JP2010117154A - 圧力センサ - Google Patents

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Abstract

【課題】 加熱手段を備えた圧力センサにおいて、加熱制御のために高分解能でかつ時間比例周期を短くできる時間比例制御を実現する。
【解決手段】 圧力を検出する受圧部1と、受圧部1を加熱するヒータ2と、受圧部1の温度を検出する温度センサ3と、この温度センサ3で検出された温度が設定温度となるようにヒータ2の加熱量を制御するコントローラ5とを備える。コントローラ5は、検出温度と設定温度との差に応じた制御出力を演算出力ビット信号に変換し、該演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割し、下位ビット信号を第1矩形波信号と比較して、下位ビット信号が第1矩形波信号より大きいときに上位ビット信号に1を加算する。そして、演算出力ビット信号を第2矩形波信号と比較して、該演算出力ビット信号が第2矩形波信号より大きいときは1、演算出力ビット信号が第2矩形波信号以下であるときは0として、演算出力ビット信号を1ビット信号に変換し、ヒータ2の加熱量を制御する制御出力として生成する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、加熱手段を備えた圧力センサに関する。
従来、加熱手段を備えた圧力センサとしては、例えば、特許文献1に示すように、センサの外壁部分に加熱手段としてヒータを巻き付けてなるものが知られている。かかる圧力センサでは、センサ全体を一定温度に保持するように外部電源から温度制御回路を介して加熱手段に電力を供給する。
ここで、圧力センサは、計測対象物の物性等を変化させないために対象物の温度と等しい温度に保持する必要がある。特に、高温のガスが計測対象となる半導体製造装置等に圧力センサが使用される場合には、センサの温度がガスの温度よりも低いと、ガスが液化ないし固化してセンサ部に付着してしまう。逆に、センサの温度がガスの温度よりも高いと、ガスが化学分解して組成を変化させてしまうことがある。そこで、センサを高温に加熱するヒータを備えた自己加熱型隔膜真空計が用いられ、ヒータの温度制御は、時間比例制御で行われている。
図4は、従来の時間比例制御におけるPWM波形の例を示す図である。図4では、PWM信号のフルスケールのパルスカウント数Czのうち出力カウントCkをON(1)、Cz−CkをOFF(0)として出力する状態を示している。
特開平5−281073号公報
しかしながら、従来の時間比例制御では、次のような問題があった。例えば、基本クロック周波数を4MHzとして、16ビットPWM信号を処理する場合、従来の時間比例制御では、時間比例周期は16.38 msとなり、応答が遅くなってしまう。すなわち、精度を良くするために分解能を高くすると時間比例周期が長くなる。その結果、ヒータのON,OFFに合わせて制御対象の受圧部の温度が変動してしまい、計測性能が不安定になる。
これを回避するために熱容量を大きくして温度の変動(振れ)を小さくすることが考えられるが、温度制御の応答性が低下し、立ち上がり時間が長くなってしまう。一方、時間比例周期を短くすると、時間比例の分解能が低くなって、温度制御性が悪くなり、計測性能が低下してしまう。
本発明は、上記のような加熱手段を備えた圧力センサにおいて、加熱制御のために高分解能でかつ時間比例周期を短くできる時間比例制御を実現することを目的とする。
本発明は、圧力を検出する受圧部と、該受圧部を加熱する加熱手段と、該受圧部の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段によって検出された温度が予め設定された設定温度となるように前記加熱手段の加熱量を制御する制御手段とを備えた圧力センサにおいて、前記制御手段は、所定パルス幅の矩形波信号を生成し、該2つの矩形波信号を用いて前記加熱量を制御するための演算出力を生成する演算処理部と、該演算出力により前記加熱手段を加熱するための制御回路とを備え、
前記演算処理部は、前記検出温度と設定温度との差に応じた制御出力を演算出力ビット信号に変換し、該演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割し、該下位ビット信号を該演算処理部で生成された第1矩形波信号と比較して、該下位ビット信号が該第1矩形波信号より大きいときに前記上位ビット信号に1を加算する第1の変換処理、及び、前記第1の変換処理で変換された演算出力ビット信号を該演算処理部で生成された第2矩形波信号と比較し、該演算出力ビット信号が該第2矩形波信号より大きいときは1、該演算出力ビット信号が該第2矩形波信号以下であるときは0として、前記演算出力ビット信号を1ビット信号に変換する第2の変換処理を行い、該第2の変換処理で変換された演算出力ビット信号を前記演算出力として生成することを特徴とする。
