JP2010192807A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】小型で、放熱効率の高い多層フレーム実装構造を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】導電性材料160を介して電子部品(パワー半導体素子)106が実装されたリードフレーム101,102,103を複数重ね合わせ、全体が封止樹脂107にて封止された多層フレーム実装構造を有する半導体装置において、電子部品(パワー半導体素子)106が実装されたリードフレームの上側、または/且つ下側のリードフレームを、電子部品(パワー半導体素子)106が実装されたリードフレームに近接配置する。
【選択図】図1

Description

本発明は、多層フレーム実装構造を有する半導体装置に関する。
パワーMOSFETやIGBTなどに代表されるパワー半導体素子(消費電力が0.1ワット以上)のような電子部品を、配線基板上に実装し、モジュール化した、所謂パワーモジュールが、車載用や産業用の半導体装置で、一般的に用いられている。パワーモジュールでは、主にパワー半導体素子が実装された面と反対側の面より、該パワーモジュールが固定された筐体などの冷却板へ熱を伝導することで、排熱が行われる構成になっている。
従来、パワーモジュールを用いた電子制御装置は、制御対象機器ごとに設けられていた。ところが近年、これらの電子制御装置は小型化、一体化、低コスト化が求められており、パワーモジュールにおいても、小型化、低コスト化が求められている。小型化が図れる多層フレーム実装構造については例えば、特許文献1〜5に開示されている。
特許第2568952号公報 特開2001−77488号公報 特開2005−56982号公報 特開2005−101262号公報 特開平6−291362号公報
従来の配線基板の多層化ではコストが増加することから、多層リードフレーム実装構造が提案された。特許文献1および特許文献2には、電子部品等が実装されたリードフレームを1枚ごとに樹脂封止して積層し、各リードフレームを電気的に接続する技術が開示されている。しかしながら、この技術では、各リードフレーム間の樹脂層が厚くなるとともに、リードフレーム間に空気層が介在する可能性があるため、放熱性が低下するという課題がある。
また、特許文献3および特許文献4には大電流(電力)が伝送される電力系部品を実装するリードフレームと、電流量(電力)が小さい制御系部品を実装するリードフレームを別々に作成し、積層する技術が開示されている。しかしながら、この技術では、分離溝に絶縁樹脂が注入されたリードフレームに、電子部品を実装し、積層した後に、全体を樹脂封止しており、樹脂封止の際に、リードフレームの厚さ方向や平面方向の中央部や、大型部品の周囲などに空気や異物などを巻き込み易くになり、放熱性が悪化する、また、電気的信頼性が低下するという課題がある。
また、特許文献5には電子部品が実装されたリードフレームに放熱用リードフレームを取り付ける技術が開示されている。しかしながら、本技術では、放熱用リードフレームの端子の先にフィンを設けており、プリント配線基板を介して、筐体などのヒートシンクに接続する必要があり、パワーモジュールを小型化しにくいという課題がある。
本発明の目的は、前記の問題を鑑み、小型、高放熱な多層フレーム実装構造を有する半導体装置を提供することにある。
上記目的を達成するための一形態は、パワー半導体素子が実装された第1のリードフレームと、前記第1のリードフレーム下方に積層して配置された第2のリードフレームと、前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとを封止する封止樹脂とを有する半導体装置において、前記パワー半導体素子が実装されている領域における前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間の距離をXとし、前記パワー半導体素子が実装されていない領域における前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間の距離をYとしたとき、 X<Y であることを特徴とする半導体装置とする。
また、第1のリードフレームと、パワー半導体素子が実装され、前記第1のリードフレーム下方に積層して配置された第2のリードフレームと、前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとを封止する封止樹脂とを有する半導体装置において、前記パワー半導体素子が実装されている領域に対向する前記第1のリードフレームと前記パワー半導体素子の上面との間の距離をXとし、前記パワー半導体素子が実装されていない領域における前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間の距離をYとしたとき、 X<Y であることを特徴とする半導体装置とする。
また、第1のリードフレームと、第2のリードフレームと、第3のリードフレームとが順次積層されて配置されて封止樹脂により封止された半導体装置において、前記第2のリードフレームにはパワー半導体素子が実装され、前記第1のリードフレーム及び前記第3のリードフレームは、前記第2のリードフレームに実装されている前記パワー半導体素子に近接するように、それぞれランプ部を備えることを特徴とする半導体装置とする。
小型、高放熱な多層フレーム実装構造を有する半導体装置を提供することができる。
第1の実施例における多層フレーム実装構造を有する半導体装置を模式的に示した側面図である。 第1の実施例における1層目、および2層目のリードフレーム近傍要部の斜視図である。 図2で示した要部の側面図である。 1層目リードフレームの上面図である。 2層目リードフレームの上面図である。 3層目リードフレームの上面図である。 第一の実施例における層間接続材を用いたリードフレーム間の接続法を説明するための要部断面図である。 第1の実施例における半導体装置の製造方法を示すフローチャートである。 回路パターンが形成された1層目のリードフレームの上面図である。 図9に示したリードフレームにおいて、電子部品実装後、ブリッジを切断した状態を示す1層目リードフレームの上面図である。 図10に示したリードフレームにおいて、後工程まで完了した、1層目リードフレームの上面図である。 電子部品が実装されたリードフレームと、それに対向するリードフレームとの間の距離に対する熱抵抗を示す図である。 電子部品が実装されたリードフレームと、それに対向するリードフレームとの間の距離をそのままとした場合(比較例1)と、近接させた場合(実施例1)とでそれぞれ使用するパワーMOSFETのソース電極―ドレイン電極間電圧と温度の関係を示す図である。 実施例1と、比較例1におけるジャンクション温度変化を示す図である。 第1の実施例におけるトランスファー成形時の断面模式図である。 図15に示した金型137の分割部を上面から見た要部断面図である。 第1の実施例における層間接続材を用いたリードフレーム間の他の接続法を説明するための要部断面図である。 第1の実施例における層間接続材を用いたリードフレーム間の他の接続法を説明するための要部断面図である。 第2の実施例における多層フレーム実装構造を有する半導体装置を模式的に示した断面図である。 第3の実施例における1層目、および2層目のリードフレーム近傍要部の斜視図である。 第4の実施例における1層目、および2層目のリードフレーム近傍要部の斜視図である。
以下、実施例により説明する。
第一の実施例を図1〜図18を用いて具体的に説明する。図1は、本実施の形態における多層フレーム実装構造の一例を模式的に示した側面図である。
図1に示すように、複数の電子部品106が実装された、第1層目のリードフレーム101,第2層目のリードフレーム102,第3層目のリードフレーム103を積層し、全体を封止樹脂107で封止し、導電性材料110を用いて筐体109に固定することで、リードフレームモジュールを作製した。図1において、符号102−4は2層目リードフレームのランプ部、符号103−5は3層目リードフレームのランプ部、符号108は放熱シート、符号111は層間接続材、符号101−12は第1層目リードフレームで構成された大電流入力端子、符号101−13は第1層目リードフレームで構成された大電流出力端子、符号160は電子部品106と各リードフレーム101,102,103との電気的接続及び機械的固定に用いる導電性材料である。
ここで示した電子部品106は、交流を直流に変換したり、電圧を高圧するなどによりモータを駆動したり、バッテリを充電したり、マイコンやLSIを動作させるなど、電源あるいは電力の制御や供給を行なう半導体素子(パワーMOSFETやIGBT)である。他の電子部品(図1には未記載)としてコイルや抵抗がある。
第1層目、第2層目及び第3層目のリードフレーム101,102,103には厚さ1.0mmの銅合金(Cu−0.1Fe−0.03P(wt%))を用い、プレス加工にて回路パターンを形成した。実施例に用いることができるリードフレームは、銅(Cu)の他、Al(アルミニウム)、Ni(ニッケル)を主成分とする金属板である。厚さ0.2mm以上2.0mm以下のものが一般的であるが、熱伝導性の観点から0.5mm以上が好ましい。この金属板を厚さ方向に貫通する分離溝により所望の回路を形成できる。リードフレームと封止樹脂間の密着性を向上させるため、リードフレームの表面にNi(ニッケル)、Sn(スズ)、はんだ等のメッキを施してもよい。
導電性材料には、はんだ(Sn―3.0Ag―0.5Cu(wt%))を用いた。なお、導電性材料160の溶融温度は、導電性材料110の溶融温度よりも高い材料を用いる。これは、リードフレームを筐体に取り付けるときに、電子部品を電気的接続及び機械的固定をしている導電性材料160が溶融することを防止するためである。本実施例に用いる導電性材料は、加熱処理により電気的接続と機械的固定が同時に行えるものであれば特に限定されないが、はんだや導電性ペーストが望ましい。これは、印刷やディスペンサにてリードフレーム上に導電性材料を塗布でき、生産性が高いためである。たとえば、はんだを用いる場合には溶融開始温度が封止材の硬化処理温度以上のものであれば特に制限されないが、例えばはんだにはSn(すず)とAu(金)合金系、Sn(すず)とPb(鉛)合金系、Sn(錫)とAg(銀)合金系、Sn(すず)とAg(銀)とCu(銅)合金系、Sn(錫)とAg(銀)とBi(ビスマス)合金系等のはんだやこれらに5wt%以下のIn(インジウム)、Ni(ニッケル)、Sb(アンチモン)、Bi(ビスマス)等を添加したものが用いられる。導電性ペーストは、導電性材料と接着性材料を混合したものである。
導電性ペーストを用いる場合、導電性材料としては特に制限されないが、Ag(銀)、Cu(銅)、Sn(錫)、Pb(鉛)、Al(アルミニウム)、Pt(白金)、Au(金)等の金属系材料、ポリアセチレン等の有機系材料、黒鉛、フラーレン、カーボンナノチューブ等の炭素、または炭素化合物の何れ一つが、又は二つ以上が併用して用いられる。接着性成分として熱硬化性樹脂を用いる場合は、特に限定されないが、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ビスマレイミド系樹脂等が用いられる。接着性成分として熱可塑性樹脂を用いる場合は、熱可塑性ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド等の融点が250℃以上の樹脂を沸点が100℃以上300℃以下の有機溶媒に溶解して用いるのであれば特に限定されない。
