JP2010129320A - Esd保護デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ESD保護デバイス10は、(a)内部に空洞部13が形成され、空洞部13の内周面の少なくとも一部が、導電材料14kが分散されている補助電極部14により形成された、絶縁性基板12と、(b)補助電極部14に接し、かつ絶縁性基板12の内部において平面方向に延在する第一の放電電極16と、(c)補助電極部14に接し、かつ絶縁性基板12の内部において第一の放電電極16とは異なる平面に含まれ平面方向に延在する、第二の放電電極18と、(d)絶縁性基板12の表面に形成され、第一の放電電極16及び第二の放電電極18とそれぞれ接続された外部電極22,24とを有する。
【選択図】図1
Description
まず、基板本体12、放電電極16,18、空洞部13を形成するため材料を作製する。
厚さ10μmのセラミックグリーンシートにレーザー加工にて貫通孔を形成する。貫通孔の内周面に、スクリーン印刷法、電子写真法、又はインクジェット法により、補助電極部を形成する。
スクリーン印刷法による場合は、補助電極部形成用材料としてペーストを作製し、作製したペーストを用いて補助電極部を形成する。
図2(a)の概略図に示すように、ペースト50は、平均粒径約3μmのCu粉60を所定の割合で調合し、バインダー樹脂と溶剤70を添加し攪拌、混合することで得る。樹脂と溶剤を70wt%とし、残りの30wt%をCu粉とする。ペースト50は、通常の電極ペースト(80Pa・s)よりも低粘度(30Pa・s)の状態にする。このペースト50は、Cu粉60の含有率が低いため、焼成後も絶縁性を保つ。
図2(b)の概略図に示すように、ペースト52は、Cu粉61がAl2O3被覆層62で被覆された平均粒径約3μmのAl2O3コートCu粉64を所定の割合で調合し、バインダー樹脂と溶剤72を添加し攪拌、混合することで得る。樹脂と溶剤72を50wt%とし、残りの50wt%をAl2O3コートCu粉64とする。ペースト52は、通常の電極ペースト(80Pa・s)よりも低粘度(30Pa・s)の状態にする。このペースト52は、Al2O3コートCu粉64を用いているため、焼成後も絶縁性を保つ。
図2(c)の概略図に示すように、ペースト54は、平均粒径約3μmのCu粉60とBAS材仮焼後セラミック粉66を所定の割合で調合し、バインダー樹脂と溶剤74を添加し、攪拌、混合することで得る。樹脂と溶剤74を40wt%とし、Cu粉60を40wt%、セラミック粉66を20wt%とした。ペースト54は、通常の電極ペースト(80Pa・s)よりも低粘度(30Pa・s)の状態にする。このペースト54は、Cu粉60以外にセラミック粉66を含むため、焼成後も絶縁性を保つ。
図2(d)の概略図に示すように、ペースト56は、平均粒径約3μmのAl2O3コートCu粉64とBAS材仮焼後セラミック粉66を所定の割合で調合し、バインダー樹脂と溶剤76を添加し、攪拌、混合することで得る。樹脂と溶剤76を40wt%とし、Al2O3コートCu粉64を50wt%、セラミック粉66を10wt%とする。ペースト56は、通常の電極ペースト(80Pa・s)よりも低粘度(30Pa・s)の状態にする。ペースト56は、Al2O3コートCu粉65とセラミック粉67とを用いており、焼成後も絶縁性を保つ。
補助電極部は、セラミックグリーンシートの貫通孔の内周面に、作製した補助電極部形成用ペーストを付着させることにより形成する。
電子写真法により補助電極部を形成する場合は、まず、補助電極部形成用材料として、導電性粉末のトナーに加工し、作製したトナーを用いて補助電極部を形成する。
トナーは次のように作製する。
1.Cu粉(平均粒径3μm)と樹脂を混合し、表面処理機を用いてCu粉の表面に樹脂を被覆する。
2.上記1.のサンプルを分級し、微粉と粗粉を除去する。
3.上記2.の操作によって得られたカプセルCu紛と外添剤を混合し、表面処理機にてカプセルCu紛表面に外添剤を均一に付着させる。
4.上記3.の操作によって得られたカプセルCu紛とキャリアを混合し、現像剤となるトナーを得る。
補助電極部は次のように形成する。
1.PETフィルム上にセラミックグリーンシートが形成された状態で、セラミックグリーンシート側からレーザー加工機にてφ90μmの貫通孔(ビア)を形成する。
2.感光体を一様に帯電させる。
3.LEDにて帯電した感光体に、補助電極部の形状に光を照射し、潜像を形成する。
4.現像バイアスをかけ、感光体上にトナーを現像する。トナーの塗布量は、現像バイアスの大きさによって制御することができる。
5.補助電極部のパターンが現像された感光体とセラミックグリーンシートを重ね、トナーをセラミックグリーンシートの貫通孔の内周面に転写する。
6.補助電極部のパターンが転写されたセラミックグリーンシートをオーブンに入れ、トナーを定着させ、図4の要部拡大断面図に示すように、貫通孔11の内周面11sにトナー80が付着し、補助電極部のパターンが形成されたセラミックグリーンシート15を得る。
インクジェット法による場合は、次のように補助電極部を形成する。
補助電極部が形成された貫通孔に樹脂ペーストを充填する。放電電極は、補助電極部と異なるセラミックグリーンシートに、スクリーン印刷法にて形成する。放電電極の幅は、100μmとする。
図5の断面図に示すように、放電電極16,18が形成されたセラミックグリーンシート15a,15cの間に、補助電極部が形成されたセラミックグリーンシート15bが挟まれるように、セラミックグリーンシート15a,15b,15cを、通常の多層部品と同様に積層し、圧着して、積層体を形成する。このとき、放電電極16,18が、中間層のセラミックグリーンシート15bに形成されている補助電極部に接するように、セラミックグリーンシート15a,15b,15cを積層する。ここでは、積層体の厚みが0.35mmとなり、その厚み方向の中央に放電電極と空洞部が配置されるように、セラミックグリーンシート15a,15b,15cを積層する。
ESD保護デバイスの複数個分を含むように積層体を形成する場合には、積層体を、LCフィルタのようなチップタイプの部品と同様に金型を用いて切断して、各チップの個片に分割する。ここでは1.0mm×0.5mmになるように切断する。その後、各チップの端面に電極ペーストを塗布し、外部電極を形成する。
