JP2010190654A - リークテスト装置及び方法並びに感温部材 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象の内部空間が狭隘であっても温度変化を確実に感知できるリークテスト装置を提供する。
【解決手段】感温部材７０の良熱伝導性材料からなる本体７１を検査対象１０の外面に当接し、検査対象１０の内部空間１１の開口を塞ぐ。感温部材本体７１の内部に感温室７３を形成する。感温室７３内に加圧気体を導入する。感温室７３の内圧情報に基づいて、検査対象１０の内部空間１１の圧変化データを補正し、漏れ判定を行う。
【選択図】図１

Description

この発明は、検査対象の内部空間に加圧気体を導入してその圧変化を測定することによりリークテストを行なう装置及び方法並びにこれら装置又は方法に用いる感温部材に関する。

一般に差圧式のリークテストでは、検査対象の内部空間と基準となる空間とに圧縮エア等の加圧気体を導入した後、この内部空間と基準空間とを互いに遮断して各々閉鎖系とする。検査対象から漏れがあったときは、これが差圧として検出される。これによって、検査対象の良否を判定することができる。

検査対象の内部空間に加圧気体を導入すると、断熱圧縮により昇温し、その後、経時的に放熱し、温度が下がる。また、検査対象が加温又は冷却され周辺の設備や雰囲気との間に温度差があったり、加圧気体が検査対象とは異なる温度であったりすると、検査対象の内部温度が経時的に変動する。このような温度変化も圧変化の原因となる。

そこで、特許文献１に記載のリークテスト方法では、検査対象の内部空間の圧変化だけでなく温度変化をも測定し、圧変化のうち温度変化による分を除く補正を行なっている。これにより、漏れ判定ひいては検査対象の良否判定の精度を高めることができる。

具体的には、例えば、良熱伝導性の感温部材を用意する。感温部材の内部には密閉された感温室が形成されている。この感温部材を検査対象の内部空間に配置する。感温部材の感温室に加圧気体を導入する。さらに、検査対象の内部空間（正確には検査対象の内部空間の内壁と感温部材との間の空間部分）に加圧気体を導入する。そして、検査対象の内部空間の圧変化を測定するとともに、感温室の圧変化を測定する。感温室の圧変化は、主に検査対象の内部空間の温度変化に起因する。したがって、感温室の圧変化の測定データに基づいて、検査対象の内部空間の圧変化の測定データを補正し、該圧変化のうち温度変化に起因する分を除くことができる。補正後のデータに基づいて漏れ判定する。感温部材の感温室の内圧は微小な温度変化にも大きく感応する。よって、温度測定の感度を高めることができる。また、検査対象の内部空間の温度を平均的に測定できるため、内部空間内に温度分布があっても信頼性を確保できる。

特開２００７−０６４７３７

検査対象によっては内部空間が狭隘で、感温部材を収容できない場合がある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、検査対象の内部空間を密閉し、該内部空間内に加圧気体を導入して内部空間の内圧を測定し、この内部空間の圧変化のうち温度変化に起因する分を差し引く補正をし、補正後のデータに基づいて漏れ判定を行なうリークテスト装置において、
検査対象の外面に当接されて前記内部空間の前記外面への開口を塞ぐ良熱伝導性材料からなる感温部材本体を有する感温部材を備え、前記感温部材本体の内部に加圧気体が導入される感温室が形成されており、前記感温室の内圧情報に基づいて前記補正を行なうことを特徴とする。
また、検査対象の内部空間を密閉し、該内部空間内に加圧気体を導入して内部空間の内圧を測定し、この内部空間の圧変化のうち温度変化に起因する分を差し引く補正をし、補正後のデータに基づいて漏れ判定を行なうリークテスト方法において、
良熱伝導性の感温部材を検査対象の外面に当接して、前記内部空間の前記外面への開口を塞ぎ、前記感温部材の内部に形成された感温室に加圧気体を導入し、前記感温室の内圧情報に基づいて前記補正を行なうことを特徴とする。

検査対象の内部空間の温度変化が感温部材に伝達され、感温室の内圧が変化する。したがって、感温室の内圧を測定することで、検査対象の内部空間の温度変化を間接的に把握できる。ひいては、検査対象の内部空間の圧変化のうち温度変化に起因する分を除くことができ、漏れ判定（検査対象の良否判定）の精度を高めることができる。感温部材は、検査対象の内部空間の開口を塞ぐように検査対象の外面に当接すればよい。したがって、検査対象の内部空間の大きさや形状に制限されることなく、感温部材の大きさひいては感温室の大きさを設定でき、温度変化を確実に感知できる。

さらに、感温部材によって、検査対象の内部空間の開口を塞ぐことができる。したがって、検査対象の内部空間の開口を塞ぐ閉塞部材を別途設ける必要がなく、部品点数を削減できる。
前記感温部材本体の前記開口を塞ぐ部分の周囲には、シール部材が設けられていることが好ましい。これによって、検査対象の内部空間を一層確実に密閉できる。

前記検査対象に複数の内部空間が形成されており、前記感温部材本体が、複数の内部空間に跨ってこれら内部空間の開口を塞ぎ、前記シール部材が、各内部空間の開口に対応して設けられていることが好ましい。
検査対象の複数の内部空間の開口を１つの感温部材で閉塞できる。各内部空間に対応してシール部材を設けることで、各内部空間の開口を確実にシールできる。

前記感温室への加圧気体の導入圧を、前記内部空間への加圧気体の導入圧より高くすることが好ましい。
これによって、感温室の内圧が温度変化に対してより大きくする変動するようにでき、微小な温度変化を確実に感知することができる。

前記検査対象の外面のうち前記感温部材が当接される部分とは別の部分の温度を他の温度測定器で測定することが好ましい。或いは、前記感温部材の温度を他の温度測定器で測定することにしてもよい。
これにより、前記他の温度測定器による温度情報が、前記感温室の内圧情報より前記内部空間の内圧情報との相関性が大きいときは、前記感温室の内圧情報に代えて、前記温度情報に基づいて前記補正を行なうことができる。
上記他の温度測定器は、温度に応じて電気抵抗が変わる材料を用いた抵抗式温度計でもよく、２種の金属間に温度に応じた起電力が発生する熱電対でもよく、温度に応じて体積が変わる水銀等の感温液を用いた液柱温度計でもよく、熱膨張率が異なる２つの金属板を貼り合わせたバイメタル温度計でもよい。上記他の温度測定器は、検査対象の外面に接触させるものに限られず、非接触で温度検出するものであってもよい。例えば、上記他の温度測定器は、検査対象の表面から放射された赤外線の強度を検出する赤外放射温度計でもよい。
前記感温部材の温度を他の温度測定器で測定することにしてもよい。

前記感温室が、複数の直線状の孔部を含むことが好ましい。
孔部は直線状であるから容易に加工できる。孔部を複数設けることで、感温部材の温度感知領域を広くすることができる。
前記複数の孔部のうち一部が、互いに平行になり、他の一部が、前記互いに平行な孔部と交差していることが好ましい。
これにより、複数の孔部からなる感温室を感温部材の内部に広く行き渡るようにでき、感温部材の温度感知領域を確実に広くすることができる。複数の孔部を互いに直接又は間接的に交差させることにより、加圧気体を何れか一つの孔部に導入すれば、全ての孔部に加圧気体が行き渡るようにすることができる。

本発明によれば、検査対象の内部空間の大きさや形状に制限されることなく、温度変化を確実に感知でき、圧変化の測定データの温度補正を確実に行ない、漏れ判定を行なうことができる。

本発明の第１実施形態に係るリークテスト装置の概略構成を示す回路図である。 上記リークテスト装置の感温部材を示し、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う平面断面図である。 本発明の第２実施形態を示す正面断面図である。 第２実施形態の変形例を示す正面断面図である。 本発明の第３実施形態に係るリークテスト装置の概略構成を示す回路図である。

以下、本発明の実施形態を図面にしたがって詳述する。
図１は、リークテスト装置１の回路構成を概略図示したものである。リークテスト装置１の検査対象であるワーク１０は、例えば自動車エンジンのシリンダブロック等である。ワーク１０の内部には、複数の内部空間１１が形成されている。この実施形態では、各内部空間１１がワーク１０の上側及び下側の外面に開口されている。

図１に示すように、リークテスト装置１は、加圧気体供給源としての圧縮エア源２と、エア圧回路３を有している。圧縮エア源２は、数百ｋＰａオーダーのエア圧を供給できるようになっている。エア圧回路３は、次のように構成されている。
圧縮エア源２からエア圧回路３の共通路３１が延びている。共通路３１には、レギュレータ３２が設けられている。レギュレータ３２によって共通路３１の二次圧が調節されるようになっている。共通路３１の下流端から第１差圧検出回路４０と第２差圧検出回路５０が分岐されている。

第１差圧検出回路４０は、共通路３１に連なる元路４１と、この元路４１から分岐して延びる２つの枝路４２，４３を有している。これら路４１，４２，４３に、開閉弁Ｖ_４１，Ｖ_４２，Ｖ_４３がそれぞれ設けられている。各開閉弁Ｖの符号には、その弁Ｖが設けられた路４１，４２，４３の符号を添字にて示す（後記の弁Ｖ_５１，Ｖ_５３において同様）。開閉弁Ｖ_４２，Ｖ_４３より下流の枝路４２，４３どうしの間に、センサ接続路４２ａ，４３ａを介して差圧センサ４４が設けられている。
２つの枝路４２，４３のうち一方の枝路４２の下流端には、エアタンク４５が接続されている。もう１つの枝路４３の下流端は、ワーク１０の近傍へ延びている。

第２差圧検出回路５０は、共通路３１に連なる元路５１と、この元路５１から分岐して延びる２つの枝路５２，５３を有している。元路５１と枝路５３に、開閉弁Ｖ_５１，Ｖ_５３がそれぞれ設けられている。枝路５２からセンサ接続路５２ａが分岐し、このセンサ接続路５２ａと枝路５３の下流端どうしの間に差圧センサ５４が設けられている。枝路５２の下流端は、ワーク１０の近傍へ延びている。

ワーク１０は、上側の圧導入路形成部材６０と下側の感温部材７０によって上下から挟まれている。ワーク１０の上面に圧導入路形成部材６０が被せられている。圧導入路形成部材６０は、複数の内部空間１１の上端部間に跨り、これら内部空間１１の上端開口を塞いでいる。圧導入路形成部材６０の下面（ワーク１０との当接面）には複数のＯリング６９（シール部材）が設けられている。Ｏリング６９は、内部空間１１に一対一に対応している。各Ｏリング６９が、対応する内部空間１１を塞ぐ部分の周囲に設けられている。Ｏリング６９によって、ワーク１０の内部空間１１の周辺部分と圧導入路形成部材６０との間がシールされている。

圧導入路形成部材６０の一側部にポート６２が設けられている。ポート６２に枝路４３の下流端が接続されている。圧導入路形成部材６０の内部に圧導入路６３が形成されている。圧導入路６３は、ポート６２から延び、かつ複数の分岐路６３ａに分岐している。分岐路６３ａは、圧導入路形成部材６０の下面に達している。分岐路６３ａは、内部空間１１に一対一に対応している。各分岐路６３ａが、対応する内部空間１１の上端部に連なっている。

ワーク１０の下面に感温部材７０が被せられている。感温部材７０は、感温部材本体７１と、複数のＯリング７９（シール部材）とを備えている。感温部材本体７１は、アルミニウム等の良熱伝導材料にて構成されている。感温部材本体７１は、複数の内部空間１１の下端部間に跨り、これら内部空間１１の下端開口を塞いでいる。感温部材本体７１の上面（ワーク１０との当接面）に複数の環状溝７１ｃが形成されている。各環状溝７１ｃにＯリング７９が収容されている。Ｏリング７９は、内部空間１１に一対一に対応している。各Ｏリング７９が、対応する内部空間１１を塞ぐ部分の周囲に設けられている。Ｏリング７９によって、ワーク１０の内部空間１１の周辺部分と感温部材７０との間がシールされている。

感温部材７０は、台座４上に設置されている。圧導入路形成部材６０上にシリンダーアクチュエータ等からなる押圧手段５が突き当てられている。押圧手段５が圧導入路形成部材６０を下に押圧することにより、圧導入路形成部材６０と感温部材７０がワーク１０に強く当たり、Ｏリング６９，７９が圧縮される。これによって、内部空間１１の上下両端の開口が確実にシールされる。

感温部材７０の内部に感温室７３（圧力室）が形成されている。図２に示すように、感温室７３は、互いに連通する複数の孔部７３ａにて構成されている。各孔部７３ａは、直線状に延びている。複数の孔部７３ａのうち一部が、互いに平行になり、他の一部が、上記互いに平行な孔部７３ａと交差している。複数の孔部７３ａが全体として互いに格子状に配列されている。複数の孔部７３ａからなる感温室７３が、Ｏリング７９の全体に行き渡るように配置されている。孔部７３ａの両端は、感温部材本体７１の端面に達している。一つの孔部７３ａの一端部には、ポート７２が設けられている。ポート７２に枝路５２の下流端が接続されている。上記一つの孔部７３ａのポート接続端以外の孔部７３ａの端部は、栓７４によって塞がれている。
孔部７３ａの一端部を栓７４にて塞ぐのに代えて、該孔部７３ａの一端部を感温部材本体７１の端面まで達しないようにしてもよい。

図示は省略するが、リークテスト装置１は、後記のリークテスト方法を実施するための制御手段を更に備えている。制御手段は、開閉弁Ｖ_４１，Ｖ_４２，Ｖ_４３，Ｖ_５１，Ｖ_５３の駆動回路、信号変換回路を含む入出力部、制御プログラムを格納したＲＯＭ、差圧センサ４４，５４による測定データ等を格納するＲＡＭ、漏れ判定（ワークの良否判定）を含む制御動作を行なうＣＰＵ等を有している。

