JP2010125543A - ワイヤソー用のボビン及びワイヤソー - Google Patents

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Abstract

【課題】ワイヤの巻き回圧力により円筒状のボビン本体が変形することを抑制できるようにすること。
【解決手段】ワイヤソーの駆動軸33を挿入可能な中心孔37bを有し、外周面にワイヤソーのワイヤ14を巻き回状態でスタックするための円筒状のボビン本体37を備える。ボビン本体37の長さ方向の中央部において中心孔37bの内周には、その中央部を閉鎖状態で補強する補強壁38を形成する。補強壁38の軸心位置には、駆動軸33上の連結凹部33aに係合可能な連結凸部40aを形成する。
【選択図】図2

Description

この発明は、例えば半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料をワイヤにより切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤが巻き回されるワイヤソー用のボビン、及びそのボビンを備えたワイヤソーに関するものである。
従来、この種のワイヤソー用のボビンとしては、例えば図5に示されるような構成が具体化されている。この従来構成においては、ボビン71がワイヤソーの駆動軸72に、通しボルト73を用いて着脱可能に支持される。すなわち、ボビン71が円筒状に形成され、そのボビン71の外周にはワイヤソーのワイヤ74を巻き回するための巻き胴部75が形成されている。ボビン71の中心には、前記駆動軸72に嵌合可能な中心孔76が形成されている。
また、特許文献1には図4に示す構成が開示されている。すなわち、前記図5の構成とほぼ同様に、ボビン51が円筒状に形成され、そのボビン51の外周にはワイヤソーのワイヤ52を巻き回するための巻き胴部53が設けられている。ボビン51の中心には、図示しないモータにより回転されるワイヤソーの駆動軸54に嵌合可能な中心孔55が形成されている。
さらに、特許文献1の構成においては、前記ボビン51の中心孔55には、ボビン51の基端から先端付近まで延びる大径孔部55aが形成されている。ボビン51の先端付近において、中心孔55にはフランジ58が形成されている。そして、そのフランジ58には、ボビン51の先端付近に位置する小径孔部55bと、大径孔部55aと小径孔部55bとの間に位置するテーパ孔部55cとが設けられている。駆動軸54には、ボビン51の中心孔55の大径孔部55aに対応する大径軸部54aと、小径孔部55bに嵌合可能な小径軸部54bと、テーパ孔部55cに接合可能なテーパ軸部54cとが設けられている。
前記駆動軸54の小径孔部55bには、雄ネジ56が形成されている。そして、ボビン51の中心孔55を駆動軸54に挿入した状態で、ボビン51の先端側から雄ネジ56にナット57が螺合されることにより、駆動軸54のテーパ軸部54cが中心孔55のテーパ孔部55cに圧接される。
特開2000−317805号公報
ところが、前記図4及び図5に示す従来のワイヤソー用のボビンにおいては、次のような問題があった。すなわち、ボビン51,71が円筒状に形成され、例えば、図5に2点鎖線で示すように、ボビン51,71の巻き胴部53,75にワイヤ52,74が巻き取られているとき、そのワイヤ52,74の巻き回圧力により、巻き胴部53,75が内側に向かって凹状に変形して、ワイヤ52,74の巻き取り形状が悪くなる。そして、このように、ワイヤ52,74の巻き取り形状が悪くなると、外周側に巻き回されたワイヤ52,74がその内周側のワイヤの巻き取り部に食い込む。この状態で、ボビン51,71が駆動軸54,72に支持されて、ワイヤ52,74によるワーク加工が開始されると、ワイヤ52,74の繰り出し(巻き出し)時に、ワイヤ52,74の張力が大きく変動する。このため、ワイヤ52,74が切断されたり、ワークの加工精度が低下したりする。
また、特許文献1の構成において、ボビン51が駆動軸54に支持されて、中心孔55の小径孔部55bに駆動軸54の小径軸部54bが挿入された状態においても、小径孔部55bがボビン51の端部に位置しているため、ワイヤ52の巻き回圧力により、図4に鎖線で示すように巻き胴部53が凹状に変形する。従って、この場合も、前記のワイヤ切断や、加工精度の低下の問題が生じる。
