JP2010179616A - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printing machine and a screen printing method which cause printing deviation hardly to occur in a screen printing for a substrate containing a plurality of substrate materials with different deformation degrees. <P>SOLUTION: A mask member 33, wherein a first mask pattern MP1 corresponding to electrode positions of a rigid substrate 11 and a second mask pattern MP2 corresponding to electrode positions of a flexible substrate 12 are arranged respectively in different regions (a first mask region MR1 and a second mask region MR2), is used in the screen printing method for performing a screen printing. A screen printing is performed for electrodes of the rigid substrate 11d after performing alignment of the rigid substrate 11 and the first mask region MR1 having the first mask pattern MP1, and for electrodes of the flexible substrate 12d after performing alignment of the flexible substrate 12 and the second mask region MR2 having the second mask pattern MP2. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板の各基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing machine and a screen printing method for performing screen printing on electrodes provided on each substrate member of a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation.

従来、変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板として、ガラスエポキシをベースとしたリジッド基板と、ポリイミドをベースとしたフレックス基板を含むリジッドフレックス基板が知られている。このリジッドフレックス基板は、リジッド基板から成るリジッドな部分とフレックス基板から成るフレキシブルな部分とが混在しているため多様な形態での使用が可能であり、小型軽量化にも適している(特許文献1)。   Conventionally, as a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation, a rigid substrate based on glass epoxy and a rigid flex substrate including a flex substrate based on polyimide are known. This rigid-flex board can be used in various forms because it contains a rigid part made of a rigid board and a flexible part made of a flex board. 1).

このようなリジッドフレックス基板では、リジッド基板及びフレックス基板それぞれの電極には、スクリーン印刷機によって半田等のペーストがスクリーン印刷される。スクリーン印刷機に備えられるマスク部材には、印刷対象とするリジッドフレックス基板の全電極の電極配置に対応するマスクパターンが形成されており、リジッドフレックス基板とマスク部材を位置合わせした状態でマスク部材にペーストを供給し、マスク部材上でスキージを摺動させることによって、リジッドフレックス基板の全電極にスクリーン印刷を施すことができるようになっている。
特開2007−36001号公報 特開2001−60763号公報
In such a rigid flex substrate, a paste such as solder is screen printed on the electrodes of the rigid substrate and the flex substrate by a screen printer. A mask pattern corresponding to the electrode arrangement of all the electrodes of the rigid flex substrate to be printed is formed on the mask member provided in the screen printing machine, and the mask member is aligned with the rigid flex substrate and the mask member. By supplying the paste and sliding the squeegee on the mask member, screen printing can be performed on all the electrodes of the rigid flex substrate.
JP 2007-36001 A JP 2001-60763 A

しかしながら、上記リジッドフレックス基板のような、変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板では、その基板を構成する各基板部材の材料が互いに同一でないことから外力や周囲温度等に対する変形の度合いが異なっており、基板部材同士の間に相対的な変位が生じている場合があった。このため、一の基板部材を基準にしてマスク部材との位置合わせを行っても、他の基板部材についてはマスク部材との位置合わせが適正になされるとは限らず、スクリーン印刷を実行した結果、基板全体で印刷ずれが生じてしまうおそれがあった。   However, in a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation, such as the above-mentioned rigid flex substrate, the degree of deformation with respect to external force, ambient temperature, etc. differs because the materials of the substrate members constituting the substrate are not the same as each other. In some cases, relative displacement occurs between the substrate members. For this reason, even if the alignment with the mask member is performed with reference to one substrate member, the alignment with the mask member is not always properly performed for the other substrate members, and the result of executing the screen printing There was a risk that printing displacement would occur on the entire substrate.

そこで本発明は、変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板を対象としたスクリーン印刷において、印刷ずれを起きにくくすることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen printing method that can make printing misalignment difficult in screen printing for a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation.

請求項1に記載のスクリーン印刷機は、変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板の各基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機であって、各基板部材の電極配置に対応する複数のマスクパターンをそれぞれ別個の領域に備えたマスク部材と、基板部材とその基板部材の電極配置に対応するマスクパターンを有するマスク部材の領域との位置合わせを行ってその基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施す動作を変形度合いの異なる複数の基板部材それぞれに対して実行する印刷実行手段と、を備えた。   The screen printing machine according to claim 1 is a screen printing machine that performs screen printing on electrodes included in each substrate member of a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation, and corresponds to the electrode arrangement of each substrate member. A mask member having a plurality of mask patterns in separate areas, and a substrate member and an electrode of the mask member having a mask pattern corresponding to the electrode arrangement of the substrate member are aligned to an electrode included in the substrate member. Printing execution means for executing an operation for performing screen printing on each of a plurality of substrate members having different degrees of deformation.

請求項2に記載のスクリーン印刷方法は、変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板の各基板部材が備える電極に、各基板部材の電極配置に対応する複数のマスクパターンをそれぞれ別個の領域に備えたマスク部材を用いてスクリーン印刷を施すスクリーン方法であって、基板部材とその基板部材の電極配置に対応するマスクパターンを有するマスク
部材の領域との位置合わせを行う第1の工程と、前記マスク部材の領域との位置合わせを行った基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施す第2の工程とを含み、前記第1の工程及び前記第2の工程を変形度合いの異なる複数の基板部材それぞれに対して実行する。
The screen printing method according to claim 2, wherein the plurality of mask patterns corresponding to the electrode arrangement of each substrate member are provided in separate areas on the electrodes included in each substrate member of the substrate including the plurality of substrate members having different degrees of deformation. A screen method of performing screen printing using a provided mask member, the first step of aligning a substrate member and a mask member region having a mask pattern corresponding to an electrode arrangement of the substrate member; A second step of performing screen printing on an electrode included in the substrate member that has been aligned with the region of the mask member, and each of the plurality of substrate members having different degrees of deformation in each of the first step and the second step. Run against.

本発明では、変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板の各基板部材の電極配置に対応するマスクパターンをそれぞれ別個の領域に備えたマスク部材を用い、基板部材とその基板部材の電極配置に対応するマスクパターンを有するマスク部材の領域との位置合わせを行ってその基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施す動作(工程)を変形度合いの異なる複数の基板部材それぞれに対して実行するようになっている。すなわち、各基板部材がマスク部材と位置合わせされ、スクリーン印刷が実行されるようになっている。このため、変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板を対象としたスクリーン印刷において、印刷ずれを起きにくくすることができる。   In the present invention, a mask member having a mask pattern corresponding to the electrode arrangement of each substrate member of a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation is used in each of the substrate members and the electrode arrangement of the substrate member. An operation (step) of performing screen printing on the electrodes provided in the substrate member by performing alignment with the region of the mask member having the corresponding mask pattern is performed for each of the plurality of substrate members having different degrees of deformation. ing. That is, each substrate member is aligned with the mask member, and screen printing is executed. For this reason, in screen printing for a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation, printing misalignment can be made difficult to occur.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図、図2(a)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が印刷対象とする基板の平面図、図2(b)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が印刷対象とする基板をキャリヤとともに示す側断面図、図3は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える印刷実行部の正面図、図4は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク部材の平面図、図5は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図6は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程を示すフローチャート、図7(a),(b)、図8(a),(b)、図9(a),(b)及び図10(a),(b)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a partial plan view of a screen printer according to an embodiment of the present invention, FIG. 2A is a plan view of a substrate to be printed by the screen printer according to an embodiment of the present invention, and FIG. ) Is a side sectional view showing a substrate to be printed by the screen printer in one embodiment of the present invention together with a carrier, FIG. 3 is a front view of a print execution unit provided in the screen printer in one embodiment of the present invention, FIG. 4 is a plan view of a mask member provided in the screen printer in one embodiment of the present invention, FIG. 5 is a block diagram showing a control system of the screen printer in one embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 7A, FIG. 7B, FIG. 8A, FIG. 8B, FIG. 9A, FIG. 9B, and FIG. (A) (B) is an operation explanatory view of a screen printing machine according to an embodiment of the present invention.

