JP2010199248A - 発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】放熱性に優れ、光出力の向上を図れる発光装置を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛基板2bの一表面にp型窒化物半導体層21およびn型窒化物半導体層23を有するLED薄膜部2aを備えた半導体発光素子2と、該半導体発光素子2が実装されたベース基板1とを有し、半導体発光素子2は、酸化亜鉛基板2bにおける前記一表面側を光取り出し面側として半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bがベース基板1に設けられた凹部1aに嵌合され、LED薄膜部2aで発生した熱が酸化亜鉛基板2bを介してベース基板1側に放熱されるように構成されている。
【選択図】図1
【解決手段】酸化亜鉛基板2bの一表面にp型窒化物半導体層21およびn型窒化物半導体層23を有するLED薄膜部2aを備えた半導体発光素子2と、該半導体発光素子2が実装されたベース基板1とを有し、半導体発光素子2は、酸化亜鉛基板2bにおける前記一表面側を光取り出し面側として半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bがベース基板1に設けられた凹部1aに嵌合され、LED薄膜部2aで発生した熱が酸化亜鉛基板2bを介してベース基板1側に放熱されるように構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体発光素子を用いた発光装置に関するものである。
従来から、発光層が窒化物半導体材料(GaN、AlGaN、InGaN、AlGaInNなど)により形成された半導体発光素子の高効率化および高出力化の研究が各所で行われている。また、この種の半導体発光素子と、半導体発光素子から放射された光によって励起され半導体発光素子からの光よりも長波長の光を放射する蛍光体が含有された波長変換部材と、を組み合わせて半導体発光素子の発光色とは異なる色合いの混色光を出す発光装置の研究開発が各所で行われている。なお、この種の発光装置としては、例えば、青色の光を放射する半導体発光素子である青色LED素子と、黄色の光を放射する蛍光体が含有された波長変換部材と、を組み合わせて白色の光が発光可能な発光装置(一般的に白色LEDと呼ばれている)の商品化がなされている。
また、近年、光出力の向上を目的として、窒化物半導体材料により形成されたLED薄膜部と、透明で導電性を有するn型ZnO材料からなる酸化亜鉛基板と、を接合してから、酸化亜鉛基板をエッチング速度の結晶方位依存性を利用した結晶異方性エッチングにより六角錐台状ないし六角錐状に加工してなる半導体発光素子が提案されている(例えば、非特許文献1参照)。
ここで、上記非特許文献1に開示された半導体発光素子を応用して、例えば、図7に示すように半導体発光素子2をベース基板1’に実装させて発光装置20’を構成することができる。ここでは、ベース基板1’は、表面に酸化膜を有するSi基板と前記酸化膜上に形成された導体パターン6’,6’とから構成されている。また、半導体発光素子2は、六角錐状に加工された酸化亜鉛基板2bにおける六角形の底面を一表面として、該一表面上にLED薄膜部2aを備え、LED薄膜部2aは、酸化亜鉛基板2bに接する一表面側からLED薄膜部2aにおける前記一表面と反対側の表面に向かってp型GaN層と該p型GaN層上に設けられたp型AlGaN層からなるp型窒化物半導体層21と、該p型窒化物半導体層21上に設けられたInGaN層からなる発光層22と、該発光層22上に設けられたn型GaN層からなるn型窒化物半導体層23とで構成されている。
半導体発光素子2は、酸化亜鉛基板2bにおける前記一表面上にp電極パッド2cが形成され、LED薄膜部2aのn型窒化物半導体層23における酸化亜鉛基板2b側とは反対側にn電極パッド2dが形成されるとともに該n電極パッド2dの形成部位以外の部位に微細凹凸構造9が形成されている。半導体発光素子2のp電極パッド2cおよびn電極パッド2dは、それぞれベース基板1’に設けられた導体パターン6’,6’と金属バンプ10,10を介して電気的に接続させている。
「松下電工とUCSBの新型LED,外部量子効率80%を目指す」,日経エレクトロニクス,日経BP社,2008年2月11日,p.16−17
ところで、図7に例示した発光装置20’では、半導体発光素子2のLED薄膜部2aで発生する熱が、LED薄膜部2aに近いベース基板1’に、半導体発光素子2と電気的に接続される金属バンプ10,10を介して放熱されることになる。
そのため、半導体発光素子2におけるLED薄膜部2aからベース基板1’への放熱経路の断面積が小さく半導体発光素子2からの熱を効率よくベース基板1’側に放熱することが難しい。このような場合、半導体発光素子2におけるLED薄膜部2aのジャンクション温度の温度上昇を抑制するために入力電力が制限され、発光装置20’の光出力の向上が制限される。特に、例えば、照明用途に用いられる場合のような光出力のより高い発光装置が求められる現在においては、さらなる特性向上が求められている。
本発明は上記事由に鑑みてなされたものであり、その目的は、放熱性に優れ、より光出力の向上を図れる発光装置を提供することにある。
請求項1の発明は、酸化亜鉛基板の一表面にp型窒化物半導体層およびn型窒化物半導体層を有するLED薄膜部を備えた半導体発光素子と、該半導体発光素子が実装されたベース基板とを有し、前記半導体発光素子は、前記酸化亜鉛基板における前記一表面側を光取り出し面側として前記半導体発光素子の前記酸化亜鉛基板が前記ベース基板に設けられた凹部に嵌合され、前記LED薄膜部で発生した熱が前記酸化亜鉛基板を介して前記ベース基板側に放熱されることを特徴とする。
