JP2010141248A - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】排気配管内等で原料ガス同士が反応して、その生成物が排気配管の内壁等に付着するのを確実に、装置コストやメンテナンスの負荷を増大させることなく防止する。
【解決手段】反応容器101内に配置された基板Wに対して第1の原料ガスと第2の原料ガスとを交互に供給して基板W表面に第1の原料ガスと第2の原料ガスとの反応生成物の膜を形成する成膜装置であって、ガス供給口102、103及びガス排出口108、109を有し、内部に基板Wが配置される反応容器101と、ガス供給口102、103に接続され、反応容器101内に第1及び第2の原料ガスを供給するガス供給系と、ガス排出口108、109に接続され、反応容器101内から第1及び第2の原料ガスを排出するガス排出系と、ガス排出口109近傍に設けられた、第1の原料ガス及び第2の原料ガスの少なくとも一方を分解するガス分解部114とを具備する。
【選択図】図1
【解決手段】反応容器101内に配置された基板Wに対して第1の原料ガスと第2の原料ガスとを交互に供給して基板W表面に第1の原料ガスと第2の原料ガスとの反応生成物の膜を形成する成膜装置であって、ガス供給口102、103及びガス排出口108、109を有し、内部に基板Wが配置される反応容器101と、ガス供給口102、103に接続され、反応容器101内に第1及び第2の原料ガスを供給するガス供給系と、ガス排出口108、109に接続され、反応容器101内から第1及び第2の原料ガスを排出するガス排出系と、ガス排出口109近傍に設けられた、第1の原料ガス及び第2の原料ガスの少なくとも一方を分解するガス分解部114とを具備する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ウェハなどの基板上に複数種類の原料ガスを順に繰り返し供給して成膜する装置及び方法に関する。
半導体素子の微細化が進む中、複数種類の原料ガスを基板表面に順に繰り返し供給しながら成膜する原子層成長(ALD:Atomic Layer Deposition)法と称する成膜技術が注目されている。
このALD法において、例えば2種類の原料ガスを用いる場合、一般に、第1の原料ガスを基板に供給して吸着させた後、不活性ガスを流して吸着しなかった余分な原料ガスを排気(パージ)する。次に、第2の原料ガスを基板に供給して基板上に吸着している第1の原料ガスと反応させる。再び不活性ガスを流して未反応の第2の原料ガスと反応により生じた副生物とを排気する。これらの一連のサイクルを複数回繰り返して所要の膜厚の薄膜を基板上に成膜する。1サイクルごとに単分子の薄膜が形成され、ピンホールのない高品質で、かつ段差被覆性の高い膜を成膜することができる。
しかし、上述したように、この成膜法では、1回の原料ガスの供給工程で、基板に吸着されずに、あるいは反応に寄与せずに排気される原料ガスの量は少なくない。しかも、排気される原料ガスの反応活性は高い。そして、従来、反応容器から排出される未反応の原料ガスは、共通の排気配管から排気されている。このため、排気配管内や反応容器の排気口近傍で原料ガス同士が反応し、その生成物が排気配管の内壁や、排気配管に介挿されたバルブや圧力制御弁等、さらには、排気配管の下流に接続された真空ポンプ、除害装置等の内部に付着するおそれがあった。反応生成物が配管や機器に付着すると、詰まりや機器性能の劣化を引き起こす。その結果、機器の交換や洗浄といったメンテナンスを頻繁に行う必要が生じ、メンテナンスに要する費用や時間が増大する。また、反応生成物が反応容器内に付着すると、基板上のパーティクルが誘発される結果、製造歩留まりが低下するおそれもある。
この問題に対処して、例えば、排気配管を分岐して各原料ガスを個別の経路で排気したり、あるいは、処理容器に各原料ガスをそれぞれ個別に排気する配管を取り付けるなどの方法が提案されている(例えば、特許文献1、2参照。)。しかし、前者の方法では、分岐前の排気配管内での原料ガス同士の反応は避けられず、反応生成物の付着防止対策としては不十分である。また、いずれの方法も、原料ガスごとに真空ポンプ、除害装置、圧力制御弁等を必要するため、装置コストが高くなり、メンテナンスに要する時間も長くなる。
特開2004−124193号公報
特開2006−32610号公報
本発明の目的は、複数種類の原料ガスを基板に対し1種類ずつ順に繰り返し供給しながら成膜する装置及び方法において、排気配管内等で原料ガス同士が反応して、その生成物が排気配管の内壁等に付着するのを確実に防止することができ、しかも、そのために装置コストやメンテナンスの負荷が増大することがない装置及び方法を提供することにある。
本発明の一態様によれば、反応容器内に配置された基板に対して第1の原料ガスと第2の原料ガスとを交互に供給して前記基板表面に前記第1の原料ガスと第2の原料ガスとの反応生成物の膜を形成する成膜装置であって、ガス供給口及びガス排出口を有し、内部に前記基板が配置される反応容器と、前記ガス供給口に接続され、前記反応容器内に前記第1及び第2の原料ガスを供給するガス供給系と、前記ガス排出口に接続され、前記反応容器内から前記第1及び第2の原料ガスを排出するガス排出系と、前記ガス排出口近傍に設けられた、第1の原料ガス及び第2の原料ガスの少なくとも一方を分解するガス分解部とを具備することを特徴とする成膜装置が提供される。
