JP2013067832A - 原子層堆積法によるフレキシブル基板への成膜方法及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のガイドローラーユニット200は、フレキシブル基板107を適宜屈曲させ該フレキシブル基板107の内側に第1空間部201と、この第1空間部201に隣接する第2空間部203とが形成される。また、フレキシブル基板107と、チャンバー100の壁部とで第3空間部203、第4空間部204が形成される。第1空間部201に第1の前駆体ガスが供給される。第2空間部202に第1のパージガスが供給される。第3空間部203に第2の前駆体ガスが供給される。第4空間部204に第2のパージガスが供給される。
【選択図】図2
Description
請求項2記載の発明は、請求項1記載の成膜方法において、前記各ガイドローラーユニットよりも上流側および下流側に位置するフレキシブル基板と、前記チャンバーの壁部とにより第4空間部を形成し、前記第4空間部に第2のパージガスを供給することを特徴とする。
請求項3記載の発明は、連続して延在するフレキシブル基板上に原子層堆積法により薄膜を形成する成膜装置であって、前記フレキシブル基板が挿入される挿入口と前記フレキシブル基板が排出される排出口と複数のガイドローラーとが設けられたチャンバーと、前記フレキシブル基板を前記挿入口から前記チャンバー内に挿入し前記複数のガイドローラーに掛装して前記チャンバー内を搬送させ前記排出口から排出させる搬送手段と、前記複数のガイドローラーに搬送中の前記フレキシブル基板が掛装されることで前記フレキシブル基板を適宜屈曲させ該フレキシブル基板の内側に第1空間部と、この第1空間部に隣接する第2空間部とが形成される複数のガイドローラーユニットと、前記フレキシブル基板が搬送される方向で前記各ガイドローラーユニットの上流側および下流側に位置するフレキシブル基板と、それらフレキシブル基板に対向する前記チャンバーの壁部とで前記第2空間部に隣接する箇所に形成される第3空間部と、前記第1空間部に第1の前駆体ガスを供給する第1の前駆体ガス供給手段と、前記第2空間部に前記第1の前駆体ガスおよび第2の前駆体ガスをパージする第1のパージガスを供給する第1のパージガス供給手段と、前記第3空間部に前記第2の前駆体ガスを供給する第2の前駆体ガス供給手段とを備えることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の成膜装置において、前記複数のガイドローラーユニットに掛装されたフレキシブル基板と、前記各ガイドローラーユニットの上流側および下流側に位置するフレキシブル基板と、前記チャンバーの壁部とで第4空間部が形成され、前記第4空間部に第2のパージガスを供給する第2のパージガス供給手段を備えることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、請求項3または請求項4記載の成膜装置において、前記第3空間部にプラズマを誘起させるプラズマ誘起手段を備えることを特徴とする。
図1、図2に示すように、成膜装置は、チャンバー100と、不図示の搬送手段と、複数のガイドローラーユニット200と、第1の前駆体ガス供給手段103と、第1のパージガス供給手段104と、第2の前駆体ガス供給手段105と、第2のパージガス供給手段106などを含んで構成されている。
チャンバー100は、フレキシブル基板107が挿入される挿入口100Aと、フレキシブル基板107が排出される排出口100Bと、複数のガイドローラー101とが設けられている。
なお、チャンバー100には、挿入口100Aおよび排出口100Bを設けず、チャンバー100内にフレキシブル基板107を巻き出すための巻出し部やフレキシブル基板107を巻き取るための巻き取り部を設けても良い。
より詳細には、複数のガイドローラー101は、それらの順に並べられた互いに近接する一対の第1ガイドローラー10と、互いに対向する一対の第2ガイドローラー12と、互いに近接する一対の第3ガイドローラー14と、方向転換用の第4ガイドローラー16とを有している。
フレキシブル基板107が、一対の第1〜第3ガイドローラー10,12,14のうちの一方のガイドローラーに掛装され第4ガイドローラー16に掛装されたのち、一対の第1〜第3ガイドローラー10,12,14のうちの他方のガイドローラーに掛装される。
これにより、一対の第3ガイドローラー14と第4ガイドローラー16との間に第1空間部201が形成される。
また、一対の第1ガイドローラー10と第3ガイドローラー14との間に第2空間部202が形成される。
第1のパージガス供給手段104は、第2空間部202に第1の前駆体ガスおよび第2の前駆体ガスをパージする第1のパージガスを供給するものである。
第2の前駆体ガス供給手段105は、第3空間部203に第2の前駆体ガスを供給するものである。
第2のパージガス供給手段106は、第4空間部204に第1の前駆体ガスおよび第2の前駆体ガスに対して不活性な第2のパージガスを供給するものであり、第2のパージガスは、第1の前駆体ガスおよび第2の前駆体ガスをパージする第1のパージガスを補佐するものである。
これらガス供給手段103、104,105,106は、単一の孔からなるガス導入口で構成されていても、複数の孔からなるガス導入口で構成されていてもよい。
また、ガス供給手段103、104,105,106は、ガスの空間濃度分布を改善するために前記の孔に孔空きパイプなどを接続した形態としてもよい。