上記構成のリークテスト装置１を用いたリークテスト方法を説明する。このリークテスト方法は、相関関係取得工程と本検査工程を順次実行する。
〔相関関係取得工程〕
相関関係取得工程は、ワーク１０の内部空間１１の圧変化と温度変化の相関関係を求めるものである。この工程で用いるワーク１０は、「相関関係採取対象」を構成する。この相関関係採取対象としてのワーク１０は、後の本検査工程において検査すべきワーク１０と同一構成のものを用いる。漏れが無いことが判明しているワーク１０を用いてもよく、漏れの有無が不明なワーク１０を用いてもよい。ワーク１０と実質的に同構成の擬似ワークを作り、これを用いることにしてもよい。
この相関関係取得工程で用いるワーク１０には、適宜、符号に「Ｘ」を添え、本検査でのワーク１０と区別することにする。

図１に示すように、ワーク１０Ｘを感温部材７０上に載せる。ワーク１０Ｘの上に圧導入路形成部材６０を被せる。押圧手段５によって圧導入路形成部材６０を押圧する。これによって、ワーク１０Ｘの各内部空間１１を密閉する。

開閉弁Ｖ_４１，Ｖ_４２，Ｖ_４３，Ｖ_５１，Ｖ_５３は、全て開いておく。そして、圧縮エア源２からエア圧回路３に数百ｋＰａの圧縮エア（加圧気体）を導入する。圧縮エアの一部が、元路４１、枝路４３、ポート６２、圧導入路６３を順次経て、ワーク１０Ｘの各内部空間１１に導入される。圧縮エアの他の一部が、枝路４２を経てエアタンク４５に導入される。圧縮エアの更に他の一部が、元路５１、枝路５２、ポート７２を順次経て、感温室７３に導入される。感温室７３を構成する複数の孔部が互いに直接又は間接的に交差しているため、圧縮エアを１つのポート７２を介して１つの孔部７３ａに導入すれば、全ての孔部７３ａに圧縮エアが行き渡って充填される。

次に、開閉弁Ｖ_４１，Ｖ_５１を閉じる。
続いて、開閉弁Ｖ_４２，Ｖ_４３を閉じる。これによって、ワーク１０Ｘの内部空間１１及びそれに連なる差圧センサ４４の第１室４４ａと、エアタンク４５及びそれに連なる差圧センサ４４の第２室４４ｂとが、互いに遮断され、それぞれ独立した閉鎖系となる。したがって、差圧センサ４４によって、エアタンク４５の圧力を基準とする内部空間１１の差圧（内部空間１１の内圧情報）を測定できる。

また、開閉弁Ｖ_５３を閉じる。これによって、感温室７３及びそれに連なる差圧センサ５４の第１室５４ａと、差圧センサ５４の第２室５４ｂとが、それぞれ独立した閉鎖系となる。したがって、差圧センサ５４によって、第２室５４ｂの圧力を基準とする感温室７３の差圧（感温室７３の内圧情報）を測定できる。

上記開閉弁Ｖ_４２，Ｖ_４３を閉じてから２〜３秒程度の所定のバランス期間を経た時点（時刻ｔ＝ｔ０）で、差圧センサ４４，５４の読みをそれぞれリセットし、これ以降の差圧変化をそれぞれ測定し記録する。
内部空間１１の差圧変化には、周辺との温度差等による温度変化に起因する成分、断熱圧縮後の放熱による温度変化に起因する成分、ワーク１０Ｘからの漏れに起因する成分等が含まれている。
内部空間１１の温度変化は、良熱伝導性の感温部材本体７１内を伝って感温室７３に及ぶ。これによって、感温室７３においても差圧変化が生じる。この差圧変化データ（感温室７３の内圧情報）を差圧センサ５４にて採取する。

以後、圧縮エア源２からの導入圧力、ワーク１０Ｘの初期温度、圧導入路形成部材６０及び感温部材７０の初期温度、雰囲気温度等の条件を種々変更し、上記と同様にして、ワーク１０Ｘの内部空間１１の差圧変化のデータと感温室７３の差圧変化のデータをそれぞれ採取する。なお、ワーク１０Ｘは、上記の条件変更に拘わらず同じものを用いることが好ましい。