図1において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基台2と、基台2上に設けられ、印刷対象物である基板PBの搬送及び位置決めを行う基板搬送路3と、基板搬送路3によって位置決めされた基板PBに対してスクリーン印刷を実行する印刷実行部4を備えて構成されている。以下、スクリーン印刷機1における基板PBの搬送方向をX軸方向とし、X軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向とする。また、上下方向をZ軸方向とする。   In FIG. 1, a screen printing machine 1 according to the present embodiment includes a base 2, a substrate transport path 3 that is provided on the base 2, and transports and positions a substrate PB that is a printing target, and a substrate transport path. 3 includes a print execution unit 4 that performs screen printing on the substrate PB positioned by 3. Hereinafter, the transport direction of the substrate PB in the screen printer 1 is defined as the X-axis direction, and the horizontal plane direction orthogonal to the X-axis direction is defined as the Y-axis direction. Also, the vertical direction is the Z-axis direction.

基板PBは変形の度合いが異なる複数の基板部材を含むものであり、本実施の形態では、図2(a)に示すようにガラスエポキシをベースとしたリジッド基板11と、ポリイミドをベースとしたフレックス基板12の2つの基板部材を含むリジッドフレックス基板であるとする。   The substrate PB includes a plurality of substrate members having different degrees of deformation. In the present embodiment, as shown in FIG. 2A, a rigid substrate 11 based on glass epoxy and a flex based on polyimide are used. It is assumed that the substrate is a rigid flex substrate including two substrate members of the substrate 12.

図2(a)において、リジッド基板11上には多数のリジッド基板電極11dが設けられており、フレックス基板12には多数のフレックス基板電極12dが設けられている。   In FIG. 2A, a number of rigid substrate electrodes 11 d are provided on the rigid substrate 11, and a number of flex substrate electrodes 12 d are provided on the flex substrate 12.

図2(b)は図2(a)の矢視V−Vから見た模式的断面図である。この図2(b)に示すように、基板PBはキャリヤ13の上面に取り付けられた状態で基板搬送路3により搬送される。このキャリヤ13にはフレックス基板12に対応する部分に上方に凸形状となる凸部13aが設けられており、基板PBがキャリヤ13に取り付けられた状態では、フレックス基板12が凸部13aによって上方に押し上げられて、その上面(フレックス基板電極12dを有する印刷対象面)がリジッド基板11の上面(リジッド基板電極11dを有する印刷対象面)とほぼ同じ高さになるようになっている。   FIG.2 (b) is typical sectional drawing seen from the arrow VV of Fig.2 (a). As shown in FIG. 2B, the substrate PB is transported by the substrate transport path 3 while being attached to the upper surface of the carrier 13. The carrier 13 is provided with a convex portion 13 a that is convex upward at a portion corresponding to the flex substrate 12. When the substrate PB is attached to the carrier 13, the flex substrate 12 is moved upward by the convex portion 13 a. The upper surface (print target surface having the flex substrate electrode 12d) is pushed up so that the upper surface (print target surface having the rigid substrate electrode 11d) of the rigid substrate 11 is substantially the same height.

図1において基板搬送路3は、X軸方向に並んで設けられた搬入コンベア21、位置決
めコンベア22及び搬出コンベア23から成る。搬入コンベア21はスクリーン印刷機1の外部(図1の紙面左側)から投入された基板PBをスクリーン印刷機1の内部に搬入して位置決めコンベア22に受け渡す。位置決めコンベア22は搬入コンベア21から受け取った基板PBを所定の位置に位置決めし、基板PBに対するスクリーン印刷が終了した後、基板PBを搬出コンベア23に受け渡す。搬出コンベア23は位置決めコンベア22から受け取った基板PBをスクリーン印刷機1の外部に搬出する。
In FIG. 1, the substrate transport path 3 includes a carry-in conveyor 21, a positioning conveyor 22, and a carry-out conveyor 23 provided side by side in the X-axis direction. The carry-in conveyor 21 carries the substrate PB input from the outside of the screen printing machine 1 (the left side in FIG. 1) into the screen printing machine 1 and delivers it to the positioning conveyor 22. The positioning conveyor 22 positions the substrate PB received from the carry-in conveyor 21 at a predetermined position, and transfers the substrate PB to the carry-out conveyor 23 after screen printing on the substrate PB is completed. The carry-out conveyor 23 carries the substrate PB received from the positioning conveyor 22 out of the screen printer 1.

図3において印刷実行部4は、位置決めコンベア22上の基板PBをクランプしてその基板PBの水平面内(X軸及びY軸方向)方向への移動と上下方向(Z軸方向)への移動を行う基板移動ユニット31、基板移動ユニット31の上方を水平方向(Y軸方向)に延びて設けられた一対の支持レール32、支持レール32によってY軸方向にスライド自在に支持されたプレート状のマスク部材33、マスク部材33の上方をY軸方向に移動自在に設けられたスキージユニット34、基台2上に設けられたXYロボット35(図1)によって基板移動ユニット31とマスク部材33の間の空間を水平面内方向に移動自在なカメラユニット36及びマスク部材33にペーストを供給するシリンジユニット37を備えている。   In FIG. 3, the print execution unit 4 clamps the substrate PB on the positioning conveyor 22 and moves the substrate PB in the horizontal plane (X-axis and Y-axis directions) and in the vertical direction (Z-axis direction). The substrate moving unit 31 to be performed, a pair of support rails 32 extending in the horizontal direction (Y-axis direction) above the substrate moving unit 31, and a plate-like mask slidably supported in the Y-axis direction by the support rails 32 The squeegee unit 34 provided movably in the Y-axis direction above the member 33, the mask member 33, and the XY robot 35 (FIG. 1) provided on the base 2 between the substrate moving unit 31 and the mask member 33. A camera unit 36 that is movable in the horizontal plane direction and a syringe unit 37 that supplies paste to the mask member 33 are provided.

図3において、印刷実行部4の基板移動ユニット31は、基台2に対してY軸方向に相対移動するYテーブル31a、Yテーブル31aに対してX軸方向に相対移動するXテーブル31b、Xテーブル31bに対してZ軸回りに相対回転するθテーブル31c、θテーブル31cに固定されたベースプレート31d、ベースプレート31dに対して相対昇降する第1昇降プレート31e、第1昇降プレート31eに対して相対昇降する第2昇降プレート31f、第2昇降プレート31fに固定された下受けユニット31g、基板搬送路3を構成する位置決めコンベア22及び位置決めコンベア22の上方でY軸方向に開閉動作する一対の部材から構成されるクランパ31hから成る。   3, the substrate moving unit 31 of the print execution unit 4 includes a Y table 31a that moves relative to the base 2 in the Y axis direction, an X table 31b that moves relative to the Y table 31a in the X axis direction, and X A θ table 31c that rotates relative to the table 31b around the Z axis, a base plate 31d fixed to the θ table 31c, a first elevating plate 31e that elevates relative to the base plate 31d, and a relative elevating relative to the first elevating plate 31e A second elevating plate 31f that performs, a receiving unit 31g fixed to the second elevating plate 31f, a positioning conveyor 22 that constitutes the substrate transport path 3, and a pair of members that open and close in the Y-axis direction above the positioning conveyor 22 The clamper 31h.

図1及び図4において、マスク部材33は平面視において矩形形状を有する枠部材33wによって四辺が支持されており、枠部材33wによって囲まれた矩形の領域には、互いに別個の領域である第1マスク領域MR1と第2マスク領域MR2が設けられている。第1マスク領域MR1には、リジッド基板11に備えられたリジッド基板電極11dの電極配置に対応する多数のパターン孔h1から成る第1マスクパターンMP1が設けられており、第2マスク領域MR2には、フレックス基板12に備えられたフレックス基板電極12dの電極配置に対応する多数のパターン孔h2から成る第2マスクパターンMP2が設けられている。   In FIG. 1 and FIG. 4, the mask member 33 has four sides supported by a frame member 33w having a rectangular shape in plan view. The rectangular regions surrounded by the frame member 33w are first regions that are separate from each other. A mask region MR1 and a second mask region MR2 are provided. The first mask region MR1 is provided with a first mask pattern MP1 including a number of pattern holes h1 corresponding to the electrode arrangement of the rigid substrate electrode 11d provided on the rigid substrate 11, and the second mask region MR2 includes A second mask pattern MP2 including a plurality of pattern holes h2 corresponding to the electrode arrangement of the flex substrate electrode 12d provided on the flex substrate 12 is provided.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1のマスク部材33は、リジッド基板11の電極配置に対応する第1マスクパターンMP1と、フレックス基板12の電極配置に対応する第2マスクパターンMP2をそれぞれ別個の領域(第1マスク領域MR1及び第2マスク領域MR2)に備えたものとなっている。   As described above, the mask member 33 of the screen printing machine 1 according to the present embodiment includes the first mask pattern MP1 corresponding to the electrode arrangement of the rigid substrate 11 and the second mask pattern MP2 corresponding to the electrode arrangement of the flex substrate 12. Each is provided in a separate region (first mask region MR1 and second mask region MR2).

図2(a),(b)において、リジッド基板11の対角位置には2つ一組のリジッド基板位置合わせマーク11mが設けられており、フレックス基板12の対角位置には、フレックス基板12をマスク部材33と位置合わせをするための2つ一組のフレックス基板位置合わせマーク12mが設けられている。   2A and 2B, a pair of rigid substrate alignment marks 11 m are provided at diagonal positions of the rigid substrate 11, and the flex substrate 12 is disposed at the diagonal position of the flex substrate 12. A pair of flex substrate alignment marks 12m for aligning the substrate with the mask member 33 is provided.

一方、図1及び図4において、マスク部材33の第1マスクパターンMP1が形成された第1マスク領域MR1の対角位置には、第1マスク領域MR1をリジッド基板11に位置合わせするための2つ一組のマスク部材第1位置合わせマークMK1がリジッド基板位置合わせマーク11mに対応して設けられており、マスク部材33の第2マスクパターンMP2が形成された第2マスク領域MR2の対角位置には、第2マスク領域MR2をフレ
ックス基板12に位置合わせするための2つ一組のマスク部材第2位置合わせマークMK2がフレックス基板位置合わせマーク12mに対応して設けられている。
On the other hand, in FIG. 1 and FIG. 4, 2 for aligning the first mask region MR1 with the rigid substrate 11 at the diagonal position of the first mask region MR1 where the first mask pattern MP1 of the mask member 33 is formed. A pair of mask member first alignment marks MK1 is provided corresponding to the rigid substrate alignment mark 11m, and the diagonal position of the second mask region MR2 where the second mask pattern MP2 of the mask member 33 is formed. The mask member second alignment marks MK2 for aligning the second mask region MR2 with the flex substrate 12 are provided corresponding to the flex substrate alignment marks 12m.

図3において、スキージユニット34は支持レール32の上方を基板移動ユニット31に対してY軸方向に移動自在に設けられた移動プレート34pと、移動プレート34pに取り付けられて上下方向に延びた2つのスキージ昇降シリンダ(空圧シリンダ)34sと、各スキージ昇降シリンダ34sの下部に取り付けられてY軸方向に対向する2つのスキージ34aを備えて成る。各スキージ34aはX軸方向に延びた「へら」状の部材であり、それぞれスキージ昇降シリンダ34sの下方への突没動作によって、移動プレート34pに対して昇降される。   In FIG. 3, the squeegee unit 34 includes a moving plate 34 p provided above the support rail 32 so as to be movable in the Y-axis direction with respect to the substrate moving unit 31, and two attached to the moving plate 34 p and extending in the vertical direction. A squeegee elevating cylinder (pneumatic cylinder) 34s and two squeegees 34a attached to the lower part of each squeegee elevating cylinder 34s and facing each other in the Y-axis direction are provided. Each squeegee 34a is a spatula-like member extending in the X-axis direction, and is moved up and down with respect to the moving plate 34p by a downward projecting operation of the squeegee lifting cylinder 34s.

図1において、XYロボット35は、基台2の上方をY軸方向に延び、基台2に相対的に固定して設けられたY軸ステージ35a、X軸方向に延び、Y軸ステージ35a上をY軸方向に移動自在に設けられたX軸ステージ35b及びX軸ステージ35b上をX軸方向に移動自在に設けられた移動プレート35cから成っている。図3において、カメラユニット36は、XYロボット35の移動プレート35cに、撮像面を下方に向けた第1カメラ36aと、撮像面を上方に向けた第2カメラ36bが取り付けられた構成となっている。   In FIG. 1, an XY robot 35 extends above the base 2 in the Y-axis direction, and is provided with a Y-axis stage 35a that is fixed relative to the base 2, and extends in the X-axis direction, on the Y-axis stage 35a. Are configured to be movable in the Y-axis direction and a moving plate 35c provided to be movable in the X-axis direction on the X-axis stage 35b. In FIG. 3, the camera unit 36 has a configuration in which a first camera 36 a with an imaging surface facing downward and a second camera 36 b with an imaging surface facing upward are attached to a moving plate 35 c of an XY robot 35. Yes.

