JP2010171374A - 太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【課題】格子不整合系の多接合型太陽電池において、格子定数の差に起因した応力を緩和して結晶欠陥の少ない太陽電池セルを形成し、高い発電効率を得ることが可能な多接合型の太陽電池を得ること。
【解決手段】本発明における太陽電池100は、第1の太陽電池セル10と、第1の太陽電池セル10上に形成された中間領域2と、中間領域2上に形成された第2の太陽電池セル40とを備える。中間領域2は、第1の太陽電池セル10の表面上に分散して配置され、第1の太陽電池セル10と第2の太陽電池セル40との格子定数の差に起因する応力を緩和する応力緩和部21を有する。
【選択図】図1
【解決手段】本発明における太陽電池100は、第1の太陽電池セル10と、第1の太陽電池セル10上に形成された中間領域2と、中間領域2上に形成された第2の太陽電池セル40とを備える。中間領域2は、第1の太陽電池セル10の表面上に分散して配置され、第1の太陽電池セル10と第2の太陽電池セル40との格子定数の差に起因する応力を緩和する応力緩和部21を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、太陽電池に関し、特に、複数の太陽電池セルが積層されてなる多接合型の太陽電池に関する。
従来より、単一の太陽電池セルからなる単接合型太陽電池が知られている。しかし、単接合型太陽電池の発電効率(変換効率)は、原料となる半導体材料の禁制帯幅Egにより決まる理論限界を有するため、どのような半導体材料を用いても地上における太陽光照射条件下では約30%の発電効率にとどまることが知られている。
そこで、単接合型太陽電池より高い発電効率を得るために、複数の太陽電池セルを積層することにより形成された多接合型太陽電池が提案されている。この多接合型太陽電池におけるそれぞれの太陽電池セルは、pn接合を有し、バンドギャップの異なる材料で構成されている。このように、多接合型太陽電池は、バンドギャップの異なる半導体同士を接続することにより、単接合型太陽電池に比べて太陽光スペクトルの利用領域を拡大することができ、高い発電効率を実現できる。
例えば、多接合型太陽電池として、Geセル/InGaAsセル/InGaPセル積層構造の3接合型太陽電池、あるいは、Ge基板上に形成した、InGaAsセル/InGaPセル積層構造の2接合型太陽電池等が知られている。
下記特許文献1には、各太陽電池セル間で格子整合のとれた多接合型太陽電池(以下、格子整合系の多接合型太陽電池とも記載)が開示されている。特許文献1に記載の多接合型太陽電池は、Geセル(基板)/InxGa1-xAsセル接合において、Inの組成xを0.005≦x≦0.015の範囲、好ましくは0.007≦x≦0.014の範囲の値とする。これにより、多接合型太陽電池の格子不整合率は、ほぼ零とみなすことが可能な程度のごく僅かな値となる。このように、InGaAsセルの格子定数をGeセル(基板)の格子定数に極めて近い値とし、各セルを格子整合させることで、結晶欠陥の少ない、発電効率の高い太陽電池を得ることができる。
一方、複数の太陽電池セルが直列に接続された多接合型太陽電池では、各太陽電池セルの出力電流の電流マッチングが取れていない場合、太陽電池全体としての出力電流は、最も出力電流の小さい太陽電池セルに規制されるという問題がある。
特許文献1に記載の多接合型太陽電池において、各太陽電池セルが有するバンドギャップ(各太陽電池セルが有するエネルギー変換波長域)によると、各太陽電池セルの出力電流の関係は、I(InGaP),I(InGaAs)<I(Ge)となる。したがって、特許文献1に記載のような格子整合系の多接合型太陽電池は、出力電流I(Ge)がI(InGaP)およびI(InGaAs)に規制されることとなり、発電効率を向上することは困難である。
一方、下記非特許文献1には、Geセル(基板)/InGaAsセルとの接続を格子不整合とする多接合型太陽電池(以下、格子不整合系の太陽電池とも記載)が開示されている。この多接合型太陽電池によると、InGaAsセルおよびInGaPセルのバンドギャップを小さくすることで、InGaAsセルおよびInGaPセルのエネルギー変換波長域が広がり、太陽電池全体として発電効率を向上することができる。
C.M.Fetzer、"1.6/1.1eV metamorphic GaInP/GaInAs solar cells grown by MOVPE on Ge"、Journal of Crystal Growth 276(2005)、p.48−56
しかしながら、上述した非特許文献1に記載のような格子不整合系の多接合型太陽電池は、基板(例えばGe基板)上に格子定数の異なる太陽電池セル(例えばInGaAsセル)を結晶成長させる際、基板と太陽電池セルとの格子不整合に起因して界面で引っぱり応力が生じ、太陽電池セルの結晶成長が阻害される。この結晶成長の阻害により、太陽電池セルに結晶欠陥が発生し、結晶欠陥に起因するキャリアの散乱等により、太陽電池の発電効率が低下するという問題がある。
そこで、本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、格子不整合系の多接合型太陽電池において、格子定数の差に起因した応力を緩和して結晶欠陥の少ない太陽電池セルを形成し、高い発電効率を得ることが可能な多接合型の太陽電池を得ることである。
本発明の第1の態様における太陽電池は、第1の太陽電池セルと、前記第1の太陽電池セル上に形成された中間領域と、前記中間領域上に形成された第2の太陽電池セルと、を備え、前記中間領域は、前記第1の太陽電池セルの表面上に分散して配置され、前記第1の太陽電池セルと前記第2の太陽電池セルとの格子定数の差に起因する応力を緩和する応力緩和部を有する。
また、本発明の第2の態様は、第1の態様における太陽電池であって、前記応力緩和部は、前記第1の太陽電池セルの表面上に島状に配置される。
また、本発明の第3の態様は、第1または第2の態様における太陽電池であって、前記応力緩和部は、導電性を有する。
また、本発明の第4の態様は、第1から第3の態様のいずれかにおける太陽電池であって、前記応力緩和部は、前記第2の太陽電池セルを構成する材料よりも融点が高い材料で構成される。
また、本発明の第5の態様は、第1から第4の態様のいずれかにおける太陽電池であって、前記第2の太陽電池セルは、前記第1の太陽電池セルよりもバンドギャップの大きい材料で構成される。
また、本発明の第6の態様は、第1から第5の態様のいずれかにおける太陽電池であって、前記第1の太陽電池セルは、Geで構成され、前記第2の太陽電池セルは、InGaAsで構成される。
また、本発明の第7の態様は、第6の態様における太陽電池であって、前記第2の太陽電池セルを構成するInxGa1-xAs中におけるInの組成xは、0.05<x<0.2の範囲の値である。
また、本発明の第8の態様は、第1から第7の態様のいずれかにおける太陽電池であって、前記中間領域は、前記第1の太陽電池セルの表面上および前記応力緩和部の表面上に形成されたバッファ層をさらに有する。
また、本発明の第9の態様は、第8の態様における太陽電池であって、前記第1の太陽電池セルは、Geで構成され、前記第2の太陽電池セルは、InGaAsで構成され、該第2の太陽電池セルを構成するInxGa1-xAs中におけるInの組成xが、0.05<x<0.2の範囲の値であり、前記バッファ層は、InGaAsで構成され、該バッファ層を構成するInxGa1-xAs中におけるInの組成xが、0.05<x<0.2の範囲の値である。
また、本発明の第10の態様は、第8または第9の態様における太陽電池であって、前記応力緩和部の屈折率が、前記第1の太陽電池セルの屈折率と前記バッファ層の屈折率との間の値である。
また、本発明の第11の態様は、第8から第10の態様のいずれかにおける太陽電池であって、前記第1の太陽電池セルは、Geで構成され、前記バッファ層は、InGaAsで構成され、前記応力緩和部は、SiGe、Si、GaSbまたはInSbで構成される。
また、本発明の第12の態様は、第1から第11の態様のいずれかにおける太陽電池であって、前記第2の太陽電池セル上に形成され、前記第2の太陽電池セルを構成する材料とはバンドギャップの異なる材料で構成された第3の太陽電池セルをさらに備える。
また、本発明の第13の態様は、第12の態様における太陽電池であって、前記第3の太陽電池セルは、前記第2の太陽電池セルよりもバンドギャップの大きい材料で構成される。
また、本発明の第14の態様は、第13の態様における太陽電池であって、前記第3の太陽電池セルは、InGaPで構成される。
第1の態様によると、第1の太陽電池セルと第2の太陽電池セルとの格子定数の差に起因した応力が緩和され、格子不整合であっても結晶欠陥の少ない太陽電池を形成することができ、太陽電池の発電効率をさらに向上することができる。
第2の態様によると、島状に形成した応力緩和部により、第1の太陽電池セルと第2の太陽電池セルとの原子間の結びつきを部分的に遮ることができ、格子定数の差に起因してセル間の界面に生じる応力を緩和することができる。
第3の態様によると、応力緩和部が導電性を有することにより、応力緩和部からも電荷の移動が可能となり、太陽電池の発電効率を向上することができる。
第4の態様によると、応力緩和部が第2の太陽電池セルを構成する材料よりも融点が高い材料で構成されることで、第2の太陽電池セルの材料が第1の太陽電池セル内へ拡散することを抑制することができる。