また、第4空間部204に第1の排気口111を設け、第3空間部203に第2の排気口112を設けると、第1,第2の前駆体ガスの混合がよりいっそう妨げられて好適である。
また、第1空間部201に第3の排気口113を設けても良く、この場合、第1,第2の前駆体ガスの混合がよりいっそう妨げられて好適である。
すなわち、フレキシブル基板107によって、前駆体ガスまたは/及びパージガスを互いに隔離するようにした。
また、各前駆体ガスまたは/及びパージガスを隔離できればよいので、ガイドローラー101の配置やフレキシブル基板107の経路はこのとおりでなくともよい。
フレキシブル基板107については、薄膜を形成する部分はなるべくガイドローラー101に接触させないことが薄膜を安定して形成する上で望ましい。
ガスを導入する際には、本実施形態では第1の前駆体領域201と第1のパージ領域202が隣接する部分の二つのローラー101の幅を、可能な限り狭めておくことが要求される。第1のパージ領域202と第2の前駆体領域203が隣接する部分のローラー101の幅も同様である。
このようにすることで、第1の前駆体ガスと第2の前駆体ガスとの混合を抑制することができる。
これにより第1の前駆体ガスと第2の前駆体ガスがチャンバー100内で直接混合する確率を低くすることができる。これはパーティクルの発生による膜質の低下を避けるために重要である。
フレキシブル基板107は、チャンバー100内で複数のガイドローラーユニット200に掛装されて搬送される過程において、以下の1)、2)の工程が繰り返して実施されることにより、フレキシブル基板107の表面に1層ずつ成膜がなされる。
1)第1空間部201において第1の前駆体ガスにより前駆体をフレキシブル基板107の表面に吸着させる工程。
2)第3空間部203において第2の前駆体ガスにより前記前駆体に化学反応を生じさせる工程。
100A……挿入口
100B……排出口
101……ガイドローラー
102……プラズマ誘起手段
103……第1の前駆体ガス供給手段
104……第1のパージガス供給手段
105……第2の前駆体ガス供給手段
106……第2のパージガス供給手段
107……フレキシブル基板
111……第1の排気口
112……第2の排気口
113……第3の排気口
200……ガイドローラーユニット
201……第1空間部(第1の前駆体領域)
202……第2空間部(第1のパージ領域)
203……第3空間部(第2の前駆体領域)
204……第4空間部(第2のパージ領域)
Claims (5)
- 連続して延在するフレキシブル基板をガイドローラーに掛装させてチャンバー内を搬送させ、前記搬送中に原子層堆積法により前記フレキシブル基板上に薄膜を形成する成膜方法であって、
前記複数のガイドローラーにより、搬送中の前記フレキシブル基板を適宜屈曲させることで該フレキシブル基板の内側に第1空間部と、この第1空間部に隣接する第2空間部とが形成されるガイドローラーユニットを複数設け、
さらに、前記フレキシブル基板が搬送される方向で前記各ガイドローラーユニットよりも上流側および下流側に位置するフレキシブル基板と、前記チャンバーの壁部とにより前記第2空間部に隣接する第3空間部を形成し、
前記第1空間部に第1の前駆体ガスを供給し、
前記第2空間部に前記第1の前駆体ガスおよび第2の前駆体ガスをパージする第1のパージガスを供給し、
前記第3空間部に前記第2の前駆体ガスを供給する、
ことを特徴とする成膜方法。 - 前記各ガイドローラーユニットよりも上流側および下流側に位置するフレキシブル基板と、前記チャンバーの壁部とにより第4空間部を形成し、
前記第4空間部に第2のパージガスを供給する、
ことを特徴とする請求項1記載の成膜方法。 - 連続して延在するフレキシブル基板上に原子層堆積法により薄膜を形成する成膜装置であって、
前記フレキシブル基板が挿入される挿入口と前記フレキシブル基板が排出される排出口と複数のガイドローラーとが設けられたチャンバーと、
前記フレキシブル基板を前記挿入口から前記チャンバー内に挿入し前記複数のガイドローラーに掛装して前記チャンバー内を搬送させ前記排出口から排出させる搬送手段と、
前記複数のガイドローラーに搬送中の前記フレキシブル基板が掛装されることで前記フレキシブル基板を適宜屈曲させ該フレキシブル基板の内側に第1空間部と、この第1空間部に隣接する第2空間部とが形成される複数のガイドローラーユニットと、
前記フレキシブル基板が搬送される方向で前記各ガイドローラーユニットの上流側および下流側に位置するフレキシブル基板と、それらフレキシブル基板に対向する前記チャンバーの壁部とで前記第2空間部に隣接する箇所に形成される第3空間部と、
前記第1空間部に第1の前駆体ガスを供給する第1の前駆体ガス供給手段と、
前記第2空間部に前記第1の前駆体ガスおよび第2の前駆体ガスをパージする第1のパージガスを供給する第1のパージガス供給手段と、
前記第3空間部に前記第2の前駆体ガスを供給する第2の前駆体ガス供給手段と、
を備えることを特徴とする成膜装置。 - 前記複数のガイドローラーユニットに掛装されたフレキシブル基板と、前記各ガイドローラーユニットの上流側および下流側に位置するフレキシブル基板と、前記チャンバーの壁部とで第4空間部が形成され、
前記第4空間部に第2のパージガスを供給する第2のパージガス供給手段を備える、
ことを特徴とする請求項3記載の成膜装置。 - 前記第3空間部にプラズマを誘起させるプラズマ誘起手段を備える、
ことを特徴とする請求項3または4記載の成膜装置。
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