JP2010204643A - 単位シャッタ機構、単位シャッタ機構を含むシャッタ構造物、及びシャッタ構造物を含む露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単位シャッタ機構、単位シャッタ機構を含むシャッタ構造物、及びシャッタ構造物を含む露光装置において、単位シャッタ機構は、下部基板、下部基板上に位置する電極、電極の周縁の上に位置するスペーサ、スペーサの上に電極と離隔するように位置し、ホールが形成された第1ミラー、下部基板の上側に下部基板と対向するように位置する上部基板、及び上部基板の下部に位置し、ホールと重畳する第2ミラーを含む。
【選択図】図1
Description
図1及び2を参照すれば、単位シャッタ機構100は、下部基板10、電極12、スペーサ14、第1ミラー16、上部基板18、及び第2ミラー20を含む。
12 電極
14 スペーサ
16 第1ミラー
18 上部基板
20 第2ミラー
22 空間フィルタ
32 電極
50 光源
60 投影レンズ部
100、200、300、400、500 単位シャッタ機構
600、700 シャッタ構造物
800 露光装置
Claims (20)
- 下部基板、
前記下部基板の上に位置する電極、
前記電極の周縁に位置するスペーサ、
前記スペーサの上に前記電極と離隔するように位置し、ホールを有する第1ミラー、
前記下部基板の上側に前記下部基板と対向するように位置する上部基板、及び
前記上部基板に位置し、前記ホールと重畳する第2ミラーを含む単位シャッタ機構。 - 前記電極及び前記第1ミラーの間に電圧を印加する電圧印加部材をさらに含む、請求項1に記載の単位シャッタ機構。
- 前記電極及び前記第1ミラーの間に前記電圧が印加されると、前記第1ミラーは前記ホールが形成された部分から前記電極に近くなって凹形状を有する、請求項2に記載の単位シャッタ機構。
- 前記第2ミラーは前記上部基板の前記下部基板と対向する面の上に位置する、請求項1に記載の単位シャッタ機構。
- 前記第2ミラーを前記第1ミラーの上に投影する時、前記第2ミラーの外郭線は前記第1ミラーの外郭線内側に位置する、請求項4に記載の単位シャッタ機構。
- 前記電極は透明性導電物質を含む、請求項1に記載の単位シャッタ機構。
- 前記第1ミラーの前記ホールと重畳する開口を有し、不透明物質を含む空間フィルタをさらに含む、請求項1に記載の単位シャッタ機構。
- 前記空間フィルタは前記電極及び前記スペーサの間に位置する、請求項7に記載の単位シャッタ機構。
- 前記不透明物質は絶縁性を有する、請求項8に記載の単位シャッタ機構。
- 前記空間フィルタは前記下部基板及び前記電極の間に位置する、請求項7に記載の単位シャッタ機構。
- 前記空間フィルタは前記下部基板の下部に位置する、請求項7に記載の単位シャッタ機構。
- 前記電極は不透明導電物質を含み、前記第1ミラーの前記ホールと重畳する開口を有する、請求項1に記載の単位シャッタ機構。
- 行と列方向に整列した複数の単位シャッタ機構を含み、
前記単位シャッタ機構は、下部基板、前記下部基板の上に位置する電極、前記電極の周縁に位置するスペーサ、前記スペーサの上に前記電極と離隔するように位置し、ホールを有する第1ミラー、前記下部基板の上側に前記下部基板と対向するように位置する上部基板、及び前記上部基板の下部に位置し、前記ホールと重畳する第2ミラーを含むシャッタ構造物。 - 前記複数の電極は膜状で一体に形成され、
前記複数の第1ミラーは互いに離隔するように形成される、請求項13に記載のシャッター構造物。 - 前記複数の電極は互いに離隔するように形成され、
前記複数の第1ミラーは互いに連結された形状を有する、請求項13に記載のシャッタ構造物。 - 前記複数の電極は互いに離隔するように形成され、
前記複数の第1ミラーは互いに離隔するように形成される、請求項13に記載のシャッタ構造物。 - 前記複数の上部基板は膜状で一体に形成され、
前記複数の下部基板は膜状で一体に形成され、
前記複数のスペーサは一体に形成される、請求項13に記載のシャッタ構造物。 - 前記単位シャッタ機構は、前記電極及び前記第1ミラーの間に電圧を印加する電圧印加部材をさらに含む、請求項13に記載のシャッタ構造物。
- 前記単位シャッタ機構は、前記電極及び前記第1ミラーの間に加えられる前記電圧により、前記第1ミラーは前記ホールが形成された部分から前記電極に近くなる凹形状を有し、
前記電圧は、前記複数の単位シャッタ機構のうちの選択された一部の前記電極及び前記第1ミラーの間に加えられる、請求項18に記載のシャッタ構造物。 - 平行光を発生する光源、
前記平行光が提供されるシャッタ構造物、及び
前記シャッタ構造物の下に形成され、前記平行光により前記シャッタ構造物に形成された焦点を露光対象物上に投影する投影レンズ部を含み、
前記シャッタ構造物は行と列方向に整列され、下部基板、前記下部基板の上に位置する電極、前記電極の周縁の上に位置するスペーサ、前記スペーサの上に前記電極と離隔するように位置し、ホールが形成された第1ミラー、前記下部基板の上側に前記下部基板と対向するように位置する上部基板、及び前記上部基板の下部に位置し、前記ホールと重畳する第2ミラーを含む多数の単位シャッタ機構を含む露光装置。
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