第5の態様または第6の態様によると、第1の太陽電池セルと第2の太陽電池セルとで異なるバンドギャップを有することで、太陽光スペクトルの利用領域を拡大することができ、太陽電池の発電効率を向上することができる。
第7の態様または第9の態様によると、第1の太陽電池セルと第2の太陽電池セルとの出力電流をマッチングすることができ、太陽電池の発電効率を向上することができる。
第8の態様によると、第1の太陽電池セルと第2の太陽電池セルとの格子定数の差に起因した応力によって生じる結晶の転位や欠陥を低減することができる。
第10の態様または第11の態様によると、第2の太陽電池セルを透過した光を第1の太陽電池セルに効率良く入射させることができるため、第1の太陽電池セルでの発電効率を向上することができる。
第12の態様から第14の態様によると、第1の太陽電池セル、第2の太陽電池セルおよび第3の太陽電池セルとで異なるバンドギャップを有することで、太陽光スペクトルの利用領域を拡大することができ、太陽電池の発電効率を向上することができる。
<多接合型太陽電池の構成>
以下、本発明に係る太陽電池の一実施形態に係る多接合型太陽電池について、図面を参照しつつ説明する。ここで、多接合型太陽電池とは、太陽光スペクトルの利用領域を拡大するために、光吸収波長の異なる材料からなる複数の太陽電池セルを積層することにより形成された太陽電池である。このような多接合型太陽電池は、光入射側に高バンドギャップ材料で構成された太陽電池セルを有し、光出射側に低バンドギャップ材料で構成された太陽電池セルを有し、これらの複数のセルをトンネル接合層によって接続することにより構成されている。
以下、本発明に係る太陽電池の一実施形態に係る多接合型太陽電池について、図面を参照しつつ説明する。ここで、多接合型太陽電池とは、太陽光スペクトルの利用領域を拡大するために、光吸収波長の異なる材料からなる複数の太陽電池セルを積層することにより形成された太陽電池である。このような多接合型太陽電池は、光入射側に高バンドギャップ材料で構成された太陽電池セルを有し、光出射側に低バンドギャップ材料で構成された太陽電池セルを有し、これらの複数のセルをトンネル接合層によって接続することにより構成されている。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る多接合型太陽電池100は、InGaP層を有するトップセル/InGaAs層を有するミドルセル/Ge基板を有するボトムセルの積層構造からなる3接合型太陽電池である。
多接合型太陽電池100は、ボトムセル1、ボトムセル1の上に形成された中間領域2、中間領域2の上に形成された第1のトンネル領域3、第1のトンネル領域3の上に形成されたミドルセル4、ミドルセル4の上に形成された第2のトンネル領域5、第2のトンネル領域5の上に形成されたトップセル6を備える。また、多接合型太陽電池100は、トップセル6の上に形成されたコンタクト層7、コンタクト層7の上に形成された表面電極81、ボトムセル1の下に形成された裏面電極82、トップセルの上6および表面電極81の上に形成された反射防止膜9を備える。
ボトムセル1は、p型Ge基板11と、p型Ge基板11中の上部に選択的に形成されたn型Ge層12とを備える。p型Ge基板11は、厚さが150μm程度で、Ga等がドーピングされた、不純物濃度が1×1017〜5×1018cm-3の基板である。n型Ge層12は、成膜中にAs等を拡散することにより形成される。このp型Ge基板11とn型Ge層12によって形成されたpn接合は、第1の太陽電池セル10を構成する。
この第1の太陽電池セル10では、入射した太陽光のうち、p型Ge基板11で吸収された光子が一対の正孔−電子を生成し、このうち電子が拡散してp−n界面の空乏層まで到達すると空乏層の内部電界によってn型Ge層12に流れ込み、電流となる(後述する第2の太陽電池セル40および第3の太陽電池セル60も同様である)。
中間領域2は、p型Ge基板11の表面上に分散して配置された応力緩和部21と、第1の太陽電池セル10の表面上および応力緩和部21の表面上に形成されたn型InGaAs低温バッファ層22と、n型InGaAs低温バッファ層22の上に形成されたn型InGaAsバッファ層23とを備える。
応力緩和部21は、SiGe,Si,GaSb,InSb,SiO2,SiNx,Ti,W等からなる島状に形成された領域である。図1および図2に示すように、本実施形態における応力緩和部21は、厚さが50〜500Åであり、直径が0.25〜2μmの平面視円形の形状を有し、ボトムセル1の表面上に等間隔で配置されている。応力緩和部21は、結晶層間の格子定数の相違(格子不整合)に起因して生じる応力を緩和するためのものであり、その作用については後述する。なお、応力緩和部21は、四角形、三角形等、円形以外であってもよいし、不均一な間隔で配置されていてもよい。また、応力緩和部21は、島状の他、格子状に形成されていてもよい。