さらに、特許文献1の構成において、ワイヤ52の巻き回圧力は、図4に矢印で示すように、中心孔55の小径孔部55bに対して縮径方向の力として作用する。このため、駆動軸54に対するボビン51の着脱が困難になるという別の問題も生じる。すなわち、ワイヤソーとは別のワイヤ巻き取り装置により、ボビン51の巻き胴部53に新しいワイヤ52を巻き回して、そのボビンをワイヤソーの駆動軸54に装着する際、ボビン51の中心孔55の小径孔部55bを駆動軸54の小径軸部54bに嵌合することが困難である。また、ワイヤソーの運転にともない、一方のボビンから他方のボビンにワイヤ52が巻き取られた後に、そのワイヤ巻き取り状態のボビンを駆動軸54から取り外す際に、駆動軸54の小径軸部54bからボビン51の中心孔55の小径孔部55bを抜き取ることが困難になる。
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。この発明の主な目的は、ワイヤの巻き回圧力による変形を抑制することができるワイヤソー用のボビン、及びそのボビンを備えたワイヤソーを提供することにある。
上記の目的を達成するために、ボビンの駆動軸を挿入可能な中心孔を有し、外周面にワイヤを巻き回するための円筒状のボビン本体を備えたワイヤソー用のボビンであって、前記ボビン本体の軸線方向の中央部において、前記中心孔の内周にはその中央部を閉鎖状態で補強する補強壁を設けたことを特徴としている。
従って、この発明においては、円筒状のボビン本体の中央部が補強壁により補強されているので、ボビン本体上にワイヤが巻き取られたとき、そのワイヤの巻き回圧力によるボビンの変形は微少に抑えられる。よって、ボビン本体の変形にともない、ワイヤの巻き取り形状が悪くなることを抑制することができる。
また、前記の構成において、前記補強壁の軸心位置には、前記駆動軸上の連結凹部に係合可能な連結凸部を設けるとよい。このように構成した場合には、ボビン本体上にワイヤが巻き取られたとき、そのワイヤの巻き回圧力により、連結凸部と連結凹部との連結部分に締め付け力が作用することはない。よって、ボビン本体を駆動軸に対して容易に着脱することができる。
さらに、前記の構成において、前記補強壁の軸心位置には、前記駆動軸上の連結凸部に係合可能な連結凹部を設けることが好ましい。従って、補強壁と駆動軸との連結部の凹凸が逆になるのみであって、前記と同様な作用を得ることができる。
ワイヤソーに係る発明においては、請求項2に記載のボビンを備え、モータにより回転される駆動軸をボビンの中心孔に挿入して、前記連結凹部と前記連結凸部とを連結したことを特徴とする。
同じくワイヤソーに係る発明においては、請求項3に記載のボビンを備え、モータにより回転される駆動軸をボビンの中心孔に挿入して、前記連結凸部と前記連結凹部とを連結したことを特徴とする。
この発明によれば、ワイヤの巻き回圧力により円筒状のボビン本体が変形することを抑制することができ、ワイヤ切断を防止できるとともに、加工精度を向上できるという効果を発揮する。
以下に、この発明の一実施形態を、図1〜図3に基づいて説明する。
図1に示すように、この実施形態のワイヤソーにおいては、図示しないコラムに切断機構11が装設されている。この切断機構11は、所定間隔をおいて平行に延びる複数の加工用ローラ12,12を備え、それらの加工用ローラ12,12の外周には多数の環状溝12a,12aが所定ピッチで形成されている。加工用ローラ12,12の各環状溝12a,12aには、1本の線材よりなるワイヤ14が連続して巻き回されている。そして、図示しないローラ駆動用モータにて加工用ローラ12,12が正逆回転されることにより、ワイヤ14が加工用ローラ12,12間において往復走行される。この場合、ワイヤ14の走行は、一定量前進及びその一定量前進より少ない移動量の一定量後退を交互に繰り返し、全体としてワイヤ14が歩進的に前進するように行われる。
図1に示すように、前記切断機構11の上方には、スラリ供給機構15が設けられ、このスラリ供給機構15から加工用ローラ12,12間のワイヤ14に、遊離砥粒を含むスラリが供給される。切断機構11の上方には、硬脆材料よりなるワーク16が図示しないワーク支持機構にセットした状態で配置される。そして、ワイヤ14が加工用ローラ12,12間で走行されるとともに、そのワイヤ14上にスラリ供給機構15からスラリが供給されながら、ワーク支持機構とともにワーク16が切断機構11に向かって下降される。この下降により、ワーク16がワイヤ14に押し付けられて、切断される。
図1に示すように、ワイヤソーの図示しないフレーム18には図2に示すリール機構17が装設されている。このリール機構17は、外周面のワイヤ14が巻き回される一対のボビン20,20、すなわちワイヤ14を繰り出すための繰り出し側ボビン20(図1において左側または右側のボビン20)と、ワイヤ14を巻き取るための巻き取り側ボビン20(図1において右側または左側のボビン20)とを備えている。そして、回転方向及び回転速度を変更可能な図示しないモータにより、リール機構17の両ボビン20,20が正逆回転されることにより、繰り出し側ボビン20から切断機構11にワイヤ14が繰り出し及び巻き取りをともないながら全体として順次繰り出されるとともに、加工に使用された後のワイヤ14が巻き取り側ボビン20に巻き取り及び繰り出しをともないながら全体として順次巻き取られる。