本発明の他の態様によれば、ガス供給口及びガス排出口を有する反応容器内に配置された基板に対して第1の原料ガスと第2の原料ガスとを交互に供給して前記基板表面に前記第1の原料ガスと第2の原料ガスとの反応生成物の膜を形成する成膜方法であって、前記ガス供給口から前記第1の原料ガスを供給して前記基板に対し第1の処理を行なうとともに、未反応の第1の原料ガスを前記ガス排出口から排出させる工程と、前記ガス供給口から前記第2の原料ガスを供給して前記基板に対し第2の処理を行なうとともに、未反応の第2の原料ガスを前記ガス排出口から排出させる工程とを順に行なう方法において、前記ガス排出口近傍で、前記未反応の第1の原料ガス及び第2の原料ガスの少なくとも一方を分解させて排出させることを特徴とする成膜方法が提供される。
本発明の一態様による成膜装置及び他の態様による成膜方法によれば、装置コストやメンテナンスの負荷を増大させることなく、排気配管等で原料ガス同士が反応して、その生成物が排気配管の内壁等に付着するのを確実に防止することができる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、説明は図面に基づいて行うが、それらの図面は単に図解のために提供されるものであって、本発明はそれらの図面により何ら限定されるものではない。
(第1の実施形態)
図1は第1の実施形態に係る成膜装置の概略構成図である。この成膜装置は、トリメチルアルミニウム(Al(CH3)3))とオゾン(O3)の2種類の原料ガスを半導体ウエハ等の基板W上で反応させてアルミナ膜(Al2O3膜)を生成する成膜装置である。
図1は第1の実施形態に係る成膜装置の概略構成図である。この成膜装置は、トリメチルアルミニウム(Al(CH3)3))とオゾン(O3)の2種類の原料ガスを半導体ウエハ等の基板W上で反応させてアルミナ膜(Al2O3膜)を生成する成膜装置である。
図1において、101は、気密に構成された反応容器を示しており、この反応容器101の内部には多数枚の処理すべき基板Wを平行に間隔をおいて保持できるようになっている。また、反応容器101の外周には、内部に保持した基板Wを所定の温度に加熱するための加熱手段として、例えば加熱ヒータHが設けられている。
反応容器101の下部には、第1、第2及び第3のガス供給口102、103、104が開口しており、これらの第1、第2及び第3のガス供給口102、103、104には、それぞれバルブV1、V2、V3を介して、第1、第2及び第3の供給配管105、106、107が接続されている。第1のガス供給口102は、成膜用の第1の原料ガスであるトリメチルアルミニウム(TMA:Al(CH3)3)を供給するための開口であり、第2のガス供給口103は、成膜用の第2の原料ガスであるオゾン(O3)を供給するための開口であり、第3のガス供給口104は、パージガスである窒素やアルゴン等の不活性ガスを供給するための開口である。図示は省略したが、上記第1、第2及び第3のガス供給口102、103、104にそれぞれ接続されている第1、第2及び第3の供給配管105、106、107の各他端には、トリメチルアルミニウム、オゾン及びパージガスの各供給源が接続されている。また、図示は省略したが、第1、第2及び第3の供給配管105、106、107の途中には、流量調整装置、例えば流量調整弁が設けられており、トリメチルアルミニウム、オゾン及びパージガスをそれぞれ所定の流量で反応容器101内に供給できるように構成されている。
一方、反応容器101の上部には、第1及び第2のガス排出口108、109が開口しており、これらの第1及び第2のガス排出口108、109には、それぞれバルブV4、V5を介して、第1及び第2の排気配管(第1及び第2の排気路)110、111が接続されている。第1のガス排出口108は、トリメチルアルミニウム及びパージガスを排気するための開口であり、第2のガス排出口109は、オゾン及びパージガスを排気するための開口である。バルブV4、V5は、第1及び第2のガス排出口108、109からそれぞれ50cm程度以内の位置に設けることが好ましい。
第1の排気配管110の他端は除害装置112に接続され、その途中には排気手段として真空ポンプ113が設けられている。除害装置112は有害なガス(ここでは、トリメチルアルミニウム及びオゾン)を外部に排出させないための装置であり、この種の成膜装置に従来より一般に使用されている燃焼式除害装置、乾式除害装置等を使用することができる。
第2の排気配管111の他端は、第1の排気配管110の途中、後述する圧力計116の上流側にバルブV6を介して接続されている。そして、第2の排気配管111には、第2のガス排出口109から排気されたオゾンを酸素に分解してその反応性を失活させるガス分解部114が設けられている。すなわち、第1のガス排出口108から排出されたガス(トリメチルアルミニウム及びパージガス)は、第1の排気配管110を通じて真空ポンプ113により吸引され、除害装置112を経て外部に排気されるようになっている。また、第2のガス排出口109から排出されたガス(オゾン及びパージガス)は、第2の排気配管111と、第2の排気配管111の接続部より下流の第1の排気配管110を通じて真空ポンプ113により吸引され、除害装置112を経て外部に排気されるようになっている。なお、オゾンは、ガス分解装置114で分解され、その分解物が排気される。
さらに、第1の排気配管110の、第2の排気配管111との接続部と真空ポンプ113との間には、圧力調整装置、例えば圧力調整弁115が設けられており、反応容器101内にトリメチルアルミニウム及びオゾンを供給する際に、反応容器101内の圧力がそれぞれのガスに応じた所定の圧力になるように調整できるように構成されている。
