JP2007064737A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 内部空間を有する検査対象のためのリークテスト方法において、
   感温室を有する良熱伝導性の感温部材を用意し、
   前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に被検室を形成するように配置し、前記感温室と被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、
   前記被検室の圧変化を測定するとともに、前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に被検室の温度変化のデータを得、
   前記被検室の圧変化と温度変化のデータに基づいて漏れ判定を行なうことを特徴とするリークテスト方法。
2. 内部空間を有する検査対象のためのリークテスト方法において、
   検査対象と実質的に同構成をなす相関関係採取対象と、感温室を有する良熱伝導性の感温部材とを用意しておき、
   （ａ）前記感温部材を前記採取対象の内部空間の内面との間に採取用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記採取用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記採取用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に採取用被検室の温度変化のデータを得、これにより、採取用被検室ひいては後記検査用被検室における圧変化と温度変化の相関関係を求める相関関係取得工程と、
   （ｂ）前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に検査用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記検査用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記検査用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に検査用被検室の温度変化のデータを得、この温度変化データと前記相関関係とに基づいて、前記検査用被検室の圧変化のうち温度変化による分を除外し、漏れ判定を行なう本検査工程と、
   を実行することを特徴とするリークテスト方法。
3. 内部空間を有する検査対象のためのリークテスト方法において、
   検査対象と実質的に同構成をなす相関関係採取対象と、感温室を有する良熱伝導性の感温部材とを用意しておき、
   （ｃ）前記感温部材を前記採取対象の内部空間の内面との間に採取用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記採取用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記採取用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定し、これにより、前記採取用被検室ひいては後記検査用被検室における圧変化と感温室の圧変化の相関関係を求める相関関係取得工程と、
   （ｄ）前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に検査用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記検査用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記検査用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定し、この感温室の圧変化データと前記相関関係とに基づいて、前記検査用被検室の圧変化のうち温度変化による分を除外し、漏れ判定を行なう本検査工程と、
   を実行することを特徴とするリークテスト方法。
4. 前記相関関係は、前記閉鎖後の所定時点から一定時間経過時までの圧変化量に基づいて求めることを特徴とする請求項２又は３に記載のリークテスト方法。
5. 前記圧変化は、測定対象の室と基準となる空間との差圧を測定する差圧センサによる差圧変化とすることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のリークテスト方法。
6. 検査対象が互いに連通する複数の内部空間を有しており、
   これら内部空間の各々に感温部材を収容するとともに、これら感温部材の感温室どうしを互いに連通して等圧とし、前記圧変化の測定を行なうことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のリークテスト方法。
7. 請求項１〜６の何れか１項に記載のリークテスト方法に用いる感温部材であって、前記感温室と、この感温室に連なるポートとを有し、このポートを介して加圧気体の導入及び圧変化の測定がなされることを特徴とするリークテスト用感温部材。
8. 外周面と内周面に吸放熱のためのフィンがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項７に記載のリークテスト用感温部材。
9. 良熱伝導性を有して環状をなし、シール部材を挟んで積層された複数の感温部材本体と、これら感温部材本体を連ねる連結手段とを備え、前記複数の感温部材本体の中心孔どうしが連通されることにより前記感温室が形成されており、前記フィンが、各感温部材本体の外周面と内周面にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項８に記載のリークテスト用感温部材。
10. 検査対象の内部空間に加圧気体を導入して前記内部空間の圧変化を測定することによりリークテストを行なう方法において、温度計によって前記内部空間の温度変化を把握することにより、 前記内部空間の圧変化のうち温度変化による分を除いて漏れ判定を行なうことを特徴とするリークテスト方法。
11. 前記温度計が、熱電対であることを特徴とする請求項１０に記載のリークテスト方法。