JP2010201542A - ダイヤモンドワイヤーソー、ダイヤモンドワイヤーソーの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】金属製芯線の外表面に分散保持されるダイヤモンド砥粒の保持性が高いと共に、使用時に切れ味を損ねることのないダイヤモンドワイヤーソー及び該ダイヤモンドワイヤーソーの製造方法の提供を課題とする。
【解決手段】金属製芯線１０の外表面１１がめっき層２０で被覆されると共に、該めっき層２０にダイヤモンド砥粒３０が分散保持されてなるダイヤモンドワイヤーソーであって、前記めっき層２０及び前記ダイヤモンド砥粒３０とからなるダイヤモンドワイヤーソーの外表面全体を、金属薄膜４０で被覆してあることを特徴とするダイヤモンドワイヤーソーである。
【選択図】 図２

Description

本発明は、ダイヤモンドワイヤーソー及び該ダイヤモンドワイヤーソーの製造方法に関する。

各種の半導体デバイスを製造するに際しては、単結晶、多結晶、或いはアモルファスのシリコン、水晶等からなる、例えば柱状の素材インゴットが、スライシング加工により所定の厚さ寸法の薄板（ウェハ）に切断加工される。このような高脆性材料を高精度且つ低価格で切断するための加工方法として、ワイヤーの外周面に砥粒、例えばダイヤモンド等の超砥粒を固着した固定砥粒型ワイヤーソーを用いることが試みられている。
そのようなものとして、下記特許文献１〜３がある。
下記特許文献１は、ワイヤーソー及びその製造方法に関する発明で、超砥粒がワイヤーに強固に固着して脱落することがなく、太さが一定で高い切断精度が得られるワイヤーソーが開示されている。
また下記特許文献２は、ワイヤーソーの製造方法及び製造装置に関する発明で、低密度の砥粒分布にした電着ワイヤーソーが開示されている。
また下記特許文献３は、ワイヤーソーおよびその製造方法に関する発明で、加工能率が高く且つ断線し難く、しかも製造効率が高いワイヤーソーが開示されている。

特開平９−１５０３１４号公報 特許第４１５７７２４号公報 特開２００４−５０３０１号公報

しかしながら上記特許文献１に示すワイヤーソーでは、超砥粒がメッキ層によりワイヤー表面に固着された構成としていることから、超砥粒はメッキ層に物理的に埋め込まれているのみであり、保持性が低いという問題があった。
また上記特許文献２、３に示すワイヤーソーでは、砥粒表面に金属を被覆した被覆砥粒を用いることで、メッキ層で物理的に砥粒が保持されるだけでなく、化学的にも保持されるというメリットがある。しかし砥粒の保持性は向上するものの、何れも砥粒を被覆する金属層厚が厚く、使用時に切れ味が損なわれるという問題があった。

そこで本発明は上記従来における問題点を解決し、金属製芯線の外表面に分散保持されるダイヤモンド砥粒の保持性が高いと共に、使用時に切れ味を損ねることのないダイヤモンドワイヤーソー及び該ダイヤモンドワイヤーソーの製造方法の提供を課題とする。

本発明のダイヤモンドワイヤーソーは、金属製芯線の外表面がめっき層で被覆されると共に、該めっき層にダイヤモンド砥粒が分散保持されてなるダイヤモンドワイヤーソーであって、前記めっき層及び前記ダイヤモンド砥粒とからなるダイヤモンドワイヤーソーの外表面全体を、金属薄膜で被覆してあることを第１の特徴としている。

上記本発明の第１の特徴によれば、金属製芯線の外表面がめっき層で被覆されると共に、該めっき層にダイヤモンド砥粒が分散保持されてなるダイヤモンドワイヤーソーであって、前記めっき層及び前記ダイヤモンド砥粒とからなるダイヤモンドワイヤーソーの外表面全体を、金属薄膜で被覆してある構成としてあることから、ダイヤモンド砥粒は、めっき層に加えて、金属薄膜でも保持されることで、タイヤモンド砥粒の保持性が高いダイヤモンドワイヤーソーとすることができる。

また本発明のダイヤモンドワイヤーソーは、上記本発明の第１の特徴に加えて、金属薄膜の厚みは、０．００１μｍ〜１μｍであることを第２の特徴としている。

上記本発明の第２の特徴によれば、上記本発明の第１の特徴による作用効果に加えて、金属薄膜の厚みは、０．００１μｍ〜１μｍである構成としてあることから、ダイヤモンド砥粒の保持性を有すると共に、使用時に切れ味を損ねることのないダイヤモンドワイヤーソーとすることができる。

