JP2010183070A - 光発電装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属基板1は、例えば圧延再結晶集合組織を有する銅又は銅合金基板である。この銅又は銅合金基板では、数十μmの大きさの複数の単結晶が、その表面の結晶方位を揃えて並んでいる。この結晶方位のずれは5度以内である。金属電極2は、例えばニッケル膜、ニッケル合金膜、アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜である。この金属電極2は、めっき法により金属電極1上に形成する。n型多結晶Si薄膜3及びp型多結晶Si薄膜4は、エピタキシャル成長法により金属電極2上に形成する。金属基板1の表面における結晶方位のずれが5度以内であるため、n型多結晶Si薄膜3及びp型多結晶Si薄膜4の結晶方位のずれも極めて小さくなる。
【選択図】図1
Description
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る薄膜シリコン太陽電池(光発電装置)の構造及び製造方法を示す断面図である。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図2は、本発明の第2の実施形態に係る薄膜シリコン太陽電池(光発電装置)の構造及び製造方法を示す断面図である。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。図3は、本発明の第3の実施形態に係る薄膜シリコン太陽電池(光発電装置)の構造及び製造方法を示す断面図である。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。図4は、本発明の第4の実施形態に係る薄膜シリコン太陽電池(光発電装置)の構造及び製造方法を示す断面図である。
純度が99質量%のFeの単結晶を、{100}面が上下面に、長手方向に[001]方向が平行となるように切り出し、25℃において、中間焼鈍なしで85%の圧延加工を施して、厚さが0.1mmの圧延テープを作製した。次いで、この圧延テープを還元雰囲気中、1000℃で20時間熱処理して、{100}<001>集合組織を有する配向鉄テープ(試料No.1)を得た。
実験1で作製した試料No.1〜5(配向金属テープ)上に、厚さが1μmのNi層を鍍金して5種類のNi鍍金配向金属テープを得た。試料No.1〜5から得たNi鍍金配向金属テープを、順に試料No.6〜10とする。鍍金液にはワット溶液を使用した。得られたNi鍍金層は下地の配向金属テープからエピタキシャル成長していて、95%以上のNi結晶が同じ方向を向いて揃っていることが確認できた。
実験1において、配向金属テープの温度(成膜温度)を25℃〜500℃としてシリコン膜を形成した試料を、水素ガス雰囲気中で1時間、600℃に保持した。
実験2において、Ni鍍金配向金属テープの温度(成膜温度)を25℃〜500℃としてシリコン膜を形成した試料を、水素ガス雰囲気中で1時間、600℃に保持した。
実験1で得た5種類の試料(試料No.1〜5)及び実験2で得た5種類の試料(試料No.6〜10)上に、RFマグネトロンスパッタリング法により、厚さが30nmの(In1-XSnX)2O3+X層(X=0,0.1,0.2,0.3)を形成して40種類の(In1-XSnX)2O3+X層付き配向金属テープを得た。このとき、ターゲットとして、(In1-XSnX)2O3+X焼結体(X=0,0.1,0.2,0.3)を用いた。また、スパッタリングガスとして、アルゴン:97体積%及び水素:3体積%の混合ガスを用い、圧力を3Pa、パワー密度を15W/cm2、各試料の温度(成膜温度)を400℃とした。形成された(In1-XSnX)2O3+X層の組成を化学分析したところ、使用したターゲットと同一組成であることが確認できた。
実験5において、(In1-XSnX)2O3+X層付き配向金属テープの温度(成膜温度)を25℃、100℃、200℃、300℃、又は400℃として形成したアモルファス状のシリコン膜の表面に、波長が248nmの紫外線レーザ光をその照射面を移動させながら照射した。この結果、全てのシリコン膜が結晶化し、シリコン結晶粒が2軸配向していることが確認され、95%以上のシリコン結晶粒の方位が5度以内に揃っていることが確認できた。