本実施形態において、応力緩和部21は、ボトムセル1(第1の太陽電池セル10)の屈折率とn型InGaAs低温バッファ層22の屈折率との間の範囲の値となる屈折率を有することが好ましい。本実施形態では、ボトムセル1のp型Ge基板11およびn型Ge層12の屈折率がそれぞれ約4,約4であり、n型InGaAs低温バッファ層22の屈折率が約3.5であるので、例えば、応力緩和部21をSiGe(屈折率=約3.5〜4),Si(屈折率=約3.5),GaSb(屈折率=約3.8),または、InSb(屈折率=約4)等で形成すればよい。こうすることで、応力緩和部21の屈折率が、n型InGaAs低温バッファ層22の屈折率およびボトムセル1の屈折率の双方に近い値となる。これにより、n型InGaAs低温バッファ層22から応力緩和部21へ入射する光の反射を低減するとともに、応力緩和部21からボトムセル1へ入射する光の反射を低減することができる。すなわち、第2の太陽電池セル40を透過した光を第1の太陽電池セル10(ボトムセル1)に効率良く入射させることができるので、第1の太陽電池セル10での発電効率を向上させることができる。なお、屈折率は、例えば、公知の偏光解析法を用いて測定することができる。
また、応力緩和部21は、導電性を有する材料を用いることが好ましい。これにより、応力緩和部21からも電荷の移動が可能になり、多接合型太陽電池100の発電効率をさらに向上させることができる。
n型InGaAs低温バッファ層22は、厚さが0.05〜0.1μm程度で、Si等がドーピングされた、不純物濃度が5×1017〜2×1018cm-3の層である。n型InGaAsバッファ層23は、厚さが1〜3μm程度で、Si等がドーピングされた、不純物濃度が5×1017〜2×1018cm-3の層である。
このn型InGaAsバッファ層22,23は、Ge/InGaAsヘテロ界面の格子不整合に起因した応力により生じる、転位や欠陥を低減するために設けられている。しかしながら、n型InGaAsバッファ層22,23のみでは、十分に転位や欠陥を低減することができないため、Ge/InGaAsヘテロ界面で生じる格子不整合に起因した応力を緩和する目的で、応力緩和部21が設けられている。
第1のトンネル領域3は、中間領域2の上に形成されたn++型InGaAsトンネル接合層31と、n++型InGaAsトンネル接合層31の上に形成されたp++型InGaAsトンネル接合層32とを備える。
n++型InGaAsトンネル接合層31は、厚さが0.01〜0.05μm程度で、Si,Te等がドーピングされた、不純物濃度が1×1018〜1×1019cm-3の層である。p++型InGaAsトンネル接合層32は、厚さが0.01〜0.05μm程度で、Zn,C等がドーピングされた、不純物濃度が1×1019〜1×1020cm-3の層である。
この第1のトンネル領域3は、ドーパントが高濃度に注入された薄いInGaAs層からなるpn接合を有しており、トンネル電流を利用して太陽電池セル間の接続を良好なものとするために設けられている(後述する第2のトンネル領域5も同様)。
ミドルセル4は、第1のトンネル領域3の上に形成されたp型InGaP裏面電界層41、p型InGaP裏面電界層の上に形成されたp型InGaAsベース層42、p型InGaAsベース層42の上に形成されたn型InGaAsエミッタ層43、n型InGaAsエミッタ層43の上に形成されたn型AlInP窓層44を備える。また、p型InGaAsベース層42とn型InGaAsエミッタ層43とによって形成されたpn接合は、第2の太陽電池セル40を構成する。
p型InGaP裏面電界層41は、厚さが0.05〜0.3μm程度で、Zn,C等がドーピングされた、不純物濃度が1×1018〜4×1018cm-3の層である。p型InGaAsベース層42は、厚さが2〜4μm程度で、Zn等がドーピングされた、不純物濃度が0.8×1017〜5×1017cm-3の層である。n型InGaAsエミッタ層43は、厚さが0.05〜0.3μm程度で、Si等がドーピングされた、不純物濃度が1×1018〜4×1018cm-3の層である。n型AlInP窓層44は、厚さが0.025〜0.1μm程度で、Si等がドーピングされた、不純物濃度が1×1018〜4×1018cm-3の層である。また、n型AlInP窓層44は、InGaPを用いて構成してもよい。
このp型InGaP裏面電界層41は、p型InGaAsベース層42で生じた電子が、拡散によってp型InGaAsベース層42を抜けて直下のボトムセル1に入り込むことにより生じる裏面再結合損失を、低減するために設けられている。したがって、p型InGaP裏面電界層41は、上述したような電子に対して、バンド障壁として作用する(後述するp型AlInP裏面電界層61も同様である)。