この発明によれば、前記半導体発光素子の前記酸化亜鉛基板を前記ベース基板の前記凹部に嵌合させるという比較的簡単な構成で、前記酸化亜鉛基板の前記ベース基板に対する接触面積を大きくし、放熱性に優れ、より光出力の向上を図れる発光装置とすることができる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記酸化亜鉛基板は、前記ベース基板の前記凹部と嵌合する面に前記LED薄膜部から放射される光を反射する反射膜を有することを特徴とする。
この発明によれば、前記LED薄膜部から放射され前記酸化亜鉛基板の内部側へ向かった光を前記反射膜で反射させることで、光を有効利用し発光装置の光取り出し効率をさらに高めることができる。
請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明において、前記酸化亜鉛基板の形状は、直方体状、六角錐状、六角錐台状から選択される1つであり、前記酸化亜鉛基板の最も広い一面を前記一表面とすることを特徴とする。
この発明によれば、前記酸化亜鉛基板の形状を直方体状、六角錐状や六角錐台状にダイシングやエッチングにより量産性良く形成することができ、前記ベース基板の前記凹部に対する前記半導体発光素子の前記酸化亜鉛基板の嵌合による位置決めが容易で正確となることから量産性の高い発光装置とすることができる。
請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の発明において、前記酸化亜鉛基板の前記一表面には、前記LED薄膜部が形成された形成部位と、前記酸化亜鉛基板の前記一表面が露出した露出部位とを有し、前記露出部位の面積は、前記形成部位の面積よりも大きいことを特徴とする。
この発明によれば、前記酸化亜鉛基板の前記露出部位の面積を、前記LED薄膜部が形成された前記形成部位の面積よりも大きくすることで、より光取り出し効率の高い発光装置とすることができる。
請求項1の発明は、酸化亜鉛基板の一表面にLED薄膜部を備えた半導体発光素子を用いて、該半導体発光素子が前記酸化亜鉛基板における前記一表面側を光取り出し面側として前記半導体発光素子の前記酸化亜鉛基板をベース基板に設けられた凹部に嵌合され、前記LED薄膜部で発生した熱が前記酸化亜鉛基板を介して前記ベース基板側に放熱されることにより、放熱性に優れ、より光出力の向上を図れる発光装置にできるという効果がある。
(実施形態1)
以下、本実施形態の発光装置について、図1を用いて説明する。
以下、本実施形態の発光装置について、図1を用いて説明する。
本実施形態の発光装置20は、図1(a)、(b)に示すように、酸化亜鉛基板2bの一表面にp型窒化物半導体層21およびn型窒化物半導体層23を有するLED薄膜部2aを備えた半導体発光素子2と、該半導体発光素子2が実装されたベース基板1とを有し、半導体発光素子2は、酸化亜鉛基板2bにおける前記一表面側を光取り出し面側として酸化亜鉛基板2bがベース基板1に設けられた凹部1aに嵌合され、LED薄膜部2aで発生した熱が酸化亜鉛基板2bを介してベース基板1側に放熱される。
以下、本実施形態の発光装置20に用いられる各構成について、詳述する。
ベース基板1は、半導体発光素子2を実装させるものであって、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bにおいてLED薄膜部2aが備えられた一表面側を光取り出し面側として、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bを嵌合させることが可能な凹部1aを有している。このような、ベース基板1における凹部1aの形状は、凹部1a内に嵌合させる酸化亜鉛基板2bの外形形状に応じて種々形成することができる。
半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bは、例えば、酸化亜鉛材料を塩酸に浸すことで結晶異方性エッチングにより外形形状を六角錐形状にすることができる。また、酸化亜鉛材料は、モース硬度が窒化物半導体材料やサファイアなどと比較して小さいためダイシングなどで比較的容易に直方体状などに加工することもできる。この場合、直方体状、六角錐状や六角錐台状の最も広い一面をLED薄膜部2aを備える前記一表面とすればよい。
したがって、図1に示すように、酸化亜鉛基板2bの外形形状を六角錐台状とし、ベース基板1の凹部1aの形状を、ベース基板1の厚み方向に深くなるほど六角形の面積が小さくなる六角錐台形状の窪みとした場合は、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bをベース基板1の凹部1aに嵌合させる場合の位置決め精度を高めつつ、酸化亜鉛基板2bの厚みを薄くさせると発光装置20全体の厚みを薄くすることが可能となる。
また、図2に示す半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bの外形を直方体状とした場合は、酸化亜鉛基板2bを嵌合するベース基板1の凹部1aの形状を直方体形状の窪みとすることができる。この図2に示した発光装置20は、ベース基板1の凹部1aに対する半導体発光素子2の位置決めが正確で容易なだけでなく、酸化亜鉛基板2bの厚みを薄くさせると発光装置20全体の厚みを薄くすることができる。
