JP2008093801A - 封止接合性能評価装置、封止接合性能評価装置の製造方法、封止接合性能評価方法、及び封止接合性能評価システム - Google Patents
封止接合性能評価装置、封止接合性能評価装置の製造方法、封止接合性能評価方法、及び封止接合性能評価システム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】開口部3を有するフレーム部4と、フレーム部4の開口部3内に支持された複数の振動体5a,5b,5cと、フレーム部4の上面に形成された光透過性のキャップ部6と、フレーム部4の下面に接合されたシリコン基板7とを備え、開口部3はキャップ部6とシリコン基板7とにより気密封止されている。そして、振動体5a,5b,5cを振動させ、キャップ部6を介して振動体5a,5b,5cに光を照射し、振動体5a,5b,5cにおいて反射した光を受光し、受光した光から振動体の共振特性を測定し、測定された共振特性から開口部3内の真空度を算出する。
【選択図】図2
Description
"A Sensitive Pirani Vacuum Sensor and the electrothermal SPICE modeling", Sensor and Actuators, A53(1996), 273-277
本発明の一実施形態となる封止接合性能評価装置1は、図1に示すように、後述する製造方法によって半導体ウェハ2上に複数形成される。図1に示す例では、封止接合性能評価装置1は、4インチ半導体ウェハ(100mφ)の有効エリア(85mmφ,破線部領域)内に複数形成され、封止接合性能評価装置1間で封止構造の寸法等を変化させることにより最適な封止構造を評価可能なように構成されている。
上記キャップ部6を製造する際は、始めに、図4(a)に示すようなガラス基板6aを用意し、ガラス基板6aの表面にCrスパッタ層31及びAuスパッタ層32を順に形成した後、図4(b)に示すように、Auスパッタ層32の表面領域のうち、凹部11を形成する領域R1以外の領域にレジスト膜33をパターンニングする。
フレーム部4を製造する際は、始めに、図7(a)に示すように裏面に絶縁膜34(膜厚1μm程度)を有すると共に活性層9に振動体5a,5b,5cの形状が形成されたSOI基板とキャップ部6を陽極接合する。
上記実施形態の封止接合性能評価装置1は、フレーム部4の下面にシリコン基板7を接合することにより、シリコン基板8とシリコン基板7間の封止接合の封止性能を評価するものであったが、シリコン基板8の下面に金属膜を形成することにより金属膜とシリコン基板7間の封止接合の封止性能を評価してもよい。但し、通常の製造プロセスによりシリコン基板8の下面に金属膜を形成した場合、振動体5a,5b,5cに金属膜が付着することにより振動体5a,5b,5cの振動性能に影響が出る可能性がある。
2:ウェハ
3:開口部
4:フレーム部
5a,5b,5c:振動体
6:キャップ部
6a:ガラス基板
7,8:シリコン基板
9:活性層
10:埋込酸化膜
11:凹部
21:チャンバー
22:ステージ
23:圧電板
24:レーザドップラー振動計
25:カメラ
26:圧力センサ
27:ガス導入部
28:ガス排出部
30:XYZステージ
31:Crスパッタ層
32:Auスパッタ層
33:レジスト膜
34:裏面絶縁膜
35:金属膜
Claims (11)
- 開口部を有するフレーム部と、
前記フレーム部の開口部内に支持された振動体と、
前記フレーム部の上面に形成された光透過性のキャップ部と、
前記フレーム部の下面に接合された封止接合構造とを備え、
前記開口部は前記キャップ部と前記封止接合構造とにより気密封止され、
前記振動体を振動させた状態で前記キャップ部を介して振動体に光を照射し、振動体において反射した光を受光し、受光した光から振動体の共振特性を測定し、測定された共振特性から前記開口部内の真空度を算出することにより、前記フレーム部と前記封止接合構造間の封止性能が評価可能なように形成されていることを特徴とする封止接合性能評価装置。 - 請求項1に記載の封止接合性能評価装置において、前記開口部内には面積が異なる複数の振動体が支持されていることを特徴とする封止接合性能評価装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の封止接合性能評価装置において、前記キャップ部の前記フレーム側表面には凹部が形成されていることを特徴とする封止接合性能評価装置。
