JP2006221786A - 非対称型垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
非対称型垂直磁気記録ヘッド及びその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】読み取り用ヘッド及び書き込み用ヘッドを備える垂直磁気記録ヘッドにおいて、書き込み用ヘッドは、シングルポールタイプヘッドであって、メインポール及びリターンポールを備え、磁気記録層及び磁気記録層の下側に軟磁性体層を備え、メインポールの磁気記録層の内側に向う第1面、磁気記録層のデータ記録面に向う第2面、及び磁気記録層の外側に向う第3面のうち第1面及び第3面は、非対称であることを特徴とする垂直磁気記録ヘッドである。
【選択図】図6
Description
GS2 第2面
GS3 第3面
18 磁気記録層
18s トラック
22 磁気記録層の進行方向
40a メインポール
50 第1矢印
52 第2矢印
w2 下端の幅
Claims (11)
- 読み取り用ヘッド及び書き込み用ヘッドを備える垂直磁気記録ヘッドにおいて、
前記書き込み用ヘッドは、シングルポールタイプヘッドであって、メインポール及びリターンポールを備え、磁気記録層及び磁気記録層の下側に軟磁性体層を備え、前記メインポールの磁気記録層の内側に向う第1面、前記磁気記録層のデータ記録面に向う第2面、及び前記磁気記録層の外側に向う第3面のうち、前記第1面及び第3面は、非対称であることを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 前記第1面及び第3面のうち何れか一面と前記第2面との間の角は、90°より大きいことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 読み取り用ヘッド及び書き込み用ヘッドを備える垂直磁気記録ヘッドにおいて、
前記書き込み用ヘッドは、シングルポールタイプヘッドであって、メインポール及びリターンポールを備え、前記メインポールの磁気記録層の内側に向う第1面、前記磁気記録層のデータ記録面に向う第2面、及び前記磁気記録層の外側に向う第3面のうち、前記第1面及び第3面は互いに対称であり、かつ、いずれも前記第2面と90°より大きい角をなすことを特徴とする垂直磁気記録ヘッド。 - 前記メインポールの前記読み取り用ヘッドに向う面に、サブヨークがさらに備えられていることを特徴とする請求項1または請求項3に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 前記サブヨークと前記読み取り用ヘッドとの間にシールド層がさらに備えられていることを特徴とする請求項4に記載の垂直磁気記録ヘッド。
- 基板上に読み取り用ヘッドを形成する第1工程と、
前記読み取り用ヘッド上に磁気シールド層を形成する第2工程と、
前記磁気シールド層上に層間絶縁層を形成する第3工程と、
前記層間絶縁層上にメインポール磁性層を形成する第4工程と、
前記メインポール磁性層をパターニングするが、磁気記録層と近接した部分の前記磁気記録層の内側に向う第1面と外側の側に向う第3面とを非対称に形成する第5工程と、
前記非対称にパターニングされたメインポール磁性層上に磁気誘導コイルを備える絶縁層を形成する第6工程と、
前記絶縁層の一部を除去して、前記メインポール磁性層を露出させる第7工程と、
前記絶縁層上に前記メインポール磁性層の露出された部分と連結されるように、リターンポール者成層を形成する第8工程と、を含むことを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。 - 前記第5工程は、前記磁気記録層と近接した部分の前記磁気記録層のデータ記録面と対向する第2面と、前記第1面及び第3面のうち選択された一面がなす角を90°より大きく形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項6に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
- 前記第5工程は、
前記メインポール磁性層上に磁気記録層と近接した、前記メインポール磁性層の所定領域を露出させる感光膜を形成する工程と、
前記メインポール磁性層の露出された領域のうち磁気記録層に近接した部分は、非対称になるように前記感光膜をパターニングする工程と、をさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。 - 前記メインポール磁性層の露出された領域のうち、磁気記録層に近接した部分を限定する前記感光膜の当該部分の対向する二つの内側面は、非平行であることを特徴とする請求項8に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
- 前記磁気シールド層と前記メインポール磁性層との間に、前記メインポール磁性層に接触するようにサブヨークをさらに形成することを特徴とする請求項10に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
- 前記サブヨークと前記磁気シールド層との間に、別途のシールド層をさらに形成することを特徴とする請求項10に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
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