JP2010201753A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液滴を安定的に一方の電位に維持して反対電位の他の部材との間で所定の電位差を確実に確保することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル開口２１が形成されたノズルプレート２０と、前記ノズル開口２１に連通する複数の圧力発生室１２と、複数の前記圧力発生室１２に連通して圧力発生室に液体を供給する共通液体室と、前記各圧力発生室１２内に液滴吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段と、前記ノズルプレート２０の圧力発生室と反対側に設けられたカバー部２３５とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記ノズルプレート２０は、前記カバー部２３５よりも電気伝導率が小さいとともに、前記ノズルプレート２０には前記共通液体室の液体を前記カバー部２３５に接触させるよう前記共通液体室に対応する位置の少なくとも一部に開口部２０Ｂを設ける。
【選択図】図５

Description

本発明は液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特にノズルから噴射するインクを帯電させてドット抜けを検出する場合に適用して有用なものである。

液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドとしては、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子で変形させて圧力発生室のインクを加圧し、ノズル開口からインク滴を吐出させる撓み振動モードの圧電素子を有するものが知られている。ここで、ノズルプレートに形成されたノズル開口に連通し、隔壁によって区画された複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、流路形成基板の圧力発生室に相対向する領域に振動板となる絶縁膜を介して下電極膜、圧電体層及び上電極膜を積層形成した圧電素子と、流路形成基板に接合されて圧力発生室の共通のインク室となるリザーバーの一部を構成するリザーバー部が設けられたリザーバー形成基板とを備えているものを代表的な一例として挙げることができる（例えば、特許文献１参照）。

ところで、この種のインクジェット式記録ヘッドを有するインクジェット式記録装置では、所定の印字品質を確保するため、印字前等の所定のタイミングでドット抜け検出を行っている。かかるドット抜け検出の手法は種々提案されているが、その一つとして、フラッシングボックスとノズルプレートとの間に電圧を印加することによりインクを帯電させ、帯電したインクが吐出されることによりフラッシングボックスとノズルプレートとの間の電位の変化を表わす電位信号を出力させることにより、この電位信号の振幅に基づきドット抜けを検出する方式が提案されている（例えば、特許文献２参照）。これは、帯電したインクが正常に吐出された場合とそうでない場合とで電位信号の振幅が異なることを利用したものである。ちなみに、複数のノズルからなる特定のノズル列において、インクを正常に吐出することができないノズルの数が多ければ多いほど出力される電位信号の振幅は小さくなるので、電位信号の振幅を検出することによりドット抜けを生起しているノズル数を把握することができる。

特開２００７−２６１２５号公報（第２図等） 特開平７−６８７５２号公報（第１図等）

上述の如き電位信号に基づくドット抜け検出は、通常ノズルプレートをグランドに接続するとともに、フラッシングボックスをプラス側とする電圧を印加することにより実現している。すなわち、ノズル開口を介して吐出されるインクをマイナス側に帯電させることができるようにノズルプレートがＳＵＳ等の導電性の材料で形成されていることを前提としている。

一方、ノズル開口をノズルプレートの所定位置に高精度に形成すべくドライエッチング技術を適用するため、ノズルプレートを半導体であるシリコンで形成し、シリコン製のノズルプレート表面に絶縁膜を形成し、ノズル開口を設けたものも存在する。

そこで、シリコン製のノズルプレートを有するインクジェット式記録ヘッドには、前述の如きドット抜け検出方式を適用することができない。ノズルプレートを安定にグランド電位に維持することができないからである。

なお、このような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、他の液滴を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、液滴を安定的に一方の電位に維持することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成する本発明の一態様は、液滴を吐出するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室と、複数の前記圧力発生室に連通して圧力発生室に液体を供給する共通液体室と、前記各圧力発生室内に液滴吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段と、前記ノズルプレートの圧力発生室と反対側に設けられたカバー部とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記ノズルプレートは、前記カバー部よりも電気伝導率が小さいとともに、前記ノズルプレートには前記共通液体室の液体を前記カバー部に接触させるよう前記共通液体室に対応する位置の少なくとも一部に開口部を設けたことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる本態様によれば、液滴をノズルプレートよりも電気伝導性が高いカバー部に接触させることができるので、カバー部を介して液滴を安定的に一方の電位に維持することが容易に可能となる。

ここで、前記ノズルプレートはシリコンで、前記カバー部は金属でそれぞれ形成するのが望ましい。この場合には、他の部材との熱膨張率が同じであるため、圧電素子等に熱を加えて配線等を接続しても加熱による悪影響を生起することはないからである。

また本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドと、前記カバー部と他の導電部材との間に所定の電位差を形成するための電源手段と、前記カバー部と前記他の導電部材との間の電位の変化を表す電位信号に基づき前記ノズル開口からの液滴の吐出状況を判定する電位検出手段とを有する液体噴射装置にある。
本態様によれば、カバー部を介して共通液体室の液体を一方の電位に安定的に帯電させることができるので、ノズルプレートが絶縁体であってもカバー部と前記他の導電部材との間の電位の変化を検出することで容易且つ確実にドット抜けを検出することができる。

本形態に係るインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図。 図１のヘッドユニットの組立斜視図。 図１のヘッドユニットの要部断面図。 図１のヘッドユニットの要部の分解斜視図。 図１のヘッドユニットのヘッド及びヘッドケースを示す断面図。 実施の形態に係るインクジェット式記録装置の概略図。 ドット抜け検出時の態様を示す説明図。 ドット抜け検出時の出力信号である電位信号の波形図。

以下に本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
図１は本形態に係るインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図、図２はその組立斜視図、図３はその要部断面図である。

これらの図に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット２００（以下、ヘッドユニット２００と言う）は、カートリッジケース２１０と、複数個（本形態では４個）のヘッド２２０が、カバーヘッド２４０及び固定板２５０からなるカバー部２３５とともに一体化されたインクジェット式記録ヘッド２１９を有する。

これらのうち、カートリッジケース２１０は、インクカートリッジ（図示なし）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２１１を有する前記インクカートリッジの保持部材である。インクカートリッジは、例えばブラック及び３色のカラーインクが充填された別体で構成されたインク供給手段である。すなわち、カートリッジケース２１０には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。

また、図３に特に明示するように、カートリッジケース２１０には、一端が各カートリッジ装着部２１１に開口するとともに他端がヘッドケース２３０側に開口する複数のインク連通路２１２が設けられている。さらに、カートリッジ装着部２１１のインク連通路２１２の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針２１３が固定されている。この固定は、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路２１２に形成されたフィルタ（図示なし）を介して行なわれる。

ヘッドケース２３０は、カートリッジケース２１０の底面に固着されている。ヘッド２２０は、複数の圧電素子３００を有するとともに、カートリッジケース２１０とは反対側の端面に圧電素子３００の駆動によってノズル開口２１からインク滴を吐出するもので、インクカートリッジの各色のインクを吐出するようインク色毎に対応して複数個設けられている。そこで、ヘッドケース２３０も各ヘッド２２０に対応してそれぞれ独立して複数個設けられている。

上述の如きヘッド２２０及びヘッドケース２３０について図４及び図５を追加してさらに詳細に説明する。ここで、図４はヘッド２２０及びヘッドケース２３０の要部の分解斜視図、図５はヘッド２２０及びヘッドケース２３０の断面図である。

両図に示すように、ヘッド２２０は、ノズルプレート２０、流路形成基板１０、保護基板３０及びコンプライアンス基板４０の４つの基板で構成されている。これらのうち流路形成基板１０は、本形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板１０には、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が形成されている。本形態では、流路形成基板１０の幅方向に関し２個づつの２列の圧力発生室１２が、流路形成基板１０の他方面側から異方性エッチングにより形成されている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する保護基板３０に設けられるリザーバー部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成する連通部１３が形成されている。連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。

流路形成基板１０の開口面側には、ノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。このノズルプレート２０には各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されている。かくして、本形態においては、１個のヘッド２２０にノズル開口２１が並設されたノズル列２１Ａが２列設けられている。

本形態におけるノズルプレート２０は、半導体であるシリコン単結晶基板で形成してあり、共通液体室であるリザーバー１００の底面に対向する部分にはリザーバー１００の壁面の一部を形成するように開口部２０Ｂが設けてある。この開口部２０Ｂを介してリザーバー１００内のインクが導電部である固定板２５０及びカバーヘッド２４０に電気的に接続された状態となっているが、この点については後に詳述する。

また、ノズルプレート２０の流路形成基板１０と反対側表面には、絶縁性（電気伝導性が低い）撥液膜を形成している。

一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には弾性膜５０上に圧電素子３００が配設されている。この圧電素子３００は、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜、金属からなる下電極膜、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層及び金属からなる上電極膜を順次積層することで形成される。

保護基板３０は、圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上に接合されている。リザーバー部３１は、本形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成している。また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。このような保護基板３０は、ガラス、セラミック、金属、プラスチック等で好適に形成し得るが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本例では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成している。

さらに、保護基板３０上には、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１１０が設けられている。この駆動ＩＣ１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤー等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動ＩＣ１１０の各端子には、図１に示すような、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。

コンプライアンス基板４０は保護基板３０上に接合されており、そのリザーバー１００に対向する領域には、リザーバー１００にインクを供給するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板４０のリザーバー１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部である封止膜４１となっており、リザーバー１００は、封止膜４１により封止されている。すなわち、コンプライアンス基板４０は、図５に明示するように、封止膜４１と固定板４２とから形成されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）で形成されており、また固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成されている。この固定板４２のリザーバー１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバー１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。かくして、封止膜４１により、リザーバー１００内にコンプライアンスを与えるように構成してある。

ヘッドケース２３０には、保護基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動ＩＣ保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動ＩＣ保持部２３３を挿通して駆動ＩＣ１１０と接続されている。

かかるヘッド２２０及びヘッドケース２３０は、図１乃至図３に示すように、カートリッジケース２１０にノズル列２１Ａの並び方向に所定の間隔で４つ固定されている。すなわち、ヘッドユニット２００には、ノズル列２１Ａが８列設けられていることになる。

このように複数のヘッド２２０を用いて並設されたノズル開口２１からなるノズル列２１Ａの多列化を図ることで、１つのヘッド２２０にノズル列２１Ａを多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列２１Ａの多列化を図るために複数のヘッド２２０を用いることで、１枚のシリコンウェハーから形成できるヘッド２２０の取り数を増大させることができ、シリコンウェハーの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。

また、このような４つのヘッド２２０は、図１及び図３に示すように、複数のヘッド２２０のインク滴吐出面に接合された共通の固定部材であるカバー部２３５の固定板２５０によって位置決めされて保持されている。固定板２５０は、平板からなり、ノズル開口２１を露出する露出開口部２５１と、露出開口部２５１を画成すると共にヘッド２２０のインク滴吐出面の少なくともノズル列２１Ａの両端部側に接合される接合部２５２とを具備する。接合部２５２は、複数のヘッド２２０に亘ってインク滴吐出面の外周に沿って設けられた固定用枠部２５３と、隣接するヘッド２２０の間に延設されて露出開口部２５１を分割する固定用梁部２５４とで構成され、固定用枠部２５３及び固定用梁部２５４からなる接合部２５２が複数のヘッド２２０のインク滴吐出面側に同時に接合されている。かかる固定板２５０は、例えばステンレス鋼などの金属で形成してある。この結果、ノズルプレート２０の開口部２０Ｂ（図５参照）を介して接触するリザーバー１００内のインクと固定板２５０とは電気的に同電位とすることができる。

なお、本形態では、固定板２５０の厚さを０．１ｍｍとした。また、固定板２５０とノズルプレート２０との接合は、特に限定されず、例えば、熱硬化性のエポキシ系接着剤や、紫外線硬化型の接着剤等を用いて好適に行うことができる。

このように、固定板２５０が、固定用梁部２５４によって隣接するヘッド２２０の間を塞いでいるため、隣接するヘッド２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動ＩＣ１１０などのヘッド２２０のインクによる劣化及び破壊を防止することができる。また、ヘッド２２０のインク滴吐出面と固定板２５０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体が入り込むのを防止して固定板２５０の変形及び紙ジャムを防止することができる。

さらに、ヘッドユニット２００には、図１及び図２に示すように、固定板２５０に対してヘッド２２０とは反対側に、各ヘッド２２０を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０が設けられている。このカバーヘッド２４０は固定板２５０とともに本形態におけるカバー部２３５を形成するもので、固定板２５０の露出開口部２５１に対応して開口部２４１が設けられた固定部２４２と、ヘッド２２０のインク滴吐出面の側面側に、固定板２５０の外周に亘って屈曲するように設けられた側壁部２４５とを具備する。

