JP2010173032A - 永電磁式マグネットチャック - Google Patents

Abstract

【課題】
ワークを取外して加工前の新たなワークを吸着面に対して吸着する際に、ワークのマグネットチャックに対する位置決めを行う治具の位置ずれが生ずることがない、永電磁式マグネットチャックを提供する。
【解決手段】マグネットチャック１０の吸着面は、ワークＷを吸着保持するワーク用の吸着面１２Ａと、ワーク用の吸着面１２Ａに隣接して設けられるとともにワークＷを位置決めするために被吸着体としての治具４０を吸着保持する治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃを含む。制御装置は、ワークＷの交換をするために該ワークＷを吸着保持状態から吸着解除、及び吸着解除から再び吸着保持する際に、ワーク用の吸着面１２Ａに対応した部位の永電磁石の極性の変換を行い、一方、ワークＷを交換する間は、治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに対応した部位の永電磁石の着磁・脱磁の変換を行わずに、治具４０を吸着保持させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、永電磁式マグネットチャックに関する。

従来から、工作機械では、テーブル上に設けられた永電磁式マグネットチャック（以下、マグネットチャックという）にワークを吸着保持した状態にし、この状態で該ワークに対して研削、或いは切削することが行われている（特許文献１参照）。

又、ワークをマグネットチャックに吸着保持する際には、ワークの位置決めを行う必要がある。この場合、マグネットチャックに位置決め用の治具（当て金）もマグネットチャックの吸着面で吸着保持した状態で、ワークを前記治具に当てて位置を決めた状態で該マグネットチャックの吸着面に吸着保持するようにしている。

そして、ワークに対する研削、又は切削が終了した後は、マグネットチャックによるワークの吸着保持を解除して加工された該ワークを除去し、続いて、新たに加工前のワークを前記マグネットチャックに対して吸着保持することが行われている。

特開２００８−３０１４４号公報

ところで、従来は、同形状のワークに対して同じ加工を行う場合、加工されたワークに対するマグネットチャックの吸着を解除すると、前記治具の吸着も同時に解除される。この後、加工されたワークは除去されるが、その後、次に加工前のワークを吸着保持する前に、治具の吸着位置を再度確認して、該治具をマグネットチャックの吸着面に保持し、その後、ワークを前記治具に当てて位置を決めた状態で該マグネットチャックの吸着面に吸着保持する。

従来は、このように、ワークの吸着を解除すると、治具の吸着保持も一旦解除されてしまうため、再度、治具を吸着保持する際に治具の吸着面に対する吸着位置がずれる虞があり、次にワークを吸着する前に、治具の吸着保持を確認の作業が必要となる問題がある。

本発明の目的は、上記課題を解決して、ワークを取外して加工前の新たなワークを吸着面に対して吸着する際に、ワークのマグネットチャックに対する位置決めを行う治具の位置ずれが生ずることがない、永電磁式マグネットチャックを提供することにある。

上記問題点を解決するために、請求項１の発明は、永久磁石及び永電磁石を内蔵するとともに、前記永電磁石の極性の変換を行わせる制御手段を備え、前記制御手段の制御による前記永電磁石の極性の変換により、表面の吸着面に対する被吸着体の吸着及び吸着解除を行う永電磁式マグネットチャックにおいて、前記吸着面が、前記被吸着体としてのワークを吸着保持するワーク用吸着面と、前記ワーク用吸着面に隣接して設けられるとともにワークを位置決めするために前記被吸着体としての治具を吸着保持する治具用吸着面を含み、前記ワーク用吸着面及び前記治具用吸着面に対応した部位毎に、前記永久磁石及び永電磁石が内蔵され、前記制御手段は、前記ワークの交換をするために、前記ワーク用吸着面に対応した部位の前記永電磁石の極性の変換を行い、一方、前記ワークを交換する間は、前記治具用吸着面に対応した部位の前記永電磁石の極性の変換を行わずに、前記治具を吸着保持させることを特徴とする永電磁式マグネットチャックを要旨とするものである。