また、図1中、116は、第1の排気配管110の、第2の排気配管111との接続部と圧力調整弁115との間に設けられた圧力計である。圧力計116は、図2に示すように、第1の排気配管110の、第2の排気配管111との接続部より上流側と、第2の排気配管111の、ガス分解装置114より上流側に、それぞれ設けるようにしてもよい。圧力計をこのような位置に設けることにより、反応容器101内の圧力をより正確に知ることができ、圧力調整弁115による圧力調整をより精度良く行うことができる。
なお、第2の排気配管111に設けられるガス分解部114は、例えば、ガス流をハニカム状の多孔質担体に担持させた二酸化マンガン、酸化ニッケル、酸化鉄等のオゾン分解触媒と接触させることによってオゾンを分解するオゾン分解装置により構成することができる。また、アルゴン等を用いて第2の排気配管111内にプラズマ雰囲気を形成したり、あるいは、第2の排気配管111の外周に加熱ヒータを設け、この加熱ヒータにより第2の排気配管111内にオゾンの分解温度以上、例えば400〜600℃程度の高温領域を形成するようにしてもよい。触媒を用いたオゾンの分解反応は室温でも起こるが、反応をより促進させるため、オゾン分解装置を使用する場合には、50〜150℃程度に加熱することが好ましい。
次に、上記構成の成膜装置を用いた成膜方法の一例を記載する。
(1)まず、基板Wを反応容器101に搬入するとともに加熱ヒータHに通電し、基板Wを、例えば200〜350℃程度に加熱する。バルブV1〜V6はすべて閉じておく。
(2)次に、バルブV4を開いて反応容器101内を減圧排気する一方、バルブV3を開いて第3の供給配管107から第3のガス供給口104を介して反応容器101内にパージガスを供給し、反応容器101内をパージする。
(3)次に、バルブV3を閉じ、バルブV1を開いて第1の供給配管105から第1のガス供給口102を介して反応容器101内にトリメチルアルミニウムを所定の流量、例えば200sccmで供給するとともに、圧力調整弁115により反応容器101内を所定の真空度、例えば50Paに維持する。
反応容器101内にトリメチルアルミニウムが供給されると、基板Wの表面にトリメチルアルミニウムの分子が吸着して分子層が形成される。基板Wに吸着しなかったトリメチルアルミニウムは、第1のガス排出口108から第1の排気配管110を通じて真空ポンプ113により吸引され、除害装置112を介して外部に排出される。
(4)次に、バルブV1を閉じ、バルブV3を開いて第3の供給配管107から第3のガス供給口104を介して反応容器101内にパージガスを供給し、反応容器101及び第1の排気配管110内をパージする。
(5)次に、バルブV3及びバルブV4を閉じ、バルブV2、バルブV5及びバルブ6を開いて第2の供給配管106から第2のガス供給口103を介して反応容器101内にオゾンを所定の濃度、例えば300gN/m3で供給するとともに、圧力調整弁115により反応容器101内を所定の真空度、例えば150Paに維持する。
反応容器101内にオゾンが供給されると、基板Wの表面に吸着しているトリメチルアルミニウムとオゾンが反応して、基板Wの表面にアルミナの分子層が形成される。トリメチルアルミニウムと反応しなかったオゾンは、第2のガス排出口109から第2の排気配管111に排出され、ガス分解部114で酸素に分解される。この酸素は、第1の排気配管110を通じて真空ポンプ113により吸引され、除害装置112を介して外部に排出される。
(6)次に、バルブV2を閉じ、バルブV3を再び開いて第3の供給配管107から第3のガス供給口104を介して反応容器101内にパージガスを供給し、反応容器101及び第2の排気配管111内をパージする。
(7)上記(3)〜(6)の工程を、基板Wの表面に所望の厚さのアルミナ膜が形成されるまで複数回、例えば50回繰り返す。その後、反応容器101から基板Wを取り出し、成膜処理が終了する。
本実施形態によれば、2種類の原料ガス、トリメチルアルミニウムとオゾンは、それぞれ個別のガス排出口から排気される。そして、一方の原料ガスのオゾンはガス分解部で分解された後、排気配管を通じて排気される。このため、排気配管内でトリメチルアルミニウムとオゾンが接触して反応することはなく、それらの反応生成物の排気配管内、あるいは真空ポンプ、除害装置、圧力制御弁、圧力計等への付着が防止され、排気配管の詰まりや機器性能の劣化を防止することができる。
しかも、そのような反応生成物の付着防止のために増設が必要な機器は、オゾンを分解するガス分解部の形成に必要なだけの長さの配管、ガス分解部を形成するための装置、バルブ等の流路切り替え手段等だけであり、真空ポンプ、除害装置、圧力制御弁等の高価な機器は共用可能である。したがって、装置やそのメンテナンスに要する費用、時間が大きく増大することはない。
なお、上記成膜工程において、トリメチルアルミニウム、オゾン及びパージガスの各供給源からの第1、第2及び第3の供給配管105、106、107への供給は、断続的であっても連続的であってもよい。連続的に供給される場合は、第1、第2及び第3の供給配管105、106、107を途中で分岐させ、各分岐管と第1、第2及び第3の供給配管105、106、107との間で流路を適宜切り替えるようにすればよい。各分岐管から排出されたガスを共通の排気配管を介して外部に排出する場合には、反応容器101からの排気系と同様の排気配管の詰まり等の問題が生ずるおそれがあるため、オゾンを排出させる分岐管に、ガス分解部114と同様のガス分解部を設けることが好ましい。