封止樹脂107には、ビフェニル型エポキシ樹脂とアルミナ粉を主成分とする樹脂を用いた。封止樹脂としては、樹脂封止成形できる熱硬化性樹脂組成物であればよく、特に望ましくはエポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤並びに無機質充填材を有する、エポキシ樹脂組成物が望ましい。
エポキシ樹脂組成物は、1分子中にエポキシ基を2個以上有するものであれば特に限定されない。例えば、o―クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等が挙げられ、溶融粘度が低いビスフェニル型エポキシ樹脂が好ましい。
硬化剤は、フェノール性水酸基、アミノ基、カルボニル基、酸無水物基等エポキシ樹脂を硬化する官能基を有するものであれば、特に限定されない。例えば、フェノールノボラック、キシリレン型フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、クレゾールフェノールノボラック等が挙げられ、溶融粘度が低いフェノールノボラックが好ましい。
無機質充填材には、SiO2(シリカ)、Al2O3(酸化アルミニウム)、MgO(酸化マグネシウム)、BeO(酸化ベリリウム)のような酸化物や、Si3N4(窒化珪素)、BN(窒化ホウ素)、AlN(窒化アルミニウム)のような窒化物、AlSiC(アルミニウムシリコンカーバイト)等が用いられるが、機械的特性、硬化性、耐腐食性等のバランスのとれたSiO2(シリカ)が望ましい。SiO2(シリカ)は溶融SiO2(シリカ)及び結晶SiO2(シリカ)があるが、熱膨張係数が小さい溶融SiO2(シリカ)が好ましい。粒子形状は球、角、燐片状のどの形状でもよいが、高い流動性を有する球が好ましい。電気絶縁性としては、25℃の体積抵抗率が1×10^10(10の10乗)Ω・cm以上であればよい。
無機質充填剤は、充填剤の95wt%以上が粒径0.1〜100μmの範囲にあり、かつ平均粒径が2〜20μmで球状の粉末が好ましい。この範囲の充填剤は最大充填分率が高く、高充填してもエポキシ樹脂組成物の溶融粘度は上昇しにくい。無機質充填剤の充填量は加熱硬化中に揮発する溶媒等の成分を除いたエポキシ樹脂組成物の全容積に対して50vol%以上であるのが好ましい。これは、腐食性成分が封止材中に存在できる量が少なくなるためである。
硬化促進剤は、エポキシ樹脂との場合には硬化反応を促進させるものならば種類は限定されない。例えば、トリフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン・トリフェニルボロン、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、ブチルトリフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート等のリン化合物、2−フェニル−4−ベンジル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7、ジアミノジフェニルメタン、トリエチレンジアミン等のアミン化合物等が挙げられる。エポキシ樹脂組成物には、必要に応じて離型剤、着色剤、可とう化剤、難燃助剤、溶媒等を添加することができる。
樹脂封止成形方法にはトランスファーモールド成形、射出成形、ポッティング成形等を用いることができるが、トランスファーモールド成形が望ましい。これは、トランスファーモールド成形が量産性、信頼性の点で優れているからである。
エポキシ樹脂組成物を用いトランスファーモールド成形する場合、成形温度は150℃以上200℃未満の範囲で設定される。これは、150℃未満では硬化反応が遅く、離型性が悪いためである。また離型性を上げるには長い成形時間が必要となり量産性が悪くなる。また、200℃以上では、硬化反応が早く進行し流動性が低下するため未充填となってしまう。このため、通常175℃付近の成形温度で成形される。
また、放熱シートには、シリコーン樹脂とアルミナ粉を主成分とする樹脂シートを用いた。
図2は、図1の1層目リードフレーム101および2層目リードフレーム102近傍の要部斜視図である。リードフレーム102の一部に、曲げ加工を施し、ランプ部102−4を形成することで、電子部品106が実装されたリードフレーム101と、リードフレーム102の一部との距離を短縮した。本実施例においては、電子部品106が実装されたリードフレーム面から、電子部品106の上面までの高さは概ね4mmとした。また、電子部品106のドレイン電極は略10mm角である。
図3は、図2の側面図である。1層目のリードフレーム101と2層目のリードフレーム102との間隔H1は5mmとした。またランプ部102−4にて、リードフレーム101に近づけられたリードフレーム102の一部と、リードフレーム101の間隔H2は1mmとした。これらのリードフレームの間隔H2を短縮することにより、リードフレーム間の熱抵抗が低減され、従来例の多層フレーム実装構造に比べ第1層目のリードフレーム101に実装された電子部品106の放熱性が向上することが分かった。
また、リードフレームを曲げることで、リードフレームを積層し、全体を封止樹脂で封止する際、リードフレームの曲げられた部分が整流板のごとく、封止樹脂を流れやすくするとともに、リードフレームに封止樹脂が通過できる穴が設けられたごとく、封止樹脂の流路を確保しやすくなる。そのため、リードフレームの厚さ方向や平面方向の中央部や、大型部品の周囲などに空気や異物などの巻き込みが低減でき、従来例の多層フレーム実装構造に比べ空気層による耐電圧低減を抑制できることが分かった。
