JP2010117154A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧力を検出する受圧部1と、受圧部1を加熱するヒータ2と、受圧部1の温度を検出する温度センサ3と、この温度センサ3で検出された温度が設定温度となるようにヒータ2の加熱量を制御するコントローラ5とを備える。コントローラ5は、検出温度と設定温度との差に応じた制御出力を演算出力ビット信号に変換し、該演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割し、下位ビット信号を第1矩形波信号と比較して、下位ビット信号が第1矩形波信号より大きいときに上位ビット信号に1を加算する。そして、演算出力ビット信号を第2矩形波信号と比較して、該演算出力ビット信号が第2矩形波信号より大きいときは1、演算出力ビット信号が第2矩形波信号以下であるときは0として、演算出力ビット信号を1ビット信号に変換し、ヒータ2の加熱量を制御する制御出力として生成する。
【選択図】 図1
Description
前記演算処理部は、前記検出温度と設定温度との差に応じた制御出力を演算出力ビット信号に変換し、該演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割し、該下位ビット信号を該演算処理部で生成された第1矩形波信号と比較して、該下位ビット信号が該第1矩形波信号より大きいときに前記上位ビット信号に1を加算する第1の変換処理、及び、前記第1の変換処理で変換された演算出力ビット信号を該演算処理部で生成された第2矩形波信号と比較し、該演算出力ビット信号が該第2矩形波信号より大きいときは1、該演算出力ビット信号が該第2矩形波信号以下であるときは0として、前記演算出力ビット信号を1ビット信号に変換する第2の変換処理を行い、該第2の変換処理で変換された演算出力ビット信号を前記演算出力として生成することを特徴とする。
具体的には、第1の演算処理はファームウェアのCPUで行い、第2の演算処理は周辺機能のPWMタイマを利用して行う。
Cx =28=256 ・・・(1)
Cy =28=256 ・・・(2)
となり、全体としてのフルスケールカウント数は、
Ct =Cx・Cy=28×28=65536 ・・・(3)
となる。そして、PID演算値74%を演算出力ビット信号Ckに変換すると、
Ck =65536×74/100=48496.64 ・・・(4)
となる。
Ck =Cm・Cy +Cn =189×256+113=48497 ・・・(5)
となる。
Ck =Cm・Cy +Cn =(Cm +1)・Cn +Cm・(Cy −Cn)
=(189+1)×113+189×(256−113) ・・・(6)
となる。
{(190×113+189×143)/65536}×100=74.00055(%)
となり、誤差の小さいものとなる。
Claims (2)
- 圧力を検出する受圧部と、該受圧部を加熱する加熱手段と、該受圧部の温度を検出する温度検出手段と、該温度検出手段による検出温度が予め設定された設定温度となるように前記加熱手段の加熱量を制御する制御手段とを備えた圧力センサにおいて、
前記制御手段は、所定パルス幅の矩形波信号を生成し、該2つの矩形波信号を用いて前記加熱量を制御するための演算出力を生成する演算処理部と、該演算出力により前記加熱手段を加熱するための制御回路とを備え、
前記演算処理部は、前記検出温度と設定温度との差に応じた制御出力を演算出力ビット信号に変換し、該演算出力ビット信号を上位ビット信号と下位ビット信号とに分割し、該下位ビット信号を該演算処理部で生成された第1矩形波信号と比較して、該下位ビット信号が該第1矩形波信号より大きいときに前記上位ビット信号に1を加算する第1の変換処理、及び、前記第1の変換処理で変換された演算出力ビット信号を該演算処理部で生成された第2矩形波信号と比較し、該演算出力ビット信号が該第2矩形波信号より大きいときは1、該演算出力ビット信号が該第2矩形波信号以下であるときは0として、前記演算出力ビット信号を1ビット信号に変換する第2の変換処理を行い、該第2の変換処理で変換された演算出力ビット信号を前記演算出力として生成することを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1記載の圧力センサであって、
前記演算処理部は第1の演算処理部と第2の演算処理部とを備え、
前記第1の変換処理を前記第1の演算処理部で行うと共に、前記第2の変換処理を前記第2の演算処理部で行うことを特徴とする圧力センサ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018026101A1 (ko) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | 주식회사 포스코 | 브리켓 제조설비의 치크 플레이트 가압 장치 및 치크 플레이트 가압력 제어 방법 |
KR20220152931A (ko) | 2021-05-10 | 2022-11-17 | 아즈빌주식회사 | 격막 진공계 |
KR20220155912A (ko) | 2021-05-17 | 2022-11-24 | 아즈빌주식회사 | 격막 진공계 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01171007A (ja) * | 1987-12-26 | 1989-07-06 | Nippon Denso Co Ltd | 酸素濃度センサの温度制御装置 |
JPH05333947A (ja) * | 1992-06-02 | 1993-12-17 | Yokogawa Electric Corp | 温度制御方法 |
JPH06102115A (ja) * | 1992-09-22 | 1994-04-15 | Yokogawa Electric Corp | 振動式圧力計 |
JP2004511765A (ja) * | 2000-10-10 | 2004-04-15 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 圧力変換器により使用される改善された多温度ヒータ |
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2008
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01171007A (ja) * | 1987-12-26 | 1989-07-06 | Nippon Denso Co Ltd | 酸素濃度センサの温度制御装置 |
JPH05333947A (ja) * | 1992-06-02 | 1993-12-17 | Yokogawa Electric Corp | 温度制御方法 |
JPH06102115A (ja) * | 1992-09-22 | 1994-04-15 | Yokogawa Electric Corp | 振動式圧力計 |
JP2004511765A (ja) * | 2000-10-10 | 2004-04-15 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 圧力変換器により使用される改善された多温度ヒータ |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018026101A1 (ko) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | 주식회사 포스코 | 브리켓 제조설비의 치크 플레이트 가압 장치 및 치크 플레이트 가압력 제어 방법 |
KR20220152931A (ko) | 2021-05-10 | 2022-11-17 | 아즈빌주식회사 | 격막 진공계 |
US11740151B2 (en) | 2021-05-10 | 2023-08-29 | Azbil Corporation | Adjustable self-heating diaphragm vacuum gauge |
KR20220155912A (ko) | 2021-05-17 | 2022-11-24 | 아즈빌주식회사 | 격막 진공계 |
US11768120B2 (en) | 2021-05-17 | 2023-09-26 | Azbil Corporation | Diaphragm vacuum gauge with decreased parasitic capacitance |
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