請求項２の発明は、永久磁石及び極性が変換されることにより前記永久磁石の着磁、消磁を行うコイルを内蔵するとともに、前記コイルの極性を変換させる制御手段を備え、前記制御手段の制御による前記コイルの極性の変換により、表面の吸着面に対する被吸着体の吸着及び吸着解除を行う永電磁式マグネットチャックにおいて、前記吸着面が、前記被吸着体としてのワークを吸着保持するワーク用吸着面と、前記ワーク用吸着面に隣接して設けられるとともにワークを位置決めするために前記被吸着体としての治具を吸着保持する治具用吸着面を含み、前記ワーク用吸着面及び前記治具用吸着面に対応した部位毎に、前記永久磁石及びコイルが内蔵され、前記制御手段は、前記ワークの交換をするために、前記ワーク用吸着面に対応した部位の前記コイルの極性変換を行い、一方、前記ワークを交換する間は、前記治具用吸着面に対応した部位の前記コイルの極性変換を行わずに、前記治具を吸着保持させることを特徴とする永電磁式マグネットチャックを要旨とするものである。

請求項３の発明は、請求項１又は請求項２において、前記治具の前記ワークを位置決めする際に該ワークの当接面は、非磁性材により形成されていることを特徴とする。

請求項１乃至請求項３の発明によれば、ワークの吸着保持を解除した際に、ワークの位置決めを行っている治具の吸着保持の解除が行われないため、次の新たなワークの位置決めを行う際にも精度良く位置決めを行うことができる。この結果、ワークを取外して加工前の新たなワークを吸着面に対して吸着する際に、ワークのマグネットチャックに対する位置決めを行う治具に起因した位置ずれが生ずることがない永電磁式マグネットチャックを提供することができる。

請求項３の発明によれば、治具が吸着面で吸着保持されている際の治具からの漏れ磁束によるワークに対する磁力の影響を抑制することができ、ワークを治具から離間させる際の障害となることがない。

（ａ）は本発明を具体化した第１実施形態の永電磁式マグネットチャックの平面図、（ｂ）は治具を吸着保持した状態の永電磁式マグネットチャックの平面図、（ｃ）は治具及びワークを吸着保持した状態の永電磁式マグネットチャックの平面図。 同じく永電磁式マグネットチャックの制御装置の電気ブロック図。 同じく第１実施形態の永電磁式マグネットチャックの概略原理図。 同じく第１実施形態の永電磁式マグネットチャックの概略原理図。 第２実施形態の永電磁式マグネットチャックの概略断面図。

（第１実施形態）
以下、本発明をショートＯＦＦ方式の永電磁式マグネットチャック（以下、単にマグネットチャックという）に具体化した第１実施形態を図１〜４を参照して説明する。

本実施形態のマグネットチャック１０は、図１（ａ）に示すように上面は平面視で長方形状をなし、磁性体からなるワークＷを保持するための平面をなす吸着面１２Ａ〜１２Ｃが設けられている。吸着面１２Ｂは、長手方向の一端側に配置されて、短手方向の両端まで延びるように配置されている。又、吸着面１２Ｃは、前記上面の短手方向の一側側に配置されて、図１（ａ）に示すように長手方向に延びるように、すなわち、吸着面１２Ｂの延びる方向とは直交するように配置されている。吸着面１２Ｂと吸着面１２Ｃとにより治具４０用にＬ字状の吸着面が形成され、これらの吸着面は、治具用吸着面としている。治具４０は、鉄等の磁性体からなり、ワークＷに当接する側の側面には、ガンメタル、真鍮、ステンレス等の非磁性材からなる当接部材４２が一体に固定されている。当接部材４２の反治具側の側面は、ワークＷを位置決めする際のワークＷに当接する当接面４４となる。ワークＷは、被吸着体に相当する。

前記上面において、吸着面１２Ａは、吸着面１２Ｂ，１２Ｃを除いた部分の領域であり、吸着面１２Ｂ，１２Ｃよりも広い面積を有する。
次に吸着面１２Ａ〜１２Ｃの下方、すなわち、マグネットチャック１０の内部の構成について説明する。なお、吸着面１２Ａ〜１２Ｃの各部位に設けられる内部構成は、原理的には同一構成のため、吸着面１２Ａの内部構成を図３を参照して説明する。