また本発明のダイヤモンドワイヤーソーは、上記本発明の第１又は第２の特徴に加えて、金属薄膜は、Ａｌ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｙ、Ｚｒから選ばれる１の元素からなる金属若しくは２以上の元素からなる合金であることを第３の特徴としている。

上記本発明の第３の特徴によれば、上記本発明の第１又は第２の特徴による作用効果に加えて、金属薄膜は、Ａｌ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｙ、Ｚｒから選ばれる１の元素からなる金属若しくは２以上の元素からなる合金である構成としてあることから、高い硬度を有する金属薄膜とすることができ、使用時に切れ味を損ねることのないダイヤモンドワイヤーソーとすることができる。

また本発明のダイヤモンドワイヤーソーは、上記本発明の第１〜第３の何れか１つの特徴に加えて、ダイヤモンド砥粒の平均粒径は、１μｍ〜６０μｍであることを第４の特徴としている。

上記本発明の第４の特徴によれば、上記本発明の第１〜第３の何れか１つの特徴による作用効果に加えて、ダイヤモンド砥粒の平均粒径は、１μｍ〜６０μｍである構成としてあることから、砥粒径を十分に小さくすることができ、砥粒が脱落し難いダイヤモンドワイヤーソーとすることができる。

また本発明のダイヤモンドワイヤーソーは、上記本発明の第１〜第４の何れか１つの特徴に加えて、金属製芯線の外表面におけるダイヤモンド砥粒の被覆率は、金属製芯線の外表面全体の面積の１％〜３５％であることを第５の特徴としている。

上記本発明の第５の特徴によれば、上記本発明の第１〜第４の何れか１つの特徴による作用効果に加えて、金属製芯線の外表面におけるダイヤモンド砥粒の被覆率は、金属製芯線の外表面全体の面積の１％〜３５％である構成としてあることから、ダイヤモンド砥粒の被覆率を小さい範囲に留めることができ、特に使用中における捻じれに対して断線し難いダイヤモンドワイヤーソーとすることができる。

また本発明のダイヤモンドワイヤーソーの製造方法は、金属製芯線の外表面にダイヤモンド砥粒が分散保持されたダイヤモンドワイヤーソーの製造方法であって、前記金属製芯線を、ニッケルを溶かせた溶液にダイヤモンド砥粒を分散させてなるニッケル浴を用いて電解めっきを行うダイヤモンド砥粒電着工程と、前記ダイヤモンド砥粒電着工程によって、ダイヤモンド砥粒が分散された状態でめっきされた金属製芯線の外表面全体を更に金属薄膜で被覆する金属薄膜被覆工程と、前記金属薄膜被覆工程によって、ダイヤモンド砥粒が分散された状態でめっきされた金属製芯線の外表面全体が金属薄膜で被覆された状態で熱処理を行う熱処理工程とを有すること第６の特徴としている。

上記本発明の第６の特徴によれば、金属製芯線の外表面にダイヤモンド砥粒が分散保持されたダイヤモンドワイヤーソーの製造方法であって、前記金属製芯線を、ニッケルを溶かせた溶液にダイヤモンド砥粒を分散させてなるニッケル浴を用いて電解めっきを行うダイヤモンド砥粒電着工程と、前記ダイヤモンド砥粒電着工程によって、ダイヤモンド砥粒が分散された状態でめっきされた金属製芯線の外表面全体を更に金属薄膜で被覆する金属薄膜被覆工程と、前記金属薄膜被覆工程によって、ダイヤモンド砥粒が分散された状態でめっきされた金属製芯線の外表面全体が金属薄膜で被覆された状態で熱処理を行う熱処理工程とを有する構成としてあることから、ダイヤモンド砥粒電着工程により、ダイヤモンド砥粒を金属製芯線の外表面に確実に分散保持させることができる。また金属薄膜被覆工程により、ダイヤモンド砥粒が分散された状態でめっきされた金属製芯線の外表面全体に確実に金属薄膜を被覆させることができる。また熱処理工程により、金属薄膜とダイヤモンド砥粒とめっき層との間に化学的な結合を形成させることができる。よってダイヤモンド砥粒の保持性が高いダイヤモンドワイヤーソーとすることができる。