同様に、図3に示すように酸化亜鉛基板2bの外形形状を六角錐状とし、ベース基板1の凹部1aの形状を、ベース基板1の厚み方向に深くなるほど六角形の面積が小さくなる六角錐形状の窪みとした場合は、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bをベース基板1の凹部1aに嵌合させる場合、位置決め精度をより高くすることができる。
なお、本実施形態の発光装置20に用いられるベース基板1では、半導体発光素子2を挿入し嵌合可能な凹部1aを有するベース部11と、電気絶縁性を有しベース部11を保持する支持部12と、ベース部11上に配置され半導体発光素子2に電流を供給可能な導体パターン6,6が表面に形成された配線板13で構成してある。
ここで、ベース基板1のベース部11は、半導体発光素子2のLED薄膜部2aからの熱が酸化亜鉛基板2bを介して効率よくベース基板1側に放熱できるように、酸化亜鉛基板2bよりも熱伝導率が高い材料で構成することが好ましい。このようなベース部11の材料として、例えば、CuやAlなどの金属材料を好適に挙げることができる。したがって、ベース部11の凹部1aの形状は、上述のように半導体発光素子2における酸化亜鉛基板2bの形状に合わせて、金属プレス加工などにより比較的簡単に形成することができる。ここで、ベース部11における凹部1aの平面視形状は、六角形状としてある。なお、凹部1aの平面視形状は、六角形状に限らず半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bの平面視形状が例えば、正方形状、長方形状、ひし形状などであれば、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bに合わせて、例えば、正方形状、長方形状、ひし形状などとすることもできる。
ベース基板1の支持部12は、凹部1aを有するベース部11を支持し、且つ半導体発光素子2で発生した熱をベース部11および支持部12を介して、発光装置20が実装されるプリント基板などの配線基板に熱伝導させることができる。この場合、支持部12は半導体発光素子2に短絡などが生じないように、電気絶縁性を有し、熱伝導性の高いことが好ましい。このようなベース基板1における支持部12の材料としては、例えば、アルミナや窒化アルミニウムなどが挙げられる。また、支持部12の形状は、例えば、支持するベース部11の底面より大きい矩形の平板形状とすることができる。
ベース基板1の配線板13は、ベース部11の凹部1aに半導体発光素子2を嵌合できるように開口部を有し、半導体発光素子2と外部とを電気的に接続できるように導体パターン6,6が好適に設けられたものである。このような配線板13として、ガラスエポキシ樹脂からなる絶縁性基板の一表面に金属膜(例えば、Au膜の単膜や最上層がAu膜となるCu膜とNi膜とAu膜の積層膜など)からなる導体パターン6,6が形成されたものを用いることができる。なお、配線板13は、ガラスエポキシ樹脂基板に限られず、導体パターン6,6が形成されたセラミック基板(例えば、アルミナセラミック基板、窒化アルミニウム基板など)、ポリイミド樹脂基板、紙フェノール基板を用いてもよい。
本実施形態では配線板13の導体パターン6,6は、金属ワイヤ4,4がボンディング接続可能な接続ランド6a,6aと、該接続ランド6a,6aから延伸した導体配線6b,6bと、該導体配線6b,6bと接続され外部と電気的に接続可能な外部電極6c,6cとを備えている。ここで、導体パターン6,6の接続ランド6a,6aは、半導体発光素子2における酸化亜鉛基板2bの前記一表面に設けられたp電極パッド2cと、半導体発光素子2におけるLED薄膜部2aのn型窒化物半導体層23に設けられたn電極パッド2dと、をそれぞれ金属ワイヤ(例えば、金線)4,4を介して電気的に接続させてある。
なお、ベース基板1は、ベース部11と支持部12と配線板13とにそれぞれ別体に形成するのではなく、表面に絶縁層(例えば、結晶化ガラスや金属酸化物など)が形成された金属からなる金属ベース基板を利用してもよい。この場合、導電パターン6,6は、結晶化ガラスや金属酸化物上に適宜形成すればよい。
次に、本実施形態の発光装置20に用いられる半導体発光素子2について、詳述する。
半導体発光素子2は、n型ZnO基板からなる酸化亜鉛基板2bの一表面に、窒化物半導体材料により形成され青色の光を放射可能なLED薄膜部2aが形成されたものである。半導体発光素子2のLED薄膜部2aは、n型窒化物半導体層23と発光層22とp型窒化物半導体層21との積層構造を有している。
また、半導体発光素子2は、酸化亜鉛基板2bにおける六角形状の前記一表面の略中央に正方形状のLED薄膜部2aが形成され、正方形状のLED薄膜部2aが酸化亜鉛基板2bに形成された形成部位2fの面積は、六角形状の酸化亜鉛基板2bの前記一表面が露出した露出部位2eの面積よりも小さく形成されている(図1(a)を参照)。
本実施形態の半導体発光素子2は、酸化亜鉛基板2bの前記一表面上において、p電極パッド2cが、酸化亜鉛基板2bに対してオーミック接触となるように形成され、酸化亜鉛基板2bを介してLED薄膜部2aのp型窒化物半導体層21と電気的に接続されている。また、n電極パッド2dが、LED薄膜部2aのn型窒化物半導体層23に対してオーミック接触となるようにn型窒化物半導体層23の表面に形成されてn型窒化物半導体層23と電気的に接続されている。
なお、LED薄膜部2aは、後述するようにLED薄膜部2aを酸化亜鉛基板2bの基礎となるn型ZnOウェハと接合する前に、主表面が(0001)面であるサファイアウェハの主表面側に低温バッファ層を介してn型窒化物半導体層23、発光層22、p型窒化物半導体層21の順に有機金属気相成長法(MOVPE法)のようなエピタキシャル成長技術を利用して成膜することができる。ここで、LED薄膜部2aのエピタキシャル成長方法は、MOVPE法に限定するものではなく、例えば、ハイドライド気相成長法(HVPE法)や、分子線エピタキシー法(MBE法)などを用いて成膜してもよい。