本発明では、加熱手段を制御するための制御出力は、制御手段の演算処理部で演算出力ビット信号に変換され、演算出力ビット信号は、上位ビット信号と下位ビット信号とに分割される。そして、第1の変換処理で、下位ビット信号が、前記演算処理部で生成された第1矩形波信号より大きいときは上位ビット信号に1を加算し、第1矩形波信号以下のときは上位ビット信号をそのまま出力する。この演算出力ビット信号は、第2の変換処理で、演算処理部で生成された第2矩形波信号より大きいときに1、第2矩形波信号以下であるときは0として、1ビット信号に変換される。
また、本発明においては、前記演算処理部は第1の演算処理部と第2の演算処理部とを備え、前記第1の変換処理を前記第1の演算処理部で行うと共に、前記第2の変換処理を前記第2の演算処理部で行うことが好ましい。このように演算処理部を分割することにより、演算処理部の負担を低減することができる。
前述した従来の時間比例制御では、例えば16ビットPWM信号を処理する場合、時間比例周期は16.38 msとなり、応答が遅くなってしまうが、8ビットPWM信号に分割して処理すれば、時間比例周期は64μsecとなり、短い時間でヒータONとOFFを出力することにより、従来の時間比例制御と比較して高速化を図ることができる。
従って、本発明によれば、分解能を高くすること(例えば16ビット)と時間比例周期を速くすること(例えば64μsec)の両方を実現することができる。そして、分解能が高いことで温度制御性が高く、高い計測性能が得られる。温度制御性をよくするために熱容量を大きくする必要がないため、ウォームアップ時間を短くできる。
図1は、実施形態の圧力センサの構成を示す。本実施形態は、被測定圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造を備えたものであり、特に真空に近い圧力を測定する自己加熱型隔膜真空計に好適に用いられる。
この圧力センサは、圧力を検出する受圧部1と、受圧部1を加熱する加熱手段としてのヒータ2と、受圧部1の温度を検出する温度センサ3と、ヒータ2に通電するための電流を生成するヒータ制御回路4と、温度センサ3によって検出された温度が予め設定された設定温度となるようにヒータ2の駆動電流を制御するコントローラ5とを備える。本実施形態では、ヒータ制御回路4とコントローラ5とでヒータ2の加熱温度を制御する制御手段を構成している。
受圧部1は、静電容量式のセンサチップより構成された容量センサ11を備える。容量センサ11の構成は、例えば本出願人の特許出願に係る特開2002−267559号、特開2006−3234号の各公報に記載されている構成と同じであるので、詳細な説明は省略するが、容量センサ11は、圧力の印加に応じてひずみが生じるセンサダイアフラムを備え、センサダイアフラムが撓んでセンサチップの固定電極と可動電極との間隔が変化することによるコンデンサの容量値の変化を検出するものである。
この容量センサ11から出力されたコンデンサの容量値の変化に対応する信号は、容量検出回路21に入力される。容量検出回路21では、入力された容量値の変化に対応する信号を増幅して、半波整流または全波整流回路とローパスフィルタとにより直流検出信号に変換される。
ヒータ2は、受圧部1全体を加熱するように通電量に応じた発熱量を発生する電熱線を受圧部1に巻き回して構成されており、ヒータ制御回路4を介して接続された外部電源6から電力供給を受けて発熱する。なお、ヒータ制御回路4はON・OFFスイッチ等で構成される。
温度センサ3は、受圧部1の容量センサ11に隣接する位置に設けられ、受圧部1の温度に対応する信号を受圧部温度検出回路23に出力する。受圧部温度検出回路23は、入力された受圧部温度に対応する信号を増幅し直流検出信号に変換して出力する。
また、各回路21,23に隣接する位置には、受圧部1と回路21,23との温度差による影響を補正するための参照温度を検出する回路温度検出回路24が設けられている。この回路温度検出回路24は、図示しない温度センサによって回路部分の温度を検出し、検出した回路部分の温度に対応する信号を増幅し直流検出信号に変換して出力する。
更に、外部電源6に電源電圧検出回路26が接続されている。電源電圧検出回路26は、外部電源6の出力電圧を検出する回路を備え、該回路からの出力信号を増幅し直流検出信号に変換して出力する。