n型AlInP窓層44は、太陽光によって発生したキャリアが直下のn型InGaAsエミッタ層43の表面欠陥等と再結合することによって消滅することを抑制するために、p型InGaAsエミッタ層43の上に設けられている(後述するn型AlInP窓層64も同様である)。
第2のトンネル領域5は、ミドルセル4の上に形成されたn++型InGaPトンネル層51と、n++型InGaPトンネル接合層51の上に形成されたp++型InGaPトンネル接合層52とを備える。
n++型InGaPトンネル接合層51は、厚さが0.01〜0.05μm程度で、Si,Te等がドーピングされた、不純物濃度が1×1018〜1×1019cm-3の層である。p++型InGaPトンネル接合層52は、厚さが0.01〜0.05μm程度で、Zn,C等がドーピングされた、不純物濃度が1×1019〜1×1020cm-3の層である。また、p++型InGaPトンネル接合層52は、AlInGaAsを用いて構成してもよい。
トップセル6は、第2のトンネル領域5の上に形成されたp型AlInP裏面電界層61、p型AlInP裏面電界層61の上に形成されたp型InGaPベース層62、p型InGaPベース層62の上に形成されたn型InGaPエミッタ層63、n型InGaPエミッタ層63の上に形成されたn型AlInP窓層64を備える。また、p型InGaPベース層62とn型InGaPエミッタ層63とによって形成されたpn接合は、第3の太陽電池セル60を構成する。
p型AlInP裏面電界層61は、厚さが0.025〜0.2μm程度で、Zn等がドーピングされた、不純物濃度が1×1018〜4×1018cm-3の層である。p型InGaPベース層62は、厚さが0.5〜1.5μm程度で、Zn等がドーピングされた、不純物濃度が0.8×1017〜5×1017cm-3の層である。n型InGaPエミッタ層63は、厚さが0.05〜0.3μm程度で、Si等がドーピングされた、不純物濃度が1×1018〜4×1018cm-3の層である。n型AlInP窓層44は、厚さが0.025〜0.1μm程度で、Si等がドーピングされた、不純物濃度が1×1018〜4×1018cm-3の層である。また、p型AlInP裏面電界層61は、AlInGaAsを用いて構成してもよい。
n型InGaAsコンタクト層7は、外部回路との接続を容易に行うための層であり、厚さが0.2〜0.5μm程度で、Si,Teがドーピングされた、不純物濃度が2×1018〜1×1019cm-3の層である。
表面電極81は、例えばAuGe/Ni/Au多層膜により形成され、裏面電極82は、AuあるいはAgにより形成される。また、反射防止膜9は、例えばSiNx,SiO2,TiO2/SiO2,MgF2/ZnS等により形成される。
図1に示すような多接合型太陽電池100において、各太陽電池セルのバンドギャップの関係は、第3の太陽電池セル60のバンドギャップEg1>第2の太陽電池セル40のバンドギャップEg2>第1の太陽電池セル10のバンドギャップEg3となる。すなわち、トップセル6では、Eg1よりも大きなエネルギーを持つ光子を吸収する。また、ミドルセル4では、トップセル6を通過した光のうち、Eg2とEg1の間のエネルギーを持つ光子を吸収する。また、ボトムセル1では、トップセル6およびミドルセル4を通過した光のうち、Eg3とEg2の間のエネルギーを持つ光子を吸収する。なお、バンドギャップは、例えばPL(Photoluminescence)測定装置を用い、レーザー光(例えば波長532nmのレーザー光)を測定する太陽電池セルへ照射し、該太陽電池セルから放射される波長スペクトルを調べることにより、測定することができる。
<応力緩和部の作用>
次に、応力緩和部21の作用について説明する。
次に、応力緩和部21の作用について説明する。
図3は、応力緩和部21を有する多接合型太陽電池の構造を模式的に示した断面図である。図3に示す、Ge基板/InGaAs層/InGaP層の積層構造からなる多接合型太陽電池を用いて、応力緩和部21について以下に説明する。
応力緩和部21は、層間の格子定数の差(格子不整合)に起因して生じる応力を緩和するために、格子不整合となる層間の界面に分散して複数配設されてなる島状の領域である。図3に示す多接合型太陽電池の場合、応力緩和部21は、Ge基板の表面上(Ge基板とInGaAs層との界面)に分散して複数配設されてなる。
図4は、応力緩和部21を有する多接合型太陽電池において、Ge基板と、InGaAs層との接合状態を示した図である。また、図5は、図4と比較するために、応力緩和部21を有していない多接合型太陽電池において、Ge基板と、InGaAs層との接合状態を示した図である。ここで、図4および図5において、InGaAs層は、Ge基板とは格子定数が異なり、Ge基板との接合は格子不整合となるものである。例えば、後述するように、InxGa1-xAs層におけるInの組成xは、0.05<x<0.2の範囲の値とする。