固定部２４２は、固定板２５０の固定用枠部２５３に対応して設けられた枠部２４３と、固定板２５０の固定用梁部２５４に対応して設けられて開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されている。また、枠部２４３及び梁部２４４からなる固定部２４２は、固定板２５０の接合部２５２に接合されている。ここで、カバーヘッド２４０は、例えばステンレス鋼などの金属材料で形成してあり、金属材料で形成された金属板をプレス加工により形成してもよく、成形により形成するようにしてもよい。また、カバーヘッド２４０と固定板２５０とは導電性接着剤で接合してある。この結果、ノズルプレート２０の開口部２０Ｂ及び固定板２５０を介して接触するリザーバー１００内のインクとカバーヘッド２４０とは電気的に同電位とすることができる。すなわち、カバーヘッド２４０をグランドに接続した場合、リザーバー１００内のインクをグランド電位とすることができる。

なお、固定板２５０の固定用梁部２５４のリザーバー１００の底部に対応する位置に貫通孔を設けた場合にはカバーヘッド２４０と固定板２５０とを接合する接着剤の種類に特に限定はなく、例えば熱硬化性のエポキシ系接着剤を用いることもできる。この場合には、固定用梁部２５４に設けた貫通孔を介してリザーバー１００内のインクをカバーヘッド２４０と接触させることができるからである。ただし、貫通孔周辺はインクに耐性のある接着剤を用いて、インクが漏れ出さないようにしなければならない。

さらに、上述の如くヘッド２２０のインク滴吐出面とカバーヘッド２４０との間が隙間なく接合されているため、隙間に被記録媒体が入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。また、カバーヘッド２４０の側壁部２４５が、複数のヘッド２２０の外周縁部を覆うことで、ヘッド２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。

また、本形態におけるカバーヘッド２４０は、図２及び図３に示すように、ヘッド２２０及びヘッドケース２３０を保持した保持部材であるカートリッジケース２１０に固定されている。さらに詳言すると、カートリッジケース２１０には、インク滴吐出面側に突出して、カバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入される突起部２１５が設けられており、この突起部２１５をカバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入するとともに突起部２１５の先端部を加熱してかしめることで、カートリッジケース２１０にカバーヘッド２４０が固定されている。このようなカートリッジケース２１０に設けられた突起部２１５を、フランジ部２４６の固定孔２４７よりも小径の外径とすることで、カバーヘッド２４０をインク滴吐出面の面方向に位置決めしてカートリッジケース２１０に固定することができる。

また、カバーヘッド２４０と、複数のヘッド２２０が接合された固定板２５０とは、カバーヘッド２４０の固定孔２４７と複数のノズル列２１Ａとの位置決めにより固定されている。

かかる本形態によれば、ヘッド２２０は、インクカートリッジからのインクをインク連通路２１２（図３参照）及びインク供給連通路２３１を介してインク導入口４４から取り込み、リザーバー１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで充満させる。かかる状態で、駆動ＩＣ１１０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力を上げてノズル開口２１からインク滴を吐出させる。

ここで、リザーバー１００内のインクは絶縁部材であるノズルプレート２０の開口部２０Ｂを介して導電部であるカバー部２３５に接触しているので、カバー部２３５をグランドに落とすことにより、インクを安定的にグランド電位とすることができる。この結果、カバー部２３５とフラッシングボックス等の他の導電部材との間に所定電圧を印加するとともに、ノズル開口２１からインクを吐出させて行うドット抜け検出を良好に実施することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、勿論、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上記実施の形態ではノズルプレート２０を絶縁部材であるシリコンで形成したが、カバー部２３５はノズルプレート２０よりも電気伝導率が高ければ良く、例えばカバー部２３５を良導電性の金属材料で形成した場合等ではノズルプレート２０をＳＵＳで形成しても良い場合がある。ただ、ノズルプレート２０をシリコンで形成した場合、流路形成基板１０等の他の基板と熱膨張率が同じであるため、アクチュエーターに熱を加えてＣＯＦ等を接続しても加熱による悪影響を生起することはない。また、ノズルプレート２０とカバー部２３５とをともにＳＵＳで形成し、ノズルプレート２０の表面に絶縁性の保護膜等を形成するというように、表面の皮膜によって所定の電気伝導性を持ち、ノズルプレート２０よりもカバー部２３５の電気伝導率が高いようにしても良い。

