JP2010127796A - 真空計 - Google Patents
真空計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010127796A JP2010127796A JP2008303397A JP2008303397A JP2010127796A JP 2010127796 A JP2010127796 A JP 2010127796A JP 2008303397 A JP2008303397 A JP 2008303397A JP 2008303397 A JP2008303397 A JP 2008303397A JP 2010127796 A JP2010127796 A JP 2010127796A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- vibrating body
- vacuum gauge
- pressure
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】真空計の機構部分を成す構造体は、錘1、梁2および振動体固定部3からなる振動体4、振動体4を第1の振動方向に加振する加振電極5および6、振動体4を第2の振動方向に加振する加振電極7および8、振動体4の第1の振動方向の振動を検出するための振動検出電極9および10、振動体4の第2の振動方向の振動を検出するための振動検出電極11および12から構成される。
【選択図】図1
Description
上記請求項1に記載の真空計において、前記第1の振動方向と前記第2の振動方向とで測定することができる圧力範囲が異なるようにするとよい(請求項2の発明)。
図1は、本発明の実施形態に係る真空計の機構部分を成す構造体の平面図であり、図2は、図1に示す構造体の側面図である。図1および図2において真空計の機構部分を成す構造体は、錘1、梁2および振動体固定部3からなる振動体4、振動体4を第1の振動方向に加振する加振電極5および6、振動体4を第2の振動方向に加振する加振電極7および8、振動体4の第1の振動方向の振動を検出するための振動検出電極9および10、振動体4の第2の振動方向の振動を検出するための振動検出電極11および12から構成される。
図3は、本発明の実施形態に係る振動体の設計値の一例を示す図であり、図4は、図3に示した振動体の設計値におけるQ値と気体の圧力Pとの関係を示す図である。図4に示すように、第1の振動方向に振動させた場合に測定することができる気体の圧力は約10Paから約10000Pa、第2の振動方向に振動させた場合に測定することができる気体の圧力は約0.1Paから約100Paである。すなわち、振動方向によって測定することができる気体の圧力を変えることができる。なお、図3に示される振動体の第1および第2の振動方向における各固有周波数は、例えば、振動体の材質をシリコンとした場合、それぞれ、約1680Hzおよび約560Hzとなる。
2 梁
3 振動体固定部
4 振動体
5〜8 加振電極
9〜12 振動検出電極
20〜23 容量電圧変換回路
24,25 差分回路
26,27 位相シフト回路
28,29 増幅器
30,31 反転回路
32,33 初期駆動用信号源
34,35 スイッチ回路
Claims (7)
- 第1の振動方向と該第1の振動方向に直交する第2の振動方向とに振動することができるように形成された振動体と、該振動体を静電力により駆動する加振電極部と、前記振動体の振動を検出する振動検出部と、該振動検出部の検出信号に基づき、この検出信号の位相を変えて増幅することにより前記振動体を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、前記駆動信号を前記加振電極部に印加して前記振動体を共振状態に保持して、前記振動体の振動特性から雰囲気の圧力を測定する真空計であって、
前記加振電極部として、前記振動体を第1および第2の振動方向にそれぞれ振動させるための第1および第2の加振電極部を備え、
前記振動検出部として、前記振動体の第1および第2の振動方向の振動をそれぞれ検出する第1および第2の振動検出部を備え、
第1の振動検出部の検出信号に基づく駆動信号を第1の加振電極部に印加することにより、前記振動体を第1の振動方向に振動させて圧力を測定する第1の圧力測定部と、
第2の振動検出部の検出信号に基づく駆動信号を第2の加振電極部に印加することにより、前記振動体を第2の振動方向に振動させて圧力を測定する第2の圧力測定部とを備え、
前記第1および第2の圧力測定部により前記振動体を第1および第2の振動方向に同時に振動させて各振動方向での各圧力測定を同時に行うようにした
ことを特徴とする真空計。 - 請求項1に記載の真空計において、前記第1の振動方向と前記第2の振動方向とで測定することができる圧力範囲が異なることを特徴とする真空計。
- 請求項1または2に記載の真空計において、
前記第1の加振電極部として、前記振動体の両側に第1の振動方向に沿って設置された第1および第2の加振電極から成る1組の加振電極を備えるとともに、前記第2の加振電極部として、前記振動体の両側に第2の振動方向に沿って設置された第3および第4の加振電極から成る1組の加振電極を備え、
前記駆動信号生成部は、前記第1および第2の振動検出部の各検出信号の位相をそれぞれ変化させる第1および第2の位相シフト回路と、該第1および第2の位相シフト回路の各出力信号をそれぞれ増幅する第1および第2の増幅器と、該第1および第2の増幅器の各出力信号の位相をそれぞれ反転させる第1および第2の反転回路と、を有し、
第1の振動検出部の検出信号に基づく逆相の駆動信号として、前記第1の反転回路および前記第1の増幅器の各出力信号を前記第1および第2の加振電極にそれぞれ印加することで、前記振動体の第1の振動方向における共振状態を保持するとともに、
第2の振動検出部の検出信号に基づく逆相の駆動信号として、前記第2の反転回路および前記第2の増幅器の各出力信号を前記第3および第4の加振電極にそれぞれ印加することで、前記振動体の第2の振動方向における共振状態を保持することを特徴とする真空計。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の真空計において、
前記駆動信号生成部は、前記駆動信号の電圧が一定となるように、前記振動検出部の検出信号の位相を変えた信号に対する増幅のゲインを調整するものであり、
前記第1,第2の圧力測定部は、前記振動検出部の検出信号の大きさに基づいて圧力を測定することを特徴とする真空計。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の真空計において、
前記駆動信号生成部は、前記振動検出部の検出信号の大きさが一定となるように、前記振動検出部の検出信号の位相を変えた信号に対する増幅のゲインを調整するものであり、
前記第1,第2の圧力測定部は、前記駆動信号の電圧に基づいて圧力を測定することを特徴とする真空計。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の真空計において、
前記振動体の固有周波数に対応した周波数の初期励振信号を出力する初期励振用信号源を備え、
振動体の初期駆動時には、振動検出部の検出信号に基づく駆動信号の代わりに、前記初期励振信号に基づく初期駆動信号を前記加振電極部に印加することを特徴とする真空計。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の真空計において、
前記振動検出部は、前記振動体と検出電極との間の静電容量を検知することにより前記振動体の振動を検出するものであることを特徴とする真空計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008303397A JP5151935B2 (ja) | 2008-11-28 | 2008-11-28 | 真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008303397A JP5151935B2 (ja) | 2008-11-28 | 2008-11-28 | 真空計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010127796A true JP2010127796A (ja) | 2010-06-10 |
