JP2010160543A - 半導体装置のレイアウトパターンのレイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法 - Google Patents

Abstract

【課題】従来のレイアウト検証装置では、図形の等価性判断を簡単な計算により実行することができない。
【解決手段】本発明にかかるレイアウト検証装置は、第１のレイアウトパターンにおいてデザインルールとの不整合を生じた領域に対応する第１のエラー図形を出力するレイアウト検証部１０を有するレイアウト検証装置であって、第１のエラー図形を含む処理対象領域を設定する対象エラー図形設定部３１と、すでにレイアウト検証部１０による検証がなされた第２のレイアウトパターンのうち処理対象領域に含まれる第２のエラー図形を検索するエラー図形検索部３２と、第２のエラー図形の第２の対象頂点座標が第１のエラー図形の第１の対象頂点座標に隣接したグリッド交点に設定される複数の周辺頂点座標のいずれとも不一致であれば第１のエラー図形が第２のエラー図形と非等価と判断するエラー図形等価性判断部３３とを有する。
【選択図】図１１

Description

本発明は半導体装置のレイアウトパターンのレイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法に関し、特にデザインルールチェック（ＤＲＣ：Design Rule Check）において出力されるエラー図形の正当性を判断するレイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法に関する。

半導体装置のレイアウト工程においては、効率的にレイアウト設計を行うために、過去に設計したレイアウトデータを元に、図形形状の修正や削除や追加をすることが行われている。このレイアウト設計では、一旦完了したレイアウトデータに対して図形形状がデザインルールを満たしているかを検証するＤＲＣ（Design Rule Check）が行われる。デザインルールとは、製造工程において発生する不具合を回避するためのレイアウトパターンの基準（以後、設計基準と略す）である。半導体装置の設計では、このデザインルールに沿ってレイアウトパターンを生成する必要がある。ＤＲＣ検証でエラーが検出された場合、そのエラーに対する解析を行う。このとき、過去に設計したレイアウトデータを元に修正を行った場合、ＤＲＣ検証において真のエラーと疑似エラーの２種類のエラーが検出される。真のエラーとはレイアウトパターンを修正すべきエラーであり、疑似エラーとはＤＲＣ検証の計算誤差等により生成されるエラーであってレイアウトパターンの修正は必要ないエラーである。そこで、ＤＲＣ検証の検証結果を効率よく解析するために出力されるエラーから疑似エラーを除去して真のエラーだけを残すことが望まれる。

ＤＲＣ検証では、デザインルールに違反している領域を示す図形をエラー図形として出力する。そのため、疑似エラーを除去するためには図形処理により過去に判断済みの疑似エラーと同じ形状のエラー図形は同じものとしてエラー対象から除く方法が効率的である。図形処理の方法として、図形形状比較処理（Layout Versus Layout、以後ＬＶＬと略す）がある。ＬＶＬでは、修正後のレイアウトデータで検出されるエラー図形形状が、過去のレイアウトデータで検出されたエラー図形形状と完全に一致すれば、疑似エラーとして判定する。

しかし、同じレイアウトパターンに対して行ったＤＲＣ検証であっても、異なるエラー図形が出力されることがある。ＤＲＣ検証では、グリッド単位とは無関係にパターン間の距離を計算するのに対して、レイアウトパターン及びエラー図形はグリッド交点に図形の頂点が配置される。そのため、ＤＲＣ検証中に生成されるエラー領域に基づきグリッド交点に頂点を有するエラー図形を生成した場合、頂点をずらす処理において計算の丸め誤差等が生じ、同じエラー領域に対して異なるエラー図形が生成される場合がある。そのため、ＬＶＬを用いて、単にエラー図形の一致又は不一致を判断したのみでは、疑似エラーを除去できない問題がある。そこで、図形の等価性を判断する方法が特許文献１に開示されている。

特許文献１に記載のパターン抽出装置１００のブロック図を図１９に示し、パターン抽出装置１００について説明する。また、パターン抽出装置１００において処理される図形パターンの一例を図２０に示す。まず、パターン抽出装置１００は、第１のパターンＸが第２のパターンＹの中に存在するか否かを判別し、存在する場合に第２のパターンＹの中から第１のパターンＸに対応する領域を抽出する。そこで、パターン抽出装置１００は、特徴点抽出部１１０、特徴量抽出部１１１、類似度演算部１１２、対応候補点設定部１１３、対応度決定部１１４、対応点抽出部１１５を有する。なお、入力手段１０１は、パターン抽出装置１００にデータを入力するキーボード、マウス、記憶装置、ネットワークからのデータ読み込み手段を含む。出力手段１０２は、パターン抽出装置１００による抽出結果を表示するディスプレイ、プリンタ、その他の出力手段を含む。

特徴点抽出部１１０は、第１のパターンＸと第２のパターンＹ上にそれぞれ特徴点を配置する。特徴量抽出部１１１は、特徴点抽出部１１０で配置された特徴点毎にその周囲のパターン情報から特徴量を抽出する。類似度演算部１１２は、第１のパターンＸと第２のパターンＹのそれぞれの特徴量を比較することにより第１のパターンＸの特徴点と第２のパターンＹの特徴点の類似度を求める。対応候補点設定部１１３は、特徴点間の類似度に基づいて第１のパターンＸ上の特徴点が対応する可能性のある第２のパターンＹ上の複数の対応候補点Ｐ（ｉ；１）〜Ｐ（ｉ；３）を求める。対応度決定部１１４は、類似度演算部１１２により算出された類似度と第１のパターンＸ上の任意の特徴点ｉとそれを中心とする近傍特徴点ｕとの間の距離ｄｘ、ならびに、特徴点ｉの対応候補点Ｐ（ｉ；１）〜Ｐ（ｉ；３）と特徴点ｉの近傍特徴点ｕの対応候補点ｋ２の間の距離ｄｙを用いて各対応候補点Ｐ（ｉ；１）〜Ｐ（ｉ；３）の対応度を繰り返し計算により求める。対応点抽出部１１５は、対応度の高い対応候補点Ｐ（ｉ；１）〜Ｐ（ｉ；３）を抽出する。

パターン抽出装置１００では、特徴点及び対応特徴点を抽出し、特徴点と対応候補点との距離を計算することで、図形の類似度を判断する。そして、この類似度の判断により、図形が回転又は平行移動していた場合において、これらの図形の類似度を判断する。

特開平１１−１１０５４２号公報

しかしながら、パターン抽出装置１００では、２つの図形のそれぞれに対して特徴点と対応候補点とを抽出し、その距離を算出しなければならない。そのため、パターン抽出装置１００では、図形の類似度判断にかかる計算時間が増大する問題がある。

本発明にかかるレイアウト検証装置の一態様は、頂点がグリッド交点に沿って配置される第１のレイアウトパターンとデザインルールとの整合性を検証し、不整合と判定された箇所に対応する第１のエラー図形を出力するレイアウト検証部を有するレイアウト検証装置であって、前記第１のレイアウトパターンにおける前記第１のエラー図形の位置を特定し、前記第１のエラー図形を含む処理対象領域を設定する対象エラー図形設定部と、すでに前記レイアウト検証部による検証がなされた第２のレイアウトパターンのうち前記処理対象領域に対応する領域に位置する第２のエラー図形を検索するエラー図形検索部と、前記第１のエラー図形の複数の頂点座標と前記第２のエラー図形の複数の頂点座標とを比較して前記第２のエラー図形と前記第１のエラー図形との等価性を検証するエラー図形等価性判断部と、を有し、前記エラー図形等価性判断部は、前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とにおいて異なる座標を有する頂点をそれぞれ第１の対象頂点座標及び第２の対象頂点座標とし、前記第２の対象頂点座標が前記第１の対象頂点座標に隣接したグリッド交点に設定される複数の周辺頂点座標のいずれとも不一致であれば前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であると判断する。

本発明にかかるレイアウト検証プログラムの一態様は、演算回路において実行され、頂点がグリッド交点に沿って配置される第１のレイアウトパターンとデザインルールとの整合性の検証により得られる第１のエラー図形と、すでにレイアウト検証がなされた第２のレイアウトパターンから得られた第２のエラー図形と、の等価性を検証するレイアウト検証プログラムであって、記憶装置から前記第１のエラー図形を読み出し、前記第１のエラー図形を含む処理対象領域を設定し、前記第２のエラー図形を前記記憶装置から読み出し、前記第２のエラー図形のうち前記処理対象領域に対応する領域に位置する第２のエラー図形を検索し、前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とにおいて異なる座標を有する頂点をそれぞれ第１の対象頂点座標及び第２の対象頂点座標とし、前記第２の対象頂点座標が前記第１の対象頂点座標に隣接したグリッド交点に設定される複数の周辺頂点座標のいずれとも不一致であれば前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であるとして図形の等価性判断を行う。

本発明にかかるレイアウト検証方法の一態様は、頂点がグリッド交点に沿って配置される第１のレイアウトパターンとデザインルールとの整合性の検証により得られる第１のエラー図形と、すでにレイアウト検証がなされた第２のレイアウトパターンから得られた第２のエラー図形と、の等価性を検証するレイアウト検証方法であって、前記第１のエラー図形を含む処理対象領域を設定し、前記第２のエラー図形のうち前記処理対象領域に対応する領域に位置する第２のエラー図形を検索し、前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とにおいて異なる座標を有する頂点をそれぞれ第１の対象頂点座標及び第２の対象頂点座標とし、前記第２の対象頂点座標が前記第１の対象頂点座標に隣接したグリッド交点に設定される複数の周辺頂点座標のいずれとも不一致であれば前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であるとして図形の等価性判断を行う。

本発明にかかるレイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法によれば、グリッド交点上に位置する第２の対象頂点座標と第１の対象頂点座標に基づき設定される周辺頂点座標との一致不一致判断により２つの図形の等価性を判断する。これにより、本発明にかかるレイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法は、図形の等価性を判断するために頂点間の距離の算出等の多くの時間を有する計算を行う必要がない。短時間で図形の等価性の判断を行うことができる。

本発明にかかるレイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法によれば、短時間で図形の等価性の判断を行うことができる。

実施の形態１にかかるレイアウト検証方法の全体の処理を示すフローチャートである。 実施の形態１にかかる図形比較処理の処理を示すフローチャートである。 実施の形態１にかかる処理対象領域の設定処理を示すフローチャートである。 実施の形態１にかかる図形の等価性判断の処理を示すフローチャートである。 実施の形態１にかかるレイアウト検証方法を適用して処理されるレイアウトパターンの一例を示す図である。 図５に示すレイアウトパターン例に対してレイアウト検証を行った結果出力されるＤＲＣエラー図形の例を示す図である。 図６に示す新ＤＲＣエラー図形に対して設定される処理対象領域の概略図である。 図６に示す新ＤＲＣエラー図形に対して設定される周辺頂点座標の概略図である。 図６に示す新ＤＲＣエラー図形及び既存ＤＲＣエラー図形と周辺頂点座標との関係を示す図である。 実施の形態１にかかる図形の等価性判断の処理において非等価と判断されるエラー図形の例を示す図である。 実施の形態１にかかるレイアウト検証装置のブロック図である。 実施の形態２にかかる図形の等価性判断の処理において設定される周辺頂点座標の概略図である。 実施の形態２にかかる図形の等価性判断の処理において設定される周辺頂点座標の概略図である。 実施の形態３にかかる図形の等価性判断の処理において設定される周辺頂点座標の概略図である。 実施の形態３にかかる図形の等価性判断の処理において設定される周辺頂点座標の概略図である。 実施の形態４にかかる図形の等価性判断の処理を示すフローチャートである。 実施の形態４にかかる図形の等価性判断の処理において判断対象となるエラー図形の例を示す図である。 実施の形態４にかかる図形の等価性判断の処理において判断対象となるエラー図形の例を示す図である。 特許文献１に記載のパターン抽出装置のブロック図である。 特許文献１に記載のパターン抽出装置において処理される図形の概略図である。

実施の形態１
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態にかかるレイアウト検証方法は、ハードウェア（レイアウト検証装置）として実現することも可能であるし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算回路上で動作するソフトウェア（レイアウト検証プログラム）として実現することも可能である。以下の説明では、まず、レイアウト検証方法について説明し、その後ハードウェア又はソフトウェアにおける本実施の形態にかかるレイアウト検証方法の実現手段について説明する。

また、本実施の形態にかかるレイアウト検証方法は、レイアウト工程に含まれるＤＲＣ（Design Rule Check）検証工程において出力されるエラー図形に含まれる疑似エラーのうちすでに検証済みの疑似エラーを除去するために用いられる。そのため、以下の説明において行われるレイアウト工程は、すでにＤＲＣ検証が行われた第２のレイアウトパターン（以下、既存レイアウトパターンと称す）があり、第２のレイアウトパターンを修正して第１のレイアウトパターン（以下、修正レイアウトパターンと称す）を生成するものとする。

図１に本実施の形態にかかるレイアウト検証方法の全体のフローを示す。図１に示すように、本実施の形態にかかるレイアウト検証方法では、まず、修正レイアウトパターンを生成するレイアウト設計が行われる（ステップＳ１）。このレイアウト設計では、既存レイアウトパターンを修正して修正レイアウトパターンを生成する。また、既存レイアウトパターン及び修正レイアウトパターンでは、パターンが所定の間隔で配置されたグリッドに沿って配置され、パターンの頂点がグリッド交点に位置する。

続いて、修正レイアウトパターンに対してレイアウト検証が行われる（ステップＳ２）。このレイアウト検証では、ＤＲＣが行われる。そして、レイアウト検証の結果は第１のエラー図形（以下、新ＤＲＣエラー図形と称す）として出力される。

続いて、ＤＲＣエラー図形の比較が行われ、この比較結果に基づき最終的な検証結果が出力される（ステップＳ３）。ステップＳ３では新ＤＲＣエラー図形と第２のエラー図形（以下、既存ＤＲＣエラー図形と称す）との等価性を図形比較により判断し、既存ＤＲＣエラー図形とは非等価の新ＤＲＣエラー図形のみを含む検証結果が出力される。このステップＳ３の処理は、本実施の形態において特徴的な部分であり、以下ではこのステップＳ３の処理について詳細に説明する。

図２に図形比較処理（ステップＳ３）の詳細な処理を示すフローチャートを示す。図２に示すように、本実施の形態にかかる図形比較処理では、まず、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とを読み込む（ステップＳ１１、Ｓ１２）。そして、処理対象とする新ＤＲＣエラー図形を設定する（ステップＳ１３）。より具体的には、ステップＳ１３では、複数の新ＤＲＣエラー図形から処理対象とする新ＤＲＣエラー図形を選択する。続いて、新ＤＲＣエラー図形を含む処理対象領域を設定する（ステップＳ１４）。より具体的には、ステップＳ１４では、処理対象として選択された新ＤＲＣエラー図形の修正レイアウトパターン上の位置を特定し、新ＤＲＣエラー図形を含む処理対象領域を設定する。

続いて、ステップＳ１４において設定された処理対象領域に含まれる既存ＤＲＣエラー図形を検索する（ステップＳ１５）。ステップＳ１５において処理対象領域に含まれる既存ＤＲＣエラー図形が存在しない場合、現在処理対象となっている新ＤＲＣエラー図形は非等価と判断され、当該新ＤＲＣエラー図形が検証結果として出力される（ステップＳ１７）。一方、ステップＳ１５において処理対象領域に含まれる既存ＤＲＣエラー図形が存在する場合、処理対象となっている新ＤＲＣエラー図形とステップＳ１５において検索された既存ＤＲＣエラー図形との等価性の判断が行われる（ステップＳ１６）。

ステップＳ１６において、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが等価と判断された場合は、他の新ＤＲＣエラー図形があるか否かを判断する（ステップＳ１８、Ｓ１９）。また、ステップＳ１６において、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが非等価と判断された場合は、当該新ＤＲＣエラー図形が検証結果として出力される（ステップＳ１８、Ｓ１７）。ステップＳ１７の処理が終了すると、他の新ＤＲＣエラー図形があるか否かを判断する（ステップＳ１９）。ステップＳ１９において未だ等価性の判断が行われていない新ＤＲＣエラー図形があると判断された場合は、処理をステップＳ１３に戻し、全ての新ＤＲＣエラー図形の等価性の判断が行われた場合は、ステップＳ３の図形比較処理を終了する。

ここで、図２に示すステップＳ１４の処理対象領域の設定手順及びステップＳ１６のＤＲＣエラー図形の等価性判断手順について更に詳細に説明する。まず、図３に処理対象領域の設定手順を示すフローチャートを示す。図３に示すように、所定対象領域を設定する場合、新ＤＲＣエラー図形の最小Ｘ座標、最小Ｙ座標、最大Ｘ座標、最大Ｙ座標を抽出する（ステップＳ２１〜Ｓ２４）。このステップＳ２１〜Ｓ２４の処理により、新ＤＲＣエラー図形の最大外形が算出される。そして、ステップＳ２１〜Ｓ２４の処理により算出された新ＤＲＣエラー図形の最大外形を含む領域を処理対象領域とする。このとき、本実施の形態では、処理対象領域の左下頂点座標Ｚ１と、右上頂点座標Ｚ２の２点を設定することで処理対象領域を規定する（ステップＳ２５、Ｓ２６）。

続いて、ＤＲＣエラー図形の等価性判断の手順を示すフローチャートを図４に示す。図４に示すように、ＤＲＣエラー図形の比較処理では、まず、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形の頂点数を比較する（ステップＳ３１）。そして、頂点数が不一致であった場合（ステップＳ３１のＮｏの枝）、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とは非等価であるとして、非等価判断結果を出力し（ステップＳ３８）、その後処理を終了する。一方、頂点数が一致していた場合（ステップＳ３１のＹｅｓの枝）、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが等価である可能性があるため、処理をステップＳ３２に進める。ステップＳ３２では、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形の頂点座標を読み込み、処理対象とする頂点座標を一組選択し、選択した一組の頂点座標を対象頂点座標として設定する。なお、新ＤＲＣエラー図形に対応する対象頂点座標が第１の対象頂点座標に相当し、既存ＤＲＣエラー図形に対応する対象頂点座標が第２の対象頂点座標に相当する。

続いて、ステップＳ３３において、新ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標と既存ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標とを比較し、２つの対象頂点座標が一致しているかを検証する。ステップＳ３３において、２つの対象頂点座標が一致していると判断された場合（ステップＳ３３のＹｅｓの枝）、ステップＳ３６の処理に進む。一方、ステップＳ３３において、２つの対象頂点座標が一致していないと判断された場合（ステップＳ３３のＮｏの枝）、ステップＳ３４の処理に進む。

ステップＳ３４では、新ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標に対応する周辺頂点座標を設定する。より具体的には、新ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標を中心として、隣接するグリッド交点のうち最も近い８個のグリッド交点にそれぞれ周辺頂点座標を設定する。そして、既存ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標と一致する周辺頂点座標があるか否かを判断する（ステップＳ３５）。ステップＳ３５において、既存ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標と一致する周辺頂点座標があれば（ステップＳ３５のＹｅｓの枝）、ステップＳ３６の処理に進む。一方、既存ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標と一致する周辺頂点座標がなければ（ステップＳ３５のＮｏの枝）、処理対象としている新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが非等価であると判断して非等価判断結果を出力し（ステップＳ３８）、その後処理を終了する。

ステップＳ３６では、処理対象としている新ＤＲＣエラー図形の全ての頂点座標に対してステップＳ３２〜Ｓ３５の処理が完了したかを判断する。そして、ステップＳ３６において、未だ処理していない頂点座標があると判断された場合（ステップＳ３６のＮｏの枝）、未処理の頂点座標に対してステップＳ３２〜Ｓ３５の処理を実行する。一方、ステップＳ３６において、未だ処理していない頂点座標があると判断された場合（ステップＳ３６のＹｅｓの枝）、処理対象としていた新ＤＲＣエラー図形及び既存ＤＲＣエラー図形とが等価であると判断して等価判断結果を出力し（ステップＳ３７）、その後処理を終了する。

上記において説明したように、本実施の形態にかかるレイアウト検証方法では、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形との間で異なる頂点座標を等価性の判断に用いる。そして、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とで異なる頂点座標の差が１グリッド交点以下であれば、その新ＤＲＣエラー図形は既存ＤＲＣエラー図形と等価であると判断して、検証結果から除去する。以下では、具体例を挙げて上記において説明した本実施の形態にかかるレイアウト検証方法を説明する。

まず、図５にレイアウト検証の対象となるレイアウトパターン例を示す。図５に示すレイアウトパターン例は、１チップのレイアウトパターンに含まれる一部のレイアウトパターンを示したものである。図５に示すレイアウトパターン例では、配線Ｗ１、Ｗ２が配置される。配線Ｗ１、Ｗ２は、グリッド線（図において破線で示す線）に沿って配置され、かつ、パターンの頂点がグリッド交点に配置される。このようなレイアウトパターンに対して、図１のステップＳ２に示すレイアウト検証では、配線Ｗ１と配線Ｗ２の配線間距離がデザインルールにおいて規定される最小配線間隔（本実施の形態では距離Ｌ）以上であるか否かを検証の１つとして行う。例えば、配線Ｗ１に対向する配線Ｗ２の辺との距離を測長する。このとき、本実施の形態では、配線Ｗ１の頂点Ａ及び頂点Ｃからの距離が距離Ｌとなる点が配線Ｗ２の辺があるか否かを測長する。図５に示す例では、配線Ｗ２の辺上の点Ｅが頂点Ａからの距離が距離Ｌとなる。また、配線Ｗ２の辺上の点Ｄも頂点Ｃからの距離が距離Ｌとなる。このとき、レイアウト検証では、配線Ｗ１の辺ＡＣと配線Ｗ２の辺ＢＤがデザインルールの規定を満たしていないと判断し、領域ＡＣＤＢをエラー領域とする。

次に、図５に示すレイアウトパターン例に対してレイアウト検証を行った結果出力されるエラー図形について説明する。図５に示すエラー領域では、頂点Ａ、頂点Ｃ及び頂点Ｄはグリッド交点に位置しているが、頂点Ｄはグリッド交点とずれた位置に存在する。そのため、レイアウト検証においてエラー図形を出力する際には頂点Ｄをグリッド交点に置き換えたエラー図形を生成する。レイアウト検証では、グリッド交点とはずれた位置にある頂点をグリッド交点上に置き換える際にいずれのグリッド交点に置き換えを行うかを計算により算出する。このとき、計算の丸め誤差や計算順序の違いに起因して同じエラー領域に対して異なるエラー図形が出力されることがある。

そこで、図６に図５に示すレイアウトパターン例に対してレイアウト検証を行った結果同じエラー領域に対して出力される異なるエラー図形を示す。図６に示すように、既存ＤＲＣエラー図形の頂点は、Ａ、Ｂ、Ｄ２及びＣとなる。一方、新ＤＲＣエラー図形の頂点は、Ａ、Ｂ、Ｄ１及びＣとなる。本実施の形態では、このように同じエラー領域に対して出力された異なるエラー図形の等価性を図１のステップＳ３の図形比較処理により判断する。

続いて、図６に示すエラー図形の例に対して行われるステップＳ３の処理（図２）について説明する。ステップＳ３では、まずステップＳ１１、Ｓ１２において、新ＤＲＣエラー図形（図６のＡＢＤ１Ｃ）及び既存ＤＲＣエラー図形（図６のＡＢＤ２Ｃ）を読み込む。続いて、ステップＳ１３において、例えば、図６に示す新ＤＲＣエラー図形を処理対象の図形として選択する。

そして、ステップＳ１４（及び図３のステップＳ２１〜Ｓ２６）において処理対象領域を設定する。このとき、設定される処理対象領域の概略図を図７に示す。図７に示すように、処理対象領域は新ＤＲＣエラー図形よりも大きな領域として設定される。より具体的には、Ｘ座標及びＹ座標が最小となる頂点Ｄ１に対して斜め方向において隣接するグリッド交点に頂点Ｚ１が設定され、Ｘ座標及びＹ座標が最大となる頂点Ａに対して斜め方向において隣接するグリッド交点に頂点Ｚ２が設定される。そして、頂点Ｚ１、Ｚ２を基準として処理対象領域が設定される。続いて、ステップＳ１５において、図７に示される処理対象領域に含まれる既存ＤＲＣエラー図形として図６に示す既存ＤＲＣエラー図形が検索される。そして、処理をステップＳ１６に進め、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形との等価性判断を行う。

ステップＳ１６（図４の処理）では、まず、ステップＳ３１において新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形との頂点数を比較する。図６に示す新ＤＲＣエラー図形及び既存ＤＲＣエラー図形は共に４つの頂点を有する。そのため、図６に示す新ＤＲＣエラー図形及び既存ＤＲＣエラー図形に対しては頂点数が一致したと判断し、処理をステップＳ３２に進める。続いて、ステップＳ３２において処理対象とする新ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標を設定する。本実施の形態では、頂点Ａから順に頂点Ｄ１まで繰り返しステップＳ３２〜Ｓ３５の処理を行うものとする。そこで、最初の処理サイクルでは、新ＤＲＣエラー図形の頂点Ａを対象頂点座標として設定する。この場合、新ＤＲＣエラー図形の頂点Ａと同じ座標を有する既存ＤＲＣエラー図形の頂点Ａがあるため、最初のサイクルに対するステップＳ３３では対象頂点座標が一致したとしてステップＳ３６を経てステップＳ３２の処理に戻る。このステップＳ３２、Ｓ３３、Ｓ３６の処理は新ＤＲＣエラー図形の頂点Ｂ及び頂点Ｃに対しても頂点Ａと同様に行われる。

続いて、ステップＳ３２において新ＤＲＣエラー図形の頂点Ｄ１が対象頂点座標として選択され、ステップＳ３３において頂点Ｄ１と頂点Ｄ１に対応する頂点Ｄ２の座標が比較される。このとき、頂点Ｄ１と頂点Ｄ２は異なる座標であるため、処理はステップＳ３４に進む。ステップＳ３４では、頂点Ｄ１に対応する周辺頂点座標が設定される。ここで、ステップＳ３４において設定される周辺頂点座標の概略図を図８に示す。図８に示すように、周辺頂点座標は、頂点Ｄ１の周囲のグリッド交点のうち頂点Ｄ１に最も近い８個のグリッド交点上に設定される。なお、以下の説明では、設定された周辺頂点座標をそれぞれＦ１〜Ｆ８と称す。

その後、ステップＳ３５において周辺頂点座標と既存ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標との一致比較が行われる。この比較処理の概略を示す図を図９に示す。図９に示すように、本具体例では、既存ＤＲＣエラー図形の頂点Ｄ２が周辺頂点座標Ｆ４と一致する。つまり、新ＤＲＣエラー図形の頂点Ｄ２を１グリッドずらすと、新ＤＲＣエラー図形は、既存ＤＲＣエラー図形と一致することがわかる。そのため、次の処理としてステップＳ３６が行われ、頂点Ａ〜Ｄ１が全て処理されると処理対象となっていたエラー図形が等価であることを示す等価判断結果を出力して（ステップＳ３７）、ステップＳ１６の処理が終了する。

一方、ステップＳ３５の判断処理において非等価と判断されるエラー図形の例について説明する。非等価と判断されるエラー図形の例を図１０に示す。図１０に示すエラー図形のうち新ＤＲＣエラー図形は、図６に示された新ＤＲＣエラー図形と同じものである。図１０に示す例では、この新ＤＲＣエラー図形に対応する既存ＤＲＣエラー図形として既存ＤＲＣエラー図形ｐ１、ｐ２が示される。

既存ＤＲＣエラー図形ｐ１は、頂点Ａ〜Ｃが新ＤＲＣエラー図形の頂点Ａ〜Ｃと一致し、頂点Ｄ３が新ＤＲＣエラー図形の頂点Ｄ１とは異なる位置にある。このとき、頂点Ｄ３は、周辺頂点座標Ｆ１〜Ｆ８のいずれとも一致しない。つまり、頂点Ｄ３は頂点Ｄ１と等価と判断される範囲（例えば、周辺頂点座標Ｆ１〜Ｆ８により規定される等価範囲）を超えた位置に存在する。そのため、既存ＤＲＣエラー図形ｐ１は、新ＤＲＣエラー図形とは非等価と判断される。

既存ＤＲＣエラー図形ｐ２は、頂点Ａ〜Ｃが新ＤＲＣエラー図形の頂点Ａ〜Ｃと一致し、頂点Ｄ４が新ＤＲＣエラー図形の頂点Ｄ１とは異なる位置にある。このとき、頂点Ｄ４は、周辺頂点座標Ｆ１〜Ｆ８のいずれとも一致しない。つまり、頂点Ｄ４は頂点Ｄ１と等価と判断される範囲（例えば、周辺頂点座標Ｆ１〜Ｆ８により規定される等価範囲）を超えた位置に存在する。そのため、既存ＤＲＣエラー図形ｐ２は、新ＤＲＣエラー図形とは非等価と判断される。

このように、ステップＳ３５において新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが非等価と判断された場合、ステップＳ３８において非等価判断結果が出力され、その後ステップＳ１６の処理が終了する。

このステップＳ１６の処理により新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが等価と判断された場合、本実施の形態にかかるレイアウト検証方法では、当該新ＤＲＣエラー図形を検証結果に含めない又は検証結果から除去する。つまり、検証結果には、ステップＳ１６の処理により新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが非等価と判断された新ＤＲＣエラー図形のみが含まれることになる（ステップＳ１７、Ｓ１８の処理）。

上記説明では、本実施の形態にかかるレイアウト検証方法について説明したが、以下では上記において説明したレイアウト検証方法を実現するハードウェアについて説明する。そこで、本実施の形態にかかるレイアウト検証方法を実現するためのレイアウト検証装置１のブロック図を図１１に示す。図１１に示すように、レイアウト検証装置１は、レイアウト検証部１０、記憶装置２０、エラー図形検証部３０を有する。また、レイアウト検証装置１には、操作部２及び表示部３が接続される。操作部２は、レイアウト検証装置１の操作を行うためのキーボードやマウス等を有する。また、表示部３は、レイアウト検証装置１において実行された処理結果の表示や操作のためのインタフェース画面の表示を行うためのものである。なお、レイアウト検証装置１の記憶装置２０に記憶されている修正レイアウトパターンは、レイアウト検証装置１とは別に設けられるレイアウトパターン生成装置により生成されるものとする。また、レイアウトパターン生成装置はレイアウト検証装置１に組み込まれているものであっても良い。

レイアウト検証部１０は、記憶装置２０から修正レイアウトパターンを読み出し、修正レイアウトパターンに対してＤＲＣ処理を行う。また、レイアウト検証部１０は、ＤＲＣ処理により生成される新ＤＲＣエラー図形を記憶装置２０に格納する。つまり、レイアウト検証部１０は、図１に示すステップＳ２の処理に相当する処理を行う。

記憶装置２０は、修正レイアウトパターン、新ＤＲＣエラー図形、既存ＤＲＣエラー図形、検証結果を格納する。修正レイアウトパターンは、図示しないレイアウトパターン生成装置から入力される。新ＤＲＣエラー図形は、レイアウト検証部１０から入力される。既存ＤＲＣエラー図形は、レイアウト検証部１０が既存レイアウトパターンに対してＤＲＣ処理を行った時点で入力される。検証結果は、エラー図形検証部３０から入力される。

エラー図形検証部３０は、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形との等価性の判断を行う。つまり、エラー図形検証部３０は、図１のステップＳ３の処理を実行する。エラー図形検証部３０は、対象エラー図形設定部３１、エラー図形検索部３２、エラー図形等価性判断部３３を有する。

対象エラー図形設定部３１は、処理対象となる新ＤＲＣエラー図形の選択と、選択した新ＤＲＣエラー図形の修正レイアウトパターン上の位置の特定とを行い、処理対象領域を設定する。つまり、対象エラー図形設定部３１は、図２のステップＳ１１、Ｓ１３、Ｓ１４の処理を実行する。このとき、対象エラー図形設定部３１は、記憶装置２０から新ＤＲＣエラー図形を読み込む。

エラー図形検索部３２は、対象エラー図形設定部３１が設定した処理対象領域に含まれる既存ＤＲＣエラー図形を検索する。つまり、エラー図形検索部３２は、図２のステップＳ１２、Ｓ１５の処理を行う。このときエラー図形検索部３２は、既存ＤＲＣエラー図形を読み込む。

エラー図形等価性判断部３３は、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形との等価性判断を行い、判断結果に基づき検証結果を記憶装置２０に出力する。つまり、エラー図形等価性判断部３３は、ステップＳ１６〜Ｓ１８の処理を実行する。

このように、本実施の形態にかかるレイアウト検証方法は、各処理フローを実現するハードウェアを設けることで実現することが可能である。また、本実施の形態にかかるレイアウト検証方法は、ソフトウェアにより実現することが可能である。レイアウト検証部１０、エラー図形検証部３０において実行される処理をレイアウト検証プログラムとして規定し、レイアウト検証プログラムをＣＰＵ等の演算回路に実行させることでソフトウェアにより本実施の形態にかかるレイアウト検証方法を実現することができる。なお、演算回路は、記憶装置として記憶装置２０を用いる。

上記説明より、本実施の形態にかかるレイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法では、ステップＳ１６又はエラー図形等価性判断部３３において、エラー図形の頂点座標の比較のみにより新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形との等価性を判断することができる。従って、レイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法では、図形の等価性判断処理において頂点間の距離の計算などの多くの時間を要する処理を行うことなく、比較処理という短時間に完了する処理のみで図形の等価性判断を行うことができる。これにより、レイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法では、図形の等価性判断処理を短時間に行うことができる。

また、既存ＤＲＣエラー図形と等価と判断された新ＤＲＣエラー図形を検索結果から除くことで、レイアウト検証結果の解析時間を短縮することができる。レイアウト検証により出力されるＤＲＣエラー図形の中にはすでに疑似エラーと判断されたものを含んでいる。しかし、本実施の形態にかかるレイアウト検証装置、レイアウト検証プログラム及びレイアウト検証方法を用いることで、すでに解析及び正当性が判断されたＤＲＣエラー図形と等価と判断されるものを検証結果から除くことができ、二重に同じ解析及び正当性の判断を行う必要がなくなる。

実施の形態２
実施の形態２では、図４に示すステップＳ３５で比較対象とされる周辺頂点座標の個数を２個に限定する方法について説明する。そこで、図１２、１３に実施の形態２のレイアウト検証方法で設定される周辺頂点座標の概略を示す。

図１２に示す例では、新ＤＲＣエラー図形において対象頂点座標となる頂点Ｄ１が配線Ｗ２の辺上に位置する。このような場合、頂点Ｄ１がずれる可能性があるグリッド交点は、配線Ｗ２において頂点Ｄ１が位置している辺に限られる。そこで、図１２に示す例では、頂点Ｄ１が位置する配線Ｗ２の辺上にあるグリッド交点に設定される周辺頂点座標Ｆ４、Ｆ５のみを比較候補とする。

また、図１３に示す例では、新ＤＲＣエラー図形において対象頂点座標となる頂点Ｄ１が配線Ｗ１の角に位置する。このような場合、頂点Ｄ１がずれる可能性があるグリッド交点は、図面の縦方向に延在する配線Ｗ１の辺上又は図面の横方向に延在する配線Ｗ１の辺上に限られる。そこで、図１３に示す例では、頂点Ｄ１が位置する配線Ｗ１の角において直交する辺上にあるグリッド交点に設定される周辺頂点座標Ｆ２、Ｆ５のみを比較候補とする。

このように、比較候補とする周辺頂点座標を限定することでステップＳ３４の周辺頂点座標の設定処理及びステップＳ３５の座標比較処理にかかる時間を短くすることができる。

実施の形態３
実施の形態３では、図４に示すステップＳ３５で比較対象とされる周辺頂点座標の個数を１個に限定する方法について説明する。そこで、図１４、１５に実施の形態３のレイアウト検証方法で設定される周辺頂点座標の概略を示す。

図１４に示す例では、新ＤＲＣエラー図形において対象頂点座標となる頂点Ｄ１が配線Ｗ２の辺上に位置する。また、図１４に示す例では既存ＤＲＣエラー図形において頂点Ｄ１に対応する頂点Ｄ２が配線Ｗ２において頂点Ｄ１と頂点Ｂとを結ぶ辺上に存在する。そのため、頂点Ｄ１がずれる可能性があるグリッド交点は、配線Ｗ２において頂点Ｄ１と頂点Ｂとを結ぶ辺に限られる。そこで、図１４に示す例では、頂点Ｄ１が位置する配線Ｗ２の辺上であって、かつ、頂点Ｄ１の頂点Ｂ側にあるグリッド交点に設定される周辺頂点座標Ｆ５のみを比較候補とする。

また、図１５に示す例では、新ＤＲＣエラー図形において対象頂点座標となる頂点Ｄ１が配線Ｗ２の角に位置する。また、図１５に示す例では既存ＤＲＣエラー図形において頂点Ｄ１に対応する頂点Ｄ２が図面の縦方向に延在する配線Ｗ２の辺上に存在する。このような場合、頂点Ｄ１がずれる可能性があるグリッド交点は、図面の縦方向に延在する配線Ｗ２の辺上に限られる。そこで、図１５に示す例では、頂点Ｄ１が位置する配線Ｗ２の角において直交する辺上にあるグリッド交点に設定される周辺頂点座標Ｆ２のみを比較候補とする。

このように、比較候補とする周辺頂点座標を限定することでステップＳ３４の周辺頂点座標の設定処理及びステップＳ３５の座標比較処理にかかる時間を短くすることができる。

実施の形態４
実施の形態４では、図形の等価性の判断処理（図２のステップＳ１６の処理）における判断条件として許容数を追加する。そこで、実施の形態４にかかる等価性判断の処理フローを図１６に示す。図１６に示すように、実施の形態４にかかる等価性判断の処理フローでは、図４に示す処理フローにステップＳ４１、Ｓ４２が加えられる。

ステップＳ４１は、ステップＳ３５とステップＳ３６との間に行われる。ステップＳ４１では、既存ＤＲＣエラー図形の対象頂点座標が周辺頂点座標と一致したと判断されたことに応じてその一致した周辺頂点座標の数をカウントする。ステップＳ４１の処理を処理対象となっている新ＤＲＣエラー図形の頂点座標の全てにおいて行うことで、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とでずれが生じている頂点数を判断することができる。以下、ずれが生じている頂点数を一致周辺頂点座標数と称す。

ステップＳ４２は、ステップＳ３６とステップＳ３７との間に行われる。ステップＳ４２は、一致周辺頂点座標数と別途設定される許容数との大小比較を行う。このとき、一致周辺頂点座標数が許容数を上回った場合は、ステップＳ４２のＮｏの枝に進み、処理対象としていた新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが非等価であると判断する。一方、一致周辺頂点座標数が許容数以下であった場合は、ステップＳ４２のＹｅｓの枝に進み、処理対象としていた新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが等価であると判断する。

ここで、実施の形態４にかかる等価性判断処理フローを適用した場合の具体例について説明する。そこで、図１７に頂点のずれが２つ生じているレイアウトパターン例を示す。図１７に示すレイアウトパターン例では、新ＤＲＣエラー図形の頂点Ｇ１を頂点Ｈ１にずらし、かつ、新ＤＲＣエラー図形の頂点Ｇ２を頂点Ｈ２にずらすことで新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが一致する。そのため、図１７に示す例では、一致周辺頂点座標数は２となる。このとき、許容数を１と設定した場合、一致周辺頂点座標数が許容数より大きくなるため、実施の形態４では図１７に示す２つのエラー図形を非等価と判断する。一方、許容数を２と設定した場合、一致周辺頂点座標数が許容数と同じであるため、実施の形態４では図１７に示す２つのエラー図形を等価と判断する。

また、図１８に頂点のずれが１つ生じているレイアウトパターン例を示す。図１８に示すレイアウトパターン例では、新ＤＲＣエラー図形の頂点Ｉ１を頂点Ｊ１にずらすことで新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形とが一致する。そのため、図１８に示す例では、一致周辺頂点座標数は１となる。このとき、許容数を１と設定した場合、一致周辺頂点座標数が許容数と同じであるため、実施の形態４では図１８に示す２つのエラー図形を等価と判断する。また、許容数を２と設定した場合、一致周辺頂点座標数が許容数よりも小さくなるため、実施の形態４では図１８に示す２つのエラー図形を等価と判断する。

実施の形態１〜３では、ずれが生じている頂点数にかかわらず、ずれが隣接するグリッド交点の範囲内であれば２つの図形を等価と判断する。そのため、新ＤＲＣエラー図形と既存ＤＲＣエラー図形との頂点が全て異なる座標である場合であっても、実施の形態１〜３では、これら２つの図形を等価と判断して、真のエラー図形を検証対象から削除してしまう。しかし、頂点のずれの数が多い新ＤＲＣエラー図形は、既存ＤＲＣエラー図形とは異なる原因で出力されている可能性もあり、このような図形を検証対象から外してしまうのはエラーの見逃しの原因となる。

しかしながら、実施の形態４にかかるレイアウト検証方法では、許容数によりずれが生じている頂点数が多い新ＤＲＣエラー図形に対して非等価図形である判断を行うことができる。従って、実施の形態４にかかるレイアウト検証方法は、実施の形態１〜３に対して新ＤＲＣエラー図形を誤って削除する危険性が少なく、レイアウト検証の精度を向上させることができる。また、ずれが少ない新ＤＲＣエラー図形に対しては既存ＤＲＣエラー図形と等価である判断を行い、検証結果から除くことができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。

１ レイアウト検証装置
２ 操作部
３ 表示部
１０ レイアウト検証部
２０ 記憶装置
３０ エラー図形検証部
３１ 対象エラー図形設定部
３２ エラー図形検索部
３３ エラー図形等価性判断部
Ｗ１、Ｗ２ 配線
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｄ１、Ｄ２、Ｅ、Ｇ１、Ｇ２、Ｉ１、Ｊ１ 頂点
Ｚ１、Ｚ２ 頂点
Ｆ１〜Ｆ８ 周辺頂点

Claims (20)

1. 頂点がグリッド交点に沿って配置される第１のレイアウトパターンとデザインルールとの整合性を検証し、不整合と判定された箇所に対応する第１のエラー図形を出力するレイアウト検証部を有するレイアウト検証装置であって、
   前記第１のレイアウトパターンにおける前記第１のエラー図形の位置を特定し、前記第１のエラー図形を含む処理対象領域を設定する対象エラー図形設定部と、
   すでに前記レイアウト検証部による検証がなされた第２のレイアウトパターンのうち前記処理対象領域に対応する領域に位置する第２のエラー図形を検索するエラー図形検索部と、
   前記第１のエラー図形の複数の頂点座標と前記第２のエラー図形の複数の頂点座標とを比較して前記第２のエラー図形と前記第１のエラー図形との等価性を検証するエラー図形等価性判断部と、を有し、
   前記エラー図形等価性判断部は、前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とにおいて異なる座標を有する頂点をそれぞれ第１の対象頂点座標及び第２の対象頂点座標とし、前記第２の対象頂点座標が前記第１の対象頂点座標に隣接したグリッド交点に設定される複数の周辺頂点座標のいずれとも不一致であれば前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であると判断するレイアウト検証装置。
2. 前記エラー図形等価性判断部は、非等価と判断された前記第１のエラー図形を検証結果として出力する請求項１に記載のレイアウト検証装置。
3. 前記エラー図形等価性判断部は、前記複数の周辺頂点座標のうち前記第１の対象頂点座標と同一の辺に存在する周辺頂点座標と、前記第２の対象頂点座標と、の座標を比較する請求項１又は２に記載のレイアウト検証装置。
4. 前記エラー図形等価性判断部は、前記複数の周辺頂点座標のうち前記第１の座標頂点座標及び前記第２の対象頂点座標が存在する辺に位置する類似頂点座標と、前記第２の対象頂点座標とを比較する請求項１又は２に記載のレイアウト検証装置。
5. 前記エラー図形等価性判断部は、前記第１のエラー図形において前記周辺頂点座標にずらすことで前記第２のエラー図形の頂点座標に一致する前記第１の対象頂点座標の数が、予め設定された許容数を超えた場合には前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であると判断する請求項１又は２に記載のレイアウト検証装置。
6. 前記エラー図形等価性判断部は、前記第１のエラー図形の頂点数と前記第２のエラー図形の頂点数が不一致である場合、前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であると判断する請求項１乃至５のいずれか１項に記載のレイアウト検証装置。
7. 前記レイアウト検証部は、前記グリッド交点の間隔によらず前記整合性の検証を行い、前記検証結果に基づき前記グリッド交点に頂点座標を有する前記第１のエラー図形を出力する請求項１乃至６のいずれか１項に記載のレイアウト検証装置。
8. 演算回路において実行され、頂点がグリッド交点に沿って配置される第１のレイアウトパターンとデザインルールとの整合性の検証により得られる第１のエラー図形と、すでにレイアウト検証がなされた第２のレイアウトパターンから得られた第２のエラー図形と、の等価性を検証するレイアウト検証プログラムであって、
   記憶装置から前記第１のエラー図形を読み出し、
   前記第１のエラー図形を含む処理対象領域を設定し、
   前記第２のエラー図形を前記記憶装置から読み出し、
   前記第２のエラー図形のうち前記処理対象領域に対応する領域に位置する第２のエラー図形を検索し、
   前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とにおいて異なる座標を有する頂点をそれぞれ第１の対象頂点座標及び第２の対象頂点座標とし、前記第２の対象頂点座標が前記第１の対象頂点座標に隣接したグリッド交点に設定される複数の周辺頂点座標のいずれとも不一致であれば前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であるとして図形の等価性判断を行うレイアウト検証プログラム。
9. 前記レイアウト検証プログラムは、非等価と判断された前記第１のエラー図形を検証結果として前記記憶装置に出力する請求項８に記載のレイアウト検証プログラム。
10. 前記図形の等価性判断では、前記複数の周辺頂点座標のうち前記第１の対象頂点座標と同一の辺に存在する周辺頂点座標と、前記第２の対象頂点座標と、の座標を比較する請求項８又は９に記載のレイアウト検証プログラム。
11. 前記図形の等価性判断では、前記複数の周辺頂点座標のうち前記第１の座標頂点座標及び前記第２の対象頂点座標が存在する辺に位置する類似頂点座標と、前記第２の対象頂点座標とを比較する請求項８又は９に記載のレイアウト検証プログラム。
12. 前記図形の等価性判断では、前記第１のエラー図形において前記周辺頂点座標にずらすことで前記第２のエラー図形の頂点座標に一致する前記第１の対象頂点座標の数が、予め設定された許容数を超えた場合には前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であると判断する請求項８又は９に記載のレイアウト検証プログラム。
13. 前記第１、第２のエラー図形は、前記グリッド交点に前記頂点座標を有する請求項８乃至１２のいずれか１項に記載のレイアウト検証プログラム。
14. 頂点がグリッド交点に沿って配置される第１のレイアウトパターンとデザインルールとの整合性の検証により得られる第１のエラー図形と、すでにレイアウト検証がなされた第２のレイアウトパターンから得られた第２のエラー図形と、の等価性を検証するレイアウト検証方法であって、
    前記第１のエラー図形を含む処理対象領域を設定し、
    前記第２のエラー図形のうち前記処理対象領域に対応する領域に位置する第２のエラー図形を検索し、
    前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とにおいて異なる座標を有する頂点をそれぞれ第１の対象頂点座標及び第２の対象頂点座標とし、前記第２の対象頂点座標が前記第１の対象頂点座標に隣接したグリッド交点に設定される複数の周辺頂点座標のいずれとも不一致であれば前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であるとして図形の等価性判断を行うレイアウト検証方法。
15. 前記レイアウト検証方法は、非等価と判断された前記第１のエラー図形を検証結果とする請求項１４に記載のレイアウト検証方法。
16. 前記図形の等価性判断では、前記複数の周辺頂点座標のうち前記第１の対象頂点座標と同一の辺に存在する周辺頂点座標と、前記第２の対象頂点座標と、の座標を比較する請求項１４又は１５に記載のレイアウト検証方法。
17. 前記図形の等価性判断では、前記複数の周辺頂点座標のうち前記第１の座標頂点座標及び前記第２の対象頂点座標が存在する辺に位置する類似頂点座標と、前記第２の対象頂点座標とを比較する請求項１４又は１５に記載のレイアウト検証方法。
18. 前記図形の等価性判断では、前記第１のエラー図形において前記周辺頂点座標にずらすことで前記第２のエラー図形の頂点座標に一致する前記第１の対象頂点座標の数が、予め設定された許容数を超えた場合には前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であると判断する請求項１４又は１５に記載のレイアウト検証方法。
19. 前記図形の等価性判断では、前記第１のエラー図形の頂点数と前記第２のエラー図形の頂点数が不一致である場合、前記第１のエラー図形と前記第２のエラー図形とが非等価であると判断する請求項１４乃至１８のいずれか１項に記載のレイアウト検証方法。
20. 前記第１、第２のエラー図形は、前記グリッド交点に前記頂点座標を有する請求項１４乃至１９のいずれか１項に記載のレイアウト検証方法。

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