外部電極を形成したチップを、通常の多層部品と同様に、N2雰囲気中で焼成する。貫通孔に充填された樹脂ペーストは焼成時に消失し、これによって空洞部13が形成される。ESDに対する応答電圧を下げるため空洞部13にAr、Neなどの希ガスを導入する場合には、セラミック材料の収縮、焼結が行われる温度領域をAr、Neなどの希ガス雰囲気で焼成すればよい。酸化しない電極材料(Agなど)の場合には、大気雰囲気でもかまわない。
焼成後のチップの外部電極上に、LCフィルタのようなチップタイプの部品と同様に、電解Ni、Snメッキを行う。
比較例の構成のESD保護デバイスと実施例1の構成のESD保護デバイスを作製して、ESD放電特性を比較した。
補助電極部をペーストで形成する場合、次のように補助電極部を作製する。
図9の断面図に示すように、実施例1と同じ方法で放電電極16,18が形成されたセラミックグリーンシート15p,15qの間に、補助電極部用のペースト又はシート17が挟まれるように、通常の多層部品と同様に積層し、圧着する。このとき、放電電極16,18が補助電極部用のペースト又はシート17に接するように積層し、圧着する。
プリプレグ15x,15z上にCu箔をラミネートし、フォトリソグラフィ法によってCu箔をパターニングして、放電電極16,18を形成する。
プリプレグ15yにレーザーにて貫通孔11x形成する。電子写真法、インクジェット法、ペースト塗布法によって、貫通孔11xの内周面にCu粉などの導電材料の導電性粉末60xを配置する。このとき、貫通孔11xの両側の開口11y,11zの大きさが異なるように、貫通孔11xが断面テーパ形状、例えば円錐台形状に形成されると、導電性粉末60xを貫通孔11xの内周面に配置しやすい。
半硬化体の各層15x,15y,15zを積み重ね、積層した状態で硬化することにより各層15x,15y,15zを接着する。各層15x,15y,15zを完全硬化させた後、接着剤で重ね合わせてもよい。
積層された基板の端面に焼き付け電極又は導電性樹脂電極を形成し、メッキ処理を施し外部電極とする。
11 貫通孔
11a,11b 開口
11s 内周面
11x 貫通孔
11y,11z 開口
12,12a,12x 基板本体(絶縁性基板)
13,13a,13x 空洞部
14,14a,14x 補助電極部
14k 導電材料
15,15b セラミックグリーンシート(第一の絶縁層)
15a,15c セラミックグリーンシート(第二の絶縁層、第三の絶縁層)
15p,15q セラミックグリーンシート(第二の絶縁層、第三の絶縁層)
15x,15x プリプレグ(第二の絶縁層、第三の絶縁層)
15y プリプレグ(第一の絶縁層)
16,16a,16x 放電電極
17 シート(第一の絶縁層)
17a 貫通孔
18,18a,18x 放電電極
60,60a,61 Cu粉(導電材料)
60x 導電性粉末(導電材料)
62 被覆層
64 粉体
Claims (13)
- 内部に空洞部が形成され、該空洞部の内周面の少なくとも一部が、導電材料が分散されている補助電極部により形成された、絶縁性基板と、
前記補助電極部に接し、かつ前記絶縁性基板の内部において平面方向に延在する第一の放電電極と、
前記補助電極部に接し、かつ前記絶縁性基板の内部において前記第一の放電電極とは異なる平面に含まれ平面方向に延在する、第二の放電電極と、
前記絶縁性基板の表面に形成され、前記第一の放電電極及び前記第二の放電電極とそれぞれ接続された外部電極と、
を有することを特徴とする、ESD保護デバイス。 - 前記第一の放電電極及び前記第二の放電電極の少なくとも一方は、前記空洞部の内底面から離れて形成されていることを特徴とする、請求頂1に記載のESD保護デバイス。
- 前記第一の放電電極及び前記第二の放電電極は、前記空洞部内に露出していることを特徴とする、請求項1に記載のESD保護デバイス。
- 前記補助電極部は、前記導電材料とともに絶縁材料が分散されてなることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。
- 前記補助電極部は、前記導電材料の含有率が10vol%以上、50vol%以下であることを特徴とする、請求項4に記載のESD保護デバイス。
- 前記絶縁性基板は、
貫通孔が形成された少なくとも1層の第一の絶縁層と、
前記第一の絶縁層の両側にそれぞれ積層された、少なくとも1層の第二の絶縁層及び少なくとも1層の第三の絶縁層と、
前記第一の絶縁層の前記貫通孔に形成された前記補助電極部と、
を含む多層基板であることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。 - 前記絶縁性基板はセラミック基板であることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。
- 第一の絶縁層に貫通孔を形成する、第1の工程と、
第一の絶縁層の前記貫通孔の内周面の少なくとも一部に、導電材料を含む補助電極部形成用材料を付着させる、第2の工程と、
第二の絶縁層及び第三の絶縁層の一方主面にそれぞれ、第一の放電電極及び第二の放電電極を形成する、第3の工程と、
前記第一の絶縁層の一方主面及び前記第一の絶縁層の前記貫通孔の内周面に付着させられた前記補助電極部形成用材料に前記第一の放電電極が接するように前記第二の絶縁層を積層するとともに、前記第一の絶縁層の他方主面及び第一の絶縁層の前記貫通孔の内周面に付着させられた前記補助電極部形成用材料に前記第二の放電電極が接するように前記第三の絶縁層を積層する、第4の工程と、
前記第4の工程により得られた積層体に、前記第一の放電電極及び前記第二の放電電極とそれぞれ接続された外部電極を形成する、第5の工程と、
を備えたことを特徴とする、ESD保護デバイスの製造方法。 - 前記第1の工程において、前記第一の絶縁層の両主面に形成された前記貫通孔の開口の大きさが異なることを特徴とする、請求項8に記載のESD保護デバイスの製造方法。
- 前記第2の工程において、前記第一の絶縁層の前記貫通孔の大きい側の前記開口から、スクリーン印刷法、電子写真法又はインクジェット法のいずれかの方法により、前記補助電極部形成用材料を、前記貫通孔の内周面に付着させることを特徴とする、請求項9に記載のESD保護デバイスの製造方法。
- 前記第2の工程と前記第3の工程との間に、
前記第一の絶縁層の前記貫通孔の内周面に前記補助電極部形成用材料が付着させられた状態を保ちつつ、前記第一の絶縁層の前記貫通孔内に空洞部形成用材料を充填する工程をさらに備え、