図5に示すように、InGaAs層は、Ge基板に比べて格子定数が大きいため、両者の界面には格子定数の差に起因した応力が生じることになる。この応力は、GeとInGaAsとの原子間の結びつきにより生じるものである。この応力は、InGaAs層に結晶欠陥が発生する要因となり、また、結晶欠陥に起因するキャリアの散乱等により太陽電池の発電効率が下がる要因となる。
一方、図4に示すように、Ge基板とInGaAs層との間に、応力緩和部21を分散して複数配設した場合、GeとInGaAsとの原子間の結合が部分的に遮られることとなる。これにより、Ge基板とInGaAs層との間の格子定数の差に起因した応力が低減されることとなり、応力によって生じる結晶欠陥が低減される。
このように、Ge基板とInGaAs層との間に応力緩和部を分散して配置することにより、Ge基板とInGaAs層との格子定数の差に起因した応力が緩和され、格子不整合であっても結晶欠陥の少ないInGaAs層を得ることができる。
<多接合型太陽電池の製造方法>
次に、本実施形態に係る多接合型太陽電池100の製造方法について以下に説明する。
次に、本実施形態に係る多接合型太陽電池100の製造方法について以下に説明する。
はじめに、p型Ge基板11の上に応力緩和部21を形成する。まず、p型Ge基板11の上にSiGe,Si,GaSb,InSb,SiO2,SiNx,Ti,W等の膜をスパッタ法、プラズマCVD法あるいは蒸着法を用いて形成する。成膜後、レジストを塗布し、露光、現像を行い、レジストパターンを島状に形成する。その後、ドライエッチング法等により膜をエッチング、レジストを剥離し、島状パターンの応力緩和部21を形成する。応力緩和部21となる島状パターンの形状は、直径0.25μm〜2μmの円形である。
なお、この応力緩和部21は、後述するInGaAs低温バッファ層22およびこれに続いて形成される各半導体層の成膜時に応力緩和部21が溶解しないように、各半導体層の成膜温度よりも融点が高い材料で形成することが好ましい。
また、応力緩和部21は、後述するようにp型Ge基板11へのAsの拡散を抑制する役割も果たすため、p型Ge基板11よりも拡散係数が小さい材料で形成することが好ましい。本実施形態では、p型Ge基板11を形成するGe中でのAsの拡散係数が、例えば、600℃において約3×10-14cm2/secであるため、例えば、Si(600℃において、Si中でのAsの拡散係数=約4×10-23cm2/sec)またはSiGeで応力緩和部21を形成することが好ましい。この拡散係数は、例えば、公知の二次イオン質量分析法を用いて不純物濃度プロファイルを測定することにより求めることができる。
次に、この応力緩和部21が形成されたp型Ge基板11に対し、MOCVD法等により成膜を行う。InGaAsを成膜する場合には、III族原子の原料ガスとして、TMG(トリメチルガリウム)、TMI(トリメチルインジウム)を用い、V族原子の原料ガスとして、AsH3(アルシン)を用いる。また、InGaPを成膜する場合には、III族原子の原料ガスとして、TMG(トリメチルガリウム)、TMI(トリメチルインジウム)を用い、V族原子の原料ガスとして、PH3(ホスフィン)を用いる。また、p型のドーパント制御を行う際は、不純物ドーピング源として、DMZ(ジメチルジンク)またはCBr4(四臭化炭素)を用いる。また、n型のドーパント制御を行う際は、不純物ドーピング源として、SiH4(シラン)またはDETe(ジエチルテルル)を用いる。
まず、応力緩和部21が形成されたp型Ge基板11上にn型InGaAs低温バッファ層22の成膜を行う。不純物ドーピング源としては、SiH4(シラン)を用いる。成膜は、500度から600度の比較的低温で行う。
このInGaAs低温バッファ層22が成膜される過程において、Asは、p型Ge基板11の方へ拡散する。詳しくは、p型Ge基板11の上面には応力緩和部21が離散的に配置されているので、Asは、主として、p型Ge基板11の上面の応力緩和部21が形成されていない領域に拡散する。このようにp型Ge基板11に部分的にAsが拡散することによって、n型Ge層12が形成される。なお、p型Ge基板11に拡散したAsの一部は、応力緩和部21の下面に回り込むので、n型Ge層12は応力緩和部21の下面の一部に延在する。このp型Ge基板11とn型Ge層12とは、第1の太陽電池セル10として機能する。