本発明のダイヤモンドワイヤーソー及び該ダイヤモンドワイヤーソーの製造方法によれば、金属製芯線の外表面に分散保持されるダイヤモンド砥粒の保持性が高いと共に、使用時に切れ味を損ねることのないダイヤモンドワイヤーソー及び該ダイヤモンドワイヤーソーの製造方法とすることができる。

本発明の実施形態に係るダイヤモンドワイヤーソーの一部を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るダイヤモンドワイヤーソーの断面図で、（ａ）はダイヤモンドワイヤーソーの軸と直角方向の全体断面図、（ｂ）はダイヤモンドワイヤーソーの軸と直角方向の部分拡大断面図である。 本発明の実施形態に係るダイヤモンドワイヤーソーの製造工程を簡略化して示す図である。

以下の図面を参照して、本発明の実施形態に係るダイヤモンドワイヤーソー及び該ダイヤモンドワイヤーソーの製造方法を説明し、本発明の理解に供する。しかし、以下の説明は本発明の実施形態であって、特許請求の範囲に記載の内容を限定するものではない。

まず図１、図２を参照して、本発明の実施形態に係るダイヤモンドワイヤーソーを説明する。

本発明の実施形態に係るダイヤモンドワイヤーソー１は、図１、図２に示すように、金属製芯線１０の外表面１１がめっき層２０で被覆されると共に、該めっき層２０にダイヤモンド砥粒３０が分散保持されるダイヤモンドワイヤーソーであって、更にめっき層２０及びダイヤモンド砥粒３０とからなるダイヤモンドワイヤーソーの外表面全体を、金属薄膜４０で被覆してあるダイヤモンドワイヤーソーである。

前記金属製芯線１０は、外表面１１を電気めっきすることができ、一定の強度を有する金属製線であれば如何なるものであってもよい。例えばピアノ線等の鋼線、タングステン線、モリブデン線等を用いることができる。

金属製芯線１０の直径は、被削材の材質、形状等により適宜変更可能であるが、０．０５ｍｍ〜０．３０ｍｍであることが望ましい。

前記めっき層２０は、図２に示すように、金属製芯線１０の外表面１１を被覆すると共に、ダイヤモンド砥粒３０を金属製芯線１０に分散保持させるためのものである。
このめっき層２０は、ニッケル（Ｎｉ）で構成されている。もちろんニッケル（Ｎｉ）に限定するものではなく、ダイヤモンドワイヤーソーのめっき層を構成する金属若しくは合金として通常用いるものであれば如何なるものであってもよいが、後述するように、金属薄膜４０と熱処理工程を経て合金を構成すると共に、化学的結合を形成するものであることが望ましい。

めっき層２０の厚さは、金属製芯線１０の径方向におけるダイヤモンド砥粒３０の差し渡し寸法に対して５％〜９０％であることが望ましい。
なお一層好適には、２５％〜８０％であることが望ましく、更に好適には、３０％〜７０％であることが望ましい。

前記ダイヤモンド砥粒３０は、図２に示すように、金属製芯線１０の外表面１１を被覆するめっき層２０に埋め込まれることで、めっき層２０に分散保持されている。

ダイヤモンド砥粒３０の平均粒径は、１μｍ〜６０μｍであることが望ましい。このような構成とすることで、砥粒径が十分に小さくされていることから、ダイヤモンド砥粒３０が金属製芯線１０から脱落し難く、加工能率の良いダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。
なお平均粒径が１μｍ未満では砥粒が小さ過ぎるので、加工能率が低下し、６０μｍを超えると砥粒が脱落し易くなる。
なお一層好適には、下限は２μｍ以上、更に好適には３μｍ以上であり、上限は５０μｍ以下であることが望ましい。

また金属製芯線１０の外表面１１におけるダイヤモンド砥粒３０による被覆率は、１％〜３５％であることが望ましい。このような構成とすることで、被覆率を十分に小さい範囲に留めることができ、ダイヤモンド砥粒３０が分散保持されることに起因してダイヤモンドワイヤーソー１の弾性率が高くなり、ひいては剛性が大きくなることが抑制される。
また切り粉の逃げる空間が十分な大きさで確保されるので、ガラスや水晶のような目詰まりの生じ易い材料の場合にも、目詰まりが抑制されて加工能率が一層高められる。
なお被覆率は、一層好適には、１％〜２５％、更に好適には５％〜２５％であることが望ましい。

