JP2010166148A - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010166148A JP2010166148A JP2009004857A JP2009004857A JP2010166148A JP 2010166148 A JP2010166148 A JP 2010166148A JP 2009004857 A JP2009004857 A JP 2009004857A JP 2009004857 A JP2009004857 A JP 2009004857A JP 2010166148 A JP2010166148 A JP 2010166148A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- film
- wave device
- acoustic wave
- bus bar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】弾性波装置1は、正規型IDT電極10と、第1及び第2の膜23,24とを備えている。正規型IDT電極10は、第1及び第2のバスバー10c、10fと、複数本の第1及び第2の電極指10d、10gと、第1及び第2のダミー電極10e、10hとを有する。第1及び第2の膜23,24は、ダミー電極10e、10hの少なくとも一部と、電極指10d、10gの少なくとも一部を覆うように、かつギャップに至らないように形成されている。第1の膜23の第2のバスバー10f側の端面23aと、第2の膜24の第1のバスバー10c側の端面24aとのそれぞれは、弾性波伝搬方向xに対して傾斜している。
【選択図】図1
Description
Y=±cos-1(|αX|)・cos(βX)
但し、
X軸:弾性表面波の伝搬方向、
Y軸:弾性表面波伝搬方向Xに垂直な交差幅方向、
IDT電極の範囲:−X0/2≦X≦X0/2、
0<α≦π/X0、
0<β≦π/X0、
である。
本実施例では、以下の設計パラメータに従って図1〜図4に示す弾性波装置1を作製し、レーザー微小変位計を用いて、7次の横モードのスプリアスに対応する周波数(1005MHz)を弾性波装置に印加したときの励振の観察を行った。また、980MHzから1060MHzの範囲の周波数でインピーダンス(Z)測定を行った。第1の実施例の弾性波装置の励振観察結果を図5に示す。また、インピーダンス測定結果を図6に示す。なお、図5及び下記の図15,図18に示すデータは、交叉幅が6.4λである場合のデータである。ここで、λは、IDT電極の波長であり、本実施例では、3.74μmである。また、図5及び下記の図15,18において、太い実線が正方向の大きな変位を表し、細い実線が正方向の小さな変位を表し、太い破線が負方向の大きな変位を表し、細い破線が負方向の小さな変位を表す。また、実線及び破線が記載されていない領域は、定在波が観察されなかった領域を表している。また、図6及び、下記の図8、図10、図12及び図16に示すグラフにおいて、実線は、交叉幅が6.4λのグラフを示しており、一点破線は、交叉幅が9.6λのときのグラフを示しており、二点破線は、交叉幅が11.2λのときのグラフを示している。
Ti膜14の厚さ:20nm
Cu膜15の厚さ:48nm
AlCu膜16の厚さ:10nm
第1及び第2の誘電体層19,18:SiO2膜
第1の誘電体層19の厚さ:276nm
IDT電極10のピッチ:1.87μm
開口長:16λ(但し、λは、励振される弾性表面波の波長である。)
電極指本数:321本
交叉幅:6.4λ、9.6λ、11.2λ
AlCu膜20の厚さ:500nm
Ti膜21の厚さ:200nm
Al膜22の厚さ:1140nm
第1の端面部23b、24bと第2の端面部23c、24cとにより構成される山部の数量:各々16個
図7は、第2の実施例における第1及び第2の膜の平面形状を説明するための模式的平面図である。第2の実施例では、第1及び第2の膜23,24の形状が異なる以外は、上記の第1の実施例と同様の弾性波装置を作製し、上記の第1の実施例と同様にして、インピーダンス(Z)測定を行った。インピーダンス測定結果を図8に示す。
図9は、第3の実施例における第1及び第2の膜の平面形状を説明するための模式的平面図である。第3の実施例では、第1及び第2の膜23,24の形状が異なる以外は、上記の第1の実施例と同様の弾性波装置を作製し、上記の第1の実施例と同様にして、インピーダンス(Z)測定を行った。インピーダンス測定結果を図10に示す。
図11は、第4の実施例における第1及び第2の膜の平面形状を説明するための模式的平面図である。第4の実施例では、第1及び第2の膜23,24の形状が異なる以外は、上記の第1の実施例と同様の弾性波装置を作製し、上記の第1の実施例と同様にして、インピーダンス(Z)測定を行った。インピーダンス測定結果を図12に示す。
図13は、第1の比較例に係る弾性波装置の略図的平面図である。図14は、第1の比較例に係る弾性波装置の略図的断面図である。図13及び図14に示すように、第1の比較例では、第1及び第2の膜23,24が設けられていない以外は、第1の実施例と同様の弾性波装置を作製し、上記の第1の実施例と同様にして、レーザー微小変位計を用いて励振の観察を行うと共に、インピーダンス(Z)測定を行った。第1の実施例の弾性波装置の励振観察結果を図15に示す。また、インピーダンス測定結果を図16に示す。
図17は、第2の比較例に係る弾性波装置の略図的平面図である。図17に示すように、第2の比較例では、第1及び第2の膜23,24を設ける替わりに、第1及び第2のバスバー10c、10fの端面を弾性波伝搬方向に対して傾斜させたこと以外は、上記第1の実施例と同様にして弾性波装置300を作製した。そして、作製した弾性波装置について、上記の第1の実施例と同様にして、レーザー微小変位計を用いて励振の観察を行った。第2の比較例の弾性波装置の励振観察結果を図18に示す。
上記実施形態では、第1及び第2の膜23,24が、AlCu膜20と、Ti膜21と、Al膜22とにより構成される例について説明した。但し、本発明において、第1及び第2の膜23,24の構成はこの構成に限定されない。例えば、図19に示すように、第1及び第2の膜23,24は、電極17の上に形成されており、TiからなるTi膜25と、Ti膜25の上に形成されており、AlCuからなるAlCu膜26とにより構成されていてもよい。また、第1及び第2の膜23,24は、単一の金属膜により構成されていてもよいし、金属膜以外の膜により構成されていてもよい。
上記実施形態では、弾性表面波を利用する1ポート共振子としての弾性表面波装置について説明した。但し、本発明の弾性波装置は、1ポート共振子に限定されない。本発明は、縦結合共振子型弾性波フィルタにも適用可能である。すなわち、本発明の弾性波装置は、例えば図20に示すような縦結合共振子型弾性波フィルタであってもよい。
正規型IDT電極10jの電極の本数:22本
正規型IDT電極10kの電極の本数:39本
正規型IDT電極10lの電極の本数:22本
第1の端面部23b、24bと第2の端面部23c、24cとにより構成される山部の数量:各々6個
10…正規型IDT電極
10a…第1のくし歯電極
10b…第2のくし歯電極
10c…第1のバスバー
