００をトップエミッション型で構成する場合における図１のｑ−ｑ断面を示している。なお、この場合、図１は基板１側からの透過平面図となる。
なお、実施形態１における説明と重複する部分は省略し、相違点を中心に説明する。また、同一の構成部位については同一の番号を附して説明する。

トップエミッション型の発光装置は、基板１、反射層３０、素子層６、絶縁層７、画素電極１０、隔壁２０、ＥＬ層１５、共通電極３３、封止層３５などから構成されている。この構成は、発光装置の厚さ方向（Ｚ軸方向）の構成が、図４のボトムエミッション型の構成と、略反転しており、トップエミッション型の場合、白抜きの矢印で示すように、発光画素Ｐａの凹部Ｕ側から光を出射する。
トップエミッション型において固有な構成部位は、反射層３０、共通電極３３、および封止層３５であり、他の構成部位は、実施形態１での説明と略同様である。
反射層３０は、ＡｌやＡｇ、またはそれらの合金などから構成された全反射膜である。また、凹部Ｕ側から光を出射する構成であるため、基板１も透明である必要はなく、金属を用いても良い。
共通電極３３は、ＭｇＡｇなどの金属を、光が透過できる程度にごく薄く成膜した金属薄膜層から構成されており、ハーフミラーとしての光学作用を有している。
封止層３５は、ＳｉＯ₂や、Ｓｉ₃Ｎ₄などの透明で、かつ、水分を遮断する機能を有する封止層であり、ＥＬ層１５に水分が浸入することを防止するガスバリア層である。

このような構成において、ＥＬ層１５から放射される光のうち、共通電極３３側に進む光は、その大半が共通電極３３を透過して、白矢印で示されるように、封止層３５からＺ軸（＋）方向に出射される。また、画素電極１０側に進む光は、反射層３０で反射され、ＥＬ層１５を介して、白矢印で示される光に合成されて、封止層３５からＺ軸（＋）方向に出射される。また、共通電極３３で反射された光も、反射層３０との間で反射を繰り返し、その多くが、封止層３５から出射されることになる。
上述した通り、本変形例に係るトップエミッション型の発光装置であっても、実施形態１の発光装置１００と同様の作用効果を得ることができる。また、他の各実施形態の構成も適用が可能であり、同様の作用効果を得ることができる。

（変形例２）
図１を用いて説明する。
図１の発光装置１００において、各発光画素Ｐａにさらに光センサを設けた構成であっても良い。詳しくは、発光画素Ｐａの開口部１０の隣（例えば、開口部から角Ｒ４０までの間）に、フォトダイオードを形成する。なお、光センサは、フォトダイオードに限定するものではなく、例えば、フォトトランジスタや、ＣｄＳ（硫化カドミウム）セルを用いた光センサであっても良い。
これらの構成によれば、当該画素が出射した光の反射光を検知することできるため、例えば、スキャナーのスキャンヘッド（発光兼、受光装置）に発光装置１００を適用することができる。

（変形例３）
図１５（ａ）は、変形例３に係る発光装置の平面図であり、図８に対応している。図１５（ｂ）は、変形例３に係る発光装置の平面図であり、図１０に対応している。
なお、上記各実施形態における説明と重複する部分は省略し、相違点を中心に説明する。また、同一の構成部位については同一の番号を附して説明する。
図１５（ａ）の発光装置１５０は、１つの発光画素Ｐａ内に２つの開口部１０を備えていること、および開口部の増加に伴い、画素の形状が若干変更になっていることが、図８の発光装置１１０と異なる。
上段の第１画素行の発光画素Ｐａは、Ｙ軸方向に並んだ２つの開口部１０を備えている。２つの開口部１０は、それぞれ独立した画素回路（図３）を備え、開口部間が電気的に接続しない程度の間隙を持って配置されている。２つの開口部１０は、隣り合う発光画素Ｐａにおける対応する開口部と配列を構成し、それぞれ主走査方向に配列した光出射行Ｅ１，Ｅ２を形成している。
光出射行Ｅ１，Ｅ２は、主走査方向において基準線１１１を起点として同一の配置ピッチｍで配置されており、副走査方向においては、同一の光出射行とみなすことができる。