実験1で得た5種類の試料(試料No.1〜5)及び実験2で得た5種類の試料(試料No.6〜10)上に、RFマグネトロンスパッタリング法により、厚さが30nmの(Ti1-XNbX)O2+X/2層(X=0,0.1,0.2,0.3)を形成して40種類の(Ti1-XNbX)O2+X/2層付き配向金属テープを得た。このとき、ターゲットとして、(Ti1-XNbX)O2+X/2焼結体(X=0,0.1,0.2,0.3)を用いた。また、スパッタリングガスとして、アルゴン:97体積%及び水素:3体積%の混合ガスを用い、圧力を3Pa、パワー密度を15W/cm2、各試料の温度(成膜温度)を600℃とした。形成された(Ti1-XNbX)O2+X/2層の組成を化学分析したところ、使用したターゲットと同一組成であることが確認できた。
実験7において、(Ti1-XNbX)O2+X/2層付き配向金属テープの温度(成膜温度)を25℃、100℃、200℃、300℃、又は400℃として形成したアモルファス状のシリコン膜の表面に、波長が248nmの紫外線レーザ光をその照射面を移動させながら照射した。この結果、全てのシリコン膜が結晶化し、シリコン結晶粒が2軸配向していることが確認され、95%以上のシリコン結晶粒の方位が5度以内に揃っていることが確認できた。
実験1で得た5種類の試料(試料No.1〜5)及び実験2で得た5種類の試料(試料No.6〜10)上に、RFマグネトロンスパッタリング法により、厚さが30nmのSr(Ti1-XNbX)O3+X/2層(X=0,0.1,0.2,0.3)を形成して40種類のSr(Ti1-XNbX)O3+X/2層付き配向金属テープを得た。このとき、ターゲットとして、Sr(Ti1-XNbX)O3+X/2焼結体(X=0,0.1,0.2,0.3)を用いた。また、スパッタリングガスとして、アルゴン:97体積%及び水素:3体積%の混合ガスを用い、圧力を3Pa、パワー密度を15W/cm2、各試料の温度(成膜温度)を750℃とした。形成されたSr(Ti1-XNbX)O3+X/2層の組成を化学分析したところ、使用したターゲットと同一組成であることが確認できた。
実験9において、Sr(Ti1-XNbX)O3+X/2層付き配向金属テープの温度(成膜温度)を25℃、100℃、200℃、300℃、又は400℃として形成したアモルファス状のシリコン膜の表面に、波長が248nmの紫外線レーザ光をその照射面を移動させながら照射した。この結果、全てのシリコン膜が結晶化し、シリコン結晶粒が2軸配向していることが確認され、95%以上のシリコン結晶粒の方位が5度以内に揃っていることが確認できた。
実験1で得た5種類の試料(試料No.1〜5)及び実験2で得た5種類の試料(試料No.6〜10)上に、RFマグネトロンスパッタリング法により、厚さが30nmの(Sr1-YCaY)(Ti1-XNbX)O3+X/2層(X=0,0.1,0.2,0.3、Y=0.2,0.4,0.6,0.8)を形成して160種類の(Sr1-YCaY)(Ti1-XNbX)O3+X/2層付き配向金属テープを得た。このとき、ターゲットとして、(Sr1-YCaY)(Ti1-XNbX)O3+X/2焼結体(X=0,0.1,0.2,0.3、Y=0.2,0.4,0.6,0.8)を用いた。また、スパッタリングガスとして、アルゴン:97体積%及び水素:3体積%の混合ガスを用い、圧力を3Pa、パワー密度を15W/cm2、各試料の温度(成膜温度)を700℃とした。形成された(Sr1-YCaY)(Ti1-XNbX)O3+X/2層の組成を化学分析したところ、使用したターゲットと同一組成であることが確認できた。
実験11において、(Sr1-YCaY)(Ti1-XNbX)O3+X/2層付き配向金属テープの温度(成膜温度)を25℃、100℃、200℃、300℃、又は400℃として形成したアモルファス状のシリコン膜の表面に、波長が248nmの紫外線レーザ光をその照射面を移動させながら照射した。この結果、全てのシリコン膜が結晶化し、シリコン結晶粒が2軸配向していることが確認され、95%以上のシリコン結晶粒の方位が5度以内に揃っていることが確認できた。
