JP2010165389A - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜磁気ヘッドの製造方法は、ウエハの素子非形成領域にダミーバンプを互いに隣接するように形成し、ダミーバンプに挟まれた領域に谷部が形成されるようにウエハを保護層で覆い、谷部の一部が残存するように、少なくとも保護層の一部を除去し、谷部が残存するようにメッキ用の電極膜を成膜し、レジストを塗布し、残存した谷部をアライメントマークとしてレジストを露光し、レジストを除去後、素子バンプの上にボンディングパッドをメッキで形成し、レジストを除去することを有する。
【選択図】図2A
Description
2 書込素子
3a,3b,3c,3d 素子バンプ
4 素子形成領域
6a,6b,6c,6d ダミーバンプ
7 保護層
15,15’ 谷部
16 レジスト
18 ボンディングパッド
19 電極膜
W ウエハ
Claims (3)
- ウエハの素子形成領域に形成された書込素子若しくは読込素子またはその両者の各々と電気的に接続される素子バンプを前記素子形成領域に形成するとともに、前記ウエハの素子非形成領域に、少なくとも2つのダミーバンプを互いに隣接するように形成するバンプ形成工程と、
前記ダミーバンプに挟まれた領域に谷部が形成されるように、前記素子バンプ及び前記ダミーバンプが形成された前記ウエハを保護層で覆う工程と、
前記谷部の一部が残存しかつ、前記谷部を除く前記保護層の上面並びに前記素子バンプ及び前記ダミーバンプの上面が同一高さとなるように、少なくとも前記保護層の一部を除去する工程と、
前記保護層の上面並びに前記素子バンプ及び前記ダミーバンプの上面が同一高さに揃えられた前記ウエハに、前記谷部が残存するようにメッキ用の電極膜を成膜する工程と、
前記電極膜が成膜された前記ウエハに、レジストを塗布する工程と、
残存した前記谷部をアライメントマークとして、前記素子バンプの位置にボンディングパッドのパターンを有するフォトマスクを用いて前記レジストを露光する露光工程と、
前記パターンに従い、ボンディングパッドが形成されるべき範囲の前記レジストを除去する工程と、
前記レジストが除去されて露出した前記電極膜を介して、前記素子バンプの上にボンディングパッドをメッキで形成する工程と、
前記ボンディングパッドの形成後に前記レジストを除去する工程と、
を有する、薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記バンプ形成工程は、4つの矩形形状のダミーバンプを2行2列に形成することを含み、
前記露光工程は、4つの前記ダミーバンプの間に形成された十字型の谷部をアライメントマークとして前記レジストを露光することを含む、
請求項1に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記露光工程は、正方形のパターンを含んだ前記フォトマスクを用い、前記正方形のパターンの中心に前記十字型の谷部の中心を合わせるようにして前記レジストを露光することを含む、請求項2に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。
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---|---|---|---|---|
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