また、発光画素Ｐａの形状は、２つの開口部１０を形成するために、Ｙ軸方向における幅Ｗ１の長さが長くなっている。換言すれば、幅Ｗ２から幅Ｗ１に至る角度βが、図８における角度よりも大きくなっている。なお、発光画素Ｐａの長さは、長さＬであり、図８における画素長さＬと同じである。
第１画素行の下段に配置された第２画素行の発光画素Ｐａも、第１画素行の発光画素Ｐａと同様に、Ｙ軸方向に並んだ２つの開口部１０を備えている。第２画素行は、主走査方向において基準線１１１から画素ピッチｍの約半分（ｍ／２）、Ｘ軸（＋）方向にシフトした基準線１１２を起点として配列されていること以外は、第１画素行と同様である。
第２画素行には、副走査方向において同一の光出射行とみなすことができる光出射行Ｅ３，Ｅ４が形成されている。

図１５（ｂ）の発光装置１６０は、１つの発光画素Ｐａ内に２つの開口部１０を備えていること、および開口部の増加に伴い、画素の形状が若干変更になっていることが、図１０の発光装置１４０と異なる。
上段の第１画素行の発光画素Ｐａは、Ｙ軸方向に並んだ２つの開口部１０を備えている。２つの開口部１０は、それぞれ独立した画素回路を備え、開口部間が電気的に接続しない程度の間隙を持って配置されている。２つの開口部１０は、隣り合う発光画素Ｐａにおける対応する開口部と配列を構成し、それぞれ主走査方向に配列した光出射行Ｅ１，Ｅ２を形成している。
光出射行Ｅ１，Ｅ２は、主走査方向において基準線１１１を起点として同一の配置ピッチｍで配置されており、副走査方向においては、同一の光出射行とみなすことができる。

また、発光画素Ｐａの形状は、２つの開口部１０を形成するために、Ｙ軸方向における幅Ｗ１の長さが長くなっている。なお、発光画素Ｐａの長さは、長さＬであり、図１０における画素長さＬと同じである。
第１画素行の下段に配置された第２画素行の発光画素Ｐａも、第１画素行の発光画素Ｐａと同様に、Ｙ軸方向に並んだ２つの開口部１０を備えている。第２画素行は、主走査方向において基準線１１２を起点として配列されていること以外は、第１画素行と同様である。
第２画素行には、副走査方向において同一の光出射行とみなすことができる光出射行Ｅ３，Ｅ４が形成されている。

上述した通り、本実施形態に係る発光装置１５０，１６０によれば、各実施形態の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
発光装置１５０，１６０によれば、第１画素行には同一の光出射行とみなすことが可能な２段の光出射行Ｅ１と光出射行Ｅ２とが形成され、第２画素行には同一の光出射行とみなすことが可能な２段の光出射行Ｅ３と光出射行Ｅ４とが形成されている。
よって、例えば、光出射行Ｅ１に発光しない欠陥画素があった場合でも、光出射行Ｅ２を用いて露光を行うことが可能であり、また、光出射行Ｅ４に発光しない欠陥画素があった場合でも、光出射行Ｅ３を用いることができる。
つまり、スペアの光出射行を備えた使い勝手の良い発光装置１５０，１６０を提供することができる。

（変形例４）
図１５（ｂ）を用いて説明する。
図１５（ｂ）の発光装置１６０では、画素行は第１画素行と第２画素行との２行構成であるものとして説明したが、第１画素行と第２画素行との２行からなる構成を１つの発光ユニットとして、この発光ユニットを複数段、副走査方向に配列する構成であっても良い。発光ユニット数は、例えば、３〜５ユニットとすることが好ましい。
前述した通り、主走査方向に画素ピッチが半分シフトしてレイアウトされた第１画素行と第２画素行とによる構成によって、水平解像度を倍にすることができるため、上記構成によれば、高解像度の発光ユニットが、副走査方向に複数段、配列されることになる。
よって、本変形例に係る発光装置によれば、副走査方向において、同一の画素ピッチの発光ユニットが複数段形成されているため、例えば、第１発光ユニットに発光しない欠陥画素があった場合でも、第２発光ユニット、または第３発光ユニットによって露光を行うことができる。
また、有機ＥＬには発光寿命があるため、第１発光ユニットの寿命が尽きた場合、第２発光ユニット、または第３発光ユニットを用いて露光を行うことができる。
従って、使い勝手が良く、長寿命の発光装置を提供することができる。また、複数の発光ユニットのうち、最低１つのユニットに画素欠陥がなければ、発光装置として使用することが可能であるため、製造歩留りを高めることができる。換言すれば、製造歩留りが高いことから、製造コストを抑制することができる。

また、ここまでは、副走査方向に沿って長手方向を配置した図１５（ｂ）の画素レイアウトを前提として説明したが、各画素行は図９（ｂ）のように、副走査方向と長手方向とが傾きを持って配置された構成であっても良い。
このように、上記各実施形態および変形例を組み合せた構成であっても、各実施形態および変形例と同様の作用効果を得ることができる。

