JP2010198256A - 防振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 移動している振動源が発生する振動を振動センサの少なくとも1つが検出して、且つ振動センサにて検出した信号レベルが予め設定したしきい値を超えた場合に、最も早くしきい値を超えた信号レベルの振動を検出した振動センサの検出信号とメモリに保存されているデータを制御手段にて演算した後で、振動源が発生する振動が除振台に到達する時間と同期するように演算した結果に基づいて1つ以上のアクチュエータを駆動する。
【選択図】 図2
Description
2 制御回路
3 除振台
4 筐体
5a X軸アクチュエータ
5b Y軸アクチュエータ
5c Z軸アクチュエータ
6 メモリ
Claims (3)
- 除振台の振動をアクチュエータにてアクティブに防止する防振装置であり、除振台から離間して配置した1つ以上の振動センサと、データを保存しているメモリと、除振台の変位を1つ以上のアクチュエータを駆動することで調整する制御手段とを具備し、移動している振動源が発生する振動を振動センサの少なくとも1つが検出して、且つ振動センサにて検出した信号レベルが予め設定したしきい値を超えた場合に、最も早くしきい値を超えた信号レベルの振動を検出した振動センサの検出信号とメモリに保存されているデータを制御手段にて演算した後で、振動源が発生する振動が除振台に到達する時間と同期するように演算した結果に基づいて1つ以上のアクチュエータを駆動することを特徴とする防振装置。
- 前記振動センサの1つが予め設定したしきい値を超えた信号レベルの振動を検出した時に、しきい値を超えた検出信号により前記制御手段が前記アクチュエータを駆動するまで、他の振動センサが検出した検出信号を前記制御手段が受信することを無効にすることを特徴とする請求項1記載の防振装置。
- 振動を検出した前記振動センサの検出信号に基づいてアクチュエータを駆動した後、再度、前記検出信号を検知した前記振動センサの振動レベルを検出し、新たな検出信号が予め設定したしきい値より小さい場合に前記アクチュエータを停止することを特徴とする請求項1記載の防振装置。
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CN108254145A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-07-06 | 苏州东菱智能减振降噪技术有限公司 | 一种实现多振动台同步振动的控制方法 |
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2009
- 2009-02-25 JP JP2009041603A patent/JP5373428B2/ja active Active
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