前記第4の工程と前記第5の工程の間、又は前記第5の工程の後に、
前記空洞部形成用材料を消失させる工程をさらに備えることを特徴とする、請求項8乃至10のいずれか一つに記載の、ESD保護デバイスの製造方法。 - 貫通孔を有し、かつ導電材料と絶縁性材料とを含む補助電極部形成層を用意する、第1の工程と、
第二の絶縁層及び第三の絶縁層の一方主面に、それぞれ、第一の放電電極及び第二の放電電極を形成する、第2の工程と、
前記第二の絶縁層と前記第三の絶縁層との間に前記補助電極部形成層が挟持され、前記補助電極部形成層の一方主面に前記第一の放電電極が接し、前記補助電極部形成層の他方主面に前記第二の放電電極が接するように、前記補助電極部形成層の両側に第二の絶縁層及び第三の絶縁層をそれぞれ積層する、第3の工程と、
前記第3の工程により得られた積層体に、前記第一の放電電極及び前記第二の放電電極とそれぞれ接続された外部電極を形成する、第4工程と、
を備えたことを特徴とする、ESD保護デバイスの製造方法。 - 前記第1の工程と前記第2の工程との間に、
前記補助電極部形成層の前記貫通孔に空洞部形成用材料を充填する工程をさらに備え、
前記第3の工程と前記第4の工程の間、又は前記第4の工程の後に、
前記空洞部形成用材料を消失させる工程をさらに備えたことを特徴とする、請求項12に記載の、ESD保護デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008301636A JP5262624B2 (ja) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | Esd保護デバイス及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008301636A JP5262624B2 (ja) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | Esd保護デバイス及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010129320A true JP2010129320A (ja) | 2010-06-10 |
JP5262624B2 JP5262624B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=42329574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008301636A Active JP5262624B2 (ja) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | Esd保護デバイス及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5262624B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104521079A (zh) * | 2012-08-13 | 2015-04-15 | 株式会社村田制作所 | Esd保护装置 |
WO2015190404A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 株式会社村田製作所 | 静電気放電保護デバイスおよびその製造方法 |
WO2015198833A1 (ja) * | 2014-06-24 | 2015-12-30 | 株式会社村田製作所 | 静電気放電保護デバイスおよびその製造方法 |
WO2016039021A1 (ja) * | 2014-09-10 | 2016-03-17 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置およびその製造方法 |
WO2017002476A1 (ja) * | 2015-07-01 | 2017-01-05 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
WO2017013979A1 (ja) * | 2015-07-22 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置 |
US9743502B2 (en) | 2012-08-13 | 2017-08-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device |
KR101775921B1 (ko) | 2013-07-03 | 2017-09-07 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 서지 보호 디바이스, 그 제조방법 및 그것을 포함하는 전자부품 |
US10292250B2 (en) | 2015-07-28 | 2019-05-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11265808A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-09-28 | Tokin Corp | サージ吸収素子及びその製造方法 |
JP2000277229A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Tokin Corp | 表面実装型サージ吸収素子の製造方法 |
JP2001345161A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Mitsubishi Materials Corp | チップ型サージアブソーバおよびその製造方法 |
JP2002373802A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-26 | Mitsubishi Pencil Co Ltd | 避雷管 |
-
2008
- 2008-11-26 JP JP2008301636A patent/JP5262624B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11265808A (ja) * | 1998-03-16 | 1999-09-28 | Tokin Corp | サージ吸収素子及びその製造方法 |