前記金属薄膜４０は、めっき層２０及びダイヤモンド砥粒３０とからなるダイヤモンドワイヤーソー１の外表面全体を被覆する金属薄膜である。より具体的には、図２に示すように、めっき層２０の外表面２１とダイヤモンド砥粒３０の外表面３１とからなるダイヤモンドワイヤーソー１の外表面全体を被覆するものである。
このような構成とすることで、金属製芯線１０の外表面１１にめっき層２０で分散保持されたダイヤモンド砥粒３０を一層強固に保持させることができる。よってダイヤモンド砥粒３０の保持性が高いダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。

金属薄膜４０は、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）から選ばれる１の元素からなる金属若しくは２以上の元素からなる合金で構成されている。このような構成とすることで、ダイヤモンドワイヤーソーは、通常、最終工程として熱処理工程を経て製造されるところ、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）の何れの金属も熱処理工程を経ることで、めっき層２０を構成するニッケル（Ｎｉ）と合金を形成しうるため、高い硬度を有するダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。よって使用時における断線を防止することができる。

またアルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）の何れの金属も熱処理工程を経ることで、炭素からなる単体であるダイヤモンド砥粒３０と反応し、炭化金属となる。よって高い硬度を有するダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。従って、使用時に切れ味の良いダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。

更にめっき層２０及びダイヤモンド砥粒３０とからなるダイヤモンドワイヤーソー１の外表面全体を金属薄膜４０で被覆する構成とすることで、金属薄膜４０を構成するアルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）の何れの金属も熱処理工程を経ることで、ニッケル（Ｎｉ）で構成されるめっき層２０及びダイヤモンド砥粒３０との間に化学的な結合を形成する。よってダイヤモンド砥粒３０の保持性の高いダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。

金属薄膜４０の厚みは、０．００１〜１μｍとすることが望ましい。０．００１μｍ未満では、ダイヤモンド砥粒３０の保持性が不十分であり、１μｍを超えるものでは、使用時に高い切れ味が得られないからである。このように、金属薄膜４０の厚みを０．００１〜１μｍと薄いものとすることで、ダイヤモンド砥粒３０の高い保持性と使用時における切れ味の良さとの両立を図ることができるダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。
なお金属薄膜４０の厚みは、より好適には、０．０１μｍ〜０．１μｍであることが望ましい。

次に図３を参照して、本発明の実施形態に係るダイヤモンドワイヤーソーの製造方法を説明する。

本発明の実施形態に係るダイヤモンドワイヤーソー１は、図３に簡潔に示すように、金属製芯線１０の供給源であるロール５０から供給された金属製芯線１０が、プーリ６０を介して脱脂槽７０、酸洗槽８０、水洗槽９０、めっき槽１００、水洗槽２００、金属薄膜形成装置４００、熱処理装置５００を通過し、ロール５１に巻き取られて製造される。

前記プーリ６０は、金属製芯線１０の進行方向を変更させるためのもので、図３に示すように、脱脂槽７０、酸洗槽８０、水洗槽９０、めっき槽１００、水洗槽２００、金属薄膜形成装置４００、熱処理装置５００の上方及び槽内、装置内に複数個設けられている。

前記脱脂槽７０は、例えば水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液が蓄えられた槽であり、この脱脂槽７０を備えた脱脂工程により、金属製芯線１０の表面に付着している油分等の汚れが除去される。
なお脱脂槽７０に蓄えられる水溶液は、脱脂槽に通常用いられるものであれば、如何なるものであってもよい。

前記酸洗槽８０は、例えば塩酸（ＨＣｌ）水溶液が蓄えられた槽であり、この酸洗槽８０を備えた酸洗工程により、金属製芯線１０の表面に付着している酸化物層（錆）が除去される。
なお酸洗槽８０に蓄えられる水溶液は、酸洗槽に通常用いられるものであれば、如何なるものであってもよい。

前記水洗槽９０は、水道水、井戸水、純水が蓄えられた槽であり、この水洗槽９０を備えた水洗工程により、金属製芯線１０の表面に付着している薬液が希釈され、次工程であるダイヤモンド砥粒電着工程におけるめっき層に薬液が混入することを防止することができる。

前記めっき槽１００は、金属製芯線１０に電解めっきを行うダイヤモンド砥粒電着工程を担う槽である。ダイヤモンド砥粒電着工程は、図３に簡潔に示すように、ニッケルを溶かせた溶液１１０にダイヤモンド砥粒３０を分散させてなるニッケル浴を備えるめっき槽１００を通過する金属製芯線１０に、電極３００のマイナス極を接続し、めっき槽１００に浸漬させるニッケル陽極１２０に電極３００のプラス極を接続して行う。