JP5151935B2 JP5151935B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=42328300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008303397A Expired - Fee Related JP5151935B2 (ja) | 2008-11-28 | 2008-11-28 | 真空計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5151935B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107748274A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-03-02 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 | 通过伺服电路扫频对加速度计内部真空度进行检测的方法 |
CN113008453A (zh) * | 2021-03-09 | 2021-06-22 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 基于谐振器的真空度检测方法、系统及装置 |
CN114659706A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-06-24 | 季华实验室 | 真空度检测方法、装置、电子设备、存储介质及系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62137533A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-20 | Hitachi Ltd | 真空センサ |
JPH08338776A (ja) * | 1995-03-21 | 1996-12-24 | Varian Assoc Inc | センサ範囲を拡張した超小型機械式圧力ゲージ |
JP2005331362A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Canon Inc | 真空計 |
JP2008093801A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 封止接合性能評価装置、封止接合性能評価装置の製造方法、封止接合性能評価方法、及び封止接合性能評価システム |
-
2008
- 2008-11-28 JP JP2008303397A patent/JP5151935B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62137533A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-20 | Hitachi Ltd | 真空センサ |
JPH08338776A (ja) * | 1995-03-21 | 1996-12-24 | Varian Assoc Inc | センサ範囲を拡張した超小型機械式圧力ゲージ |
JP2005331362A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Canon Inc | 真空計 |
JP2008093801A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 封止接合性能評価装置、封止接合性能評価装置の製造方法、封止接合性能評価方法、及び封止接合性能評価システム |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107748274A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-03-02 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 | 通过伺服电路扫频对加速度计内部真空度进行检测的方法 |
CN107748274B (zh) * | 2017-09-30 | 2020-12-15 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 | 通过伺服电路扫频对加速度计内部真空度进行检测的方法 |
CN113008453A (zh) * | 2021-03-09 | 2021-06-22 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 基于谐振器的真空度检测方法、系统及装置 |
CN114659706A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-06-24 | 季华实验室 | 真空度检测方法、装置、电子设备、存储介质及系统 |
CN114659706B (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-02 | 季华实验室 | 真空度检测方法、装置、电子设备、存储介质及系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5151935B2 (ja) | 2013-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5367925B1 (ja) | Mems共振器を用いた圧力センサ | |
JP4610012B2 (ja) | 物理量測定装置 | |
JP4480640B2 (ja) | 超音波疲労試験装置及び超音波疲労試験方法 | |
JP2006194701A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP5360362B2 (ja) | 角速度検出装置用回路、角速度検出装置及び故障判定システム | |
JP5151935B2 (ja) | 真空計 | |
JP2007255890A (ja) | ジャイロ装置 | |
JP2000329681A (ja) | 自己励振、自己検知型プローブ及び走査型プローブ装置 | |
JP2012037499A (ja) | ジャイロセンサ駆動装置 | |
JPH10339637A (ja) | 振動型角速度検出装置 | |
JP5151934B2 (ja) | 真空計 | |
JP5348408B2 (ja) | 物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法 | |
JP5556363B2 (ja) | 真空計 | |
JP5375252B2 (ja) | 真空計 | |
JP5387467B2 (ja) | 真空計 | |
JP5353358B2 (ja) | 真空計 | |
JP5622000B2 (ja) | 角速度検出装置用回路、角速度検出装置及び故障判定システム | |
JP2006333682A (ja) | 超音波モータの駆動信号周波数設定方法及び超音波モータの駆動装置 | |
JP2003194615A (ja) | 充填物検知方法及び装置 | |
JP4631240B2 (ja) | 物理量センサ | |
JP5589171B2 (ja) | 物理量検出装置用回路 | |
JP2010107416A (ja) | 角速度検出装置およびその製造方法 | |
JP2006250643A (ja) | 角速度センサの異常検出装置 | |
JP5387468B2 (ja) | 真空計 | |
JP2005308530A (ja) | 角速度・加速度複合センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111013 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121119 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5151935 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |