JP2010146956A - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このEUV光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、ターゲット物質を噴射してターゲット物質のドロップレットを生成する噴射ノズルを含むターゲット供給手段と、ドロップレットを帯電させる帯電手段と、帯電したドロップレットにレーザ光を照射することによってプラズマを生成するレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して射出するコレクタミラーと、プラズマの生成に寄与しなかったターゲット物質及びプラズマの生成時に発生したデブリを回収するターゲット物質回収装置と、ドロップレットにレーザ光が照射される位置の上流側及び下流側において電界を発生することにより、帯電したドロップレット及びイオンデブリを加速させる加速手段とを具備する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る極端紫外(EUV)光源装置を示す模式図である。このEUV光源装置は、LPP(レーザ励起プラズマ)方式を採用しており、露光装置の光源として用いられる。
図3は、本発明の第2の実施形態に係るEUV光源装置における帯電装置及び加速装置とその周辺部を示す模式図である。第2の実施形態においては、導電材料で作製されたターゲット回収装置16が、下流側電極を兼ねている。電源及び制御部26は、上流側電極24とターゲット回収装置16との間に一定の直流電圧を印加する。その結果、帯電したドロップレットを加速する加速区間の終点が、ターゲット回収装置16となっている。一例として、帯電ドロップレット1aの帯電極性を正として、上流側電極24に正電位が印加され、ターゲット回収装置16が接地電位とされる。その他の点については、第1の実施形態と同様である。
図4は、本発明の第3の実施形態に係るEUV光源装置における帯電装置及び加速装置とその周辺部を示す模式図である。第3の実施形態においては、導電材料で作製された噴射ノズル12が、上流側電極を兼ねている。電源及び制御部26は、噴射ノズル12と下流側電極25との間に一定の直流電圧を印加する。その結果、帯電したドロップレットを加速する加速区間の始点が、噴射ノズル12となっている。その他の点については、第1の実施形態と同様である。第3の実施形態によれば、噴射ノズル12が上流側電極を兼ねるので、構造が簡略化される。あるいは、帯電電極21が上流側電極を兼ねるようにしても良い。その場合には、電源及び制御部26は、帯電電極21と下流側電極25との間に一定の直流電圧を印加する。
図5は、本発明の第4の実施形態に係るEUV光源装置における帯電装置及び加速装置とその周辺部を示す模式図である。第4の実施形態においては、導電材料で作製された噴射ノズル12が上流側電極を兼ねており、導電材料で作製されたターゲット回収装置16が下流側電極を兼ねている。電源及び制御部26は、噴射ノズル12とターゲット回収装置16との間に一定の直流電圧を印加する。その結果、帯電したドロップレットを加速する加速区間の始点が噴射ノズル12となり、加速区間の終点がターゲット回収装置16となっている。その他の点については、第1の実施形態と同様である。第4の実施形態によれば、第2又は第3の実施形態よりも、さらに構造が簡略化される。あるいは、帯電電極21が上流側電極を兼ねるようにしても良い。その場合には、電源及び制御部26は、帯電電極21とターゲット回収装置16との間に一定の直流電圧を印加する。
図6は、本発明の第1〜第4の実施形態に係るEUV光源装置における帯電装置の第1の変形例を示す図である。この例においては、噴射ノズル12の下方に円筒形の帯電電極21が配置され、ターゲットタンク11と帯電電極21との間に一定の直流電圧を印加する電源及び制御部22が設けられている。ターゲットタンク11は、噴射ノズル12に電気的に接続されている。これにより、噴射ノズル12と帯電電極21との間に電界が発生し、ドロップレット1に正の電荷が帯電される。
Claims (7)
- ターゲット物質にレーザ光を照射することによりターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
ターゲット物質を噴射してターゲット物質のドロップレットを生成する噴射ノズルを含み、ターゲット物質を前記チャンバ内に供給するターゲット供給手段と、
前記噴射ノズルによって生成されるドロップレットを帯電させる帯電手段と、
帯電したドロップレットにレーザ光を照射することによってプラズマを生成するレーザと、
プラズマから放射される極端紫外光を集光して射出するコレクタミラーと、
プラズマの生成に寄与しなかったターゲット物質及びプラズマの生成時に発生したデブリを回収するターゲット物質回収装置と、
ドロップレットにレーザ光が照射される位置の上流側及び下流側において電界を発生することにより、帯電したドロップレット及びイオンデブリを加速させる加速手段と、
を具備する極端紫外光源装置。 - 前記帯電手段が、前記噴射ノズルによって生成されるドロップレットを帯電させる帯電電極を含む、請求項1記載の極端紫外光源装置。
- 前記帯電手段が、前記噴射ノズルの絶縁部分に直接取り付けられている帯電電極を含む、請求項2記載の極端紫外光源装置。
- 前記加速手段が、
ドロップレットにレーザ光が照射される位置の上流側に設けられた上流側電極と、
ドロップレットにレーザ光が照射される位置の下流側に設けられた下流側電極と、
前記上流側電極と前記下流側電極との間に電圧を印加する電源と、
を含む、請求項1〜3のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。 - 前記加速手段が、
ドロップレットにレーザ光が照射される位置の上流側に設けられた上流側電極と、
前記上流側電極と前記ターゲット物質回収装置との間に電圧を印加する電源と、
を含む、請求項1〜3のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。 - 前記加速手段が、
ドロップレットにレーザ光が照射される位置の下流側に設けられた下流側電極と、
前記噴射ノズル又は前記帯電電極と前記下流側電極との間に電圧を印加する電源と、
を含む、請求項2又は3記載の極端紫外光源装置。 - 前記加速手段が、前記噴射ノズル又は前記帯電電極と前記ターゲット物質回収装置との間に電圧を印加する電源を含む、請求項2又は3記載の極端紫外光源装置。
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