実験1で得た5種類の試料(試料No.1〜5)及び実験2で得た5種類の試料(試料No.6〜10)上に、RFマグネトロンスパッタリング法により、厚さが30nmの(LaXSrYCaZ)(TiACrBMnCFeDCoENiFCuG)O3+H層(X+Y+Z=1、0≦X≦1、0≦Y≦1、0≦Z≦1、A+B+C+D+E+F+G=1、0≦A≦1、0≦B≦1、0≦C≦1、0≦D≦1、0≦E≦1、0≦F≦1、0≦G≦1、−0.1≦H≦0.1)を形成して110種類の(LaXSrYCaZ)(TiACrBMnCFeDCoENiFCuG)O3+H付き配向金属テープを得た。このとき、ターゲットとして、(LaXSrYCaZ)(TiACrBMnCFeDCoENiFCuG)O3+H焼結体を用いた。表1に、この焼結体の11種類の組成を示す。また、スパッタリングガスとして、アルゴン:97体積%及び水素:3体積%の混合ガスを用い、圧力を3Pa、パワー密度を15W/cm2、各試料の温度(成膜温度)を700℃とした。形成された(LaXSrYCaZ)(TiACrBMnCFeDCoENiFCuG)O3+H層の組成を化学分析したところ、使用したターゲットと同一組成であることが確認できた。
実験13において、(Sr1-YCaY)(Ti1-XNbX)O3+X/2層付き配向金属テープの温度(成膜温度)を25℃、100℃、200℃、300℃、又は400℃として形成したアモルファス状のシリコン膜の表面に、波長が248nmの紫外線レーザ光をその照射面を移動させながら照射した。この結果、全てのシリコン膜が結晶化し、シリコン結晶粒が2軸配向していることが確認され、95%以上のシリコン結晶粒の方位が5度以内に揃っていることが確認できた。
図5に示す従来技術に沿ってpn型アモルファスシリコン太陽電池を作製した。ここでは、ガラス基板101として石英ガラス基板を用い、その上にRFスパッタリング法で透明電極102として厚さが6μmのSnO2膜を形成した。次いで、透明電極102上にプラズマ励起周波数を81.56MHzとしたプラズマCVD法によりn型アモルファスシリコン膜103及びp型アモルファスシリコン膜104をこの順で形成した。その後、p型アモルファスシリコン膜104上にRFスパッタリング法で金属電極105として厚さが1μmの結晶方位がランダムなNi層を形成した。続いて、電流取り出し用の金電極を形成し、次いで、厚さが0.5μmのSiO2膜を保護層106として形成した。
pin型多結晶シリコン太陽電池を作製した。ここでは、石英ガラス上にRFスパッタリング法で厚さが1μmの結晶方位がランダムなNi層を形成した。次いで、Ni層上にプラズマ励起周波数を81.56MHzとしたプラズマCVD法によりp型アモルファスシリコン膜を形成し、これをレーザアニール法によって結晶化させてp型多結晶シリコン膜を形成した。その後、p型多結晶シリコン膜上にプラズマCVD法によりi型アモルファスシリコン膜を形成し、これをレーザアニール法によって結晶化させてi型多結晶シリコン膜を形成した。続いて、i型多結晶シリコン膜上にプラズマCVD法によりn型アモルファスシリコン膜を形成し、これをレーザアニール法によって結晶化させてn型多結晶シリコン膜を形成した。次いで、n型多結晶シリコン膜上に透明電極として、厚さが6μmのSnO2膜を形成した。その後、電流取り出し用の金電極を形成し、次いで、厚さが0.5μmのSiO2膜を保護層として形成した。
pin型多結晶シリコン太陽電池を作製した。ここでは、結晶方位がランダムとなっている厚さが0.1mmのNiテープの上に、プラズマ励起周波数を81.56MHzとしたプラズマCVD法によりp型アモルファスシリコン膜を形成し、これをレーザアニール法によって結晶化させてp型多結晶シリコン膜を形成した。次いで、p型多結晶シリコン膜上にプラズマCVD法によりi型アモルファスシリコン膜を形成し、これをレーザアニール法によって結晶化させてi型多結晶シリコン膜を形成した。その後、i型多結晶シリコン膜上にプラズマCVD法によりn型アモルファスシリコン膜を形成し、これをレーザアニール法によって結晶化させてn型多結晶シリコン膜を形成した。続いて、n型多結晶シリコン膜上に透明電極として、厚さが6μmのSnO2膜を形成した。次いで、電流取り出し用の金電極を形成し、その後、厚さが0.5μmのSiO2膜を保護層として形成した。