LED薄膜部2aのn型窒化物半導体層23は、発光層22に対してクラッド層として機能するとともにコンタクト層としても機能するn型GaN層により構成されているが、単層構造に限らず、多層構造でもよい。また、発光層22は、GaN層からなる障壁層によりInGaN層からなる井戸層が挟まれた量子井戸構造を有しており、発光層22の発光ピークが460nmとなるようにInGaNの組成比を設定しているが、発光波長(発光ピーク波長)は、特に限定するものでもない。なお、発光層22は、ホモ構造、ヘテロ構造やダブルヘテロ構造としてもよい。また、発光層22は、単一量子井戸構造に限らず多重量子井戸構造でもよい。発光層22の材料も窒化物半導体材料であればよく、例えば、AlGaInN、AlInN、AlGaNのほか、SiやZnなど各種不純物が含有されたGaNなどでもよい。p型窒化物半導体層21は、p型GaN層で構成してあるが、単層構造に限らず、多層構造でもよい。したがって、p型窒化物半導体層21は、例えば、発光層22に対してクラッド層として機能するp型AlGaN層からなる第1のp型窒化物半導体層と、コンタクト層として機能するp型GaN層からなる第2のp型窒化物半導体層とに機能分離して構成しても良い。
ところで、窒化物半導体材料および酸化亜鉛材料は、ウルツ鉱型の結晶構造でc軸方向に極性を有する有極性半導体である。そのため、LED薄膜部2aは、n型窒化物半導体層23における前記n型GaN層の発光層22側とは反対側の表面がN極性面である(000−1)面により構成され、p型窒化物半導体層21における前記p型GaN層の発光層22側とは反対側の表面がGa極性面である(0001)面により構成されている。また、酸化亜鉛基板2bは、LED薄膜部2a側の前記一表面がZn極性面である(0001)面により構成され、LED薄膜2a側とは反対側の他表面がO極性面である(000−1)面により構成されている。
すなわち、LED薄膜部2aと酸化亜鉛基板2bとは、酸化亜鉛基板2bのZn極性面とp型窒化物半導体層21のGa極性面とが接合されている。
酸化亜鉛基板2bは、不純物をドーピングすることなく酸素空孔もしくは亜鉛の格子間原子欠陥によりn型の導電性を示すノンドープZnO基板を用いてもよいが、不純物のドーピングによって導電型や導電率を制御したもの、例えば、GaドープZnO基板(GZO基板)や、AlドープZnO基板(AZO基板)を用いる方が、p電極パッド2cなどアノード電極とのオーミック接触の接触抵抗を低減するうえでより好ましい。
半導体発光素子2のp電極パッド2cおよびn電極パッド2dは、Ti膜とAl膜とAu膜との積層膜により構成してあり、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dのいずれも最表面側がAu膜で構成してある。ここで、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dは、例えば、Ti膜の膜厚を10nm、Al膜の膜厚を50nm、Au膜の膜厚を500nmとすることができるが、これらの数値は一例であって特に限定するものではない。いずれにしろ、本実施形態の半導体発光素子2は、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dが同一の金属材料により形成され、同一の電極構造を有している。p電極パッド2cおよびn電極パッド2dは、それぞれを構成する積層膜において厚み方向で重なる膜同士の密着性を高めることができるとともに、それぞれ接続される酸化亜鉛基板2bおよびn型窒化物半導体層23に対する密着性を高めることもできる。また、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dを量産性よく同時形成することもでき、ここでは、電子ビーム蒸着法(EB蒸着法)により同時に成膜しているが、これに限られるものではなく、スパッタ法などを用いて形成してもよい。
本実施形態の半導体発光素子2では、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dとして、Ti膜とAl膜とAu膜との積層膜を採用することにより、それぞれ酸化亜鉛基板2b、n型窒化物半導体層23に対して良好なオーミック接触(低オーミック抵抗のオーミック接触)を得ることができるが、前記積層膜に限らず、Ti膜とAu膜との積層膜やAl膜とAu膜との積層膜、Ti膜とAl膜とNi膜とAu膜との積層膜の群から選択される1つの積層膜により形成してもよい。いずれの構成でも、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dの最表面側がAu膜とすることで、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dの表面の酸化を防ぐことができる。また、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dと、ベース基板1の配線板13に設けられた導体パターン6,6と、を金線からなる金属ワイヤ4,4によりボンディング接続させる場合は、金属ワイヤ4,4との接合信頼性を向上させることもできる。
ところで、本実施形態の半導体発光素子2は、LED薄膜部2aにおける酸化亜鉛基板2b側とは反対側の表面に全反射抑制用の微細凹凸構造9が好適に形成されている。そのため、LED薄膜部2aにおける酸化亜鉛基板2b側とは反対側の表面と該表面に接する媒質(例えば、空気)との界面での全反射を抑制することができる。ここで、微細凹凸構造9は、n型窒化物半導体層23の表面においてn電極パッド2dの形成部位以外の部位に形成されている。なお、微細凹凸構造9は、断面三角波状の形状となっており、微細凹凸構造9の周期および高低差は数μm以下で適宜設定すればよい。