10d…第1の電極指
10e…第1のダミー電極
10f…第2のバスバー
10g…第2の電極指
10h…第2のダミー電極
11…第1の反射器
12…第2の反射器
13…圧電基板
14…Ti膜
15…Cu膜
16…AlCu膜
17…電極
18…第2の誘電体層
19…第1の誘電体層
20…AlCu膜
21…Ti膜
22…Al膜
23…第1の膜
24…第2の膜
23a…端面
23b…第1の端面部
23c…第2の端面部
24…第2の膜
24a…端面
24b…第1の端面部
24c…第2の端面部
25…Ti膜
26…AlCu膜
Claims (9)
- 圧電基板と、前記圧電基板の上に形成されている正規型IDT電極とを備える弾性波装置であって、
前記正規型IDT電極は、第1及び第2のバスバーと、
前記第1のバスバーから前記第2のバスバーに向かって延びる複数本の第1の電極指と、
前記第2のバスバーから前記第1のバスバーに向かって延び、前記複数本の第1の電極指と互いに間挿し合う複数本の第2の電極指と、
前記第2の電極指の先端に対してギャップを介して対向しており、前記第1のバスバーに接続されている第1のダミー電極と、
前記第1の電極指の先端に対してギャップを介して対向しており、前記第2のバスバーに接続されている第2のダミー電極とを有し、
前記第1のダミー電極の少なくとも一部と、前記第1の電極指の少なくとも一部とを覆うように、かつ前記ギャップに至らないように形成されている第1の膜と、
前記第2のダミー電極の少なくとも一部と、前記第2の電極指の少なくとも一部とを覆うように、かつ前記ギャップに至らないように形成されている第2の膜とを備え、
前記第1の膜の前記第2のバスバー側の端面と、前記第2の膜の前記第1のバスバー側の端面とのそれぞれは、弾性波伝搬方向に対して傾斜している、弾性波装置。 - 前記第1及び第2の膜のそれぞれは、金属膜である、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び第2の膜のそれぞれは、前記第1または第2のバスバー並びに前記第1または第2のダミー電極の少なくとも一部と前記第1または第2の電極指の少なくとも一部との上に形成されており、AlCu合金からなるAlCu膜と、前記AlCu膜の上に形成されており、TiからなるTi膜と、前記Ti膜の上に形成されており、AlからなるAl膜とを有する、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び第2の膜のそれぞれは、前記第1または第2のバスバー並びに前記第1または第2のダミー電極の少なくとも一部と前記第1または第2の電極指の少なくとも一部との上に形成されており、TiからなるTi膜と、前記Ti膜の上に形成されており、AlCu合金からなるAlCu膜とを有する、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第1の電極指と前記第1の膜との間と、前記第2の電極指と前記第2の膜との間とに形成されている第1の誘電体膜をさらに備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 隣り合う前記第1の電極指の間と、隣り合う前記第2の電極指の間とに、前記第1及び第2の電極指と略面一となるように形成されている第2の誘電体層をさらに備える、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記正規型IDT電極が弾性波伝搬方向に沿って複数設けられており、前記複数の正規型IDT電極のうちの少なくともひとつの正規型IDT電極が入力側IDT電極とされており、前記複数の正規型IDT電極のうちの前記入力側IDT電極以外の正規型IDT電極のうちの少なくともひとつのIDT電極が出力側IDT電極とされている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 弾性表面波を利用する弾性表面波装置である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 弾性境界波を利用する弾性境界波装置である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の弾性波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009004857A JP5195443B2 (ja) | 2009-01-13 | 2009-01-13 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009004857A JP5195443B2 (ja) | 2009-01-13 | 2009-01-13 | 弾性波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010166148A true JP2010166148A (ja) | 2010-07-29 |
JP5195443B2 JP5195443B2 (ja) | 2013-05-08 |
Family
ID=42582003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009004857A Active JP5195443B2 (ja) | 2009-01-13 | 2009-01-13 | 弾性波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5195443B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013094517A1 (ja) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
US20170077902A1 (en) * | 2014-05-26 | 2017-03-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device and ladder filter |
WO2018003657A1 (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US10469050B2 (en) * | 2016-08-19 | 2019-11-05 | Qorvo Us, Inc. | Guided acoustic wave device |
US10476474B2 (en) | 2016-01-13 | 2019-11-12 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and duplexer |
FR3105894A1 (fr) * | 2019-12-30 | 2021-07-02 | Frec'n'sys | Structure de transducteur pour résonateur à accès unique |
WO2024043347A1 (ja) * | 2022-08-26 | 2024-02-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びフィルタ装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007097186A1 (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