図3において、シリンジユニット37は、基板移動ユニット31に対して水平面内方向に移動自在に設けられた移動プレート37pに、マスク部材33上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストを吐出するシリンジ37aが取り付けられた構成となっている。   In FIG. 3, a syringe unit 37 discharges a paste such as a solder paste or a conductive paste onto a mask member 33 on a moving plate 37p provided so as to be movable in a horizontal plane direction with respect to the substrate moving unit 31. It becomes the structure where is attached.

基板搬送路3を構成する搬入コンベア21、位置決めコンベア22及び搬出コンベア23による基板PBの搬送及び位置決め動作は、このスクリーン印刷機1が備える制御装置40(図5)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構41(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   The substrate PB is transported and positioned by the carry-in conveyor 21, the positioning conveyor 22 and the carry-out conveyor 23 constituting the substrate transport path 3, and the control device 40 (FIG. 5) included in the screen printing machine 1 includes an actuator or the like (not shown). This is done by controlling the operation of the transport path operating mechanism 41 (FIG. 5).

基台2に対するYテーブル31aのY軸方向への移動、Yテーブル31aに対するXテーブル31bのX軸方向への移動、Xテーブル31bに対するθテーブル31cのZ軸回りの回転、ベースプレート31dに対する(すなわちθテーブル31cに対する)第1昇降プレート31eの昇降、第1昇降プレート31eに対する第2昇降プレート31fの(すなわち下受けユニット31gの)昇降及びクランパ31hの開閉動作の各動作は、制御装置40がYテーブル駆動モータMyやXテーブル駆動モータMx(図3)等のアクチュエータ等から成る基板移動ユニット作動機構42(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the Y table 31a with respect to the base 2 in the Y-axis direction, movement of the X table 31b with respect to the Y table 31a in the X-axis direction, rotation of the θ table 31c with respect to the X table 31b around the Z axis, and relative to the base plate 31d (that is, θ The controller 40 controls the Y table to move the first elevating plate 31e (with respect to the table 31c), the second elevating plate 31f with respect to the first elevating plate 31e (that is, the lowering unit 31g) and the opening / closing operation of the clamper 31h. This is done by controlling the operation of the substrate moving unit operating mechanism 42 (FIG. 5) including actuators such as the drive motor My and the X table drive motor Mx (FIG. 3).

スキージユニット34の移動(移動プレート34pの移動)動作は、制御装置40が図示しないアクチュエータ等から成るスキージユニット移動機構43(図5)の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ34aの昇降動作は、制御装置40が前述のスキージ昇降シリンダ34s等から成るスキージ昇降機構44(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   The movement of the squeegee unit 34 (movement of the moving plate 34p) is performed by the control device 40 controlling the operation of the squeegee unit moving mechanism 43 (FIG. 5) including an actuator (not shown). The control device 40 controls the operation of the squeegee lifting mechanism 44 (FIG. 5) including the squeegee lifting cylinder 34s and the like.

XYロボット35を構成するX軸ステージ35bのY軸方向への移動動作及び移動プレート35cのX軸方向への移動動作は、制御装置40が図示しないアクチュエータ等から成るXYロボット作動機構45(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   The movement operation of the X-axis stage 35b constituting the XY robot 35 in the Y-axis direction and the movement operation of the movement plate 35c in the X-axis direction are performed by an XY robot operation mechanism 45 (FIG. ).

第1カメラ36aは、制御装置40に制御されて、リジッド基板11に設けられたリジッド基板位置合わせマーク11m及びフレックス基板12に設けられたフレックス基板位置合わせマーク12mの撮像を行い、第2カメラ36bは、制御装置40に制御されて、
マスク部材第1位置合わせマークMK1及びマスク部材第2位置合わせマークMK2の撮像を行う。第1カメラ36aの撮像によって得られた画像データ及び第2カメラ36bの撮像によって得られた画像データは制御装置40に入力される(図5)。
The first camera 36a is controlled by the control device 40 to image the rigid substrate alignment mark 11m provided on the rigid substrate 11 and the flex substrate alignment mark 12m provided on the flex substrate 12, and the second camera 36b. Is controlled by the control device 40,
The mask member first alignment mark MK1 and the mask member second alignment mark MK2 are imaged. Image data obtained by imaging with the first camera 36a and image data obtained by imaging with the second camera 36b are input to the control device 40 (FIG. 5).

シリンジユニット37の移動(移動プレート37pの移動)動作は、制御装置40が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジユニット移動機構46(図5)の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ37aによるペーストの供給動作は、制御装置40が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジ作動機構47(図5)の作動制御を行うことによってなされる。   The movement of the syringe unit 37 (movement of the moving plate 37p) is performed when the control device 40 controls the operation of the syringe unit moving mechanism 46 (FIG. 5) including an actuator (not shown), and the paste 37 is supplied by the syringe 37a. The control device 40 controls the operation of a syringe operation mechanism 47 (FIG. 5) including an actuator (not shown).

次に、図6〜図9を参照してスクリーン印刷機1によるスクリーン印刷の実行手順を説明する。制御装置40は、図示しない検出手段によってオペレータ(或いはスクリーン印刷機1の上流側に設置された図示しない他の装置)から基板搬送路3(搬入コンベア21)に基板PBが投入されたことを検知したら、搬入コンベア21と位置決めコンベア22を連動作動させて、スクリーン印刷機1内に基板PBを搬入する(図6のステップST1)。   Next, an execution procedure of screen printing by the screen printer 1 will be described with reference to FIGS. The control device 40 detects that the substrate PB has been input from the operator (or another device (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1) to the substrate transport path 3 (loading conveyor 21) by a detection means (not shown). Then, the carry-in conveyor 21 and the positioning conveyor 22 are operated in conjunction to carry the substrate PB into the screen printer 1 (step ST1 in FIG. 6).