pn型多結晶シリコン太陽電池を作製した。ここでは、結晶方位がランダムとなっている厚さが0.1mmのNiテープの上に、プラズマ励起周波数を81.56MHzとしたプラズマCVD法によりp型アモルファスシリコン膜を形成し、これをレーザアニール法によって結晶化させてp型多結晶シリコン膜を形成した。次いで、p型多結晶シリコン膜上にプラズマCVD法によりn型アモルファスシリコン膜を形成し、これをレーザアニール法によって結晶化させてn型多結晶シリコン膜を形成した。その後、n型多結晶シリコン膜上に透明電極として、厚さが6μmのSnO2膜を形成した。続いて、電流取り出し用の金電極を形成し、次いで、厚さが0.5μmのSiO2膜を保護層として形成した。
実験17(比較例3)のNiテープに代えて、実験1で得た5種類の試料(試料No.1〜5)を用い、これらの上に、実験17(比較例3)と同様の方法で、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜等を形成してpin型多結晶シリコン太陽電池を作製した。試料No.1〜5のいずれを用いた場合にも、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜は1軸配向であった。
実験17(比較例3)のNiテープに代えて、実験2で得た5種類の試料No.6〜10(Ni鍍金配向金属テープ)を用い、これらの上に、実験17(比較例3)と同様の方法で、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜等を形成してpin型多結晶シリコン太陽電池を作製した。試料No.6〜10のいずれを用いた場合にも、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜は2軸配向していることが確認できた。
実験18(比較例4)のNiテープに代えて、実験5で得た40種類の試料((In1-XSnX)2O3+X層付き配向金属テープ)を用い、これらの上に、実験18(比較例4)と同様の方法で、p型多結晶シリコン膜及びn型多結晶シリコン膜等を形成してpn型多結晶シリコン太陽電池を作製した。いずれの試料を用いた場合にも、p型多結晶シリコン膜及びn型多結晶シリコン膜は2軸配向していることが確認できた。
実験17(比較例3)のNiテープに代えて、実験7で得た40種類の試料((Ti1-XNbX)O2+X/2層付き配向金属テープ)を用い、これらの上に、実験17(比較例3)と同様の方法で、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜等を形成してpin型多結晶シリコン太陽電池を作製した。いずれの試料を用いた場合にも、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜は2軸配向していることが確認できた。
実験17(比較例3)のNiテープに代えて、実験9で得た40種類の試料(Sr(Ti1-XNbX)O3+X/2層付き配向金属テープ)を用い、これらの上に、実験17(比較例3)と同様の方法で、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜等を形成してpin型多結晶シリコン太陽電池を作製した。いずれの試料を用いた場合にも、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜は2軸配向していることが確認できた。
実験17(比較例3)のNiテープに代えて、実験11で得た160種類の試料((Sr1-YCaY)(Ti1-XNbX)O3+X/2層付き配向金属テープ)を用い、これらの上に、実験17(比較例3)と同様の方法で、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜等を形成してpin型多結晶シリコン太陽電池を作製した。いずれの試料を用いた場合にも、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜は2軸配向していることが確認できた。