図1に示すように、前記フレームには図示しないトラバース機構が、リール機構17の繰り出し側ボビン20及び巻き取り側ボビン20と隣接対応した状態で装設されている。そして、トラバース機構により、繰り出し側ボビン20及び巻き取り側ボビン20からのワイヤ14の繰り出しと、同じく繰り出し側ボビン20及び巻き取り側ボビン20に対するワイヤ14の巻き取りとが、ボビン20,20の長さ方向にワイヤ14をトラバースしながら案内される。
前記リール機構17と切断機構11との間にはそれぞれ図示しない張力付与機構が配設されている。そして、張力付与機構により、加工用ローラ12,12間等のワイヤ14に対して所定の張力が付与される。
次に、前記リール機構17における両ボビン20,20の構造及びその支持構成について詳細に説明する。
図2及び図3に示すように、前記フレーム18には、軸受筒31が複数のボルト32により水平方向に貫通固定されている。軸受筒31内には、駆動軸33が複数のベアリング34を介して回転可能に支持されている。駆動軸33の先端中央部には連結凹部33aが形成されるとともに、先端周辺部には複数のネジ孔33bが形成されている。駆動軸33の基端にはプーリ35が取り付けられ、このプーリ35と図示しないモータのモータ軸上に取り付けられたプーリとの間にはベルト36が掛装されている。そして、モータの回転により、ベルト36及びプーリ35を介して駆動軸33が回転される。
図2及び図3に示すように、前記繰り出し側ボビン20及び巻き取り側ボビン20のボビン本体37は、鉄系金属等の金属により円筒状に形成されている。ボビン本体37の外周にはワイヤ14を巻き回状態でスタックするための巻き胴部37aが形成されるとともに、外周両端にはフランジ37cが形成されている。ボビン本体37の中心には、前記駆動軸33の外周の軸受筒31に外嵌可能な中心孔37bが形成されている。ボビン本体37の長さ方向の中央部において、中心孔37bの内周にはその中央部を閉鎖状態で補強するための補強壁38が形成されている。
前記補強壁38は、ボビン本体37の中心孔37bの内周面に一体に形成された環状の壁部39と、その壁部39の中心部の透孔39a内に嵌合固定された連結部材40とから構成されている。連結部材40の中心部には、駆動軸33上の連結凹部33aに係合可能な連結凸部40aが形成されている。連結部材40の外周にはフランジ部40bが突設され、そのフランジ部40bには複数のボルト挿通孔40cが形成されている。ボビン本体37内の壁部39には、連結部材40のボルト挿通孔40cに対応する複数のボルト挿通孔39bが形成されている。
そして、ボビン本体37の中心孔37bの先端側から各ボルト挿通孔40c,39bを介して駆動軸33のネジ孔33bに複数のボルト41が螺合されることにより、ボビン本体37が駆動軸33に対して固定されている。この状態で、連結部材40の連結凸部40aが駆動軸33の連結凹部33aに嵌合されて、ボビン本体37が駆動軸33に対して一体回転可能に連結されている。
さて、未使用の新たなワイヤ14は、ボビン20に満巻状態で巻き付けられている。そして、この新たなワイヤ14を用いてワーク16が加工される場合は、一方の駆動軸33に満巻ボビン20が支持されるとともに、他方の駆動軸33に空ボビン20が支持される。この状態で、ワイヤソーが運転されると、駆動軸33の正逆回転にともなって、前記のように、ボビン20,20も正逆回転され、ワイヤ14が加工用ローラ12,12の位置において加工に供されるとともに、トラバース機構(図示しない)によりトラバースされながら、繰り出し及び巻き取りが繰り返され、満巻ボビン20側から加工用ローラ12,12等を経て繰り出されて空ボビン20側に巻き取られる。
このとき、ボビン本体37の中心孔37bの内周にその中央部を閉鎖状態で補強するための補強壁38が設けられているため、ワイヤ14が巻き回されても、ボビン本体37の変形を防止できる。
従って、この実施形態においては、以下の効果を得ることができる。