制御装置40は基板PBを搬入したら、基板移動ユニット31に対する基板PBの固定を行う(図6のステップST2)。これには先ず、基板移動ユニット31の第2昇降プレート31fを第1昇降プレート31eに対して相対上昇させ(図7(a)中に示す矢印C1)、下受けユニット31gの上面を基板PBの下面(キャリヤ13の下面)に下方から当接させて、下受けユニット31gに基板PBを支持させる(図7(a))。そして、下受けユニット31gに基板PBを支持させたら、クランパ31hにより基板PBをクランプしたうえで更に第2昇降プレート31fを上昇させ(図7(b)中に示す矢印C2)、下受けユニット31gで基板PBを押し上げる。これにより基板PBはキャリヤ13とともに両端をクランパ31hに対して摺動させながら上昇し、位置決めコンベア22から上方に離間し、かつ基板PBの上面が両クランパ31hの上面と同じ高さになった状態で、基板移動ユニット31に固定される(図7(b))。   When the control device 40 carries in the substrate PB, the control device 40 fixes the substrate PB to the substrate moving unit 31 (step ST2 in FIG. 6). For this, first, the second lifting plate 31f of the substrate moving unit 31 is raised relative to the first lifting plate 31e (arrow C1 shown in FIG. 7A), and the upper surface of the lower receiving unit 31g is placed on the substrate PB. The substrate PB is supported on the lower receiving unit 31g by contacting the lower surface (the lower surface of the carrier 13) from below (FIG. 7A). When the substrate PB is supported by the lower receiving unit 31g, the substrate PB is clamped by the clamper 31h, and then the second elevating plate 31f is further lifted (arrow C2 shown in FIG. 7B), and the lower receiving unit 31g. To push up the substrate PB. As a result, the substrate PB is lifted together with the carrier 13 while sliding both ends with respect to the clamper 31h, separated upward from the positioning conveyor 22, and the upper surface of the substrate PB is at the same height as the upper surfaces of both the clampers 31h. Thus, the substrate is fixed to the substrate moving unit 31 (FIG. 7B).

制御装置40は基板PBの固定が終了したら、リジッド基板11とマスク部材33の第1マスク領域MR1との位置合わせを行う(図6のステップST3)。   When the fixing of the substrate PB is completed, the control device 40 aligns the rigid substrate 11 and the first mask region MR1 of the mask member 33 (step ST3 in FIG. 6).

この位置合わせでは、制御装置40は先ず、カメラユニット36の移動と第1カメラ36aの撮像動作制御を行ってリジッド基板11に設けられたリジッド基板位置合わせマーク11mの画像データを取得し、リジッド基板11の位置を把握するとともに、カメラユニット36の移動と第2カメラ36bの撮像動作制御を行ってマスク部材第1位置合わせマークMK1の画像データを取得し、マスク部材33上の第1マスクパターンMP1の位置を把握する。   In this alignment, the control device 40 first performs the movement of the camera unit 36 and the imaging operation control of the first camera 36a to acquire image data of the rigid substrate alignment mark 11m provided on the rigid substrate 11, and the rigid substrate. 11, the camera unit 36 is moved and the imaging operation of the second camera 36 b is controlled to acquire image data of the mask member first alignment mark MK 1, and the first mask pattern MP 1 on the mask member 33 is acquired. Know the position of the.

制御装置40は、リジッド基板11の位置とマスク部材33の第1マスクパターンMP1の位置を把握したら、基板移動ユニット31による基板PBの水平面内方向の移動動作を行って、基板PBをマスク部材33の第1マスクパターンMP1の直下(したがって第1マスク領域MR1の直下)に位置させた後、基板移動ユニット31による基板PBの垂直方向の移動(第1昇降プレート31eの上昇)動作を行って、基板PBの上面をマスク部材33の下面に下方から接触させる(図8(a)の図中に示す矢印C3)。これによりリジッド基板11とマスク部材33の第1マスク領域MR1が位置合わせされ、したがってリジッド基板11が備える各電極(リジッド基板電極11d)と第1マスクパターンMP1を構成する各パターン孔h1とが位置合わせされる(図8(a))。   After grasping the position of the rigid substrate 11 and the position of the first mask pattern MP1 of the mask member 33, the control device 40 performs the movement operation of the substrate PB in the horizontal plane by the substrate moving unit 31 to move the substrate PB to the mask member 33. Then, the substrate moving unit 31 moves the substrate PB in the vertical direction (raises the first elevating plate 31e), after being positioned immediately below the first mask pattern MP1 (and therefore immediately below the first mask region MR1), The upper surface of the substrate PB is brought into contact with the lower surface of the mask member 33 from below (arrow C3 shown in FIG. 8A). As a result, the rigid substrate 11 and the first mask region MR1 of the mask member 33 are aligned, so that each electrode (rigid substrate electrode 11d) included in the rigid substrate 11 and each pattern hole h1 constituting the first mask pattern MP1 are positioned. (FIG. 8A).

制御装置40は、リジッド基板11とマスク部材33の第1マスク領域MR1との位置
合わせが終了したら、リジッド基板11に対するスクリーン印刷を実行する(図6のステップST4)。
When the alignment between the rigid substrate 11 and the first mask region MR1 of the mask member 33 is completed, the control device 40 performs screen printing on the rigid substrate 11 (step ST4 in FIG. 6).

リジッド基板11に対するスクリーン印刷では、制御装置40は先ず、シリンジユニット37を第1マスク領域MR1の上方に移動させ、シリンジ37aからマスク部材33の上面(第1マスク領域MR1内)にペーストPTを供給した後(図8(a))、一方のスキージ34aを下降させてそのスキージ34aの下縁をマスク部材33の上面に当接させる。そして、スキージユニット34をY軸方向に移動させ、スキージ34aをマスク部材33上で摺動させることによってペーストPTをかき寄せて(図8(b)中に示す矢印C4)、ペーストPTを第1マスクパターンMP1のパターン孔h1内に充填させる(図8(b))。   In screen printing on the rigid substrate 11, the control device 40 first moves the syringe unit 37 above the first mask region MR1, and supplies the paste PT from the syringe 37a to the upper surface of the mask member 33 (in the first mask region MR1). After that (FIG. 8A), one squeegee 34a is lowered and the lower edge of the squeegee 34a is brought into contact with the upper surface of the mask member 33. Then, the squeegee unit 34 is moved in the Y-axis direction, and the squeegee 34a is slid on the mask member 33 to scrape the paste PT (arrow C4 shown in FIG. 8B), and the paste PT is transferred to the first mask. The pattern hole h1 of the pattern MP1 is filled (FIG. 8B).

なお、図8(b)は、図中の左側のスキージ34aを矢印C4の方向に移動させることによってペーストPTを矢印C4の方向にかき寄せる様子を示したものであり、ペーストPTを矢印C4と反対の方向にかき寄せるときには、図中の右側のスキージ34aをマスク部材33の上面に当接させて、スキージユニット34を矢印C4と反対の方向に移動させる。   FIG. 8 (b) shows a state in which the paste PT is scraped in the direction of the arrow C4 by moving the left squeegee 34a in the direction of the arrow C4. When squeezing in the opposite direction, the right squeegee 34a in the drawing is brought into contact with the upper surface of the mask member 33, and the squeegee unit 34 is moved in the direction opposite to the arrow C4.

制御装置40は、第1マスクパターンMP1のパターン孔h1内にペーストPTを充填させたら、第1昇降プレート31eを下降させて(図9(a)中に示す矢印C5)、基板PBとマスク部材33を分離させる(図6のステップST5)。これにより版離れが行われ、第1マスクパターンMP1のパターン孔h1内に充填されたペーストPTがリジッド基板電極11d上に印刷(転写)される(図9(a))。   After filling the pattern hole h1 of the first mask pattern MP1 with the paste PT, the control device 40 lowers the first elevating plate 31e (arrow C5 shown in FIG. 9A), and the substrate PB and the mask member. 33 are separated (step ST5 in FIG. 6). As a result, the plate separation is performed, and the paste PT filled in the pattern hole h1 of the first mask pattern MP1 is printed (transferred) onto the rigid substrate electrode 11d (FIG. 9A).