図３に示すように、吸着面１２Ａの下方には、一対の極性固定永久磁石１４間に磁極性部材１６が挟まれるように配置されている。磁極性部材１６の下方には、永電磁石１８が配置されている。永電磁石１８は、アルニコ等の硬磁性体からなる可逆性永久磁石２０と、可逆性永久磁石２０の周りに巻回されたコイル２２とから構成されている。永電磁石１８は、コイル２２に流す電流の向きを変えることにより、極性が変化する極性可変永電磁石となる。

又、極性固定永久磁石１４及び永電磁石１８の周囲には、フレーム及び磁極部材の双方の部材として機能するヨーク（継鉄）２３が設けられている。極性固定永久磁石１４の周囲には、図３に示すように、常時一定方向を向く磁力線１５が発生している。なお、図３は原理図であるため、一対の極性固定永久磁石１４、１つの磁極性部材１６及び１つの永電磁石１８を一組として、二組を図示しているが、組の数は限定されるものではない。吸着面１２Ａ，１２Ｃでは、例えば、一対の極性固定永久磁石１４、１つの磁極性部材１６及び１つの永電磁石１８が長手方向に延びるように延出された複数の組が、短手方向に並んで配置されている。

又、吸着面１２Ｂでは、一対の極性固定永久磁石１４、１つの磁極性部材１６及び１つの永電磁石１８が短手方向に延びるように延出された複数の組が、長手方向に並んで配置されている。なお、各吸着面において、前記組を構成する部材の延出方向及び並びの方向は逆であってもよい。

次に、マグネットチャック１０の電気的構成を図２を参照して説明する。
図２に示すように、制御手段としての制御装置３０は、吸着面１２Ａ〜１２Ｃに対応して設けられたコイル２２、すなわち、吸着面１２Ａ〜１２Ｃの下方にそれぞれ設けられたコイル２２に電流を流すコイル駆動回路３２〜３４が接続されている。

又、制御装置３０には、操作部２８が接続されている。操作部２８には、吸着面１２ＡによるワークＷの吸着保持、及び吸着解除、吸着面１２Ｂ，１２Ｃによる治具４０の吸着保持、及び吸着解除を個別に入力操作するための、操作ボタン（図示しない）が設けられている。

ワークＷ又は治具４０をマグネットチャック１０によりチャッキングするために、操作部２８において、吸着面１２Ａ〜１２Ｃ用にそれぞれ設けられた図示しない操作ボタンが各々操作されると、その操作に応じて制御装置３０は、吸着面１２Ａ〜１２Ｃのためのチャッキング指令をコイル駆動回路３２〜３４に出力する。又、ワークＷ又は治具４０をマグネットチャック１０による吸着を解除するために、操作部２８において、吸着面１２Ａ〜１２Ｃ用にそれぞれ設けられた図示しない操作ボタン（すなわち、解除ボタン）が各々操作されると、その操作に応じて制御装置３０は吸着面１２Ａ〜１２Ｃのためのチャッキング解除指令をコイル駆動回路３２〜３４に出力する。

コイル駆動回路３２〜３４は、制御装置３０から入力したチャッキング指令及びチャッキング解除指令に応じて、吸着面１２Ａ〜１２Ｃのコイル２２をそれぞれ作動させる。コイル駆動回路３２〜３４は、吸着面１２Ａ〜１２Ｃのためのチャッキング指令を入力すると、吸着面１２Ａ〜１２Ｃのコイル２２に対して通電し、図３に示すように、可逆性永久磁石２０を着磁して、永電磁石１８に磁力線１５と同じ方向の磁力線２４を発生させる。この結果、磁力線１５，２４のそれぞれの磁力が相まって、ワークＷ又は治具４０を強力に吸着面１２Ａ〜１２Ｃに吸着させる。このようにコイル２２により可逆性永久磁石２０は着磁され、すなわち、永電磁石１８が着磁されて、永久磁石化されて、通電が終了した後も、着磁状態を保持する。なお、コイル２２に対する通電時間は、１〜数秒の時間であり、極めて短い時間である。

又、コイル駆動回路３２〜３４は、吸着面１２Ａ〜１２Ｃのためのチャッキング解除指令を入力すると、吸着面１２Ａ〜１２Ｃのコイル２２に、ワーク等の吸着時の場合とは逆向きの通電し、図４に示すように、可逆性永久磁石２０の極性を逆に変換して吸着時とは逆の極性となるように着磁して、永電磁石１８の回りに磁力線１５と逆方向の磁力線２６を発生させる。この結果、磁力線１５，２６によるそれぞれの磁力が互いに等しく直結して働き、ワークＷ、治具４０を吸着する力が非常に弱くなる。このため、ワークＷ、治具４０を吸着面１２Ａ〜１２Ｃから外すことが可能となる。このようにコイル２２により可逆性永久磁石２０は吸着時とは極性が逆に変換されて着磁され、すなわち、永電磁石１８が着磁されて、永久磁石化されて、通電が終了した後も、この吸着時とは極性が逆になった着磁状態を保持する。なお、コイル２２に対する通電時間は、１〜数秒の時間であり、極めて短い時間である。

このようにして、本実施形態では、吸着面１２Ａ〜１２Ｃは個別にワークＷ及び治具４０の吸着及び吸着解除が可能である。
（作用）
さて、上記のように構成された第１実施形態のマグネットチャック１０の作用を説明する。

まず、治具４０をマグネットチャック１０の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに吸着する際、オペレータが、操作部２８の吸着面１２Ｂ，１２Ｃ用にそれぞれ設けられた図示しない操作ボタンを各々操作すると、その操作に応じて制御装置３０は、吸着面１２Ｂ，１２Ｃのためのチャッキング指令をコイル駆動回路３３，３４に出力する。

コイル駆動回路３３，３４は、チャッキング指令を入力すると、吸着面１２Ｂ，１２Ｃのコイル２２に対して通電し、図３に示すように、可逆性永久磁石２０を着磁して、永電磁石１８に磁力線１５と同じ方向の磁力線２４を発生させる。この結果、磁力線１５，２４のそれぞれの磁力が相まって、図１（ｂ）に示すように一対の治具４０を吸着面１２Ｂ，１２Ｃに対してそれぞれ吸着させる。図１（ｂ）では、一対の治具４０は、平面視Ｌ字状に配置される。

このようにして、治具４０をマグネットチャック１０の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに吸着保持した状態の後、次に、ワークＷを吸着面１２Ａ上に配置するとともに、一対の治具４０の当接部材４２の当接面４４にそれぞれ当接して位置決めした状態で、オペレータが、操作部２８の吸着面１２Ａ用に設けられた図示しない操作ボタンを操作する。すると、その操作に応じて制御装置３０は、吸着面１２Ａのためのチャッキング指令をコイル駆動回路３２に出力する。

コイル駆動回路３２は、チャッキング指令を入力すると、吸着面１２Ａのコイル２２に対して通電し、図３に示すように、可逆性永久磁石２０を着磁して、永電磁石１８に磁力線１５と同じ方向の磁力線２４を発生させる。この結果、磁力線１５，２４のそれぞれの磁力が相まって、図１（ｃ）に示すようにワークＷを吸着面１２Ａに対して吸着させる。

このように、ワークＷを治具４０に位置決めさせた状態で、マグネットチャック１０に対して吸着保持し、この状態で、ワークＷに対して研削、或いは切削の機械加工を行う。
この機械加工を終了したワークＷをマグネットチャック１０から取外す場合、操作部２８において、吸着面１２Ａ用に設けられた図示しない操作ボタン（すなわち、解除ボタン）が操作される。すると、その操作に応じて制御装置３０は吸着面１２Ａのためのチャッキング解除指令をコイル駆動回路３２に出力する。コイル駆動回路３２は、吸着面１２Ａのためのチャッキング解除指令を入力すると、吸着面１２Ａのコイル２２に、ワーク等の吸着時の場合とは逆向きの通電し、図４に示すように、可逆性永久磁石２０の極性を逆に変換して吸着時とは逆の極性となるように着磁して、永電磁石１８の回りに磁力線１５と逆方向の磁力線２６を発生させる。この結果、磁力線１５，２６によるそれぞれの磁力が互いに等しく直結して働き、ワークＷを吸着する力が非常に弱くなる。この状態で、ワークＷを吸着面１２Ａから外す。