- 請求項1乃至請求項3のうち、いずれか1項に記載の封止接合性能評価装置において、前記フレーム部はシリコン基板と活性層により埋込酸化膜を挟持したSOI基板により形成され、前記振動体は当該SOI基板の活性層により形成されていることを特徴とする封止接合性能評価装置。
- 請求項4に記載の封止接合性能評価装置の製造方法であって、
前記キャップ部の前記フレーム側表面に凹部を形成する工程と、
前記SOI基板の活性層に振動体形状を形成する工程と、
前記凹部と前記振動体が対向するように前記キャップ部と前記SOI基板とを陽極接合する工程と、
前記振動体下方のシリコン基板及び埋込酸化膜を除去することにより振動体を振動可能な状態にする工程と、
前記シリコン基板の下面に前記封止接合構造を接合する工程と
を有することを特徴とする封止接合性能評価装置の製造方法。 - 請求項5に記載の封止接合性能評価装置の製造方法であって、前記キャップ部を形成する工程は、ガラス基板表面に金属層とレジスト膜をマスクとして順に形成し、当該マスクを介してガラス基板をエッチングすることにより前記凹部を形成し、エッチング終了後にマスクを除去する工程を有することを特徴とする封止接合性能評価装置の製造方法。
- 請求項5又は請求項6に記載の封止接合性能評価装置の製造方法において、前記振動体を振動可能な状態にする工程は、前記シリコン基板をドライエッチング処理により除去する工程と、前記埋込絶縁膜をドライエッチング処理により除去する工程とを順に実行することにより行われることを特徴とする封止接合性能評価装置の製造方法。
- 請求項5乃至請求項7のうち、いずれか1項に記載の封止接合性能評価装置の製造方法であって、前記SOI基板として裏面に絶縁膜を有するSOI基板を用いることを特徴とする封止接合性能評価装置の製造方法。
- 請求項4に記載の封止接合性能評価装置の製造方法において、
前記キャップ部の前記フレーム側表面に凹部を形成する工程と、
前記SOI基板の活性層に振動体を形成する工程と、
前記凹部と前記振動体が対向するように前記キャップ部と前記SOI基板とを陽極接合する工程と、
所定の厚さを残して前記振動体下方のシリコン基板を除去する工程と、
シリコン基板表面に金属膜を形成する工程と、
封止接合構造を形成する領域以外の領域の金属膜を除去する工程と、
前記振動体下方のシリコン基板及び埋込酸化膜を除去する工程と
を有することを特徴とする封止接合性能評価装置の製造方法。 - 封止接合によって封止された中空構造内に設けられた振動体を振動させるステップと、
前記振動体に光を照射するステップと、
前記振動体において反射した光を受光するステップと、
受光した光から前記振動体の共振特性を測定し、測定された共振特性から前記中空領域内の真空度を算出するステップと、
算出された真空度に基づいて前記封止接合の封止性能を評価し、評価結果に基づいて封止接合のプロセス条件を決定するステップと
を有することを特徴とする封止接合性能評価方法。 - 開口部を有するフレーム部と、フレーム部の開口部内に支持された振動体と、フレーム部の上面に形成された光透過性のキャップ部と、フレーム部の下面に接合された封止接合構造とを有し、開口部はキャップ部と封止接合構造とにより気密封止されている封止接合性能評価装置と、
前記封止接合性能評価装置を振動させることにより前記振動体を励振させる振動付与部と、
前記キャップ部を介して振動体に光を照射する照射部と、
前記振動体において反射した光を受光する受光部と、
前記受光部が受光した光から振動体の共振特性を測定し、測定された共振特性から前記開口部内の真空度を算出する算出部と
を備えることを特徴とする封止接合性能評価システム。
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JP2010127796A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 真空計 |
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JP2005091544A (ja) * | 2003-09-16 | 2005-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、光書込装置および画像形成装置 |
JP2005309174A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Seiko Epson Corp | 波長可変フィルタ及びその製造方法 |
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