これによりリジッド基板11に対するスクリーン印刷工程(ステップST3〜ステップST5)は終了し、次に示すフレックス基板12に対するスクリーン印刷工程(ステップST6〜ステップST9)に進む。   Thereby, the screen printing process (step ST3 to step ST5) for the rigid substrate 11 is completed, and the process proceeds to the screen printing process (step ST6 to step ST9) for the flex substrate 12 shown below.

フレックス基板12に対するスクリーン印刷では、制御装置40は先ず、フレックス基板12とマスク部材33の第2マスク領域MR2との位置合わせを行う(図6のステップST6)。   In screen printing on the flex substrate 12, the control device 40 first aligns the flex substrate 12 and the second mask region MR2 of the mask member 33 (step ST6 in FIG. 6).

この位置合わせでは、制御装置40は、カメラユニット36の移動と第1カメラ36aの撮像動作制御を行ってフレックス基板12に設けられたフレックス基板位置合わせマーク12mの画像データを取得し、フレックス基板12の位置を把握するとともに、カメラユニット36の移動と第2カメラ36bの撮像動作制御を行ってマスク部材第2位置合わせマークMK2の画像データを取得し、マスク部材33上の第2マスクパターンMP2の位置を把握する。   In this alignment, the control device 40 performs the movement of the camera unit 36 and the imaging operation control of the first camera 36a to acquire the image data of the flex substrate alignment mark 12m provided on the flex substrate 12, and the flex substrate 12 , And the image data of the mask member second alignment mark MK2 is obtained by moving the camera unit 36 and controlling the imaging operation of the second camera 36b, and obtaining the image data of the second mask pattern MP2 on the mask member 33. Know the location.

制御装置40は、フレックス基板12の位置とマスク部材33の第2マスクパターンMP2の位置を把握したら、基板移動ユニット31による基板PBの水平面内方向の移動動作を行って(図9(b)中に示す矢印C6)、基板PBをマスク部材33の第2マスクパターンMP2の直下(したがって第2マスク領域MR2の直下)に位置させた後(図9(b))、基板移動ユニット31による基板PBの垂直方向の移動(第1昇降プレート31eの上昇)動作を行って、基板PBの上面をマスク部材33の下面に下方から接触させる(図10(a)中に示す矢印C7)。これによりフレックス基板12とマスク部材33の第2マスク領域MR2が位置合わせされ、したがってフレックス基板12が備える各電極(フレックス基板電極12d)と第2マスクパターンMP2を構成する各パターン孔h2とが位置合わせされる(図10(a))。   After grasping the position of the flex substrate 12 and the position of the second mask pattern MP2 of the mask member 33, the control device 40 moves the substrate PB in the horizontal plane by the substrate moving unit 31 (in FIG. 9B). After the substrate PB is positioned immediately below the second mask pattern MP2 of the mask member 33 (and therefore directly below the second mask region MR2) (FIG. 9B), the substrate PB is moved by the substrate moving unit 31. The vertical movement of the first elevating plate 31e is performed to bring the upper surface of the substrate PB into contact with the lower surface of the mask member 33 from below (arrow C7 shown in FIG. 10A). As a result, the flex substrate 12 and the second mask region MR2 of the mask member 33 are aligned, so that each electrode (flex substrate electrode 12d) included in the flex substrate 12 and each pattern hole h2 constituting the second mask pattern MP2 are positioned. (FIG. 10A).

制御装置40は、フレックス基板12とマスク部材33の第2マスク領域MR2との位置合わせが終了したら、フレックス基板12に対するスクリーン印刷を実行する(図6のステップST7)。   When the alignment between the flex substrate 12 and the second mask region MR2 of the mask member 33 is completed, the control device 40 performs screen printing on the flex substrate 12 (step ST7 in FIG. 6).

フレックス基板12に対するスクリーン印刷では、制御装置40は先ず、シリンジユニット37を第2マスク領域MR2の上方に移動させ、シリンジ37aからマスク部材33の上面(第2マスク領域MR2内)にペーストPTを供給した後(図10(a))、一方のスキージ34aを下降させてそのスキージ34aの下縁をマスク部材33の上面に当接させる。そして、スキージユニット34をY軸方向に移動させ、スキージ34aをマスク部材33上で摺動させることによってペーストPTをかき寄せて(図10(b)中に示す矢印C8)、ペーストPTを第2マスクパターンMP2のパターン孔h2内に充填させる(図10(b))。   In screen printing on the flex substrate 12, the control device 40 first moves the syringe unit 37 above the second mask region MR2, and supplies the paste PT from the syringe 37a to the upper surface of the mask member 33 (in the second mask region MR2). After that (FIG. 10A), one squeegee 34a is lowered and the lower edge of the squeegee 34a is brought into contact with the upper surface of the mask member 33. Then, the squeegee unit 34 is moved in the Y-axis direction, and the squeegee 34a is slid on the mask member 33 to scrape the paste PT (arrow C8 shown in FIG. 10B), and the paste PT is transferred to the second mask. The pattern hole h2 of the pattern MP2 is filled (FIG. 10B).

制御装置40は、第2マスクパターンMP2のパターン孔h2内にペーストPTを充填させたら、第1昇降プレート31eを下降させて、基板PBとマスク部材33を分離させる(図6のステップST8)。これにより版離れが行われ、第2マスクパターンMP2内のパターン孔h2内に充填されたペーストPTがフレックス基板電極12d上に印刷される。これによりフレックス基板12に対するスクリーン印刷は終了する。   When filling the pattern hole h2 of the second mask pattern MP2 with the paste PT, the control device 40 lowers the first elevating plate 31e to separate the substrate PB and the mask member 33 (step ST8 in FIG. 6). As a result, the plate separation is performed, and the paste PT filled in the pattern hole h2 in the second mask pattern MP2 is printed on the flex substrate electrode 12d. Thereby, the screen printing on the flex substrate 12 is completed.

制御装置40は、フレックス基板12に対するスクリーン印刷が終了したら、クランパ31hを開いて基板移動ユニット31に対する基板PBの固定を解除する(図6のステップST9)。そして、第2昇降プレート31fを下降させて基板PBを位置決めコンベア22上に載置し、基板移動ユニット31を作動させて、位置決めコンベア22の搬出コンベア23に対する位置調整を行う。制御装置40は、位置決めコンベア22の搬出コンベア23に対する位置調整が終了したら、位置決めコンベア22と搬出コンベア23を連動作動させて、スクリーン印刷機1から基板PBを搬出する(図6のステップST10)。   When the screen printing on the flex substrate 12 is completed, the control device 40 opens the clamper 31h to release the substrate PB from being fixed to the substrate moving unit 31 (step ST9 in FIG. 6). Then, the second elevating plate 31f is lowered to place the substrate PB on the positioning conveyor 22, and the substrate moving unit 31 is operated to adjust the position of the positioning conveyor 22 relative to the carry-out conveyor 23. When the position adjustment of the positioning conveyor 22 with respect to the carry-out conveyor 23 is completed, the control device 40 operates the positioning conveyor 22 and the carry-out conveyor 23 in an interlocked manner to carry out the substrate PB from the screen printing machine 1 (step ST10 in FIG. 6).

制御装置40は、基板PBを搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板PBがあるかどうかの判断を行う(図6のステップST11)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板PBがあったときにはステップST1に戻って基板PBの搬入を行い、スクリーン印刷を施す基板PBがなかったときには一連のスクリーン印刷工程を終了する。   After carrying out the substrate PB, the control device 40 determines whether there is another substrate PB to be screen printed (step ST11 in FIG. 6). As a result, when there is another substrate PB to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in the substrate PB, and when there is no substrate PB to be screen-printed, the series of screen printing steps is terminated.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、変形度合いの異なる複数の基板部材(リジッド基板11及びフレックス基板12)を含む基板PB(リジッドフレックス基板)の各基板部材が備える電極(リジッド基板電極11d及びフレックス基板電極12d)にスクリーン印刷を施すものであり、各基板部材(リジッド基板11及びフレックス基板12)の電極配置に対応する複数のマスクパターン(第1マスクパターンMP1及び第2マスクパターンMP2)をそれぞれ別個の領域(第1マスク領域MR1及び第2マスク領域MR2)に備えたマスク部材33と、基板部材(リジッド基板11又はフレックス基板12)とその基板部材の電極配置に対応するマスクパターン(第1マスクパターンMP1又は第2マスクパターンMP2)を有するマスク部材33の領域(第1マスク領域MR1又は第2マスク領域MR2)との位置合わせを行ってその基板部材が備える電極(リジッド基板電極11d又はフレックス基板電極12d)にスクリーン印刷を施す動作を変形度合いの異なる複数の基板部材(リジッド基板11及びフレックス基板12)それぞれに対して実行する印刷実行手段(印刷実行部4及び制御装置40)を備えたものとなっている。   As described above, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the electrodes included in each substrate member of the substrate PB (rigid flex substrate) including a plurality of substrate members (rigid substrate 11 and flex substrate 12) having different degrees of deformation. Screen printing is performed on the (rigid substrate electrode 11d and flex substrate electrode 12d), and a plurality of mask patterns (first mask pattern MP1 and first mask pattern corresponding to the electrode arrangement of each substrate member (rigid substrate 11 and flex substrate 12) are provided. 2 mask patterns MP2) in mask regions 33 each having separate regions (first mask region MR1 and second mask region MR2), a substrate member (rigid substrate 11 or flex substrate 12), and electrode arrangement of the substrate member The corresponding mask pattern (first mask pattern MP1 or second mask Screen printing is performed on an electrode (rigid substrate electrode 11d or flex substrate electrode 12d) of the substrate member by aligning with the region (first mask region MR1 or second mask region MR2) of the mask member 33 having the pattern MP2). Is provided with print execution means (print execution unit 4 and control device 40) for executing the operation of applying to each of a plurality of substrate members (rigid substrate 11 and flex substrate 12) having different degrees of deformation.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、変形度合いの異なる複数の基板部材(リジッド基板11及びフレックス基板12)を含む基板PBの各基板部材が備える電極(リジッド基板電極11d及びフレックス基板電極12d)に、各基板部材(リジッド
基板11及びフレックス基板12)の電極配置に対応する複数のマスクパターン(第1マスクパターンMP1及び第2マスクパターンMP2)をそれぞれ別個の領域(第1マスク領域MR1及び第2マスク領域MR2)に備えたマスク部材33を用いてスクリーン印刷を施すスクリーン方法であり、基板部材(リジッド基板11及びフレックス基板12)とその基板部材の電極配置に対応するマスクパターン(第1マスクパターンMP1又は第2マスクパターンMP2)を有するマスク部材33の領域(第1マスク領域MR1又は第2マスク領域MR2)との位置合わせを行う第1の工程(ステップST3又はステップST6)と、上記マスク部材33の領域との位置合わせを行った基板部材が備える電極(リジッド基板電極11d又はフレックス基板電極12d)にスクリーン印刷を施す第2の工程(ステップST4又はステップST7)とを含み、第1の工程及び第2の工程を変形度合いの異なる複数の基板部材(リジッド基板11及びフレックス基板12)それぞれに対して実行するものとなっている。
In addition, the screen printing method according to the present embodiment is provided with electrodes (rigid substrate electrode 11d and flex substrate electrode 12d) included in each substrate member of substrate PB including a plurality of substrate members (rigid substrate 11 and flex substrate 12) having different degrees of deformation. ), A plurality of mask patterns (first mask pattern MP1 and second mask pattern MP2) corresponding to the electrode arrangement of each substrate member (rigid substrate 11 and flex substrate 12) are separated into separate regions (first mask region MR1 and This is a screen method in which screen printing is performed using a mask member 33 provided in the second mask region MR2), and a mask pattern (first substrate) corresponding to an electrode arrangement of the substrate member (rigid substrate 11 and flex substrate 12) and the substrate member. Having mask pattern MP1 or second mask pattern MP2) The first step (step ST3 or step ST6) for performing alignment with the region of the mask member 33 (first mask region MR1 or second mask region MR2) and the alignment of the region of the mask member 33 were performed. Including a second step (step ST4 or step ST7) for performing screen printing on an electrode (rigid substrate electrode 11d or flex substrate electrode 12d) included in the substrate member, and the first step and the second step have different degrees of deformation. This is executed for each of the plurality of substrate members (the rigid substrate 11 and the flex substrate 12).

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、変形度合いの異なる複数の基板部材(リジッド基板11及びフレックス基板12)を含む基板PBの各基板部材の電極配置に対応するマスクパターン(第1マスクパターンMP1及び第2マスクパターンMP2)をそれぞれ別個の領域に備えたマスク部材33を用い、基板部材とその基板部材の電極配置に対応するマスクパターンを有するマスク部材33の領域との位置合わせを行ってその基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施す動作(工程)を変形度合いの異なる複数の基板部材それぞれに対して実行するようになっている。すなわち、各基板部材がマスク部材33と位置合わせされ、スクリーン印刷が実行されるようになっている。このため、変形度合いの異なる複数(ここでは2つ)の基板部材を含む基板PBを対象としたスクリーン印刷において、印刷ずれを起きにくくすることができる。   In the screen printer 1 according to the present embodiment, a mask pattern (first mask pattern MP1) corresponding to the electrode arrangement of each substrate member of the substrate PB including a plurality of substrate members (rigid substrate 11 and flex substrate 12) having different degrees of deformation. And the mask member 33 having the second mask pattern MP2) in separate regions, and aligning the substrate member with the region of the mask member 33 having the mask pattern corresponding to the electrode arrangement of the substrate member. The operation (step) of performing screen printing on the electrodes provided on the substrate member is performed on each of the plurality of substrate members having different degrees of deformation. That is, each substrate member is aligned with the mask member 33, and screen printing is executed. For this reason, it is possible to make print misalignment less likely to occur in screen printing for a substrate PB including a plurality of (here, two) substrate members having different degrees of deformation.