本実施形態では、下記の特徴を有する。
（１） 本実施形態のマグネットチャック１０は、極性固定永久磁石１４（永久磁石）及び永電磁石１８を内蔵するとともに、前記永電磁石１８の極性の変換を行わせる制御装置３０（制御手段）を備える。又、マグネットチャック１０は、制御装置３０の制御による永電磁石１８の極性の変換により、表面の吸着面１２Ａ〜１２Ｃに対するワークＷ、治具４０（被吸着体）の吸着及び吸着解除を行うようにしている。そして、吸着面には、被吸着体としてのワークＷを吸着保持するワーク用の吸着面１２Ａと、ワーク用の吸着面１２Ａに隣接して設けられるとともにワークＷを位置決めするために被吸着体としての治具４０を吸着保持する治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃを含む。吸着面１２Ａはワーク用吸着面に相当し、１２Ｂ，１２Ｃは治具用吸着面に相当する。又、マグネットチャック１０は、ワーク用の吸着面１２Ａ及び治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに対応した部位毎に、極性固定永久磁石１４（永久磁石）及び永電磁石１８が内蔵されている。

そして、制御装置３０は、ワークＷの交換をするために該ワークＷを吸着保持状態から吸着解除、及び吸着解除から再び吸着保持する際に、ワーク用の吸着面１２Ａに対応した部位の永電磁石１８の極性の変換を行い、一方、ワークＷを交換する間は、治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに対応した部位の永電磁石１８の着磁・脱磁の変換を行わずに、治具４０を吸着保持させるようにしている。

この結果、本実施形態は、ワークＷの吸着保持を解除した際に、ワークＷの位置決めを行っている治具４０の吸着保持の解除が行われないため、次の新たなワークＷの位置決めを行う際にも、吸着保持されている治具４０により、精度良く位置決めを行うことができる。この結果、ワークＷを取外して加工前の新たなワークＷを吸着面１２Ａに対して吸着する際に、ワークＷのマグネットチャック１０に対する位置決めを行う治具４０に起因した位置ずれが生ずることがない効果を奏する。

（２） 本実施形態では、治具４０のワークＷを位置決めする際にワークＷの当接面４４は、非磁性材により形成されている。この結果、治具４０が吸着面１２Ｂ，１２Ｃに吸着保持されている際の治具４０からの漏れ磁束によるワークＷに対する磁力の影響を抑制することができ、ワークＷを治具４０から離間させる際の障害となることがない。

（第２実施形態）
次に、本発明を永久磁石を着時、脱磁することによりオン、オフする永電磁式マグネットチャック（以下、単にマグネットチャックという）に具体化した第２実施形態を図１、図２、図５を参照して説明する。なお、本実施形態において、第１実施形態の構成に相当する構成は同一符号を付す。

本実施形態のマグネットチャック１０は、第１実施形態と同様に図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、上面は平面視で長方形状をなし、磁性体からなるワークＷを保持するための平面をなす吸着面１２Ａ〜１２Ｃが設けられている。吸着面１２Ｂは、長手方向の一端側に配置されて、短手方向の両端まで延びるように配置されている。又、吸着面１２Ｃは、前記上面の短手方向の一側側に配置されて、図１（ａ）に示すように長手方向に延びるように、すなわち、吸着面１２Ｂの延びる方向とは直交するように配置されている。吸着面１２Ｂと吸着面１２Ｃとにより治具４０用にＬ字状の吸着面が形成され、これらの吸着面は、治具用吸着面としている。

本実施形態のヨーク２３は図５に示すように四角箱形の容器形状に形成されている。ヨーク２３の底面上において、吸着面１２Ａ〜１２Ｃに対応する領域には、円柱状、又は角柱状をなす複数の永久磁石５０が、縦横（図１（ａ）において、長手方向及び短手方向）に等間隔に配置されている。互いに隣接する永久磁石５０同士は、隣り合う磁極が互いに反対の極性に着磁されるようにそれぞれコイル２２が巻回され、或いは、該コイル２２に通電される電流の長れる方向が設定されている。ヨーク２３の上部には、分極材５２と磁極部材５４が交互に配置されて面板５６が構成されている。面板５６は、永久磁石５０に対して密接されており、面板５６の上面が前記吸着面１２Ａ〜１２Ｃとなる。