上記各回路21,23,24,26から出力された直流検出信号は、アナログ‐デジタル変換回路30を介して、デジタル信号に変換されてコントローラ5に入力される。
コントローラ5は、少なくともCPUを含む各種処理動作に必要なハードウェアにより構成され、後述の演算処理等の動作用プログラムを格納している。そして、演算処理を実現するための手段として、PID演算部51と、信号変換部52と、第1の演算処理部53と、第2の演算処理部54と、信号変換部52で処理されたデータを記憶する第1の記憶部52aと、第1の演算処理部53で処理されたデータを記憶する第2の記億部53aとを備える。
PID演算部51は、受圧部の検出温度と設定温度との差に応じた制御出力値をPID演算する。
信号変換部52は、PID演算部51で演算した制御出力値を演算出力ビット信号に変換し、この演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割する。
第1及び第2の変換処理部53、54は、それぞれ下位ビット信号、上位ビット信号に対応する所定パルス幅の矩形波信号を生成し、該2つの矩形波信号を用いて前記ヒータ2の加熱量を制御するための演算出力(ON・OFF信号)を生成する。そして、その演算出力をヒータ制御回路4に送ってヒータ2を駆動する電流を出力する。
具体的には、第1の演算処理はファームウェアのCPUで行い、第2の演算処理は周辺機能のPWMタイマを利用して行う。
コントローラ5では、後述の演算処理のほか、容量検出回路21から出力された容量センサ11の検出値を、回路温度検出回路24から出力された参照温度の検出値を用いて補正する処理を実行する。そして、算出された補正後の検出値をデジタル‐アナログ変換回路40によってアナログ信号に変換し、デジタル‐アナログ変換回路40に接続された出力端子50から所定の電圧(0〜10V)で出力する。
コントローラ5には、出力端子50のほか、データメモリ56が接続されている。
データメモリ56は、コントローラ5によって算出された各種パラメータの算出値のほか各種設定値が記憶保持される。データメモリ56は、ROM,RAM等により構成され、コントローラ5からのデータの読出し及び更新ができるように構成されている。
上記のように、コントローラ5の信号変換部52で変換された演算出力ビット信号は、2つの矩形波信号を用いて前記ヒータの加熱量を制御するための演算出力として出力される。
以下、本発明による演算処理について説明する。
まず、受圧部の検出温度と設定温度に基づいてPID演算等を行う。例えば、PID演算値MVを74%とする。
次に、PID演算出力値を演算出力ビット信号に変換し、この演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割する。例えば、上位ビット信号と下位ビット信号を8ビットとすると、上位部分のカウント数Cx、下位部分のカウント数Cyは、
Cx =2=256 ・・・(1)
Cy =2=256 ・・・(2)
となり、全体としてのフルスケールカウント数は、
Ct =Cx・Cy=2×2=65536 ・・・(3)
となる。そして、PID演算値74%を演算出力ビット信号Ckに変換すると、
Ck =65536×74/100=48496.64 ・・・(4)
となる。
この数値は、四捨五入等により整数化して(48497)、16進数で表すと“BD71”となり、8ビットの上位ビット信号Cmと、8ビットの下位ビット信号Cnとに分割すると、Cm =BD、Cn =71となる。更に10進数で表すと、Cm =189、Cn =113となり、全体としての出力カウント数Ckは、結局
Ck =Cm・Cy +Cn =189×256+113=48497 ・・・(5)
となる。
式(5)を変更すると、
Ck =Cm・Cy +Cn =(Cm +1)・Cn +Cm・(Cy −Cn)
=(189+1)×113+189×(256−113) ・・・(6)
となる。
そして、式(6)を前半部“(189+1)×113”と後半部“189×(256−113)”に分割して出力する。
つまり、周辺機能のPWMタイマの周期である上位部分のカウント数Cx毎に、“Cm +1”(=190)をハードウェアのPWMタイマのレジストにセットすることを、Cn(=113)回繰り返し実施する。そして、Cm(=189)をハードウェアのPWMタイマのレジストにセットすることを、残りの“Cy −Cn ”(=143)回繰り返し実施する。
この結果、実際にヒータに加わる電力は、
{(190×113+189×143)/65536}×100=74.00055(%)
となり、誤差の小さいものとなる。
この状態を図示すれば、図2のようになる。