ところで、上述の実施の形態では、フレックス基板12に設けられた2つ一組のフレックス基板位置合わせマーク12mとマスク部材33の第2マスク領域MR2に設けられた2つ一組のマスク部材第2位置合わせマークMK2を位置合わせすることにより、フレックス基板12上の全ての電極(フレックス基板電極12dを)と、第2マスク領域MR2内の全てのパターン孔h2の位置合わせをするようにしていたが、フレックス基板12に設けられたフレックス基板電極12d同士の相対変形が大きいことが予測される場合には、フレックス基板電極12dの相対変形の小さいもの同士を一まとまりにして全フレックス基板電極12dを複数の電極グループにグループ分けし、そのグループ分けによって得られた電極グループごとにスクリーン印刷を行うようにしてもよい。   By the way, in the above-described embodiment, the second set of mask members second provided in the second mask region MR2 of the mask member 33 and the second set of flex substrate alignment marks 12m provided in the flex substrate 12 are provided. By aligning the alignment mark MK2, all the electrodes (flex substrate electrode 12d) on the flex substrate 12 and all the pattern holes h2 in the second mask region MR2 are aligned. When it is predicted that the relative deformation of the flex substrate electrodes 12d provided on the flex substrate 12 is large, a plurality of flex substrate electrodes 12d are grouped together to form a plurality of flex substrate electrodes 12d. Grouped into electrode groups, and each electrode group obtained by the grouping was It may be carried out over screen printing.

この場合には、マスク部材33に各電極グループに対応する複数のマスクパターンを形成するとともに、電極グループごと及びマスクパターンごとに位置合わせマークを設け、各電極グループとこれに対応するマスクパターンとの位置合わせを行ってスクリーン印刷を実行することになる。このようにすれば、フレックス基板電極12d同士の相対変形が大きい場合であっても、フレックス基板12上の各電極(フレックス基板電極12d)に、位置ずれのない正確なスクリーン印刷を施すことができる。   In this case, a plurality of mask patterns corresponding to each electrode group are formed on the mask member 33, and an alignment mark is provided for each electrode group and each mask pattern, so that each electrode group and the corresponding mask pattern are provided. Screen printing is executed after alignment. In this way, even when the relative deformation between the flex substrate electrodes 12d is large, it is possible to perform accurate screen printing without positional deviation on each electrode (flex substrate electrode 12d) on the flex substrate 12. .

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、基板PBは2つの基板部材(リジッド基板11及びフレックス基板12)を含むものであったが、3つ以上の基板部材を含むものであってもよい。また、各基板部材が備える電極配置は特に限定されず、上述の実施の形態に示したものに限られない。   Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, in the above-described embodiment, the substrate PB includes two substrate members (the rigid substrate 11 and the flex substrate 12). However, the substrate PB may include three or more substrate members. Moreover, the electrode arrangement | positioning with which each board | substrate member is provided is not specifically limited, It is not restricted to what was shown in the above-mentioned embodiment.

変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板を対象としたスクリーン印刷において、印刷ずれを起きにくくすることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供
する。
Provided are a screen printing machine and a screen printing method capable of making printing misalignment difficult in screen printing for a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の部分平面図The partial top view of the screen printer in one embodiment of this invention (a)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が印刷対象とする基板の平面図(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が印刷対象とする基板をキャリヤとともに示す側断面図(A) Plan view of a substrate to be printed by the screen printer in one embodiment of the present invention (b) Side sectional view showing a substrate to be printed by the screen printer in one embodiment of the present invention together with a carrier 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える印刷実行部の正面図The front view of the printing execution part with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスク部材の平面図The top view of the mask member with which the screen printer in one embodiment of the present invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷工程を示すフローチャートThe flowchart which shows the screen printing process which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention

1 スクリーン印刷機
4 印刷実行部(印刷実行手段)
11 リジッド基板(基板部材)
11d リジッド基板電極(電極)
12 フレックス基板(基板部材)
12d フレックス基板電極(電極)
33 マスク部材
40 制御装置(印刷実行手段)
MP1 第1マスクパターン(マスクパターン)
MP2 第2マスクパターン(マスクパターン)
MR1 第1マスク領域(領域)
MR2 第2マスク領域(領域)
PB 基板
1 Screen printer 4 Print execution unit (print execution means)
11 Rigid substrate (substrate member)
11d Rigid substrate electrode (electrode)
12 Flex substrate (substrate member)
12d flex board electrode (electrode)
33 Mask member 40 Control device (print execution means)
MP1 First mask pattern (mask pattern)
MP2 Second mask pattern (mask pattern)
MR1 first mask region (region)
MR2 Second mask region (region)
PB substrate

Claims (2)

変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板の各基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機であって、
各基板部材の電極配置に対応する複数のマスクパターンをそれぞれ別個の領域に備えたマスク部材と、
基板部材とその基板部材の電極配置に対応するマスクパターンを有するマスク部材の領域との位置合わせを行ってその基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施す動作を変形度合いの異なる複数の基板部材それぞれに対して実行する印刷実行手段と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
A screen printing machine that performs screen printing on an electrode included in each substrate member of a substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation,
A mask member provided with a plurality of mask patterns corresponding to electrode arrangements of the respective substrate members in separate areas, and
The operation of performing screen printing on the electrodes provided in the substrate member by aligning the substrate member with the mask member region having a mask pattern corresponding to the electrode arrangement of the substrate member is applied to each of the plurality of substrate members having different degrees of deformation. Print execution means to be executed on
A screen printing machine comprising:
変形度合いの異なる複数の基板部材を含む基板の各基板部材が備える電極に、 各基板部材の電極配置に対応する複数のマスクパターンをそれぞれ別個の領域に備えたマスク部材を用いてスクリーン印刷を施すスクリーン方法であって、
基板部材とその基板部材の電極配置に対応するマスクパターンを有するマスク部材の領域との位置合わせを行う第1の工程と、
前記マスク部材の領域との位置合わせを行った基板部材が備える電極にスクリーン印刷を施す第2の工程とを含み、
前記第1の工程及び前記第2の工程を変形度合いの異なる複数の基板部材それぞれに対して実行することを特徴とするスクリーン印刷方法。
Screen printing is performed on the electrodes included in each substrate member of the substrate including a plurality of substrate members having different degrees of deformation using mask members each having a plurality of mask patterns corresponding to the electrode arrangement of each substrate member in separate regions. A screen method,
A first step of aligning a substrate member and a region of a mask member having a mask pattern corresponding to an electrode arrangement of the substrate member;
A second step of performing screen printing on an electrode included in the substrate member that has been aligned with the region of the mask member,
A screen printing method, wherein the first step and the second step are performed for each of a plurality of substrate members having different degrees of deformation.
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