そして、採取条件ごとの内部空間１１の差圧の経時曲線（内部空間１１の内圧情報）と感温室７３の差圧の経時曲線（感温室７３の内圧情報）を見比べ、両者の相関関係を探す。
例えば、時刻ｔ０からある一定の時間ｔ１だけ経過した時点における内部空間１１の差圧値と感温室７３の差圧値をそれぞれピックアップする。時間ｔ１は、２つの差圧曲線が互いに似た挙動を示している範囲内で設定するとよい。この時間ｔ１は、任意に設定変更できる。そして、感温室７３の時間ｔ１における差圧値を横軸ｘとし、内部空間１１の時間ｔ１における差圧値を縦軸ｙとしたグラフ（上掲特許文献１の図５参照）上に上記採取条件ごとのピックアップデータをプロットし、最小二乗法等による直線補間を行なう。これによって、感温室７３の差圧値ｘと内部空間１１の差圧値ｙとの相関関係を表す一次式（１）を得ることができる。
ｙ＝ａ・ｘ＋ｂ …（１）
式（１）において、ａ、ｂは、それぞれ定数である。
なお、時間ｔ１における差圧値に代えて、ｔ０での差圧とｔ１での差圧を結ぶ線の傾きをピックアップデータにしてもよく、この場合、上記式（１）と等価の相関関係式が得られる。また、時間ｔ０における差圧の微分値をピックアップデータにして相関関係式を求めることにしてもよい。或いは、特開２００４−６１２０１に記載されているように、指数関数を用いた近似式を立てて非線形フィッティングを行ない、上記近似式の係数を確定することにしてもよい。

上記の相関関係式（１）は、内部空間１１における温度変化と差圧変化の関係を示していると看做すことができる。また、相関関係式（１）の右辺第１項と第２項のうち感温室７３の差圧値ｘを含むのは、第１項のみであり、第２項の定数ｂは、感温室７３の差圧変化すなわち内部空間１１の温度変化とは無関係の量である。すなわち、定数ｂは、内部空間１１の差圧変化量のうち温度変化に依存する分を除いたものに相当する。すなわち、定数ｂは、内部空間１１からの漏れに起因する差圧変化成分を表している。したがって、内部空間１１の温度変化と、それのみに起因する差圧変化成分との相関関係は、次式（２）で表すことができる。
ｙ＝ａ・ｘ …（２）
相関関係取得工程の後、ワーク１０Ｘをリークテスト装置１から外す。

〔本検査工程〕
その後、本検査を行なう。
検査に先立ち、実際に検査すべきワーク１０を、例えば４０℃程度の温洗浄水で洗浄する。これにより、ワーク１０が例えば約４０℃程度に加温される。このワーク１０を感温部材７０上に載せる。ワーク１０の上に圧導入路形成部材６０を被せる。押圧手段５によって圧導入路形成部材６０を押圧する。これによって、ワーク１０の各内部空間１１を密閉する。
加温されたワーク１０の熱が感温部材７０に伝達し、感温部材７０の温度が上昇する。ワーク１０の温度は低下する。

そして、上記相関関係取得工程と略同様の操作を順次実行する。
すなわち、圧縮エアを内部空間１１と感温室７３にそれぞれ導入する。
次に、開閉弁Ｖ_４１，Ｖ_５１を閉じる。続いて、開閉弁Ｖ_４２，Ｖ_４３を閉じるとともに、開閉弁Ｖ_５３を閉じる。これによって、内部空間１１と感温室７３が、それぞれ独立した閉鎖系となる。

開閉弁Ｖ_４２，Ｖ_４３の閉じ操作時から所定のバランス期間（２〜３秒程度）を経た時点ｔ０で、差圧センサ４４，５４をそれぞれリセットし、内部空間１１と感温室７３の各々について差圧測定を開始する。そして、時間ｔ０から一定時間ｔ１経ったときの差圧センサ４４による内部空間１１の測定差圧Ｄ_１１（内部空間１１の内圧情報）と、上記時間ｔ１における差圧センサ５４による感温室７３の測定差圧Ｄ_７３（感温室７３の内圧情報）とをそれぞれピックアップする。

次いで、内部空間１１の測定差圧Ｄ_１１を、感温室７３の測定差圧Ｄ_７３と、上記相関関係取得工程で得られた相関関係式（２）とに基づいて補正する。具体的には、感温室７３の差圧値Ｄ_７３を式（２）の右辺の変数ｘに代入し、内部空間１１の温度起因分の差圧変化量ｙ＝ａ・Ｄ_７３を求める。これを実際の測定差圧Ｄ_１１から差し引く。すなわち、下式の演算を行なう。
Ｄ_ＬＥＡＫ＝Ｄ_１１−ａ・Ｄ_７３ …（３）
これによって、内部空間１１の漏れだけに起因する差圧変化量Ｄ_ＬＥＡＫを得ることができる。