さらに、空気層での耐電圧低減の防止、封止樹脂とリードフレーム間、または/かつ封止樹脂と導電性材料、または/かつ封止樹脂と電子部品間の剥離を低減でき、従来例の多層フレーム実装構造に比べ電子部品をリードフレームに実装する導電性材料の接続信頼性を向上できることが分かった。
図4は、図1に示したリードフレームモジュールの1層目の上面図である。1層目リードフレーム101には、外部より電源系となる大電流入力端子101−12と、出力端子101−13が設けられている。前記大電流入力端子101−12より入力された電流は、複数個の前記電子部品(パワーMOSFET等)106、複数個のチップ部品(シャント抵抗、チップコンデンサ等)146に通電される。信号用伝送端子101−14,101−15は、電子部品106のON/OFFを制御するための電極に電気的に接続され、例えば、パワーMOSFETやIGBTのゲート電極に接続され、電子部品106の制御に用いられる。さらに層間接続材111にて、1層目のリードフレーム101と2層目のリードフレーム102が電気的に接続されている。符号107は封止樹脂を示す。
図5は、図1に示したリードフレームモジュールの2層目の上面図である。2層目リードフレーム102には、2個の電子部品106を導電性材料110(図示せず)にて実装した。2層目リードフレーム102には、1層目リードフレーム101より、層間接続材111を介して、電流が流れる構造とした。2層目のリードフレーム102に実装された前記電子部品106のON/OFFは、信号伝送用端子102−16,102−17に信号電流を伝送することで制御した。符号102−28はドレイン電極電位測定端子、符号102−29はソース電極電位測定端子、符号118は1層目リードフレームに搭載された電子部品の投影位置である。ドレイン電極電位測定端子やソース電極電位測定端子は本実施例では温度測定の目的で設けたものであり、無くてもよい。
2層目のリードフレーム102では、図2や図3に示したランプ部102−4を設けることで、リードフレーム102の信号伝送用端子102−16と1層目のリードフレーム101との距離を短縮した。大電流(電圧)伝送用端子に比べて通電電流量の少ない信号伝送用端子102−16に、第1層目のリードフレームに実装された電子部品106から発生する熱を伝導することで、従来の多層フレーム実装構造に比べ、放熱性を向上できることが分かった。
また、信号伝送用端子を封止樹脂の外側で筐体と熱的に接続することにより(図1)、放熱専用の端子を設ける場合に比べ、端子数を増加させることなく、高放熱化、小型化が図れる。なお、熱的に接続しているとは、接続部の等価熱伝導率が空気の熱伝導率以上であることを指す。
信号伝送用端子と筐体とを熱的に接続するには、超音波接続、溶接、はんだなどによる金属接続、高熱伝導性樹脂組成物から選ばれる少なくとも1種を用いればよい。より好ましくは、超音波、または溶接を用いることで、リードフレームと筐体間に空気層や介在物が存在しない接続がよい。
図6は、図1に示したリードフレームモジュールの3層目の上面図である。2層目リードフレーム102と同様に、3層目のリードフレーム103に2個の電子部品106が導電性材料110(図示せず)にて実装されている。また3層目リードフレーム103には、2層目リードフレーム102より、層間接続材111を介して、電流が流れる構造とした。3層目のリードフレーム103に実装された前記電子部品106のON/OFFは、信号伝送用端子103−19,103−20に信号電流を伝送することで制御した。3層目のリードフレーム103では、図2や図3に示したランプ部102−4と同様のランプ部103−5を設けることで、リードフレーム103の信号伝送用端子103−20と2層目のリードフレーム102との距離を短縮した。符号121は2層目リードフレームに搭載された電子部品の投影位置である。大電流(電力)伝送用端子に比べて通電電流量の少ない信号伝送用端子103−20に、第2層目のリードフレームに実装された電子部品106から発生する熱を伝導することで、従来の多層フレーム実装構造に比べ、放熱性を向上できることが分かった。
なお、第3層目のリードフレーム103に実装された電子部品106から発生する熱は放熱シート108を介して筐体109へ放熱される(図1)。
図7は、本実施例において用いた、1層目のリードフレーム101と2層目のリードフレーム102との層間接続材111の断面模式図である。なお、2層目のリードフレーム102と3層目のリードフレーム103間の接続にも、図7に示した層間接続材111を用いた。層間接続材111の2層目リードフレーム102と接続される部位は、貫通孔122が設けられるとともに、紙面に水平方向に膨らんだ形状となっており、所謂プレスフィットピンの形状とした。層間接続材111を、2層目リードフレーム102に挿入するため、押さえ部111bを2層目リードフレーム102方向に加圧して、リードフレーム102の挿入孔123に挿入した。挿入孔123の端部は面取り部124を設けた。符号110は導電性材料、符号111aはリードフレームの脱落防止部位である。
図8は、本実施例にて実施したリードフレーム実装構造作製の工程表である。まず所望の回路パターンに対応したリードフレームを作製した(S801)。本実施例では、プレス加工にて回路パターンを作製した。次に、信号伝送用端子の曲げ加工をした(S802)。プレス加工に代えて、エッチングにてリードフレームに所望の回路パワーンを形成する場合は、エッチング後にプレス加工にて信号伝送用端子の曲げ加工してもよい。エッチングで回路パターンを形成されるリードフレームの厚さは、好ましくは2.0mm以下である。
その後、リードフレームの表面粗化を行った(S803)。本実施例では、射出圧力0.25MPaでジルコングリットを3分間射出するサンドブラスト法を用いた。表面粗化後、リードフレーム上に導電性材料をディスペンサで供給した(S804)。その後、層間接続材を2層目リードフレーム、3層目のリードフレームに挿入し(S805)、続いて電子部品をリードフレーム上に搭載した(S806)。電子部品搭載後、加熱により、電気的、機械的に電子部品とリードフレームを接続した(S807)。
接続後、Ar(アルゴン)プラズマ洗浄を施した(S808)。洗浄条件はAr(アルゴン)流量は8sccm、圧力12Pa、処理時間180秒とした。洗浄後、3枚のリードフレームを積層し(S809)、層間接続部に導電性接続材にて接続した(S810)。その後、前記と同条件のAr(アルゴン)プラズマ洗浄を施した(S811)。洗浄後、封止樹脂にて封止した(S812)。封止にはトランスファーモールド成形機を用いた。成形条件は、金型温度180℃、トランスファー圧力1500kg、成型時間3分とした。樹脂封止が完了したのち、金型からリードフレームモジュールを取り出した。その後、175℃恒温槽にて5時間、封止樹脂の後硬化を行った(S813)。最後に、封止樹脂107の外側にある、端子以外のリードフレームを切断し、端子をNi(ニッケル)メッキした(S814)。
図9は、図1に示したリードフレームモジュールにおける、回路パターンを形成した直後の1層目リードフレームである。浮島となるリードフレーム101−25は、ブリッジ部101−26にて、仮固定した。ここで浮島となるリードフレーム101−25とは、ブリッジ部101−26以外、リードフレームの外枠101−30から独立したリードフレームのことを指す。図9において、符号101−27はタイバーである。
図10は、図9に示した回路パターン形成にリードフレーム101に導電性材料110(図示せず)を用いて、電子部品106,チップ部品146を実装し、ブリッジ部101−26を切断した状態を示す。図11は、タイバー101−27を切断した状態での1層目リードフレーム101の上面図である。ここでタイバー101−27とは、リードフレーム101の一部からなり、封止時に封止樹脂の流出をせき止めるものであり、本実施例では、幅1.5mmとした。
2層目以降のリードフレームについても、1層目リードフレーム作製と同様の手順で作製した。なお、2層目リードフレーム、および3層目リードフレームでは、電子部品をリードフレーム上に搭載する前に、信号伝送用端子をプレスにて曲げた。曲げ加工により、H2は概ね1mmとした。なお、曲げ加工はタイバーに囲われた領域内で実施した。リードフレームに所望の回路パターンを形成する場合、プレス加工と同時にリードフレームの曲げ加工を施こすことにより、製造工程を削減できることができた。
図12は、図3の構成において、1層目のリードフレーム101とランプ部102−4を有する2層目のリードフレーム間距離H2とそれらの間の熱抵抗との関係を示す図である。距離H2とともに熱抵抗は増加し、3mm以上ではリードフレーム間距離を短くしたことによる放熱性向上効果が薄れる。したがって、距離H2の上限を3mm未満とすることが好ましい。また、距離H2の下限は、リードフレーム間のノイズ伝播を考慮して0.02mmとすることが好ましい。すなわち、距離H2を0.02mm以上3mm未満とすることにより、リードフレーム間のノイズ伝播による電気製性能を低下させることなく、リードフレーム間の熱抵抗を低減させることができることが分かった。
次に放熱性に関して、図3に示したようなランプ部102−4を有する構成(実施例1)とランプ部を有さない従来構成(比較例1)において、2層目リードフレームに実装されたジャンクション温度上昇を比較した。温度は、次の方法で測定した。まずジャンクション温度を測定する電子部品(パワーMOSFET)単体で、図5に示したドレイン電極電位測定端子102−28とソース電極電位測定端子102−29を用いて、ソース電極―ドレイン電極間の電圧差と温度の関係を実測した。
図13に、測定結果の一例を示した。実施例1と比較例1で使用した電子部品(パワーMOSFET)は、ほぼ同じ結果であった。ジャンクション温度は、図13を用いて、ソース電極―ドレイン電極間の電圧差から換算した。ソース電極の電位は、端子102−28から測定した。ドレイン電極の電位は、端子102−29から測定した。
図14は、それぞれの電子部品をそれぞれ樹脂封止し、浮島になっている領域に実装された電子部品を前記測定方法にて測定したジャンクション温度変化である。実施例1の構造とすることで、比較例1に比べ、ジャンクション温度変化を小さくできた。
図15は、本実施例におけるトランスファー成形時の断面模式図である。金型137、金型138はリードフレーム間にあるため、金型を分割した。符号135、136、140は金型、符号141は樹脂注入口である。
図16は、金型137の分割部を上面から見た要部断面図である。紙面下側に封止樹脂が注入される構造である。注入された封止樹脂107(図示せず)は、金型の分割面にも進入する可能性があるため、金型137を2分割した金型137a、金型137bが接する面には、離型材(図示せず)を塗布した。また分割面からの封止樹脂107の流出防止のため、耐熱温度が200℃の三角断面の樹脂組成物144を設けた。符号142はナット、符号143はボルトである。
上記実施例では、電子部品が搭載されたリードフレームを封止樹脂で直接封止したが、電子部品が実装されたリードフレーム面の反対側の面と、前記電子部品が実装されたリードフレーム面の反対側の面に対向するリードフレーム面との間に、前記封止樹脂より熱伝導率が高く、且つ封止樹脂より弾性率が低く、且つ電気絶縁性を有する樹脂を設けることにより、前記電子部品が実装されたリードフレーム面の反対側の面と、前記電子部品が実装されたリードフレーム面の反対側の面に対向するリードフレーム面との間の電気絶縁性を確保でき、且つ、積層方向の厚さばらつきを吸収できることを見出した。
上記樹脂は、25℃の体積固有抵抗が10の10乗Ωcm以上であり、封止樹脂や導電性材料よりも低弾性率で、封止樹脂と導電性材料に対して密着性を有するものであれば特に限定されない。体積抵抗率が10の10乗Ωcm以上の樹脂を用いることにより、樹脂が封止樹脂にて押し流されても、短絡不良の原因とならないことを見出した。
また、前記封止樹脂より熱伝導率が高く、且つ封止樹脂より弾性率が低く、且つ電気絶縁性を有する樹脂は、チクソ性1.2以上及び粘度400Pa・s以下の液状(熱硬化前、25℃)であり、封止樹脂より熱伝導率が高く、且つ封止樹脂より弾性率が低く、且つ電気絶縁性を有する樹脂はディスペンサによって滴下された後、加熱硬化させられることで、封止樹脂より弾性率の低く、且つ電気絶縁性を有する樹脂の皮膜を容易に形成することができ、作業性が向上することを見出した。
チクソ性とは、25℃における、ずり速度1(1/s)の粘度をずり速度10(1/s)の粘度で割った値であり、粘度とは、25℃におけるずり速度10(1/s)の時の粘度である。これは、液状材料のチクソ性が1.2より小さいと、ディスペンサで塗布する際にリードフレームの一部に限定して被覆しにくいためであり、液状材料の粘度が、400Pa・sより大きいとディスペンサで塗布する際に流れにくく作業性が低下するためである。
具体的には、液状材料としては、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ビスマレイミド系樹脂等を主成分として用いることができる。この中に必要に応じて粒径1μm以下のセラミック等の絶縁性粒子を0.01〜50wt%添加してもよい。また、液状材料として、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド等の熱可塑性樹脂を沸点が100〜300℃の有機溶媒に溶かしたものを用いることができる。この中に必要に応じて粒径1μm以下のセラミック等の絶縁性粒子を0.01〜50wt%添加してもよい。絶縁性粒子を添加すると、熱伝導率とチクソ性、粘度、弾性率を調節することができる。
本実施例では、リードフレームの表面粗化は、サンドブラスト法を用いたが、本実施例に限らず、例えば黒化処理や銅表面粗化剤による処理も有効である。また本実施例では、図7に示した層間接続材を用いたが、これに限定する必要はなく、図17に示すごとく、上側のリードフレーム1に金属ブロック133を超音波接続し、該金属ブロック133と下側リードフレーム102を導電性材料110で接続してもよい。金属ブロック133を用いることで、図7に示した接続材に比べ、1個あたりの通電容量は増加し、工程数が低減できる。符号134はリードフレームと金属ブロックとの超音波接合部である。更に図18に示すごとく、下側リードフレーム102と対向する面に突起を有する金属ブロック145を超音波で接続してもよい。突起148がスペーサとなり、導電性材料110の厚さが一定にでき、接続信頼性の向上につながる。かかる結果、小型で、放熱性の高い多層リードフレーム実装構造を提供できる。
本実施例によれば、パワー半導体素子が実装されたリードフレームに、他層のリードフレームを近接させた構成とすることにより、リードフレーム間の熱抵抗を低減させることができ、小型、高放熱な多層フレーム実装構造を有する半導体装置を提供することができる。特に、リードフレームの浮島に配置されたパワー半導体素子に適用して有効である。また、リードフレームを曲げることにより、封止樹脂の流路が確保し易くなり、空気や異物などの巻き込みが低減でき、耐電圧低減を抑制できる。また、パワー半導体素子が実装されたリードフレームに近接させるリードフレームとして信号伝送用端子を用いることにより、大電流伝送用端子に比べてより放熱性を向上できる。また、パワー半導体素子が実装されたリードフレームに近接させるリードフレームを封止樹脂の外側で筐体に熱的に接続することにより、放熱性を向上でき、また端子数を増加させる必要がなく小型化に有効である。また、パワー半導体素子が実装されたリードフレームに、他層のリードフレームに近接させる距離を0.02mm以上3mm未満とすることにより、ノイズ低減と放熱性を両立させることができる。また、本実施例に係る半導体装置は、エンジン用電子制御装置、電動パワーステアリング用電子制御装置、電動ブレーキ用電子制御装置等の車載用半導体装置に適用できる。
第2の実施例について図19を用いて説明する。なお、実施例1に記載され、本実施例に未記載の事項は実施例1と同様である。
図19は、他の多層フレーム実装構造を有する半導体装置を模式的に示した断面図である。図1と同じ符号は同じものを示す。本実施例では、パワー半導体素子(電子部品)106よりも大きな部品(コイル)200が2層目のリードフレームに搭載されている。
このような構成の場合、1層目のリードフレーム101と2層目のリードフレーム102との間隔が大きくなるため、従来の構成では熱がこもり易いが、本実施例のように2層目リードフレーム102を1層目のリードフレームへ近接配置することにより放熱が可能となる。2層目のリードフレームとして信号用伝送端子を用いることにより、より放熱効果を高めることができることはいうまでもない。
第3の実施例について図20を用いて説明する。なお、実施例1、2に記載され、本実施例に未記載の事項は実施例1、2と同様である。
図20は1層目のリードフレームと2層目のリードフレーム近傍の要部斜視図である。本実施例では、1層目のリードフレームのリードフレームで構成される信号伝送用端子101−14にランプ部101−4を形成して、2層目のリードフレーム102に実装された電子部品106に近接配置させた例である。2層目のリードフレーム102に実装された電子部品106からの発熱を、第1層目のリードフレームで構成される信号伝送用端子101−14から放熱することができる。
本実施例の場合、2層目のリードフレーム102に実装された電子部品106の上面と信号伝送用端子101−14との間の距離を0.02以上1.5mm未満とすることにより、リードフレーム間のノイズ伝播による電気製性能を低下させることなく、リードフレーム間の熱抵抗を低減させることができる。すなわち、この距離が0.02mm未満の場合、浮遊容量が大きくなりノイズが伝播し易くなる。さらに、この距離が0.02mm未満となる領域には封止樹脂が流入せず、空気が残存することで、耐電圧が低下し、電気的信頼性が低下する可能性がある。または、この隙間に残存した空気層から、封止樹脂とリードフレーム間に剥離が発生し、電子部品の実装に用いた導電性材料の接続信頼性が低下する可能性がある。一方、この距離が、1.5mm以上になると、熱抵抗が増加し、放熱性向上効果が薄れる。実施例1と異なり上限が1.5mm未満と小さくなる理由は、電子部品106の下面側は放熱構造を有しているのに対し、上面側は樹脂で覆われ熱抵抗が大きいためである。従って、上面側を放熱構造とすることにより、この距離を大きくすることができる。
さらに、第2層目のリードフレーム102に実装された電子部品106に対しては、第1層目の信号用端子101−14の他、第3層目の信号用端子103−20を近接配置させ、それら両者により放熱することもできる。これにより、放熱性を更に向上することができる。
本実施例によれば、実施例1と同様の効果が得られる。また、電子部品の上面側と下面側の両側へリードフレームを近接配置することにより、放熱効果を向上することができる。
第4の実施例について図21を用いて説明する。なお、実施例1−3に記載され、本実施例に未記載の事項は実施例1−3と同様である。
図21は、1層目のリードフレームと2層目のリードフレーム近傍の他の要部斜視図である。本実施例では、電子部品106が搭載された1層目リードフレームにランプ部101−10を設け、2層目のリードフレーム102へ近接配置させた構成を示す。なお、このランプ部は図8のS102の工程で折り曲げ加工できる。
本実施例においても電子部品106からの発熱を2層目のリードフレームを介して放熱することができる。また、電子部品106が配置された1層目のリードフレームを2層目のリードフレーム側へ折り曲げることから、積層多層フレーム全体の厚みを薄くすることが可能となる。
以上、実施例1〜4により多層フレーム実装構造を有する半導体装置について説明したが、本発明は、これら実施例に限定されるものではなく、種々の設計変更を行うことができるものである。
101…1層目リードフレーム、102…2層目リードフレーム、103…3層目リードフレーム、101−4…1層目リードフレームのランプ部、102−4…2層目リードフレームのランプ部、103−5…3層目リードフレームのランプ部、106…電子部品、107…封止樹脂、108…放熱シート、109…筐体、110…導電性材料、111…層間接続材、111a…リードフレームの脱落防止部位、111b…押さえ部、101−10…1層目のリードフレームのランプ部、101−12…大電流入力端子、101−13…大電流出力端子、101−14、101−15、102−16、102−17…信号伝送用端子、118…1層目リードフレームに実装された電子部品の投影位置、103−19、103−20…信号伝送用端子、121…2層目リードフレームに実装された電子部品の投影位置、122…貫通孔、123…挿入孔、124…リードフレームの面取り部、101−25…浮島となるリードフレーム、101−26…浮島となるリードフレームを仮固定するブリッジ部、101−27…タイバー、102−28…ドレイン電極電位測定端子、102−29…ソース電極電位測定端子、101−30…リードフレームの外枠、133…金属ブロック、134…リードフレームと金属ブロックとの超音波接合部、135、136、137…金型、137a、137b…金型137の分割部、138、139、140…金型、141…樹脂注入口、142…ナット、143…ボルト、144…三角形断面の樹脂組成物、145…リードフレームと対向する面に突起を有する金属ブロック、146…チップ部品、148…突起、160…導電性材料、200…コイル。

Claims (20)

  1. パワー半導体素子が実装された第1のリードフレームと、前記第1のリードフレーム下方に積層して配置された第2のリードフレームと、前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとを封止する封止樹脂とを有する半導体装置であって、
    前記パワー半導体素子が実装されている領域における前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間の距離をXとし、前記パワー半導体素子が実装されていない領域における前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間の距離をYとしたとき、
    X<Y
    であることを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項1に記載の半導体装置において、
    0.02mm≦X<3mm
    であることを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の半導体装置において、
    前記パワー半導体素子が実装されている領域に対向する前記第2のリードフレームは、信号伝送用端子として用いられるものであることを特徴とする半導体装置。
  4. 請求項1乃至3の何れか一項に記載の半導体装置において、