(第2の実施の形態)
図3は第2の実施の形態に係る成膜装置の概略構成図である。なお、この成膜装置も、第1の実施形態の成膜装置と同様、トリメチルアルミニウムとオゾンの2種類の原料ガスを半導体ウエハ等の基板W上で反応させてアルミナ膜を生成する成膜装置であり、第1の実施の形態と共通する点については一部説明を省略する。
図3は第2の実施の形態に係る成膜装置の概略構成図である。なお、この成膜装置も、第1の実施形態の成膜装置と同様、トリメチルアルミニウムとオゾンの2種類の原料ガスを半導体ウエハ等の基板W上で反応させてアルミナ膜を生成する成膜装置であり、第1の実施の形態と共通する点については一部説明を省略する。
図3において、201は、気密に構成された反応容器を示しており、この反応容器201の内部には多数枚の処理すべき基板Wを平行に間隔をおいて保持できるようになっている。
反応容器201の下部には、第1、第2及び第3のガス供給口202、203、204が開口しており、これらの第1、第2及び第3のガス供給口202、203、204には、それぞれバルブV7、V8、V9を介して、第1、第2及び第3の供給配管205、206、207が接続されている。第1のガス供給口202は、成膜用の第1の原料ガスであるトリメチルアルミニウムを供給するための開口であり、第2のガス供給口203は、成膜用の第2の原料ガスであるオゾンを供給するための開口であり、第3のガス供給口204は、パージガスである窒素やアルゴン等の不活性ガスを供給するための開口である。図示は省略したが、第1、第2及び第3のガス供給口202、203、204にそれぞれ接続されている第1、第2及び第3の供給配管205、206、207の各他端には、トリメチルアルミニウム、オゾン及び不活性ガスの各供給源が接続されている。また、図示は省略したが、第1、第2及び第3の供給配管205、206、207の途中には、流量調整装置、例えば流量調整弁が設けられており、トリメチルアルミニウム、オゾン及びパージガスをそれぞれ所定の流量で反応容器201内に供給できるように構成されている。
一方、反応容器201の上部には、ガス排出口208が開口しており、このガス排出口208には、排気配管(排気路)210が接続されている。排気配管210の他端は除害装置212に接続され、その途中には排気手段として真空ポンプ213が設けられ、さらに、その上流側には圧力調整装置、例えば圧力調整弁215が設けられている。この圧力調整弁215によって、反応容器201内にトリメチルアルミニウム及びオゾンを供給する際に、反応容器201内の圧力がそれぞれのガスに応じた所定の圧力になるように調整される。図3において、216は、排気配管210の圧力調整弁215より上流側に設けられた圧力計である。除害装置212には、第1の実施の形態における除害装置112と同様のものを使用することができる。
そして、この成膜装置においては、反応容器201の外周に、独立した2つの加熱ヒータH1、H2が設けられている。下方に位置する加熱ヒータH1は、反応容器201の内部に保持した基板Wを所定の温度に加熱するためのものである。また、上方に位置する加熱ヒータH2は、ガス排出口208近傍に、トリメチルアルミニウム及びオゾンの少なくとも一方の分解温度以上、例えば400〜500℃以上となる領域(高温領域)、すなわち、トリメチルアルミニウム及びオゾンの少なくとも一方の原料ガスを分解するガス分解部214を形成するためのものである。
次に、上記構成の成膜装置を用いた成膜方法の一例を記載する。
(1)まず、基板Wを反応容器201に搬入するとともに加熱ヒータH1、H2に通電し、例えば200〜350℃程度に加熱するとともに、反応容器201内のガス排出口208近傍に、例えば400〜500℃程度の温度領域からなるガス分解部214を形成する。バルブV7〜V9及び圧力調整弁215はすべて閉じておく。
(2)次に、圧力調整弁215を開いて反応容器201内を減圧排気する一方、バルブV9を開いて第3の供給配管207から第3のガス供給口204を介して反応容器201内にパージガスを供給し、反応容器201内をパージする。
(3)次に、バルブV9を閉じ、バルブV7を開いて第1の供給配管205から第1のガス供給口202を介して反応容器201内にトリメチルアルミニウムを所定の流量、例えば200sccmで供給するとともに、圧力調整弁215により反応容器201内を所定の真空度、例えば50Paに維持する。
反応容器201内にトリメチルアルミニウムは供給されると、基板Wの表面にトリメチルアルミニウムの分子が吸着して分子層が形成される。基板Wに吸着しなかったトリメチルアルミニウムは、ガス分解部214で熱分解され、ガス排出口208から排気配管210を通じて真空ポンプ213により吸引され、除害装置212を介して外部に排出される。
(4)次に、バルブV7を閉じ、バルブV9を開いて第3の供給配管207から第3のガス供給口204を介して反応容器201内にパージガスを供給し、反応容器201及び排気配管210内をパージする。
(5)次に、バルブV9を閉じ、バルブV8を開いて第2の供給配管206から第2のガス供給口203を介して反応容器201内にオゾンを所定の濃度、例えば300gN/m3で供給するとともに、圧力調整弁215により反応容器201内を所定の真空度、例えば150Paに維持する。