実験17(比較例3)のNiテープに代えて、実験13で得た110種類の試料((LaXSrYCaZ)(TiACrBMnCFeDCoENiFCuG)O3+H付き配向金属テープ)を用い、これらの上に、実験17(比較例3)と同様の方法で、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜等を形成してpin型多結晶シリコン太陽電池を作製した。いずれの試料を用いた場合にも、p型多結晶シリコン膜、i型多結晶シリコン膜、及びn型多結晶シリコン膜は2軸配向していることが確認できた。
実験2で得た5種類の試料No.6〜10(Ni鍍金配向金属テープ)上に、Cu(In,Ga)Se2を含む光電変換層等を形成して太陽電池を作製した。そして、この太陽電池のAM1.5(100mW/cm2)照射条件下における電流−電圧特性を測定した。この結果、5種類の太陽電池の光電変換効率は10.5%〜11%の範囲内にあった。
実験2で得た5種類の試料No.6〜10(Ni鍍金配向金属テープ)上に、Cu(In,Ga)(Se,S)2を含む光電変換層等を形成して太陽電池を作製した。そして、この太陽電池のAM1.5(100mW/cm2)照射条件下における電流−電圧特性を測定した。この結果、5種類の太陽電池の光電変換効率は10.5%〜11%の範囲内にあった。
実験2で得た5種類の試料No.6〜10(Ni鍍金配向金属テープ)上に、CuInS2を含む光電変換層等を形成して太陽電池を作製した。そして、この太陽電池のAM1.5(100mW/cm2)照射条件下における電流−電圧特性を測定した。この結果、5種類の太陽電池の光電変換効率は9.5%〜10%の範囲内にあった。
2:金属電極
3:n型多結晶Si薄膜
4:p型多結晶Si薄膜
5:透明電極
6:保護層
7:i型多結晶Si薄膜
12:導電性酸化物層
Claims (22)
- 表面の結晶方位のずれが5度以内の金属基板上に金属電極を形成する工程と、
前記金属電極上に光電変換層を形成する工程と、
を有することを特徴とする光発電装置の製造方法。 - 前記金属基板として、圧延再結晶集合組織を有する銅又は銅合金基板を用いることを特徴とする請求項1に記載の光発電装置の製造方法。
- 表面の結晶方位のずれが5度以内の金属基板と、
前記金属基板上に形成された金属電極と、
前記金属電極上に形成された光電変換層と、
を有することを特徴とする光発電装置。 - 前記金属基板は、圧延再結晶集合組織を有する銅又は銅合金基板であることを特徴とする請求項3に記載の光発電装置。
- 結晶方位が2軸方向とも所定の範囲内で揃った2軸配向金属テープと、
前記2軸配向金属テープ上に形成され、前記2軸配向金属テープの配向を引き継いだ結晶方位を有する複数の単結晶体から構成された2軸配向多結晶シリコン膜と、
を有し、
前記2軸配向金属テープを構成する金属結晶の結晶方位が5度以内に揃っていることを特徴とする薄膜太陽電池。 - 前記2軸配向金属テープは、銅又は銅合金から構成されていることを特徴とする請求項5に記載の薄膜太陽電池。
- 結晶方位が2軸方向とも所定の範囲内で揃った2軸配向金属テープと、
前記2軸配向金属テープ上にめっき法により形成された2軸配向めっき層と、
前記2軸配向めっき層上に形成された半導体層と、
を有し、
前記2軸配向めっき層を構成する結晶粒は、その直下に位置する前記2軸配向金属テープを構成する結晶粒と同一の方位を向いており、
前記半導体層を構成する結晶粒は、その直下に位置する前記2軸配向めっき層を構成する結晶粒と同一の配向を向いていることを特徴とする薄膜太陽電池。 - 前記2軸配向めっき層は、ニッケル、ニッケル合金、アルミニウム又はアルミニウム合金から構成されていることを特徴とする請求項7に記載の薄膜太陽電池。
- 前記半導体層は、シリコンから構成されていることを特徴とする請求項8に記載の薄膜太陽電池。
- 前記2軸配向金属テープを構成する金属結晶の結晶方位が5度以内に揃っていることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の薄膜太陽電池。
- {100}<001>集合組織を有し、鉄、鉄合金、銅、又は銅合金からなる配向金属テープと、
前記配向金属テープ上に形成された導電性酸化物層と、
前記導電性酸化物層上に形成された半導体を含む光電変換層と、
前記光電変換層上に形成された透明導電性物質層と、
前記透明導電性物質層上に形成された表面集電電極と、
を有することを特徴とする光発電装置。 - {110}<001>集合組織を有し、鉄合金からなる配向金属テープと、
前記配向金属テープ上に形成された導電性酸化物層と、
前記導電性酸化物層上に形成された半導体を含む光電変換層と、
前記光電変換層上に形成された透明導電性物質層と、
前記透明導電性物質層上に形成された表面集電電極と、
を有することを特徴とする光発電装置。 - 前記配向金属テープの表面に形成された金属鍍金層を有し、
前記導電性酸化物層は、前記金属鍍金層上に形成されていることを特徴とする請求項11又は12に記載の光発電装置。 - 前記導電性酸化物層は、
(In1-X1SnX1)2O3+X1(0≦X1≦0.2)、
(Ti1-X2NbX2)O2+X2/2(0≦X2≦0.3)、
Sr(Ti1-X3NbX3)O3+X3/2(0≦X3≦0.3)、
(Sr1-Y1CaY1)(Ti1-X4NbX4)O3+X4/2(0≦X4≦0.3、0≦Y1≦1)、及び
(LaX5SrY2CaZ)(TiACrBMnCFeDCoENiFCuG)O3+H(X5+Y2+Z=1、0≦X5≦1、0≦Y2≦1、0≦Z≦1、A+B+C+D+E+F+G=1、0≦A≦1、0≦B≦1、0≦C≦1、0≦D≦1、0≦E≦1、0≦F≦1、0≦G≦1、−0.1≦H≦0.1)
からなる群から選択された少なくとも1種を含有することを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載の光発電装置。 - 前記光電変換層は、p型半導体層及びn型半導体層を有することを特徴とする請求項11乃至14のいずれか1項に記載の光発電装置。
- 前記光電変換層は、前記p型半導体層及び前記n型半導体層の間に位置するi型半導体層を有することを特徴とする請求項15に記載の光発電装置。
- 前記光電変換層は、前記半導体として、Siを含有することを特徴とする請求項11乃至16のいずれか1項に記載の光発電装置。
- 前記光電変換層は、前記半導体として、Cu(In,Ga)Se2、Cu(In,Ga)(Se,S)2、及びCuInS2からなる群から選択された少なくとも1種を含有することを特徴とする請求項11乃至16のいずれか1項に記載の光発電装置。
- {100}<001>集合組織を有し、鉄、鉄合金、銅、又は銅合金からなる配向金属テープ上に導電性酸化物層を形成する工程と、
前記導電性酸化物層上に半導体を含む光電変換層を形成する工程と、
前記光電変換層上に透明導電性物質層を形成する工程と、
前記透明導電性物質層上に表面集電電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする光発電装置の製造方法。 - {110}<001>集合組織を有し、鉄合金からなる配向金属テープ上に導電性酸化物層を形成する工程と、
前記導電性酸化物層上に半導体を含む光電変換層を形成する工程と、
前記光電変換層上に透明導電性物質層を形成する工程と、
前記透明導電性物質層上に表面集電電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする光発電装置の製造方法。 - {100}<001>集合組織を有し、鉄、鉄合金、銅、又は銅合金からなる配向金属テープと、
前記配向金属テープ上に形成された半導体を含む光電変換層と、
前記光電変換層上に形成された透明導電性物質層と、
前記透明導電性物質層上に形成された表面集電電極と、
を有することを特徴とする光発電装置。 - {110}<001>集合組織を有し、鉄合金からなる配向金属テープと、
前記配向金属テープ上に形成された半導体を含む光電変換層と、
前記光電変換層上に形成された透明導電性物質層と、
前記透明導電性物質層上に形成された表面集電電極と、
を有することを特徴とする光発電装置。
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