この漏れによる差圧変化量Ｄ_ＬＥＡＫに基づいて、ワーク１０の良否判定を行なう。すなわち、差圧変化量Ｄ_ＬＥＡＫが許容限度以下であれば、ワーク１０を良品と判定する。差圧変化量Ｄ_ＬＥＡＫが許容限度を上回っていれば、ワーク１０を不良品と判定する。

この判定方法によれば、温度変化に起因する差圧変化分が取り除かれているので、判定の正確度を向上させることができる。
しかも、ワーク１０の内部空間１１の温度変化を圧力換算で測定するものであるため、温度変化が微小であっても確実に感知できる。例えば、初期圧力を５００ｋＰａ、初期温度を２５℃とし、この温度が、＋０．１℃だけ変化したものとすると、圧変化量は、ボイルシャルルの法則により１６７．８Ｐａとなる。すなわち、感温室７３の圧力を内部空間１１に導入するテスト圧と同程度のオーダーにすれば、微小な温度変化に対して大きな圧変化を得ることができる。これによって、温度測定を極めて高感度に行なうことができる。加えて、差圧センサ５４による差圧によって圧変化量を測定しているので、測定感度を一層高めることができる。
感温部材７０は、ワーク１０の内部空間１１内に入れる必要がない。したがって、ワーク１０の内部空間１１の大きさや形状に制限されることなく、感温部材７０の大きさを設定でき、更には感温室７３の大きさを設定でき、温度変化を確実に感知できる。内部空間１１が狭隘であっても容易に対応できる。
感温部材７０をワーク１０の外面に当てることによって、感温部材７０の温度をワーク１０の温度に近づけることができ、ひいては内部空間１１の温度変化を確実に測定することができる。
更に、感温部材７０は、ワーク１０の底面の全体から熱を受けることができ、ひいては内部空間１１全体の温度を平均的に測定できる。したがって、内部空間１１内に温度分布があっても信頼性を確保できる。
感温室６３を構成する各孔部６３ａは直線状であるから容易に加工できる。複数の孔部６３ａを格子状にして感温部材６３の内部のほぼ全体に行き渡らせることで、感温部材６３の温度感知領域を広くできる。
感温部材７０によって、ワーク１０の内部空間１１の下端の開口を塞ぐことができる。したがって、閉塞部材を別途設ける必要がなく、部品点数を削減できる。ワーク１０の複数の内部空間１１の開口を１つの感温部材７０で閉塞できる。シール部材７９を各内部空間１１に対応して設けることで、各内部空間１１の開口を確実にシールできる。

次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において、既述の形態と重複する構成に関しては図面に同一符号を付して説明を省略する。
ワーク１０には種々の形状があり得る。ワーク１０の形状に合わせて圧導入路形成部材６０及び感温部材７０を作製する。
例えば、図３に示す第２実施形態では、複数の内部空間１１のうちの一つの内部空間１１Ａが、ワーク１０の上面から延び、かつワーク１０の下面に達していない。内部空間１１Ａの下端部と感温部材７０とが離れている。したがって、内部空間１１Ａ内の温度変化が感温部材７０まで伝達されるのに時間を要する。一方、内部空間１１Ａは、ワーク１０の一側面に接近して設けられている、

そこで、温度測定器８０をワーク１０の内部空間１１Ａ側の側面に当てる。温度測定器８０は、抵抗式温度計で構成されている。詳細な図示は省略するが、温度測定器８０には温度測定回路が組み込まれている。温度測定回路には、２つ（複数）の温度感知部８１が設けられている。これら温度感知部８１は、温度測定器８０の円盤状の先端部に互いに離れて設けられ、それぞれ被検温対象（ワーク１０の側面）に接するようになっている。温度感知部８１は、例えば白金製の抵抗器にて構成され、温度によって電気抵抗値が変わる。ひいては、温度によって温度測定回路の電流又は電圧が変わる。この電流又は電圧を読み取ることによって、被検温対象の温度を測定できる。２つ（複数）の温度感知部８１は、互いに直接に接続されていてもよく、並列に接続されていてもよい。

第２実施形態の相関関係取得工程では、差圧センサ４４によるワーク内部空間１１の内圧情報と差圧センサ５４による感温室７３の内圧情報との相関関係だけでなく、差圧センサ４４による内部空間１１の内圧情報と温度測定器８０によるワーク１０Ｘの温度情報との相関関係をも取得する。具体的には、例えば２つのグラフを作成する。１つは、第１実施形態と同様に、時間ｔ１における感温室７３の差圧値（横軸ｘ）と内部空間１１の差圧値（縦軸ｙ）とをプロットしたグラフである。このグラフは、ワーク１０の内部空間１１の内圧情報と感温室７３の内圧情報との相関関係データである。もう１つは、時間ｔ１における温度測定器８０の測定温度（横軸ｘ）と内部空間１１の差圧値（縦軸ｙ）とをプロットしたグラフである。このグラフは、ワーク１０の内部空間１１の内圧情報とワーク１０の温度情報との相関関係データである。作成した２つのグラフから横軸と縦軸の相関関係がより顕著なグラフを選択する。すなわち、近似式（１）を得やすいグラフを選択する。