反応容器201内にオゾンが供給されると、基板Wの表面に吸着しているトリメチルアルミニウムとオゾンが反応して、基板Wの表面にアルミナの分子層が形成される。トリメチルアルミニウムと反応しなかったオゾンは、ガス排出口208から排気配管210に排出され、真空ポンプ213により吸引され、除害装置212を介して外部に排気される。なお、ガス分解部214の温度を500℃程度以上とした場合には、トリメチルアルミニウムのみならずオゾンも分解される。したがって、この場合にはオゾンの分解ガスが排気配管210に排出され、真空ポンプ213により吸引され、除害装置212を介して外部に排気される。
(6)次に、バルブV8を閉じ、バルブV9を再び開いて第3の供給配管207から第2のガス供給口204を介して反応容器201内にパージガスを供給し、反応容器201及び排気配管210内をパージする。
(7)上記(3)〜(6)の工程を、基板Wの表面に所望の厚さのアルミナ膜が形成されるまで複数回、例えば50回繰り返す。その後、反応容器201から基板Wを取り出し、成膜処理が終了する。
本実施形態によれば、2種類の原料ガス、トリメチルアルミニウムとオゾンの少なくとも一方は、反応容器内のガス分解部で熱分解され、その熱分解ガスが排気配管を通り、除害装置を介して外部に排気される。このため、排気配管内で、トリメチルアルミニウムとオゾンが接触して反応することはなく、それらの反応生成物の排気配管内、あるいは真空ポンプ、除害装置、圧力制御弁、圧力計等への付着が防止され、排気配管の詰まりや機器性能の劣化を防止することができる。
しかも、そのような反応生成物の付着防止のために増設が必要な機器は、ガス分解部を形成するための装置だけであり、排気配管、真空ポンプ、除害装置、圧力制御弁、バルブ等は特に増設の必要がない。したがって、装置やそのメンテナンスに要する費用、時間の増大を防止することできる。
さらに、ガス分解部214に反応生成物が付着しても、定期的にドライクリーニングを行ってやればよい。装置のメンテナンス時間の短縮が実現できる。
なお、本実施形態においても、トリメチルアルミニウム、オゾン及びパージガスの各供給源からの第1、第2及び第3の供給配管205、206、207への供給は、断続的であっても連続的であってもよい。連続的に供給される場合は、第1、第2及び第3の供給配管205、206、207を途中で分岐させ、各分岐管と第1、第2及び第3の供給配管205、206、207との間で流路を適宜切り替えるようにすればよい。各分岐管から排出されたガスを共通の排気配管を介して外部に排出する場合には、反応容器201からの排気系と同様の排気配管の詰まり等の問題が生ずるおそれがあるため、オゾンを排出させる分岐管に、第1の実施形態におけるガス分解部114と同様のガス分解部を設けることが好ましい。
(その他の実施形態)
上記第1及び第2の実施の形態では、第1及び第2の原料ガスとしてそれぞれトリメチルアルミニウムおよびオゾンを用いてアルミナ膜を成膜しているが、このような例に限定されるものではない。他の例としては、例えば、トリメチルアルミニウムと水(H2O)によるアルミナ膜の成膜、トリクロロアルミニウム(AlCl3)と水によるアルミナ膜の成膜、トリメチルアルミニウムと過酸化水素(H2O2)によるアルミナ膜の成膜;テトラクロロチタン(TiCl4)とアンモニア(NH3)による窒化チタン膜(TiN膜)の成膜、テトラフルオロチタン(TiF4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜、テトラブロムチタン(TiBr4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜、テトラヨードチタン(TiI4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜、テトラジメチルアミノチタン(Ti[N(CH3)2]4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜、テトラジエチルアミノチタン(Ti[N(C2H5)2]4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜;ペンタエトキシタンタル(Ta(OC2H5)5)とオゾン水による酸化タンタル膜(Ta2O5膜)の成膜、ペンタエトキシタンタルと水による酸化タンタル膜の成膜;ペンタフルオロタンタル(TaF5)とアンモニアによる窒化タンタル膜(TaN膜)の成膜、ペンタブロムタンタル(TaBr5)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜、ペンタヨードタンタル(TaI5)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜、ペンタクロロタンタル(TaCl5)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜、テトラジメチルアミノタンタル(Ta[N(CH3)2]4)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜、テトラジエチルアミノチタン(Ti[N(C2H5)2]4)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜;テトラクロロハフニウム(HfCl4)と水による酸化ハフニウム膜(HfO2膜)の成膜、テトラエチルメチルアミノハフニウム(Hf[N(C2H5)CH3]4)とオゾンによる酸化ハフニウム膜の成膜、テトラエチルメチルアミノハフニウムと水による酸化ハフニウム膜の成膜、テトラジメチルアミノハフニウム(Hf[N(CH3)2]4)とオゾンによる酸化ハフニウム膜の成膜、テトラジメチルアミノハフニウムと水による酸化ハフニウム膜の成膜、テトラジエチルアミノハフニウム(Hf[N(C2H5)2]4)とオゾンによる酸化ハフニウム膜の成膜、テトラジエチルアミノハフニウムと水による酸化ハフニウム膜の成膜;テトラエチルメチルアミノジルコニウム(Zr[N(C2H5)CH3]4)とオゾンによる酸化ジルコニウム膜(ZrO2膜)の成膜、テトラエチルメチルアミノジルコニウムと水による酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラジメチルアミノジルコニウム(Zr[N(CH3)2]4)とオゾン水による酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラジメチルアミノジルコニウムと水による酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラジエチルアミノジルコニウム(Zr[N(C2H5)2]4)とオゾンによる酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラジエチルアミノジルコニウムと水による酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラクロロジルコニウム(ZrCl4)と水による酸化ジルコニウム膜の成膜;トリジメチルアミノシリコン(Si[N(CH3)2]3)とオゾンによる酸化シリコン膜(SiO2膜)の成膜;ジクロロシラン(SiCl2)とアンモニアによる窒化シリコン膜(Si3N4膜)の成膜、ヘキサクロロシラン(SiCl6)とアンモニアによる窒化シリコン膜等が挙げられる。
上記第1及び第2の実施の形態では、第1及び第2の原料ガスとしてそれぞれトリメチルアルミニウムおよびオゾンを用いてアルミナ膜を成膜しているが、このような例に限定されるものではない。他の例としては、例えば、トリメチルアルミニウムと水(H2O)によるアルミナ膜の成膜、トリクロロアルミニウム(AlCl3)と水によるアルミナ膜の成膜、トリメチルアルミニウムと過酸化水素(H2O2)によるアルミナ膜の成膜;テトラクロロチタン(TiCl4)とアンモニア(NH3)による窒化チタン膜(TiN膜)の成膜、テトラフルオロチタン(TiF4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜、テトラブロムチタン(TiBr4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜、テトラヨードチタン(TiI4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜、テトラジメチルアミノチタン(Ti[N(CH3)2]4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜、テトラジエチルアミノチタン(Ti[N(C2H5)2]4)とアンモニアによる窒化チタン膜の成膜;ペンタエトキシタンタル(Ta(OC2H5)5)とオゾン水による酸化タンタル膜(Ta2O5膜)の成膜、ペンタエトキシタンタルと水による酸化タンタル膜の成膜;ペンタフルオロタンタル(TaF5)とアンモニアによる窒化タンタル膜(TaN膜)の成膜、ペンタブロムタンタル(TaBr5)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜、ペンタヨードタンタル(TaI5)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜、ペンタクロロタンタル(TaCl5)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜、テトラジメチルアミノタンタル(Ta[N(CH3)2]4)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜、テトラジエチルアミノチタン(Ti[N(C2H5)2]4)とアンモニアによる窒化タンタル膜の成膜;テトラクロロハフニウム(HfCl4)と水による酸化ハフニウム膜(HfO2膜)の成膜、テトラエチルメチルアミノハフニウム(Hf[N(C2H5)CH3]4)とオゾンによる酸化ハフニウム膜の成膜、テトラエチルメチルアミノハフニウムと水による酸化ハフニウム膜の成膜、テトラジメチルアミノハフニウム(Hf[N(CH3)2]4)とオゾンによる酸化ハフニウム膜の成膜、テトラジメチルアミノハフニウムと水による酸化ハフニウム膜の成膜、テトラジエチルアミノハフニウム(Hf[N(C2H5)2]4)とオゾンによる酸化ハフニウム膜の成膜、テトラジエチルアミノハフニウムと水による酸化ハフニウム膜の成膜;テトラエチルメチルアミノジルコニウム(Zr[N(C2H5)CH3]4)とオゾンによる酸化ジルコニウム膜(ZrO2膜)の成膜、テトラエチルメチルアミノジルコニウムと水による酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラジメチルアミノジルコニウム(Zr[N(CH3)2]4)とオゾン水による酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラジメチルアミノジルコニウムと水による酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラジエチルアミノジルコニウム(Zr[N(C2H5)2]4)とオゾンによる酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラジエチルアミノジルコニウムと水による酸化ジルコニウム膜の成膜、テトラクロロジルコニウム(ZrCl4)と水による酸化ジルコニウム膜の成膜;トリジメチルアミノシリコン(Si[N(CH3)2]3)とオゾンによる酸化シリコン膜(SiO2膜)の成膜;ジクロロシラン(SiCl2)とアンモニアによる窒化シリコン膜(Si3N4膜)の成膜、ヘキサクロロシラン(SiCl6)とアンモニアによる窒化シリコン膜等が挙げられる。
なお、上記第1の実施形態において、第2の原料ガスとしてアンモニアを使用する場合、第2の排気配管111に設けるガス分解部114は、例えば、白金、パラジウム、ニッケル、ルテニウム等をアルミナ、シリカ、チタニア等に担持させた担持触媒や、銅、ニッケル、コバルト等の酸化物等のアンモニア分解触媒と接触させることによってアンモンアを分解するアンモニア分解装置により構成することができる。アンモニア分解装置を使用する場合には、300℃程度に加熱することが好ましく、アンモニアの分解をより促進することができる。また、オゾンの場合と同様、アルゴン等を用いて第2の排気配管111内にプラズマ雰囲気を形成したり、あるいは、第2の排気配管111の外周に加熱ヒータを設け、この加熱ヒータにより第2の排気配管111内にアンモニアの分解温度以上、例えば500〜600℃程度の高温領域を形成するようにしてもよい。
また、上記第2の実施形態において、例えば、第1の原料ガスとしてトリメチルアルミニウム、テトラジメチルアミノチタン、テトラジエチルアミノチタン、またはテトラエチルメチルアミノジルコニウムを使用する場合、400℃程度以上の温度領域からなるガス分解部214を形成することにより、これらの原料ガスを分解することができる。また、第1の原料ガスとしてトリクロロアルミニウム、テトラクロロチタン、テトラフルオロチタン、テトラブロムチタン、テトラヨードチタン、ペンタフルオロタンタル、ペンタブロムタンタル、ペンタヨードタンタル、ペンタクロロタンタル、テトラクロロハフニウム、またはテトラクロロジルコニウムを使用する場合、500℃程度以上の温度領域からなるガス分解部214を形成することにより、これらのガスを分解することができる。さらに、酸化シリコン膜を形成するため、トリジメチルアミノシリコンを使用する場合、600℃程度以上の温度領域からなるガス分解部214を形成することにより、これらの原料ガスを分解することができる。また、第2の原料ガスとしてアンモニアを使用する場合、500℃程度以上の温度領域からなるガス分解部214を形成すれば、アンモニアを分解することができる。
また、上記第1及び第2の実施の形態では、2種類の原料ガスを用いているが、3種類またはそれ以上の原料ガスを用いる成膜にも適用可能である。第1の実施の形態において、原料ガスを3種類またはそれ以上用いる場合には、原料ガスの種類の数に対応するガス排出口と排気配管を設け、そのうちの1つの排気配管に圧力調整弁及び真空ポンプを設け、さらに除害装置を接続するとともに、他の排気配管を、この圧力調整弁等が設けられた排気配管に圧力調整弁の上流側で接続するようにすればよい。
図4はその一例を示したもので、3種類の原料ガス、つまり、第1の原料ガスと第2の原料ガスと第3の原料ガスを用いる場合の成膜装置を示している。図4において、図1に共通する部分には、同一符号を付してある。この成膜装置においては、反応容器101の下部に、第1、第2及び第3のガス供給口102、103、104とともに第4のガス供給口401が開口し、この第4のガス供給口401に、バルブV11を介して第4の供給配管402が接続されている。また、反応容器101の上部には、第1及び第2のガス排出口108、109とともに第3のガス排出口403が開口しており、この第3のガス排出口403には、それぞれバルブV12を介して、第3の排気配管404が接続されている。そして、この第3の排気配管404には、第3の原料ガスを分解してその反応性を失活させるガス分解部405が設けられており、また、一端は、第1の排気配管110の途中、圧力計116の上流側にバルブV13を介して接続されている。このような成膜装置においても、3種類の原料ガスが排気配管内で接触して反応することがないため、それらの反応生成物の排気配管内、あるいは真空ポンプ、除害装置、圧力制御弁、圧力計等への付着が防止され、排気配管の詰まりや機器性能の劣化を防止することができる。また、そのような反応生成物の付着防止のために増設する機器も少なくてすむため、装置やそのメンテナンスに要する費用、時間の増大を防止することができる。
なお、原料ガスを3種類またはそれ以上用いる場合であっても、互いに反応しない原料ガスは同一の排気配管から排気してもよい。例えば、第1、第2および第3の原料ガスの3種類の原料ガスを用いる場合、第1の原料ガス及び第2の原料ガスはそれぞれ第3の原料ガスと反応するものの第1の原料ガスと第2の原料ガスは互いに反応しない場合、図1(または図2)に示す成膜装置において、例えば第3の原料ガスのみを第2の排気口109を介して第2の排気配管111へ排気するようにすればよい。