    前記パワー半導体素子が実装された前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間に、前記封止樹脂よりも熱伝導率が高く、弾性率が低く、且つ電気絶縁性を有する樹脂が設けられていることを特徴とする半導体装置。
  5. 請求項4に記載の半導体装置において、
    前記前記封止樹脂よりも熱伝導率が高く、弾性率が低く、且つ電気絶縁性を有する樹脂は、チクソ性1.2以上、粘度400Pa・s以下であり、加熱硬化する前は25℃で液状であることを特徴とする半導体装置。
  6. 請求項1乃至5の何れか一項に記載の半導体装置おいて、
    前記第2のリードフレームはランプ部を有し、前記パワー半導体素子が実装された領域において前記第1のリードフレームに近接配置されていることを特徴とする半導体装置。
  7. 請求項1乃至6の何れか一項に記載の半導体装置において、
    前記封止樹脂で封止された前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームは筐体に収められ、前記パワー半導体素子が実装された第1のリードフレームに対向する前記第2のリードフレームは、前記封止樹脂の外側で筐体と熱的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
  8. 請求項1乃至7の何れか1項に記載の半導体装置において、
    前記半導体装置は、車載用半導体装置として用いるものであることを特徴とする半導体装置。
  9. 請求項1乃至8の何れか一項に記載の半導体装置において、
    前記第2のリードフレームには、前記パワー半導体素子よりも大きな寸法のコイルが実装されていることを特徴とする半導体装置。
  10. 請求項1乃至5の何れか一項に記載の半導体装置において、
    前記第1のリードフレームはランプ部を有し、前記パワー半導体素子が実装された領域において前記第2のリードフレームに近接配置されていることを特徴とする半導体装置。
  11. 第1のリードフレームと、パワー半導体素子が実装され、前記第1のリードフレーム下方に積層して配置された第2のリードフレームと、前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとを封止する封止樹脂とを有する半導体装置において、
    前記パワー半導体素子が実装されている領域に対向する前記第1のリードフレームと前記パワー半導体素子の上面との間の距離をXとし、前記パワー半導体素子が実装されていない領域における前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとの間の距離をYとしたとき、
    X<Y
    であることを特徴とする半導体装置。
  12. 請求項11に記載の半導体装置において、
    0.02mm≦X<1.5mm
    であることを特徴とする半導体装置。
  13. 請求項11又は請求項12に記載の半導体装置において、
    前記パワー半導体素子が実装されている領域に対向する前記第1のリードフレームは、信号伝送用端子として用いられるものであることを特徴とする半導体装置。
  14. 請求項11乃至13の何れか一項に記載の半導体装置において、
    前記パワー半導体素子が実装された前記第2のリードフレームと前記第1のリードフレームとの間に、前記封止樹脂よりも熱伝導率が高く、弾性率が低く、且つ電気絶縁性を有する樹脂が設けられていることを特徴とする半導体装置。
  15. 請求項14に記載の半導体装置において、
    前記封止樹脂よりも熱伝導率が高く、弾性率が低く、且つ電気絶縁性を有する樹脂は、チクソ性1.2以上、粘度400Pa・s以下であり、加熱硬化する前は25℃で液状であることを特徴とする半導体装置。
  16. 請求項11乃至15の何れか一項に記載の半導体装置おいて、
    前記第1のリードフレームはランプ部を有し、前記パワー半導体素子の上面に近接配置されていることを特徴とする半導体装置。
  17. 請求項11乃至16の何れか一項に記載の半導体装置において、
    前記封止樹脂で封止された前記第1のリードフレームと前記第2のリードフレームとは筐体に収められ、前記パワー半導体素子が実装された第2のリードフレームに対向する前記第1のリードフレームは、前記封止樹脂の外側で筐体と熱的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
  18. 第1のリードフレームと、第2のリードフレームと、第3のリードフレームとが順次積層されて配置されて封止樹脂により封止された半導体装置において、
    前記第2のリードフレームにはパワー半導体素子が実装され、
    前記第1のリードフレーム及び前記第3のリードフレームは、前記第2のリードフレームに実装されている前記パワー半導体素子に近接するように、それぞれランプ部を備えることを特徴とする半導体装置。
  19. 請求項18記載の半導体装置において、
    前記ランプ部が設けられている前記第1のリードフレーム及び前記第3のリードフレームは、信号伝送用端子として用いられるものであることを特徴とする半導体装置。
  20. 請求項18又は19に記載の半導体装置において、
    前記パワー半導体素子は、前記第2のリードフレームの浮島に実装されていることを特徴とする半導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115050720A (zh) * 2022-08-15 2022-09-13 华羿微电子股份有限公司 一种顶部散热功率器件引线框架

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