次に、図3A,Bのフローチャートを参照して、コントローラ5の処理動作について説明する。図において、ステップST1〜3、ステップST4〜10、ステップST11〜20、ステップST21〜28は、それぞれ独立した処理であり、各々の処理速度も異なる。
まず、図3Aに示すように、受圧部の検出温度とデータメモリ56に記憶されているヒータ2の加熱温度の設定値との差に応じた制御出力値x(%)を、PID演算部51にて求め(ST1)、信号変換部52にて、その演算結果xを演算出力ビット信号Ckに変換して(ST2)、第1の記憶部52aに記憶(格納)する(ST3)。
第1の演算処理部53では、C1 =0として(ST4)、第1の記憶部52aから演算出力ビット信号Ckを読み込み(ST5)、このCk(例えば16ビット)を、上位ビット信号Cm(8ビット)と下位ビット信号Cn(8ビット)に分割する(ST6)。そして、下位ビット信号Cnを第1のPWMカウンタ信号C1(8ビット)と比較し(ST7)、その大小により、以下の処理を行う。すなわち、Cn >C1ならば、上位ビット信号Cmに1を加算し(ST8)、Cn ≦C1ならば、上位ビット信号Cmのままとして(ST9)、それぞれ第2の記憶部53aに記憶(格納)する(ST10)。
次に、図3Bに示すように、第2の演算処理部54では、C2 =0として(ST11)、第2の記憶部53aから演算出力ビット信号Cm+1又はCmを読み込み(ST12)、その演算出力ビット信号Cm+1又はCmを第2のPWMカウンタ信号C2(8ビット)と比較して(ST13)、その大小により、以下の処理を行う。すなわち、Cm+1又はCm >C2ならば1を出力し(ST14)、Cm +1又はCm ≦C2ならば0を出力する(ST15)。
その後、C2 に1を加算して(ST16)、上記の演算出力ビット信号Cm+1又はCmをC2(8ビット)と比較し(ST17)、Cm+1又はCm >C2ならば1を出力し(ST18)、Cm +1又はCm ≦C2ならば0を出力する(ST19)。そして、C2 =Cx か否かを判定し(ST20)、「NO」であれば、ST16に戻ってST20までの手順を行い、C2 =Cx になったところで、第1の演算処理部53での処理に移行する。
再び図3Aに示すように、第1の演算処理部53では、第1の記憶部52aから演算出力ビット信号Ckを読み込み(ST21)、このCkを、上位ビット信号Cm(8ビット)と下位ビット信号Cn(8ビット)に分割する(ST22)。そして、C1 に1を加算して(ST23)、下位ビット信号Cnを第1のPWMカウンタ信号C1(8ビット)と比較し(ST24)、Cn >C1ならば、上位ビット信号Cmに1を加算し(ST25)、Cn ≦C1ならば、上位ビット信号Cmのままとして(ST26)、それぞれ第2の記憶部53aに記憶(格納)する(ST27)。そして、Cn =Cy か否かを判定し(ST28)、「NO」であれば、第2の演算処理部54でのST11に戻って以下の処理を行い、Cn =Cy になったところで、第1の演算処理部53での初めのST4に戻る。
以上のように、実施形態の圧力センサでは、ヒータの制御信号を生成するためにPWM方式の信号変換を用いることで、高分解能で時間比例周期の短い温度制御を実現している。
実施形態の圧力センサの構成を示すブロック図。 本発明におけるPWM波形の例を示す図。 実施形態の制御手段における処理動作を示すフローチャート。 同処理動作を示すフローチャート。 従来の時間比例制御におけるPWM波形の例を示す図。
符号の説明
1…受圧部、2…ヒータ、3…受圧部温度センサ、4…ヒータ制御回路、5…コントローラ、6…外部電源、11…容量センサ、21…容量検出回路、23…温度検出回路、24…回路温度検出回路、26…電源電圧検出回路、30…アナログ‐デジタル変換回路、40…デジタル‐アナログ変換回路、50…出力端子、51…PID演算部、52…信号変換部、53…第1の変換処理部、54…第2の変換処理部、56…データメモリ。

Claims (2)

  1. 圧力を検出する受圧部と、該受圧部を加熱する加熱手段と、該受圧部の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段による検出温度が予め設定された設定温度となるように前記加熱手段の加熱量を制御する制御手段とを備えた圧力センサにおいて、
    前記制御手段は、所定パルス幅の矩形波信号を生成し、該2つの矩形波信号を用いて前記加熱量を制御するための演算出力を生成する演算処理部と、該演算出力により前記加熱手段を加熱するための制御回路とを備え、