JP2000277229A (ja) * | 1999-03-23 | 2000-10-06 | Tokin Corp | 表面実装型サージ吸収素子の製造方法 |
JP2001345161A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Mitsubishi Materials Corp | チップ型サージアブソーバおよびその製造方法 |
JP2002373802A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-26 | Mitsubishi Pencil Co Ltd | 避雷管 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104521079A (zh) * | 2012-08-13 | 2015-04-15 | 株式会社村田制作所 | Esd保护装置 |
US9743502B2 (en) | 2012-08-13 | 2017-08-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device |
US9814124B2 (en) | 2013-07-03 | 2017-11-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surge protection device, method for manufacturing the same, and electronic component including the same |
KR101775921B1 (ko) | 2013-07-03 | 2017-09-07 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 서지 보호 디바이스, 그 제조방법 및 그것을 포함하는 전자부품 |
JPWO2015190404A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2017-04-20 | 株式会社村田製作所 | 静電気放電保護デバイスおよびその製造方法 |
WO2015190404A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 株式会社村田製作所 | 静電気放電保護デバイスおよびその製造方法 |
JPWO2015198833A1 (ja) * | 2014-06-24 | 2017-04-20 | 株式会社村田製作所 | 静電気放電保護デバイスおよびその製造方法 |
WO2015198833A1 (ja) * | 2014-06-24 | 2015-12-30 | 株式会社村田製作所 | 静電気放電保護デバイスおよびその製造方法 |
US10714932B2 (en) | 2014-06-24 | 2020-07-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electrostatic discharge protection device and method of manufacturing the same |
CN106537701A (zh) * | 2014-09-10 | 2017-03-22 | 株式会社村田制作所 | Esd保护装置及其制造方法 |
US10297982B2 (en) | 2014-09-10 | 2019-05-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protective device and method for manufacturing thereof |
JPWO2016039021A1 (ja) * | 2014-09-10 | 2017-04-27 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置およびその製造方法 |
WO2016039021A1 (ja) * | 2014-09-10 | 2016-03-17 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置およびその製造方法 |
WO2017002476A1 (ja) * | 2015-07-01 | 2017-01-05 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
JPWO2017002476A1 (ja) * | 2015-07-01 | 2017-12-14 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
US10403584B2 (en) | 2015-07-01 | 2019-09-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device and method for producing the same |
WO2017013979A1 (ja) * | 2015-07-22 | 2017-01-26 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置 |
US10292249B2 (en) | 2015-07-22 | 2019-05-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device |
JPWO2017013979A1 (ja) * | 2015-07-22 | 2018-01-25 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置 |
US10292250B2 (en) | 2015-07-28 | 2019-05-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5262624B2 (ja) | 2013-08-14 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130110 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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