１…基板、１０，１０ａ，１０ｂ…開口部（画素電極）、１５…電気光学層としてのＥＬ層、２０…隔壁、１００〜１６０…電気光学装置としての発光装置、１８０…光学部材としてのレンズアレイ、２００…露光ヘッド、３００…電子機器としてのプリンタ、Ｕ…凹部、Ｌ…第２方向の長さ、Ｗ１…開口部を横断する部分の幅（第１方向の長さ）、Ｗ２，Ｗ３…末端における幅、Ｐａ…発光画素、Ｐｄ…ダミー画素。

Claims (12)

1. 第１の方向に略等間隔に配列された複数の発光画素を備えた電気光学装置であって、
   前記複数の発光画素の各々は、
   前記発光画素の輪郭を形成する隔壁に囲まれて形成された凹部と、
   前記凹部に形成された電気光学層と、
   前記凹部に形成され、前記電気光学層が放射する光を出射する開口部と、を少なくとも有し、
   前記凹部は、前記第１の方向と交差する第２の方向の長さが、前記第１の方向の長さよりも長く形成された棒形状をなし、
   前記棒形状における前記第１の方向の長さを幅としたときに、
   前記棒形状における前記第２の方向の末端における前記幅が、前記開口部を横断する部分の前記幅よりも、細いことを特徴とする電気光学装置。
2. 前記幅は、前記開口部を横断する部分の幅から、前記末端に向って徐々に細くなることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
3. 前記幅は、前記開口部を横断する部分の幅から、前記末端に向って段階的に細くなることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
4. 前記末端は、前記棒形状における一方の末端と、他方の末端との両方であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気光学装置。
5. 前記末端の幅は、前記開口部の前記幅と同じか、それよりも細いことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の電気光学装置。
6. 前記棒形状の延在方向が、前記第２の方向に沿った線分から傾斜していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の電気光学装置。
7. 前記第１の方向における前記複数の発光画素の配列の前後には、ダミー発光画素が形成され、
   前記ダミー発光画素は、前記隔壁を少なくとも備え、
   前記凹部には、前記複数の発光画素と同様な前記電気光学層が形成されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の電気光学装置。
8. 前記複数の発光画素のうち、前記第１の方向に連続して配列された複数の発光画素を含む第１画素行と、
   前記第１画素行の前記第２の方向側に配置され、前記第１画素行と同様の配列である複数の発光画素を含む第２画素行と、を備え、
   前記第１画素行の発光画素と、前記第２画素行の発光画素との位置は、前記第２画素行の発光画素の開口部が前記第１画素行の発光画素の開口部に対して、所定ピッチ分前記第１の方向にシフトしていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の電気光学装置。
9. 前記凹部には、複数の前記開口部が形成されており、
   前記複数の開口部は前記第２の方向において間隙を持って配置されるとともに、前記複数の発光画素のうち前記第１の方向において隣り合う発光画素の対応する前記開口部と、それぞれ配列をなしていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の電気光学装置。
10. 前記電気光学層は、前記凹部に液滴吐出法によって塗布した液状体を乾燥させて形成した有機ＥＬ層であり、
    前記開口部は、前記画素電極と前記電気光学層との間に形成された絶縁膜に形成されており、前記絶縁膜から前記画素電極の少なくとも一部が露出するように設けられていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の電気光学装置。
11. 請求項１〜１０のいずれか一項に記載の電気光学装置と、
    前記電気光学装置の前記発光画素が出射する光を所定の位置に集光させる光学部材とを、少なくとも備えたことを特徴とする電子機器。
12. 第１の方向に略等間隔に配列された複数の発光画素を備えた電気光学装置の製造方法であって、
    前記複数の発光画素の各々は、
    前記発光画素の輪郭を形成する隔壁に囲まれて形成された凹部と、
    前記凹部に形成された電気光学層と、
    前記凹部に形成され、前記電気光学層が放射する光を出射する開口部と、を少なくとも有し、
    前記凹部は、前記第１の方向と交差する第２の方向の長さが、前記第１の方向の長さよりも長く形成された棒形状をなし、
    前記棒形状における前記第１の方向の長さを幅としたときに、
    前記棒形状における前記第２の方向の末端における前記幅が、前記開口部を横断する部分の前記幅よりも細く形成されてなり、
    前記電気光学層を形成する工程は、
    前記電気光学層を構成する溶質を溶解した溶液を前記凹部に液滴吐出法によって塗布する工程と、
    前記溶質を乾燥させる工程と、を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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