    前記演算処理部は、前記検出温度と設定温度との差に応じた制御出力を演算出力ビット信号に変換し、該演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割し、該下位ビット信号を該演算処理部で生成された第1矩形波信号と比較して、該下位ビット信号が該第1矩形波信号より大きいときに前記上位ビット信号に1を加算する第1の変換処理、及び、前記第1の変換処理で変換された演算出力ビット信号を該演算処理部で生成された第2矩形波信号と比較し、該演算出力ビット信号が該第2矩形波信号より大きいときは1、該演算出力ビット信号が該第2矩形波信号以下であるときは0として、前記演算出力ビット信号を1ビット信号に変換する第2の変換処理を行い、該第2の変換処理で変換された演算出力ビット信号を前記演算出力として生成することを特徴とする圧力センサ。
  2. 請求項1記載の圧力センサであって、
    前記演算処理部は第1の演算処理部と第2の演算処理部とを備え、
    前記第1の変換処理を前記第1の演算処理部で行うと共に、前記第2の変換処理を前記第2の演算処理部で行うことを特徴とする圧力センサ。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018026101A1 (ko) * 2016-08-05 2018-02-08 주식회사 포스코 브리켓 제조설비의 치크 플레이트 가압 장치 및 치크 플레이트 가압력 제어 방법
KR20220152931A (ko) 2021-05-10 2022-11-17 아즈빌주식회사 격막 진공계
KR20220155912A (ko) 2021-05-17 2022-11-24 아즈빌주식회사 격막 진공계

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01171007A (ja) * 1987-12-26 1989-07-06 Nippon Denso Co Ltd 酸素濃度センサの温度制御装置
JPH05333947A (ja) * 1992-06-02 1993-12-17 Yokogawa Electric Corp 温度制御方法
JPH06102115A (ja) * 1992-09-22 1994-04-15 Yokogawa Electric Corp 振動式圧力計
JP2004511765A (ja) * 2000-10-10 2004-04-15 エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド 圧力変換器により使用される改善された多温度ヒータ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01171007A (ja) * 1987-12-26 1989-07-06 Nippon Denso Co Ltd 酸素濃度センサの温度制御装置
JPH05333947A (ja) * 1992-06-02 1993-12-17 Yokogawa Electric Corp 温度制御方法
JPH06102115A (ja) * 1992-09-22 1994-04-15 Yokogawa Electric Corp 振動式圧力計
JP2004511765A (ja) * 2000-10-10 2004-04-15 エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド 圧力変換器により使用される改善された多温度ヒータ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018026101A1 (ko) * 2016-08-05 2018-02-08 주식회사 포스코 브리켓 제조설비의 치크 플레이트 가압 장치 및 치크 플레이트 가압력 제어 방법
KR20220152931A (ko) 2021-05-10 2022-11-17 아즈빌주식회사 격막 진공계
US11740151B2 (en) 2021-05-10 2023-08-29 Azbil Corporation Adjustable self-heating diaphragm vacuum gauge
KR20220155912A (ko) 2021-05-17 2022-11-24 아즈빌주식회사 격막 진공계
US11768120B2 (en) 2021-05-17 2023-09-26 Azbil Corporation Diaphragm vacuum gauge with decreased parasitic capacitance

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