(1) この実施形態のワイヤソーのボビン20,20においては、円筒状をなすボビン本体37の長さ方向の中央部に位置するように、ボビン本体37の中心孔37bの内周にその中央部を閉鎖状態で補強するための補強壁38が設けられている。このため、ボビン本体37の巻き胴部37a上にワイヤ14が巻き取られたとき、そのワイヤ14の巻き回圧力が補強壁38により受け止められて、巻き胴部37aの中央部が凹状に変形するおそれを防止することができる。よって、ボビン本体37の巻き胴部37aの変形にともない、ワイヤ14の巻き取り形状が悪くなることを防止することができる。このため、ワイヤ14の張力変動を抑制でき、ワイヤ14の切断や加工精度の低下を回避できる。
(2) この実施形態のボビン20,20においては、ボビン本体37内の補強壁38には、駆動軸33上の連結凹部33aに係合可能な連結凸部40aが形成されている。このため、ボビン本体37の巻き胴部37a上にワイヤ14が巻き取られたとき、そのワイヤ14の巻き回圧力により、連結凸部40aと連結凹部33aとの連結部分に締め付け力が作用することはない。よって、ボビン本体37を駆動軸33に対して容易に着脱することができ、ボビン20の取り扱いを容易に行うことができる。
すなわち、ワイヤソーと別のワイヤ巻き取り装置により、繰り出し側ボビン20におけるボビン本体37の巻き胴部37aに新しいワイヤ14を巻き回して、そのボビン20をワイヤソーの駆動軸33に装着する場合、ボビン本体37側の連結凸部40aを駆動軸33側の連結凹部33aに対して容易に連結させることができる。また、ワイヤソーの運転にともない、繰り出し側ボビン20から巻き取り側ボビン20にワイヤ14が巻き取られた後に、そのワイヤ巻き取り状態のボビン20を駆動軸33から取り外す場合にも、駆動軸33側の連結凹部33aからボビン本体37側の連結凸部40aを容易に抜き取ることができる。
(変更例)
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・前記実施形態においては、駆動軸33に連結凹部33aが、ボビン20の補強壁38(連結部材40)に連結凸部40aがそれぞれ形成されている。これに対し、この関係を逆にして、駆動軸33に連結凸部40aを、ボビン20の補強壁38(連結部材40)に連結凹部を形成すること。
・ ボビン本体37の材質としては鉄系金属に限らず、アルミニウム合金やチタン合金を用いることも考えられる。
・ 前記実施形態においては、ボビン20,20の駆動軸33が水平方向を向くワイヤソーにおいて本発明を具体化したが、駆動軸が上下方向を向くワイヤソーに本発明を具体化してもよい。
・ 前記実施形態においては、リール機構17の両ボビン20,20が正逆回転されることにより、繰り出し側ボビン20から切断機構11にワイヤ14が繰り出し及び巻き取りをともないながら全体として順次繰り出されるとともに、加工に使用された後のワイヤ14が巻き取り側ボビン20に巻き取り及び繰り出しをともないながら全体として順次巻き取られるように構成されている。これに対し、ワイヤ14が反転移動されることなく一方向に連続移動されることにより、ワーク加工が行われるタイプのワイヤソーにおいて本発明を具体化してもよい。
一実施形態のワイヤソー用のボビンを備えたワイヤソーを示す要部斜視図。 図1のワイヤソーにおけるボビンの部分を拡大して示す要部断面図。 同じくボビンの部分を分解して示す要部斜視図。 従来のワイヤソー用のボビンを示す要部断面図。 図4とは異なる従来のワイヤソー用のボビンを示す要部断面図。
符号の説明
11…切断機構、12…加工用ローラ、14…ワイヤ、17…リール機構、20…ボビン、33…駆動軸、33a…連結凹部、33b…ネジ孔、37…ボビン本体、37a…巻き胴部、37b…中心孔、38…補強壁、39…壁部、40…連結部材、40a…連結凸部、41…ボルト。

Claims (5)

  1. ボビンの駆動軸を挿入可能な中心孔を有し、外周面にワイヤを巻き回するための円筒状のボビン本体を備えたワイヤソー用のボビンであって、
    前記ボビン本体の軸線方向の中央部において、前記中心孔の内周にはその中央部を閉鎖状態で補強する補強壁を設けたことを特徴とするワイヤソー用のボビン。
  2. 前記補強壁の軸心位置には、前記駆動軸上の連結凹部に係合可能な連結凸部を設けたことを特徴とする請求項1に記載のワイヤソー用のボビン。
  3. 前記補強壁の軸心位置には、前記駆動軸上の連結凸部に係合可能な連結凹部を設けたことを特徴とする請求項1に記載のワイヤソー用のボビン。
  4. 請求項2に記載のボビンを備え、モータにより回転される駆動軸をボビンの中心孔に挿入して、前記連結凹部と前記連結凸部とを連結したことを特徴とするワイヤソー。
  5. 請求項3に記載のボビンを備え、モータにより回転される駆動軸をボビンの中心孔に挿入して、前記連結凸部と前記連結凹部とを連結したことを特徴とするワイヤソー。
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