ここで、めっき槽１００に分散されるダイヤモンド砥粒３０は、予めカチオン系界面活性剤溶液中で処理したものを用いる。このような構成とすることで、ダイヤモンド砥粒３０にプラスの電荷をおびさせることができる。よってマイナス極に接続された金属製芯線１０に電気力（クーロン力）による吸着効果で、ダイヤモンド砥粒３０を吸着させることができる。従って、めっきによる砥粒保持作用が得られる前においても金属製芯線１０に付着したダイヤモンド砥粒３０が剥がれ落ち難いので、めっき槽１００における金属製芯線１０の送り速度を高くして製造効率を高めることができる。

なお、めっき槽１００における金属製芯線１０の送り速度は１ｍ／ｍｉｎ〜１００ｍ／ｍｉｎであることが望ましい。
またカチオン系界面活性剤としては、モノエタノールアミン、トリエタノールアミン等を用いることができる。

このダイヤモンド砥粒電着工程により、金属製芯線１０の外表面１１にめっき層２０が形成されると共に、該めっき層２０にダイヤモンド砥粒３０が分散保持される。

前記水洗槽２００は、水道水、井戸水、純水が蓄えられた槽であり、この水洗槽２００を備えた水洗工程により、外表面１１にダイヤモンド砥粒３０が分散保持された金属製芯線１０が水洗される。

前記金属薄膜形成装置４００は、ダイヤモンド砥粒電着工程によって、ダイヤモンド砥粒３０が分散された状態でめっきされた金属製芯線１０の外表面全体を、更に金属薄膜４０で被覆する金属薄膜被覆工程を担う装置である。
この金属薄膜形成装置４００は、図３において詳しくは図示していないが、ダイヤモンド砥粒３０が分散された状態でめっきされた金属製芯線１０の外表面全体にスパッタリング法により金属薄膜４０を形成する装置である。
このように金属薄膜被覆工程により、ダイヤモンド砥粒電着工程によってダイヤモンド砥粒３０が分散された状態でめっきされた金属製芯線１０の外表面全体を、更に金属薄膜４０で被覆することで、金属製芯線１０の外表面１１にめっき層２０で分散保持されたダイヤモンド砥粒３０を一層強固に保持させることができる。よってダイヤモンド砥粒３０の保持性が高いダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。

金属薄膜４０を構成する金属としては、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）から選ばれる１の元素からなる金属若しくは２以上の元素からなる合金を用いることができる。

金属薄膜４０の厚みは、０．００１〜１μｍとすることが望ましい。０．００１μｍ未満では、ダイヤモンド砥粒３０の保持性が不十分であり、１μｍを超えるものでは、使用時に高い切れ味が得られないからである。このように、金属薄膜４０の厚みを０．００１〜１μｍと薄いものとすることで、ダイヤモンド砥粒３０の高い保持性と使用時における切れ味の良さとの両立を図ることができるダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。
なお金属薄膜４０の厚みは、より好適には、０．０１μｍ〜０．１μｍであることが望ましい。

また本実施形態においては、真空めっきであるスパッタリング法により金属薄膜４０を形成する構成としたが、必ずしもこのような構成に限るものではなく、ＰＶＤ（物理蒸着法）やＣＶＤ（化学蒸着法）等の他の真空めっきや、無電解めっきにより金属薄膜４０を形成するものであってもよい。

前記熱処理装置５００は、金属薄膜被覆工程によって、ダイヤモンド砥粒３０が分散された状態でめっきされた金属製芯線１０の外表面全体が金属薄膜４０で被覆された状態で熱処理を行う熱処理工程を担う装置である。
この熱処理工程を行うことで、以下の効果を得ることができる。
まず金属薄膜４０を構成するアルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）の何れの金属も熱処理工程を経ることで、めっき層２０を構成するニッケル（Ｎｉ）と合金を形成する。
よって高い硬度を有するダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。従って使用時における断線を防止することができる。

また金属薄膜４０を構成するアルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）の何れの金属も、熱処理工程を経ることで、炭素からなる単体であるダイヤモンド砥粒３０と反応し、炭化金属となる。
よって高い硬度を有するダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。従って使用時に切れ味の良いダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。

更に金属薄膜４０を構成するアルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、タングステン（Ｗ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）の何れの金属も、熱処理工程を経ることで、ニッケル（Ｎｉ）で構成されるめっき層２０及びダイヤモンド砥粒３０との間に化学的な結合を形成する。よってダイヤモンド砥粒３０の保持性の高いダイヤモンドワイヤーソー１とすることができる。
なお熱処理工程の温度、時間等の熱処理条件は、金属製芯線１０の材質及び金属薄膜４０を構成する金属若しくは合金の種類により適宜設定する。