第２実施形態の本検査工程では、上記の選択したグラフに基づいて漏れ判定を行なう。選択したグラフが感温室７３の差圧値を横軸とするグラフであれば、第１実施形態と同様に、時間ｔ１における内部空間１１の差圧値Ｄ_１１と感温室７３の差圧値Ｄ_７３を読み取り、補正式（３）に代入し、補正後の差圧量Ｄ_ＬＥＡＫに基づいて、ワーク１０の良否を判定する。
一方、選択したグラフが温度測定器８０の測定温度を横軸とするグラフであれば、時間ｔ１における内部空間１１の差圧値Ｄ_１１と温度測定器８０の測定温度Ｔ_８０を読み取り、次式（３’）の演算を行なう。
Ｄ_ＬＥＡＫ＝Ｄ_１１−ａ・Ｔ_８０ …（３’）
式（３’）の右辺第２項のａは、相関関係取得工程において温度測定器８０の測定温度を横軸とし、内部空間１１の差圧を縦軸としたグラフから得た近似直線の勾配である。そして、式（３’）で得られた値Ｄ_ＬＥＡＫに基づいて、ワーク１０の良否を判定する。
これによって、温度測定器８０のほうが感温部材６０よりも感度が高い場合には、温度測定器８０による温度情報に基づいて温度補正を行なうことができ、感温部材７０による温度検知を補助することができる。

内部空間１１Ａは、感温部材７０よりも温度測定器８０に近い。したがって、内部空間１１Ａの温度変化は、感温部材７０よりも温度測定器８０に反映されやすい。しかも、互いに離れた２つ（複数）の温度感知部８１によって、内部空間１１Ａの平均的な温度変化を検出できる。

図４に示すように、第２実施形態において、温度測定器８０を検査対象１０ではなく感温部材７０に取り付けることにしてもよい。この温度測定器８０で感温部材７０の温度を測定する。感温部材７０の測定温度が感温室７３の内圧より内部空間１１の内圧との相関関係が強い場合には、感温部材７０の測定温度に基づいて、内部空間１１の内圧の温度補正を行なう。

図５に示す形態では、第１差圧検出回路４０に圧力制御弁Ｖ_４０が設けられている。圧力制御弁Ｖ_４０によって、第１差圧検出回路４０のエア圧を調節でき、ひいては内部空間１１内への導入圧力を調節できる。第２差圧検出回路５０に圧力制御弁Ｖ_５０が設けられている。圧力制御弁Ｖ_５０によって、第２差圧検出回路５０のエア圧を調節でき、ひいては感温室７３内の圧力を調節できる。
これら圧力制御弁Ｖ_４０，Ｖ_５０によって、内部空間１１の内圧より感温室７３の内圧を大きくする。たとえば、内部空間１１の内圧を３００ｋＰａとする一方、感温室７３の内圧を５００ｋＰａとする。これによって、温度変化に対して感温室７３内の圧力がより大きく変動する。よって、温度変化に対する感温部材７０の測定感度をより高めることができ、微小な温度変化を確実に感知することができる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の改変をなすことができる。
例えば、 差圧センサ４４，５４に代えて（差圧ではなく）、内部空間１１及び感温室７３の圧力そのものを測定する圧力センサを設けてもよい。
複数の孔部７３ａの端部にポート７２をそれぞれ設け、かつ枝路５２を複数の分岐路に分岐させて、これら分岐路を上記複数のポート７２に接続してもよい。
感温室７３を構成する一部の孔部７３ａと他の一部の孔部７３ａが、直角に交差しているのに限らず、斜めに交差していてもよい。
孔部７３ａが曲がっていてもよい。
感温部材７０は箱状であってもよく、箱状の感温部材７０の内部空間が感温室７３になっていてもよい。感温部材７０を箱状にする場合、押圧手段５の押圧力に十分耐え得るよう、リブ等の補強部を設けることが好ましい。
検査対象１０の内部空間１１が検査対象１０の左右の側面にも開口しているときは、該左右の側面に当接して該側面の開口を塞ぐ感温部材７０を付加するとよい。
検査対象１０の上側に感温部材７０を設けてもよく、検査対象１０の下側に圧導入路形成部材６０を設けてもよい。図１において、検査対象１０を９０度回転させた姿勢にし、圧導入路形成部材６０と感温部材７０とによって検査対象１０を左右から挟み付けるようにしてもよい。
加圧気体を感温部材７０から内部空間１１に導入してもよい。
温度測定器８０は、抵抗式温度計に限られず、熱電対式温度計でもよく、液柱温度計でもよく、バイメタル式温度計でもよく、赤外放射温度計でもよく、その他の温度計を用いてもよい。
温度測定器８０が、温度感知部８１を１つだけ有していてもよい。温度測定器８０が、温度感知部８１を３つ以上有していてもよい。
検査対象１０は、約４０℃程度に限られず、それより高温又は低温の状態でリークテスト装置１にセットされるようになっていてもよい。検査対象１０は、加熱された状態に限られず、常温又は冷却された状態でリークテスト装置１にセットされるようになっていてもよい。

１ リークテスト装置
２ 圧縮エア源（加圧気体供給源）
３ エア圧回路
４ 台座
５ 押圧手段
１０ ワーク（検査対象）
１０Ｘ ワーク（採取対象）
１１ 内部空間
３１ 共通路
３２ レギュレータ
４０ 第１差圧検出回路
４１ 元路
４２ 枝路
４２ａ センサ接続路
４３ 枝路
４３ａ センサ接続路
４４ 差圧センサ
４５ エアタンク
５０ 第２差圧検出回路
５１ 元路
５２ 枝路
５２ａ センサ接続路
５３ 枝路
５４ 差圧センサ
６０ 圧導入路形成部材
６２ ポート
６３ 圧導入路
６３ａ 分岐路
６９ Ｏリング（シール部材）
７０ 感温部材
７１ 感温部材本体
７１ｃ 環状溝
７２ ポート
７３ 感温室
７３ａ 孔部
７４ 栓
７９ Ｏリング（シール部材）
８０ 他の温度測定器
８１ 温度感知部
Ｖ_４０ 圧力制御弁
Ｖ_４１，Ｖ_４２，Ｖ_４３ 開閉弁
Ｖ_５０ 圧力制御弁
Ｖ_５１，Ｖ_５３ 開閉弁

Claims (8)

1. 検査対象の内部空間を密閉し、該内部空間内に加圧気体を導入して内部空間の内圧を測定し、この内部空間の圧変化のうち温度変化に起因する分を差し引く補正をし、補正後のデータに基づいて漏れ判定を行なうリークテスト装置において、
   検査対象の外面に当接されて前記内部空間の前記外面への開口を塞ぐ良熱伝導性材料からなる感温部材本体を有する感温部材を備え、前記感温部材本体の内部に加圧気体が導入される感温室が形成されており、前記感温室の内圧情報に基づいて前記補正を行なうことを特徴とするリークテスト装置。
2. 前記感温部材本体の前記開口を塞ぐ部分の周囲には、シール部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のリークテスト装置。
3. 前記検査対象に複数の内部空間が形成されており、前記感温部材本体が、複数の内部空間に跨ってこれら内部空間の開口を塞ぎ、前記シール部材が、各内部空間の開口に対応して設けられていることを特徴とする請求項２に記載のリークテスト装置。
4. 検査対象の内部空間を密閉し、該内部空間内に加圧気体を導入して内部空間の内圧を測定し、この内部空間の圧変化のうち温度変化に起因する分を差し引く補正をし、補正後のデータに基づいて漏れ判定を行なうリークテスト方法において、
   良熱伝導性の感温部材を検査対象の外面に当接して、前記内部空間の前記外面への開口を塞ぎ、前記感温部材の内部に形成された感温室に加圧気体を導入し、前記感温室の内圧情報に基づいて前記補正を行なうことを特徴とするリークテスト方法。
5. 前記感温室への加圧気体の導入圧を、前記内部空間への加圧気体の導入圧より高くすることを特徴とする請求項４に記載のリークテスト方法。
6. 前記検査対象の外面のうち前記感温部材が当接される部分とは別の部分の温度又は前記感温部材の温度を他の温度測定器で測定し、前記他の温度測定器による温度情報が、前記感温室の内圧情報より前記内部空間の内圧情報との相関性が大きいときは、前記感温室の内圧情報に代えて、前記温度情報に基づいて前記補正を行なうことを特徴とする請求項４又は５に記載のリークテスト方法。
7. 請求項１〜３の何れか１項に記載のリークテスト装置又は請求項４〜６の何れか１項に記載のリークテスト方法に用いられる感温部材であって、前記感温室が、複数の直線状の孔部を含むことを特徴とするリークテスト用感温部材。
8. 前記複数の孔部のうち一部が、互いに平行になり、他の一部が、前記互いに平行な孔部と交差していることを特徴とする請求項７に記載のリークテスト用感温部材。

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