また、本実施形態においては、半導体発光素子2のLED薄膜部2aから放出された光は、主として微細凹凸構造9が形成されたn型窒化物半導体層23から外部へ放出されるものと、p型窒化物半導体層21と接する酸化亜鉛基板2b側へ放出ものに分けることができる。ここで、p型窒化物半導体層21から酸化亜鉛基板2b側に放出された光は、窒化物半導体材料と酸化亜鉛材料との屈折率差が一般的な青色LED素子などに用いられている窒化物半導体材料とサファイアとの屈折率差よりも小さいため、半導体発光素子2のLED薄膜部2aから酸化亜鉛基板2b側に効率よく光を取り出すことができる。
p型窒化物半導体層21から酸化亜鉛基板2b側に放出された光は、酸化亜鉛基板2b中でベース基板1の凹部1a内側に向かい、凹部1aとの界面で反射され、再び酸化亜鉛基板2b中を透過し酸化亜鉛基板2bの前記一表面側から外部に放出されることになる。
また、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bの屈折率(約2.1)は、LED薄膜部2aを構成する窒化物半導体材料の屈折率(約2.4)よりも小さい。そのため、酸化亜鉛基板2bの前記一表面が露出し、LED薄膜部2aからの光を遮るものが設けられていない露出部位2eは、LED薄膜部2aにおける酸化亜鉛基板2b側とは反対側の前記表面と比較して、露出部位2eやLED薄膜部2aの前記表面と接する前記媒質との全反射を抑制し光を取り出しやすい。したがって、凹部1aとの界面で反射された光は、LED薄膜部2aを透過させて外部に放出するよりも、酸化亜鉛基板2bの露出部位2eから光を外部に効率よく取り出すことができ、酸化亜鉛基板2bの露出部位2eの面積を、LED薄膜部2aが酸化亜鉛基板2bの前記一表面側に形成された形成部位2fの面積よりも大きくすることで、より光取り出し効率の高い発光装置20とすることが可能となる。
なお、酸化亜鉛基板2bの露出部位2eが大きくなりすぎると、LED薄膜部2aの領域が小さくなり発光面積が小さくなる。また、LED薄膜部2aから酸化亜鉛基板2bを介して、ベース基板1側に熱を伝導させる熱抵抗が大きくなる。さらに、酸化亜鉛基板2bを介してLED薄膜部2aに電流を注入させる場合は、酸化亜鉛基板2bにおける電気抵抗が大きくなり光出力を向上させるのが難しくなる場合もある。したがって、酸化亜鉛基板2bの形状等にもよるが、酸化亜鉛基板2bの露出部位2eの面積は、例えば形成部位2fの面積の約20倍よりも小さいことが好ましく、発光装置20の光学特性や電気特性に合わせて種々調整することができる。
さらに、光取り出し効率を高めるため、酸化亜鉛基板2bにおける前記一表面側の露出部位2eは、全反射抑制用の凹凸構造とすることもできる(図示しない)。このような、露出部位2eの凹凸構造もLED薄膜部2aからの発光波長を考慮して所望の周期や高低差で適宜設計することができる。
また、本実施形態の半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bには、ベース基板1の凹部1aと嵌合する面にLED薄膜部2aから放射される光を反射する反射膜3が好適に設けられている。反射膜3は、例えば、誘電体膜と反射用金属膜から構成することができる。前記誘電体膜は、酸化亜鉛基板2bが、前記一表面と対向する側(他表面側)を下面とする角錐台状(ここでは、六角錐台状)の形状に形成される場合、角錐台状の酸化亜鉛基板2bの前記他表面と各斜面とにLED薄膜部2aから放射される光に対して透光性を有している。前記反射用金属膜は、LED薄膜部2aから放射される光に対して透光性のある前記誘電体膜を透過した光を反射する。これにより、LED薄膜部2aからベース基板1側に放射される光がベース基板1に吸収されてしまうことを抑制することができる。
ここで、前記誘電体膜は、SiO2膜により形成し、前記反射用金属膜は、Ag膜により形成することもできる。なお、前記誘電体膜の材料は、SiO2に限らず、例えば、Si3N4、Al2O3、Y2O3、ZrO2、TiO2、Ta2O5、CeO2、Nb2O5などを採用してもよいが、酸化亜鉛基板2bよりも屈折率が低い材料であるSiO2、Si3N4、Al2O3、Y2O3、ZrO2が好ましく、屈折率が最も低いSiO2を採用することがより好ましい。また、前記反射用金属膜は、Ag膜の単層膜に限らず、例えば、前記誘電体膜上のAg膜とAg膜上のAu膜との多層膜でもよい。例えば、前記反射用金属膜がAg膜の単層膜もしくはAg膜とAu膜との積層膜により構成されている場合は、ベース基板1の凹部1a内に、例えば、AuSn、SnAgCuなどの半田を用いて密着接合することができ、半導体発光素子2をベース基板1の凹部1aにエポキシ樹脂などのダイボンド材を用いて固定する場合と比較して、半導体発光素子2からベース基板1までの熱抵抗を低減することもできる。
ここで、反射膜3の前記誘電体膜および前記反射用金属膜は、例えば、スパッタ法や電子ビーム蒸着法などにより形成すればよい。また、前記反射用金属膜は、例えば、電界めっき法により形成してもよく、この場合は、半導体発光素子2のLED薄膜部2aが形成されていない酸化亜鉛基板2b側から半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bにおける前記一表面が濡れない深さまで、めっき液の入っためっき槽に浸すようにすれば、簡易かつ安価に酸化亜鉛基板2bに前記反射用金属膜が形成された半導体発光素子2を形成することができる。
以下、本実施形態の発光装置20に用いられる半導体発光素子2の製造方法について説明する。
半導体発光素子2は、サファイアウェハのC面である主表面側にGaNからなる低温バッファ層を介してLED薄膜部2aとなるn型窒化物半導体23と発光層22とp型窒化物半導体層21との積層構造膜をMOVPE法などの結晶成長法により成膜する。他方、水熱合成法などにより形成させたn型ZnOウェハを半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bの基礎として用いる。次に、LED薄膜部2aを酸化亜鉛基板2bに形成させるため、前記サファイアウェハの前記主面側の前記積層構造膜と、前記n型ZnOウェハとの接合面を洗浄した後、窒素雰囲気中において600℃に加熱し、2MPaの圧力をかけて熱接合する。その後、前記サファイアウェハとn型ZnOウェハが熱接合されたウェハから前記サファイアウェハを剥離して、前記n型ZnOウェハ上にLED薄膜部2aとなる前記積層構造膜が熱接合されたウェハを形成させることができる。
このような前サファイアウェハの剥離方法としては、前記サファイアウェハと前記積層構造膜との界面付近にレーザ光を照射しレーザ加工工程により前記低温バッファ層が形成されたサファイアウェハごと前記積層構造膜を剥離する方法、或いは前記積層構造膜を前記サファイアウェハ上に選択成長法により結晶成長を行い前記n型ZnOウェハとの熱接合後に前記積層構造膜と前記サファイアウェハとの界面近傍において選択成長時に形成したボイドを利用して前記サファイアウェハ側を剥離する方法などが挙げられる。
引き続き、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて前記積層構造膜を光取り出し面側において正方形状となるように前記n型ZnOウェハ上でパターニングを行い、LED薄膜部2aを形成する。続いて、n型窒化物半導体層23の前記表面に微細凹凸構造9を形成する微細凹凸構造形成工程を行う。その後、p電極パッド2cおよびn電極パッド2dを形成するパッド形成工程を行ってから、前記n型ZnOウェハにおけるLED薄膜部2aが形成された前記一表面とは反対側に所定形状(酸化亜鉛基板2bの前記他表面の形状に相当する形状)にパターニングされたマスク層を形成するマスク層形成工程を行う。その後、塩酸系のエッチング液(例えば、塩酸水溶液など)を用いてエッチング速度の結晶方位依存性を利用した結晶異方性エッチングを行うことにより、エッチング面が光を反射可能な平滑面となる六角錐状の酸化亜鉛基板2bを形成する加工工程を行う。次に、研磨により六角錐台状の酸化亜鉛基板2bに加工した後、前記マスク層を除去する。
続いて、LED薄膜部2aが形成された酸化亜鉛基板2bの前記一表面側にマスクを形成させた後に、前記一表面側にLED薄膜部2aが形成された六角錐台状の酸化亜鉛基板2bの前記他表面と各斜面とにLED薄膜部2aから放射される光に対して透明な誘電体膜と、該誘電体膜にLED薄膜部2aから放射され前記誘電体膜を透過した光を反射する反射用金属膜からなる反射膜3を形成する。反射膜3を形成させた後に、前記一表面側に形成されたマスクを除去して半導体発光素子2を形成することができる。
次に、こうして形成された半導体発光素子2を用いて本実施形態の発光装置20を製造する。
半導体発光素子2は、酸化亜鉛基板2bのLED薄膜部2aが設けられた前記一表面側を光取り出し面側として、六角錐台形状の酸化亜鉛基板2bにおける前記他表面と各斜面とを、ベース基板1の厚み方向に深くなるほど六角形の面積が小さくなる六角錐台形状の窪みとなる凹部1aに合わせて内部に挿入するように嵌め合わせて実装する。
ここで、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bと、ベース基板1の凹部1aとは、高熱伝導且つ絶縁性接着剤としてフィラーが含有されたエポキシ樹脂、導電性接着剤としてAgペーストや半田などを用いて密着貼付け固定する。半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bに設けられたp電極パッド2cと、ベース基板1の配線板13に設けられた導体パターン6の接続ランド6aとを金属ワイヤ4によってワイヤボンディングする。他方、半導体発光素子2のLED薄膜部2aにおけるn型窒化物半導体層23に設けられたn電極パッド2dと、ベース基板1の配線板13に設けられた導体パターン6の接続ランド6aとを金属ワイヤ4によってワイヤボンディングする。この導体パターン6,6の外部電極6c,6c間に外部から電流を供給すると青色の光が発光可能な発光装置20とすることができる。
なお、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bに用いられる酸化亜鉛材料は、一般的に知られている窒化物半導体を用いた青色LED素子などの基板材料であるサファイアと比較して、約2倍も熱伝導性に優れている。そのため、本実施形態の発光装置20は、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bをベース基板1の凹部1aと嵌合させるという比較的簡単な構成で形成することができ、熱伝導性に優れた酸化亜鉛基板2bのベース基板1に対する接触面積を大きくすることで、発光装置20の放熱性の向上を図ることができる。また、LED薄膜部2aのジャンクション温度の温度上昇を抑制することができるから、入力電力を大きくすることができ、光出力の高出力化を図ることができる。