以上の工程を経てダイヤモンドワイヤーソー１が製造される。

以下に実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこの実施例により何ら限定されるものではない。
図３に示す工程により、ダイヤモンドワイヤーソー１を製造した。
直径０．１４ｍｍの長尺ピアノ線を、送り速度１０ｍ／ｍｉｎで連続的に脱脂槽７０、酸洗槽８０、水洗槽９０に浸漬して脱脂処理を行った後、ニッケル浴を備えためっき槽１００で電解めっき行うダイヤモンド砥粒電着工程を行った。
ここで、めっき槽１００におけるニッケル浴の処方は、硫酸ニッケル６水和物２４０ｇ／Ｌ、塩化ニッケル６水和物４５ｇ／Ｌ、ホウ酸３０ｇ／Ｌである。
このニッケル浴中にカチオン系界面活性剤溶液中で処理したダイヤモンド砥粒を１ｇ／Ｌの濃度で投入した。ダイヤモンド砥粒３０の平均粒径は、１３．４μｍであり、カチオン系界面活性剤としては、モノエタノールアミンとトリエタノールアミンの混合物を用いた。
まためっき条件は、浴温５０℃、電流密度２０Ａ／ｄｍ^２、時間９０秒である。
これにより６μｍのめっき厚を有するダイヤモンドワイヤーソーを得た。
そしてこのダイヤモンドワイヤーソーの外表面全体に対し、スパッタリング法によりチタン（Ｔｉ）を０．０５μｍ厚で被覆した。
その後５００℃、３０秒で熱処理を行い、ダイヤモンドワイヤーソー１を得た。

本発明はシリコンインゴット等の高脆性材料を切断するためのワイヤー工具として利用することができる。

１ ダイヤモンドワイヤーソー
１０ 金属製芯線
１１ 外表面
２０ めっき層
２１ 外表面
３０ ダイヤモンド砥粒
３１ 外表面
４０ 金属薄膜
５０ ロール
５１ ロール
６０ プーリ
７０ 脱脂槽
８０ 酸洗槽
９０ 水洗槽
１００ めっき槽
１１０ 溶液
１２０ ニッケル陽極
２００ 水洗槽
３００ 電極
４００ 金属薄膜形成装置
５００ 熱処理装置

Claims (6)

1. 金属製芯線の外表面がめっき層で被覆されると共に、該めっき層にダイヤモンド砥粒が分散保持されてなるダイヤモンドワイヤーソーであって、前記めっき層及び前記ダイヤモンド砥粒とからなるダイヤモンドワイヤーソーの外表面全体を、金属薄膜で被覆してあることを特徴とするダイヤモンドワイヤーソー。
2. 金属薄膜の厚みは、０．００１μｍ〜１μｍであることを特徴とする請求項１に記載のダイヤモンドワイヤーソー。
3. 金属薄膜は、Ａｌ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｗ、Ｙ、Ｚｒから選ばれる１の元素からなる金属若しくは２以上の元素からなる合金であることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイヤモンドワイヤーソー。
4. ダイヤモンド砥粒の平均粒径は、１μｍ〜６０μｍであることを特徴とする請求１〜３の何れか１項に記載のダイヤモンドワイヤーソー。
5. 金属製芯線の外表面におけるダイヤモンド砥粒の被覆率は、金属製芯線の外表面全体の面積の１％〜３５％であることを特徴とする請求１〜４の何れか１項に記載のダイヤモンドワイヤーソー。
6. 金属製芯線の外表面にダイヤモンド砥粒が分散保持されたダイヤモンドワイヤーソーの製造方法であって、前記金属製芯線を、ニッケルを溶かせた溶液にダイヤモンド砥粒を分散させてなるニッケル浴を用いて電解めっきを行うダイヤモンド砥粒電着工程と、前記ダイヤモンド砥粒電着工程によって、ダイヤモンド砥粒が分散された状態でめっきされた金属製芯線の外表面全体を更に金属薄膜で被覆する金属薄膜被覆工程と、前記金属薄膜被覆工程によって、ダイヤモンド砥粒が分散された状態でめっきされた金属製芯線の外表面全体が金属薄膜で被覆された状態で熱処理を行う熱処理工程とを有することを特徴とするダイヤモンドワイヤーソーの製造方法。

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