また、第2の実施の形態において、原料ガスを3種類またはそれ以上用いる場合には、ガス分解部として、全ての原料ガス、あるいはそのうちの1種類を除く原料ガスを分解可能な温度領域を形成すればよい。但し、この場合も、互いに反応しない原料ガスが存在する場合には、1種類の原料ガスのみを分解可能なガス分解部を形成することも可能である。要は、互いに反応し合う原料ガス同士が排気配管内で接触しないようにすればよい。
さらに、上記第1及び第2の実施の形態では、成膜用の原料ガス及びパージガスをそれぞれ個別のガス供給配管から反応容器内に導入する構成となっているが、共通のガス供給配管から導入することも可能である。しかし、この場合、原料ガス同士が反応して、供給配管内の詰まりといった排気系と同様の問題を生ずるおそれがあることから、個別に反応容器内に導入する構成とすることが好ましい。
また、上記第1及び第2の実施の形態では、いずれも多数枚の基板Wを一度に処理するいわゆるバッチ式の反応容器が使用されているが、1枚の基板を保持して処理するいわゆる枚葉式の反応容器であってもよく、同様の効果を得ることができる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形して実施することが可能であることはいうまでもない。
101,201…反応容器、102,202…第1のガス供給口、103,203…第2のガス供給口、104,204…第3のガス供給口、105,205…第1のガス供給配管、106,206…第2のガス供給配管、107,207…第3のガス供給配管、108…第1のガス排出口、109…第2のガス排出口、110…第1の排気配管、111…第2の排気配管、113,213…真空ポンプ、114,214,405…ガス分解部、208…ガス排出口、210…排気配管、401…第4のガス供給口、402…第4のガス供給配管、403…第3のガス排出口、404…第3の排気配管、V1〜V9,V11〜V13…バルブ、W…基板。
Claims (5)
- 反応容器内に配置された基板に対して第1の原料ガスと第2の原料ガスとを交互に供給して前記基板表面に前記第1の原料ガスと第2の原料ガスとの反応生成物の膜を形成する成膜装置であって、
ガス供給口及びガス排出口を有し、内部に前記基板が配置される反応容器と、
前記ガス供給口に接続され、前記反応容器内に前記第1及び第2の原料ガスを供給するガス供給系と、
前記ガス排出口に接続され、前記反応容器内から前記第1及び第2の原料ガスを排出するガス排出系と、
前記ガス排出口近傍に設けられた、第1の原料ガス及び第2の原料ガスの少なくとも一方を分解するガス分解部と
を具備することを特徴とする成膜装置。 - 前記反応容器は、前記ガス排出口として、前記第1の原料ガスを排出する第1のガス排出口と、前記第2の原料ガスを排出する第2のガス排出口とを有し、
前記ガス排出系は、前記第1のガス排出口に接続された第1の排気路と、この第1の排気路に設けられた排出手段と、一端が前記第2のガス排出口に接続され他端が前記第1の排気路の前記排気手段の上流側に接続された第2の排気路と、前記第1の排気路と第2の排気路との間で流路を切り替える切り替え手段とを有し、
前記ガス分解部は、前記第2の排気路に設けられていることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。 - 前記第2の原料ガスは、アンモニアガス、オゾンガス、水蒸気及び過酸化水素ガスから選ばれる1種であることを特徴とする請求項2記載の成膜装置。
- 前記ガス分解部は、前記反応容器内のガス供給口近傍を前記第1の原料ガス及び第2の原料ガスの少なくとも一方の分解温度以上に加熱することによって形成された高温領域からなることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- ガス供給口及びガス排出口を有する反応容器内に配置された基板に対して第1の原料ガスと第2の原料ガスとを交互に供給して前記基板表面に前記第1の原料ガスと第2の原料ガスとの反応生成物の膜を形成する成膜方法であって、
前記ガス供給口から前記第1の原料ガスを供給して前記基板に対し第1の処理を行なうとともに、未反応の第1の原料ガスを前記ガス排出口から排出させる工程と、前記ガス供給口から前記第2の原料ガスを供給して前記基板に対し第2の処理を行なうとともに、未反応の第2の原料ガスを前記ガス排出口から排出させる工程とを順に行なう方法において、
前記排出口近傍で、前記未反応の第1の原料ガス及び第2の原料ガスの少なくとも一方を分解して排出させることを特徴とする成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010141248A true JP2010141248A (ja) | 2010-06-24 |
Family
ID=42351092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008318417A Withdrawn JP2010141248A (ja) | 2008-12-15 | 2008-12-15 | 成膜装置及び成膜方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010141248A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2008-12-15 JP JP2008318417A patent/JP2010141248A/ja not_active Withdrawn
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