次に、第２実施形態のマグネットチャック１０の電気的構成を図２を参照して、第１実施形態と異なる構成を説明する。
第２実施形態では、コイル駆動回路３２〜３４が異なっている。本実施形態のコイル駆動回路３２〜３４は、吸着面１２Ａ〜１２Ｃにて被吸着体（ワーク、治具）を吸着させる場合は、各コイル２２に正方向の正弦波パルス状の励磁電流を供給し、永久磁石５０を脱磁状態から着時状態にする。被吸着体（ワーク、治具）を取外す場合には、各コイル２２に負方向の正弦波パルス状の励磁電流を供給して通電時のコイル２２の極性を吸着時と反対になるように変換し、永久磁石５０を着磁方向と反対方向に励磁して磁気を相殺して脱磁、すなわち、消磁する。

（作用）
さて、上記のように構成された第２実施形態のマグネットチャック１０の作用を説明する。

まず、治具４０をマグネットチャック１０の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに吸着する際、オペレータが、操作部２８の吸着面１２Ｂ，１２Ｃ用にそれぞれ設けられた図示しない操作ボタンを各々操作すると、その操作に応じて制御装置３０は、吸着面１２Ｂ，１２Ｃのためのチャッキング指令をコイル駆動回路３３，３４に出力する。

コイル駆動回路３３，３４は、チャッキング指令を入力すると、吸着面１２Ｂ，１２Ｃのコイル２２に対して、正方向の正弦波パルス状の励磁電流を供給し、永久磁石５０を着磁する。この着磁により、図１（ｂ）に示すように一対の治具４０を吸着面１２Ｂ，１２Ｃに対してそれぞれ吸着させる。図１（ｂ）では、一対の治具４０は、平面視Ｌ字状に配置される。

このようにして、治具４０をマグネットチャック１０の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに吸着保持した状態の後、次に、ワークＷを吸着面１２Ａ上に配置するとともに、一対の治具４０の当接部材４２の当接面４４にそれぞれ当接して位置決めした状態で、オペレータが、操作部２８の吸着面１２Ａ用に設けられた図示しない操作ボタンを操作する。すると、その操作に応じて制御装置３０は、吸着面１２Ａのためのチャッキング指令をコイル駆動回路３２に出力する。

コイル駆動回路３２は、チャッキング指令を入力すると、吸着面１２Ａのコイル２２に対して、正方向の正弦波パルス状の励磁電流を供給し、永久磁石５０を着磁する。する。この着磁により、図１（ｃ）に示すようにワークＷを吸着面１２Ａに対して吸着させる。

このように、ワークＷを治具４０に位置決めさせた状態で、マグネットチャック１０に対して吸着保持し、この状態で、ワークＷに対して研削、或いは切削の機械加工を行う。
この機械加工を終了したワークＷをマグネットチャック１０から取外す場合、操作部２８において、吸着面１２Ａ用に設けられた図示しない操作ボタン（すなわち、解除ボタン）が操作される。すると、その操作に応じて制御装置３０は吸着面１２Ａのためのチャッキング解除指令をコイル駆動回路３２に出力する。コイル駆動回路３２は、吸着面１２Ａのためのチャッキング解除指令を入力すると、吸着面１２Ａのコイル２２に、負方向の正弦波パルス状の励磁電流を供給して通電時のコイル２２の極性を吸着時と反対になるように変換し、永久磁石５０を着磁方向と反対方向に励磁して磁気を相殺して脱磁する。この結果、吸着面１２ＡにおけるワークＷを吸着する力が非常に弱くなる。この状態で、ワークＷを吸着面１２Ａから外す。

本実施形態では、下記の特徴を有する。
（１） 本実施形態のマグネットチャック１０は、吸着面が、ワークＷを吸着保持するワーク用の吸着面１２Ａと、ワーク用の吸着面１２Ａに隣接して設けられるとともにワークＷを位置決めするために治具４０を吸着保持する治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃを含］ように構成されている。

又、マグネットチャック１０は、ワーク用の吸着面１２Ａ及び治具用の吸着面に対応した部位毎に、永久磁石５０及びコイル２２が内蔵されている構成にされている。そして、制御装置３０（制御手段）は、ワークＷの交換をするために、ワーク用の吸着面１２Ａに対応した部位のコイル２２の極性変換を行い、一方、ワークＷを交換する間は、治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃに対応した部位のコイル２２の極性変換を行わずに、治具４０を吸着保持させるようにしている。

この結果、本実施形態は、ワークＷの吸着保持を解除した際に、ワークＷの位置決めを行っている治具４０の吸着保持の解除が行われないため、次の新たなワークＷの位置決めを行う際にも、吸着保持されている治具４０により、精度良く位置決めを行うことができる。この結果、ワークＷを取外して加工前の新たなワークＷを吸着面１２Ａに対して吸着する際に、ワークＷのマグネットチャック１０に対する位置決めを行う治具４０に起因した位置ずれが生ずることがない効果を奏する。

なお、本発明の実施形態は前記実施形態に限定されるものではなく、下記のように変更しても良い。
○ 第２実施形態のコイル駆動回路３２〜３４は、例えば、消磁する際、吸着時とは反対の負方向の正弦波パルス状の励磁電流を供給して通電時のコイル２２の極性を吸着時と反対になるように変換する代わりに、交番減衰電流を供給するようにしてもよい。このようにすると、吸着されていたワークが着磁されていた場合にも、永久磁石５０のみならず、ワークも消磁することが可能となる。

○ 前記各実施形態では、治具用の吸着面１２Ｂ，１２Ｃを複数（２つ）設けたが、数は、限定されるものではなく、１つ出会っても良く、３つ以上設けられていても良い。

１０…マグネットチャック、１２Ａ…ワーク用の吸着面、
１２Ｂ，１２Ｃ…治具用の吸着面、１４…極性固定永久磁石、
１６…磁極性部材、１８…永電磁石、２０…永久磁石、
２２…コイル、２３…ヨーク、２４，２６…磁力線、
２８…操作部、３０…制御装置（制御手段）、
３２，３３，３４…コイル駆動回路、
４０…治具（被吸着体）、４２…当接部材、４４…当接面、
５０…永久磁石、５２…分極材、５４…磁極部材、
Ｗ…ワーク（被吸着体）。

Claims (3)

1. 永久磁石及び永電磁石を内蔵するとともに、前記永電磁石の極性の変換を行わせる制御手段を備え、前記制御手段の制御による前記永電磁石の極性の変換により、表面の吸着面に対する被吸着体の吸着及び吸着解除を行う永電磁式マグネットチャックにおいて、
   前記吸着面が、前記被吸着体としてのワークを吸着保持するワーク用吸着面と、前記ワーク用吸着面に隣接して設けられるとともにワークを位置決めするために前記被吸着体としての治具を吸着保持する治具用吸着面を含み、
   前記ワーク用吸着面及び前記治具用吸着面に対応した部位毎に、前記永久磁石及び永電磁石が内蔵され、
   前記制御手段は、前記ワークの交換をするために、前記ワーク用吸着面に対応した部位の前記永電磁石の極性の変換を行い、一方、前記ワークを交換する間は、前記治具用吸着面に対応した部位の前記永電磁石の極性の変換を行わずに、前記治具を吸着保持させることを特徴とする永電磁式マグネットチャック。
2. 永久磁石及び極性が変換されることにより前記永久磁石の着磁、消磁を行うコイルを内蔵するとともに、前記コイルの極性を変換させる制御手段を備え、前記制御手段の制御による前記コイルの極性の変換により、表面の吸着面に対する被吸着体の吸着及び吸着解除を行う永電磁式マグネットチャックにおいて、
   前記吸着面が、前記被吸着体としてのワークを吸着保持するワーク用吸着面と、前記ワーク用吸着面に隣接して設けられるとともにワークを位置決めするために前記被吸着体としての治具を吸着保持する治具用吸着面を含み、
   前記ワーク用吸着面及び前記治具用吸着面に対応した部位毎に、前記永久磁石及びコイルが内蔵され、
   前記制御手段は、前記ワークの交換をするために、前記ワーク用吸着面に対応した部位の前記コイルの極性変換を行い、一方、前記ワークを交換する間は、前記治具用吸着面に対応した部位の前記コイルの極性変換を行わずに、前記治具を吸着保持させることを特徴とする永電磁式マグネットチャック。
3. 前記治具の前記ワークを位置決めする際に該ワークの当接面は、非磁性材により形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の永電磁式マグネットチャック。

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