また、応力緩和部21は、p型Ge基板11へのAsの拡散量を調整する機能も有している。応力緩和部21を設けることでp型Ge基板11へのAsの過度の拡散を抑制することができ、これによって、n型Ge層12を薄く形成することができる。これにより、n型Ge層12での光の吸収を抑制することができるため、光電変換効率の良い第1の太陽電池セル10を形成することができる。
次に、InGaAsバッファ層23を成膜する。InGaAsバッファ層23の成膜は、InGaAs低温バッファ層22の成膜温度より100度程高い、600度〜700度で行う。
次に、それぞれの層を所定の原料ガスおよびドーピング源を使用して成膜を行う。成膜温度は、トンネル接合層を除いて、600度〜700度である。p型のトンネル接合層の成膜温度は、500度〜600度とし、n型のトンネル接合層の成膜温度は、700度〜750度とする。
次に、MOCVD等による成膜後、表面電極81として、AuGe/Ni/Au多層膜をリフトオフにより形成する。まず、n型InGaAsコンタクト層7の上にレジストを塗布し、露光、現像を行い、所定のレジストパターンを形成する。その後、真空蒸着法により、AuGe/Ni/Au多層膜の蒸着を行った後、レジストを除去する。これにより図1に示すような表面電極81の電極パターンが形成される。
次に、表面電極81の電極パターンをマスクとして、n型InGaAsコンタクト層7のエッチングを行う。エッチングとしては、H2SO4−H2O2−H2O系のエッチング液を用いたウェットエッチングを行う。
n型InGaAsコンタクト層7をエッチング後、反射防止膜9をリフトオフにより形成する。まず、n型AlInP窓層64および表面電極81の上にレジストを塗布し、露光、現像を行い、所定のレジストパターンを形成する。その後、スパッタ法、真空蒸着法により、MgF2/ZnSの蒸着を行った後、レジストを除去する。これにより、反射防止膜9が形成される。最後に、蒸着法等によりAuあるいはAgからなる裏面電極82をp型Ge基板11の下に形成する。
<多接合型太陽電池の発電効率>
次に、本発明の一実施形態における多接合型太陽電池100の発電効率について説明する。
次に、本発明の一実施形態における多接合型太陽電池100の発電効率について説明する。
上述したように、応力緩和部21を形成することにより、セル間の格子不整合により生じていた応力の問題を解決した多接合型太陽電池100を得ることができる。以下においては、格子不整合系を含む多接合型太陽電池100が高い発電効率を有するための条件について検討する。
図6は、太陽光のエネルギー変換波長域を示した図である。図6中に示すバンドギャップは、格子整合系の多接合型太陽電池における値を示している。図6に示す変換波長域とバンドギャップとの関係より、格子整合系の多接合型太陽電池における、各太陽電池セルの出力電流の関係は、I(InGaP),I(InGaAs)<I(Ge)である。つまり、各太陽電池セルの出力電流の電流マッチングが取れていないため、出力電流I(Ge)がI(InGaP)およびI(InGaAs)に規制され、エネルギーロスが生じている。
したがって、多接合型太陽電池100の発電効率を向上するには、セル間の出力電流の整合の規制により生じていたエネルギーロスを減少させ、各セルにおける出力電流の間に、電流マッチング(I(InGaP)≒I(InGaAs)≒I(Ge))が取れた状態を実現させる必要がある。
そのためには、InGaAsセルおよびInGaPセルのバンドギャップを小さくし、InGaAsセルおよびInGaPセルのエネルギー変換波長域を広げることが求められる。
これが実現される、多接合型太陽電池における各セルの格子定数の関係を検討すると、InxGa1-xAs中におけるInの組成xは、0.05<x<0.2の範囲の値となる。
そして、これを図1に示す多接合型太陽電池100に適用するには、n型InGaAs低温バッファ層22、n型InGaAsバッファ層23、n++型InGaAsトンネル接合層31、p++型InGaAsトンネル接合層32、p型InGaAsベース層42、n型InGaAsエミッタ層43は、InxGa1-xAs中におけるInの組成xを、0.05<x<0.2の範囲の値とする。このときの第2の太陽電池セル40は格子不整合系であり、例えば第2の太陽電池セル40を格子整合系にした場合のものと比べ、格子定数は大きくなり、バンドギャップは小さくなる。
すなわち、多接合型太陽電池100において、InxGa1-xAs中におけるInの組成xを、0.05<x<0.2の範囲の値とすることで、電流マッチング(I(InGaP)≒I(InGaAs)≒I(Ge))を有することができ、太陽電池の発電効率を向上することができる。
以上より、本実施形態によれば、多接合型太陽電池100の第1の太陽電池セル10と第2の太陽電池セル40との間に応力緩和部を配設することで、セル間の格子定数の差に起因した応力が緩和されるため、格子不整合であっても結晶欠陥の少ない太陽電池セルを形成することができ、発電効率をさらに高めることができる。