JP2008148184A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波共振子 |
WO2008078573A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Panasonic Corporation | 弾性表面波共振器並びにそれを用いた弾性表面波フィルタ及びアンテナ共用器 |
-
2009
- 2009-01-13 JP JP2009004857A patent/JP5195443B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007097186A1 (ja) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波装置 |
JP2008148184A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波共振子 |
WO2008078573A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Panasonic Corporation | 弾性表面波共振器並びにそれを用いた弾性表面波フィルタ及びアンテナ共用器 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013094517A1 (ja) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
JPWO2013094517A1 (ja) * | 2011-12-21 | 2015-04-27 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置及びその製造方法 |
US20170077902A1 (en) * | 2014-05-26 | 2017-03-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device and ladder filter |
US10418970B2 (en) * | 2014-05-26 | 2019-09-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device and ladder filter |
US10476474B2 (en) | 2016-01-13 | 2019-11-12 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and duplexer |
WO2018003657A1 (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JPWO2018003657A1 (ja) * | 2016-06-28 | 2019-02-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US10554193B2 (en) | 2016-06-28 | 2020-02-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
US10469050B2 (en) * | 2016-08-19 | 2019-11-05 | Qorvo Us, Inc. | Guided acoustic wave device |
FR3105894A1 (fr) * | 2019-12-30 | 2021-07-02 | Frec'n'sys | Structure de transducteur pour résonateur à accès unique |
WO2024043347A1 (ja) * | 2022-08-26 | 2024-02-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びフィルタ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5195443B2 (ja) | 2013-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20210066575A1 (en) | Elastic wave device | |
CN111200415B (zh) | 声表面波器件 | |
US10826461B2 (en) | Acoustic wave device | |
CN109075763B (zh) | 弹性波元件以及通信装置 | |
US9035725B2 (en) | Acoustic wave device | |
JP6274223B2 (ja) | 弾性波装置及びフィルタ装置 | |
JP5105026B2 (ja) | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ | |
JP5195443B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP5035421B2 (ja) | 弾性波装置 | |
KR20190110020A (ko) | 탄성파 장치 | |
EP2128982A1 (en) | Elastic wave device | |
JP5187444B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2021060512A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP7278305B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
CN113872562A (zh) | 表面声波元件 | |
JP5083469B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
WO2021060509A1 (ja) | 弾性波装置 | |
CN114270707A (zh) | 弹性波装置 | |
CN113519120B (zh) | 弹性波装置 | |
US20220224305A1 (en) | Acoustic wave device | |
JP6767497B2 (ja) | 弾性波素子 | |
WO2018199071A1 (ja) | 弾性波装置の製造方法及び弾性波装置 | |
JP5141776B2 (ja) | 弾性波共振子、ラダー型フィルタ及びデュプレクサ | |
JP2011041082A (ja) | 一ポート型弾性波共振子及び弾性波フィルタ装置 | |
WO2023048256A1 (ja) | 弾性波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5195443 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |