JP2010153583A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体装置の製造方法は、基板101にSTI溝を形成する工程と、STI溝の側壁及び底面に熱酸化膜104を形成する工程と、STI溝の底部に位置する熱酸化膜104の表面をプラズマ処理する工程と、STI溝の内部にCVD法により絶縁膜105を形成する工程と、を含む。
【選択図】図3
Description
前記STI溝の側壁及び底面に熱酸化膜を形成する工程と、
前記STI溝の底部に位置する前記熱酸化膜をプラズマ処理する工程と、
前記STI溝の内部に化学気相成長(CVD)法により絶縁膜を形成する工程と、
を含み、
プラズマ処理する前記工程において、プラズマで生成した活性種の到達密度が、前記側壁に比べて前記底部の方が多い半導体装置の製造方法
が提供される。
102 酸化膜
103 シリコン窒化膜
104 熱酸化膜
105 絶縁膜
110 STI溝
Claims (8)
- 基板にシャロートレンチアイソレーション(STI)溝を形成する工程と、
前記STI溝の側壁及び底面に熱酸化膜を形成する工程と、
前記STI溝の底部に位置する前記熱酸化膜をプラズマ処理する工程と、
前記STI溝の内部に化学気相成長(CVD)法により絶縁膜を形成する工程と、
を含み、
プラズマ処理する前記工程において、プラズマで生成した活性種の到達密度が、前記側壁に比べて前記底部の方が多い半導体装置の製造方法。 - 前記プラズマ処理において、前記基板の面積あたり0.1〜10W/cm2の電力を印加してプラズマを励起する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記プラズマ処理において、前記基板にバイアス電力を印加する請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板の面積あたり0.1〜1.0W/cm2で前記バイアス電力を印加する請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記プラズマ処理において、処理ガスとして、酸素、アルゴン、ヘリウム及び窒素からなる群から選ばれるガスを用いる請求項1乃至4いずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記プラズマ処理を40〜134Paの圧力で行う請求項1乃至5いずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記絶縁膜は、テトラエトキシシランを用いた前記CVD法により形成される請求項1乃至6いずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記STI溝の開口幅が100nm以下である請求項1乃至7いずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000100926A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2002289680A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Kawasaki Microelectronics Kk | 半導体装置の素子分離構造の形成方法 |
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JP2001144170A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US6368941B1 (en) * | 2000-11-08 | 2002-04-09 | United Microelectronics Corp. | Fabrication of a shallow trench isolation by plasma oxidation |
US7148155B1 (en) * | 2004-10-26 | 2006-12-12 | Novellus Systems, Inc. | Sequential deposition/anneal film densification method |
US20070020877A1 (en) * | 2005-07-21 | 2007-01-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Shallow trench isolation structure and method of fabricating the same |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000100926A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2002289680A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Kawasaki Microelectronics Kk | 半導体装置の素子分離構造の形成方法 |
JP2004207280A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-22 | Fujitsu Ltd | 素子分離構造形成方法および半導体装置の製造方法 |
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