JP2010192549A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置1は、液体と気体を混合させて微小気泡を含む液体Lを生成する微小気泡生成器32と、マイクロバブルMBとナノバブルNBを有する微小気泡を含む液体Lを溜める貯蔵部33と、貯蔵部33内の微小気泡を含む液体Lを加圧した状態で通す液体案内部50と、液体案内部50内を通る微小気泡を含む液体に対して電場を付与してマイクロバブルとナノバブルとを分離する電場付与部51とを有して、分離されたナノバブルNBを含む液体Lを基板Wに供給する微小気泡分離器40と、を備える。
【選択図】図3
Description
4 処理ユニット
10 微小気泡生成分離装置
11 基板保持部
15 ノズル
20 制御部
30 気体供給部
31 レギュレータ
32 微小気泡生成器
33 液体貯蔵部(貯蔵部の一例)
34 電動ポンプ
35,37,38 配管
40 微小気泡分離器
50 液体案内部
51 電場付与部
52 第1端面部
53 第2端面部
54 外周部
55 プラス電極
56 マイナス電極
60 微小気泡分離部材
61 第1室
62 第2室
70 戻し配管
71 供給用の配管
MB マイクロバブル(微小気泡の一例)
NB ナノバブル(微小気泡の一例)
L 微小気泡を含む液体
Claims (5)
- 基板に液体を供給して前記基板の処理をする基板処理装置であって、
液体と気体を混合させて微小気泡を含む液体を生成する微小気泡生成器と、
マイクロバブルとナノバブルを有する前記微小気泡を含む液体を溜める貯蔵部と、
前記貯蔵部内の前記微小気泡を含む液体を加圧した状態で通す液体案内部、前記液体案内部内を通る前記微小気泡を含む液体に対して電場を付与して前記マイクロバブルと前記ナノバブルとを分離する電場付与部を有して、分離された前記ナノバブルを含む液体を前記基板に供給する微小気泡分離器と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記液体案内部内は、前記マイクロバブルを多く含む液体を通す第1室と、前記ナノバブルを多く含む液体を通す第2室とに分けて形成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記マイクロバブルを含む液体を前記微小気泡生成器に戻すための配管が、前記第1室と前記微小気泡生成器を接続していることを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記微小気泡を含む液体を加圧して前記液体案内部内に送液するポンプを備えることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 基板に液体を供給して前記基板の処理をする基板処理方法であって、
微小気泡生成器では、液体と気体を混合させて微小気泡を含む液体を生成し、
マイクロバブルとナノバブルを有する前記微小気泡を含む液体を貯蔵部に溜めて、
前記貯蔵部内の前記微小気泡を含む液体を加圧した状態で液体案内部に通す際に前記微小気泡を含む液体に対して電場を付与して前記マイクロバブルと前記ナノバブルとを分離して、分離された前記ナノバブルを含む液体を前記基板に供給することを特徴とする基板処理方法。
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