また、インクジェット式記録ヘッドの構成は、上述したものに限定されるものではない。ノズルプレートが絶縁体等で形成されている場合において、リザーバーのインクがカバー部を介して電気的に接続されるような構造となっていれば、インクジェット式記録ヘッドの方式は特に限定されない。例えば、上述の実施形態では、撓み振動を利用してインクを吐出させるようにしたが、縦振動を利用するもの、静電気力を利用するもの、発熱素子等を利用するもの等であっても良い。

さらに、本形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。同図に示すように、インクジェット式記録装置における記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

さらに、図６に示すインクジェット式記録装置の場合、ドット抜け検出のための装置も搭載している。図７はドット抜け検出時の態様を示す説明図である。同図に示すように、ドット抜け検出時には、ヘッドユニット２００のカバー部２３５をグランドに落とすとともに、直流電源４１０のプラス側を導電体であるフラッシングボックス４００に接続する。この結果、フラッシングボックス４００とカバー部２３５との間には所定の電位差が発生する。この結果、フラッシングボックス４００はプラスに帯電するとともに、カバー部２３５に電気的に接続されているリザーバー１００（図５参照）内のインクはマイナスに帯電する。かかる状態でインク滴が吐出された場合、フラッシングボックス４００とカバー部２３５との間の電位差が変化する。かかる電位差変化の程度はドット抜けを生起しているノズルの数が多いノズル列程小さい。すなわち、複数のノズルからなる特定のノズル列において、インクを正常に吐出することができないノズルの数が多ければ多いほど出力される電位信号の振幅は小さくなるので、電位信号の振幅を検出することによりドット抜けを生起しているノズル数を把握することができる。電位検出部４２０では、このとき得られる電位差を表す電位信号を検出して分析することによりドット抜けの程度を検出し、その出力信号ＯＵＴでフラッシングボックス４００における吸引の程度を制御する。すなわち、ドット抜けが多い場合には大きな吸引力でクリーニングを行う。

図８はこのとき電位検出部４２０に供給される電位信号の一例を示す波形図である。同図は、＃１、＃２、＃３の各タイミングで異なるノズル列においてインクを吐出させた場合に得られる電位信号を示しており、＃１で吐出させたノズル列がドット抜けを生起していることを示している。

かかるドット抜け検出は印刷毎に印字前に行う。具体的には、先ずヘッドユニット２００を非印字領域のホームポジションに移動させる。この結果ヘッドユニット２００はフラッシングボックスと相対向することになるので、この位置でインクを吐出させる。この結果得られる電位信号でドット抜けが検出された場合には所定の吸引を行い、再度ドット抜け検出を行う。この結果ドット抜けが除去された場合、所定の印字を行う。

なお上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

１０ 流路形成基板、 １２ 圧力発生室、 ２０ ノズルプレート、 ２０Ｂ 開口部、 ２１ ノズル開口、 １００ リザーバー、 ２００ ヘッドユニット、 ２１９ インクジェット式記録ヘッド、 ２２０ ヘッド、 ２３５ カバー部、 ２４０ カバーヘッド、 ２５０ 固定板、 ３００ 圧電素子

Claims (3)

1. 液滴を吐出するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室と、複数の前記圧力発生室に連通して圧力発生室に液体を供給する共通液体室と、前記各圧力発生室内に液滴吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段と、前記ノズルプレートの圧力発生室と反対側に設けられたカバー部とを具備する液体噴射ヘッドであって、
   前記ノズルプレートは、前記カバー部よりも電気伝導率が小さいとともに、前記ノズルプレートには前記共通液体室の液体を前記カバー部に接触させるよう前記共通液体室に対応する位置の少なくとも一部に開口部を設けたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記ノズルプレートはシリコンで、前記カバー部は金属でそれぞれ形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドと、前記カバー部と他の導電部材との間に所定の電位差を形成するための電源手段と、前記カバー部と前記他の導電部材との間の電位の変化を表す電位信号に基づき前記ノズル開口からの液滴の吐出状況を判定する電位検出手段とを有することを特徴とする液体噴射装置。

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