なお、本実施形態では、半導体発光素子2から放射される光が青色の光となるように発光層22を設計してあるが、半導体発光素子2から放射される光は、青色の光に限らず、例えば、紫外線、緑色の光、黄色の光や赤色の光などであってもよい。
また、発光装置20は、所望に応じてベース基板1に複数個の凹部1aを設け、複数個の半導体発光素子2をそれぞれ嵌合させることができ、各半導体発光素子2をベース基板1上に設けた導体パターン6,6を用いて電気的に直列接続、並列接続や直並列接続させてもよい。
(実施形態2)
図4に示す本実施形態の発光装置20の基本構成は実施形態1と略同一であり、酸化亜鉛基板2bの前記一表面にp電極パッド2cを設けることなく、半導体発光素子2のp型窒化物半導体層21と、ベース基板1の導体パターン6とを電気的に接続した点が異なる。なお、実施形態1と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図4に示す本実施形態の発光装置20の基本構成は実施形態1と略同一であり、酸化亜鉛基板2bの前記一表面にp電極パッド2cを設けることなく、半導体発光素子2のp型窒化物半導体層21と、ベース基板1の導体パターン6とを電気的に接続した点が異なる。なお、実施形態1と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
本実施形態の発光装置20は、図4に示すように半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bにおけるLED薄膜部2aが備えられた前記一表面とは反対側に、Ag膜からなる反射膜3を設け、この反射膜3とベース基板1の凹部1aとを半田(図示しない)を介して嵌合させて溶融固着している。また、ベース基板1のCu材料からなるベース部11は、導電性接着層(例えば、半田やAgペースト)8を介して配線板13と接続固定されている。導電性接着層8は、配線板13に設けられた貫通配線7を介して導体パターン6と電気的に接続されている。
したがって、半導体発光素子2のp型窒化物半導体層21は、半導体発光素子2の酸化亜鉛基板2bの前記一表面にp電極パッド2cを設けることなく、酸化亜鉛基板2b、反射膜3、半田、ベース部11、導電性接着層8、貫通配線7を介して配線板13の導体パターン6と電気的に接続されている。
なお、半導体発光素子2のn型窒化物半導体層23は、n型窒化物半導体層23に設けられたn電極パッド2dと、配線板13の導体パターン6とを金属ワイヤ4を介して電気的に接続されてる。
これにより、発光装置20の導体パターン6,6に外部から電力を供給すると、本実施形態の発光装置20は、半導体発光素子2のLED薄膜部2aからベース基板1の凹部1a側に向かって放出され反射膜3によって反射された光が、p電極パッド2cやp電極パッド2cと接続された金属ワイヤ4で遮られることもなく酸化亜鉛基板2bの前記一表面側から放射されるので、光取り出し効率をより高めることができる。
(実施形態3)
図5に示す本実施形態の発光装置20の基本構成は、実施形態1と略同一であり、実施形態1の発光装置20における半導体発光素子2の光取り出し面側に波長変換部材15を設けた点が異なる。なお、実施形態1と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図5に示す本実施形態の発光装置20の基本構成は、実施形態1と略同一であり、実施形態1の発光装置20における半導体発光素子2の光取り出し面側に波長変換部材15を設けた点が異なる。なお、実施形態1と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
本実施形態の発光装置20は、図5に示すように実施形態1と同様の平面視形状が長方形状であるベース基板1の略中央に、開口部が六角形状となる凹部1aが設けられており、半導体発光素子2は、酸化亜鉛基板2bにおけるLED薄膜部2aを備えた前記一表面側を光取り出し面側として、前記一表面側とは対向する面側をベース基板1の凹部1aに嵌合され、LED薄膜部2aで発生した熱が酸化亜鉛基板2bを介してベース基板1側に放熱可能にしてある。また、半導体発光素子2のp電極パッド2cおよびn電極パッド2dは、それぞれベース基板1の配線板13に設けられた導体パターン6,6の接続ランド6a,6aと金属ワイヤ4,4によってボンディング接続させてある。
本実施形態の発光装置20においては、半導体発光素子2の光取り出し面側に波長変換部材15が設けられており、より具体的には、発光装置20のベース基板1における配線板13上に、円板形状の波長変換部材15がベース基板1の凹部1aを覆うようにスクリーン印刷法を用いて形成されている。なお、波長変換部材15は、シリコーン樹脂中に半導体発光素子2からの青色の光を吸収し、吸収した青色の光の波長よりも長波長の黄色の光に波長変換する粒子状の蛍光体が含有されたものである。
この発光装置20において、導体パターン6,6の外部電極6c,6c間に電力を供給すると、導体パターン6,6から金属ワイヤ4,4を介して半導体発光素子2に電流が流れ、半導体発光素子2から青色の光が放射される。また、波長変換部材15では、半導体発光素子2からの青色の光の一部を吸収し波長変換した前記蛍光体から黄色の光が放射される。したがって、発光装置20の波長変換部材15からは、前記蛍光体からの黄色の光と、半導体発光素子2から放出され、前記蛍光体に変換されず波長変換部材15を透過した青色の光との混色光により、白色の光が出射されて見える。
なお、図5に示す円板形状の波長変換部材15を用いる代わりに、図6に示すドーム形状の波長変換部材15を用いてもよい。例えば、ベース基板1は、支持部12を矩形の平板形状に形成し、この支持部12上に円柱形状のベース部11と該ベース部11上の配線板13が形成されたものを用いる。そして、図6(a)に示すように、ベース基板1の凹部1aに嵌合された半導体発光素子2および配線板13上に凸レンズ形状となる封止部14を設ける。波長変換部材15は、予め封止部14を覆う形で封止部14よりも大きなドーム形状に形成し、ベース基板1の円柱形状となるベース部11と配線板13の外周に沿わせ、且つ矩形の平板形状である支持部12上に固定配置させて発光装置20を構成することもできる。また、ドーム形状の波長変換部材15は、図6(b)に示すように、半導体発光素子2と外部とを電気的に接続させるため、電極引き出しのための切り欠き部16を設けてある。なお、この発光装置20において、封止部14を省略し、波長変換部材15と半導体発光素子2との間を空洞とすることもできる。
図6(a)において、ドーム形状の波長変換部材15は、ベース基板1の熱伝導率が高いベース部11と熱接触させて嵌合させてある。そのため、波長変換部材15に分散された蛍光体のストークス・ロス等に起因して発生した熱を、ベース部11から放熱させることもできる。これによって、波長変換部材15の温度を低下させ、波長変換部材15に含有された前記蛍光体の温度が上昇することにより当該蛍光体のルミネッセンスの効率が減少する温度消光を改善し、発光装置20の光出力を向上させることも可能となる。
また、別の発光装置20として、半導体発光素子2における酸化亜鉛基板2bのLED薄膜部2aを備えた前記一表面上だけに波長変換部材15を塗布形成し、半導体発光素子2自体から白色の光を発光するものをベース基板1の凹部1aに嵌合させて構成しても良い。
以下、本実施形態の発光装置20に関連して、封止部14および波長変換部材15について詳述する。
封止部14は、半導体発光素子2を保護し、半導体発光素子2からの光を効率よく外部に取り出すために好適に設けられ、例えば、シリコーン樹脂を採用した凸レンズ形状に形成することができる。封止部14の材料としては、シリコーン樹脂に限られず、エポキシ樹脂、アクリル樹脂やガラスなどの透光性材料を採用することもできる。封止部14の形状も凸レンズ形状に限られず、所望に応じて平板形状や凹レンズ状など種々形成することができる。
波長変換部材15は、透光部と、該透光部中に均一に分散された蛍光体とを有している。前記蛍光体は粒子状に形成され、半導体発光素子2からの光を吸収し、この光の波長よりも長波長に波長変換する。したがって、波長変換部材15は、半導体発光素子2から放出される波長を変換可能に形成させてある。波長変換部材15の形状は、半導体発光素子2を覆うように例えば、円板形状、ドーム形状やシート形状などに形成することができる。波長変換部材15に用いられる前記透光部の材料としては、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラス、有機成分と無機成分とがnmレベルもしくは分子レベルで混合、結合した有機・無機ハイブリッド材料などを用いることができる。また、波長変換部材15の前記蛍光体も、青色の光を吸収して黄色の光が発光可能な酸窒化物系蛍光体やセリウムで付活されたガーネット系蛍光体などのほか、色調整や演色性を高めるなど所望に応じ、例えば、黄色の光を発光する前記蛍光体の代わりに、赤色の光を発光する蛍光体と緑色の光を発光する蛍光体などを種々用いてもよい。
このように本実施形態の発光装置20は、波長変換部材15を用いて白色の光などの混色光も発光可能であり、放熱性に優れ、光出力の向上を図ることができる。
1 ベース基板
1a 凹部
2 半導体発光素子
2a LED薄膜部
2b 酸化亜鉛基板
2e 露出部位
2f 形成部位
3 反射膜
20 発光装置
21 p型窒化物半導体層
22 発光層
23 n型窒化物半導体層
1a 凹部
2 半導体発光素子
2a LED薄膜部
2b 酸化亜鉛基板
2e 露出部位
2f 形成部位
3 反射膜
20 発光装置
21 p型窒化物半導体層
22 発光層
23 n型窒化物半導体層
Claims (4)
- 酸化亜鉛基板の一表面にp型窒化物半導体層およびn型窒化物半導体層を有するLED薄膜部を備えた半導体発光素子と、該半導体発光素子が実装されたベース基板とを有し、前記半導体発光素子は、前記酸化亜鉛基板における前記一表面側を光取り出し面側として前記半導体発光素子の前記酸化亜鉛基板が前記ベース基板に設けられた凹部に嵌合され、前記LED薄膜部で発生した熱が前記酸化亜鉛基板を介して前記ベース基板側に放熱されることを特徴とする発光装置。
- 前記酸化亜鉛基板は、前記ベース基板の前記凹部と嵌合する面に前記LED薄膜部から放射される光を反射する反射膜を有することを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
- 前記酸化亜鉛基板の形状は、直方体状、六角錐状、六角錐台状から選択される1つであり、前記酸化亜鉛基板の最も広い一面を前記一表面とすることを特徴とする請求項1ないし請求項2に記載の発光装置。
- 前記酸化亜鉛基板の前記一表面には、前記LED薄膜部が形成された形成部位と、前記酸化亜鉛基板の前記一表面が露出した露出部位とを有し、前記露出部位の面積は、前記形成部位の面積よりも大きいことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の発光装置。
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-
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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