JP2010192741A - 電気的接続装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハの電気的試験装置において検査ステージに対向しているセラミック基板36とシート状基板38との積層体中に光源46を内蔵させ、前記対向面にはこの光源46の光の一部を通過させるマーク部材44を設置する。該マーク部材44の中央部にはマーク48を配置する。
【選択図】図3
Description
12 ウエーハ
14 電極
16 検査ステージ
18,60,100,120 電気的接続装置
24 補強部材
26,62,102 配線基板
28 電気接続器
30 プローブ基板
32,106 接触子
36 セラミック基板
38,72 シート状基板
40,112 マーク装置
42 探査装置
44 マーク部材
46 光源
48 マーク
50 マークの隣りの領域
52 凹所
58,92 接触子の配置領域
64 板状部材
66 リング状部材
68 板ばね
70 ブロック
84 ばね押え
104 針押え
108 接着剤層
114 透明シート
Claims (12)
- 下面を有する支持体と、該支持体の前記下面に配置された複数の接触子と、前記支持体の下側に備えられたマークであって、光通過特性が該マークの隣りの領域と異なるマークと、該マークにその上側から光を照射するように前記支持体に備えられた光源とを含む、電気的接続装置。
- 前記支持体は前記マークに向けて開放する凹所を有し、前記光源は前記凹所に配置されている、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記支持体は、セラミック基板と、前記接触子が配置された下面を有するシート状基板であって、前記セラミック基板の下面に重ねて配置されたシート状基板とを含み、
前記マークは前記シート状基板の前記下面に備えられており、前記セラミック板は前記凹所を有する、請求項2に記載の電気的接続装置。 - 前記支持体は、配線基板と、前記配線基板の下方に突出する下面を有するブロックであって、前記配線基板に支持されたブロックと、前記接触子が支持された下面を有するシート状基板であって、前記接触子が配置された領域の上面が前記ブロックの下面に対向する状態に前記配線基板及び前記ブロックの下側に配置されたシート状基板とを含み、
前記マークは前記シート状基板の下面に備えられており、前記ブロックは前記凹所を有する、請求項2及び3のいずれか1項に記載の電気的接続装置。 - 前記支持体は、前記接触子が支持された下面を有する配線基板と、該配線基板の下面に配置された針押えと、前記接触子を前記配線基板の下面に支持させるべく前記接触子を前記針押えに結合させている接着剤層とを含み、
前記マークは前記配線基板の下面に備えられており、前記配線基板は前記凹所を有する、請求項2及び3のいずれか1項に記載の電気的接続装置。 - 前記支持体は、前記接触子が支持された下面を有する配線基板と、該配線基板の下面に配置された針押えと、前記接触子を前記配線基板の下面に支持させるべく前記接触子を前記針押えに結合させている接着剤層とを含み、
前記マークは、前記針押え又は前記接着剤層に備えられており、前記マークを備える針押え又は接着剤層は前記凹所を有しする、請求項2及び3のいずれか1項に記載の電気的接続装置。 - 前記シート状基板は前記セラミック基板の前記凹所に向けて開放する第2の凹所を有し、
前記マークは、前記シート状基板の下面に配置されたシート状のマーク部材であって、前記マークが前記第2の凹所に対向する状態に前記マーク部材に形成されている、請求項3及び4のいずれか1項に記載の電気的接続装置。 - 前記マークは、前記マークが前記セラミック基板の前記凹所に対向する状態に前記シート状基板に形成されている、請求項3及び4のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記マークは、前記光源からの光の通過を許す領域を含み、前記隣りの領域は前記光源からの光の通過を低減又は阻止する、請求項1から8のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記マークは前記光源からの光の通過を低減又は阻止する領域を含み、前記隣りの領域は、前記光源からの光の通過を許す、請求項1から8のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記マークは、前記接触子の近傍にあって前記接触子が配置されていない箇所に配置されている、請求項1から10のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記マークは、前記支持板の下面に配置されたシート状のマーク部材に形成されている、請求項1から11のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
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