1 ボトムセル
2 中間領域
3 第1のトンネル領域
4 ミドルセル
5 第2のトンネル領域
6 トップセル
7 コンタクト層
9 反射防止膜
10 第1の太陽電池セル
11 p型Ge基板
12 n型Ge層
21 応力緩和部
22 n型InGaAs低温バッファ層
23 n型InGaAsバッファ層
31 n++型InGaAsトンネル接合層
32 p++型InGaAsトンネル接合層
40 第2の太陽電池セル
41 p型InGap裏面電界層
42 p型InGaAsベース層
43 n型InGaAsエミッタ層
44 n型AlInP窓層44コンタクト層
51 n++型InGaPトンネル接合層
52 p++型InGaPトンネル接合層
60 第3の太陽電池セル
61 p型AlInP裏面電界層
62 p型InGaPベース層
63 n型InGaPエミッタ層
64 n型AlInP窓層
81 表面電極
82 裏面電極
2 中間領域
3 第1のトンネル領域
4 ミドルセル
5 第2のトンネル領域
6 トップセル
7 コンタクト層
9 反射防止膜
10 第1の太陽電池セル
11 p型Ge基板
12 n型Ge層
21 応力緩和部
22 n型InGaAs低温バッファ層
23 n型InGaAsバッファ層
31 n++型InGaAsトンネル接合層
32 p++型InGaAsトンネル接合層
40 第2の太陽電池セル
41 p型InGap裏面電界層
42 p型InGaAsベース層
43 n型InGaAsエミッタ層
44 n型AlInP窓層44コンタクト層
51 n++型InGaPトンネル接合層
52 p++型InGaPトンネル接合層
60 第3の太陽電池セル
61 p型AlInP裏面電界層
62 p型InGaPベース層
63 n型InGaPエミッタ層
64 n型AlInP窓層
81 表面電極
82 裏面電極
Claims (14)
- 第1の太陽電池セルと、
前記第1の太陽電池セル上に形成された中間領域と、
前記中間領域上に形成された第2の太陽電池セルと、を備え、
前記中間領域は、前記第1の太陽電池セルの表面上に分散して配置され、前記第1の太陽電池セルと前記第2の太陽電池セルとの格子定数の差に起因する応力を緩和する応力緩和部を有する、太陽電池。 - 前記応力緩和部は、前記第1の太陽電池セルの表面上に島状に配置される、請求項1に記載の太陽電池。
- 前記応力緩和部は、導電性を有する、請求項1または2に記載の太陽電池。
- 前記応力緩和部は、前記第2の太陽電池セルを構成する材料よりも融点が高い材料で構成される、請求項1から3のいずれかに記載の太陽電池。
- 前記第2の太陽電池セルは、前記第1の太陽電池セルよりもバンドギャップの大きい材料で構成される、請求項1から4のいずれかに記載の太陽電池。
- 前記第1の太陽電池セルは、Geで構成され、
前記第2の太陽電池セルは、InGaAsで構成される、請求項1から5のいずれかに記載の太陽電池。 - 前記第2の太陽電池セルを構成するInxGa1-xAs中におけるInの組成xは、0.05<x<0.2の範囲の値である、請求項6に記載の太陽電池。
- 前記中間領域は、前記第1の太陽電池セルの表面上および前記応力緩和部の表面上に形成されたバッファ層をさらに有する、請求項1から7のいずれかに記載の太陽電池。
- 前記第1の太陽電池セルは、Geで構成され、
前記第2の太陽電池セルは、InGaAsで構成され、該第2の太陽電池セルを構成するInxGa1-xAs中におけるInの組成xが、0.05<x<0.2の範囲の値であり、
前記バッファ層は、InGaAsで構成され、該バッファ層を構成するInxGa1-xAs中におけるInの組成xが、0.05<x<0.2の範囲の値である、請求項8に記載の太陽電池。 - 前記応力緩和部の屈折率が、前記第1の太陽電池セルの屈折率と前記バッファ層の屈折率との間の値である、請求項8または9に記載の太陽電池。
- 前記第1の太陽電池セルは、Geで構成され、
前記バッファ層は、InGaAsで構成され、
前記応力緩和部は、SiGe、Si、GaSbまたはInSbで構成される、請求項8から10のいずれかに記載の太陽電池。 - 前記第2の太陽電池セル上に形成され、前記第2の太陽電池セルを構成する材料とはバンドギャップの異なる材料で構成された第3の太陽電池セルをさらに備える、請求項1から11のいずれかに記載の太陽電池。
- 前記第3の太陽電池セルは、前記第2の太陽電池セルよりもバンドギャップの大きい材料で構成される、請求項12に記載の太陽電池。
- 前記第3の太陽電池セルは、InGaPで構成される、請求項13に記載の太陽電池。
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