JP2010117132A - ウェハのパターン検査方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハパターン検査方法及び装置は、検査対象であるウェハのパターン又はチップの検査画像を入力し、入力した検査画像と予め記憶されたリファレンス画像とを比較し、比較画像の相違量よりパターン又はチップの良否を判定する段階を備える。検査中に良品率が所定の閾値以下に低下した場合、ずれたパターン又はチップの画像をリファレンス画像として学習処理を再度行う。そして学習処理でパターンを学習した後に均一なパターンを探し、均一なパターン部分であれば、パターン検査以外のピッチ検査などの検査でウェハの検査を行うか、あるいは均一パターン部分でパターン検査とピッチ検査を同時に行ない、パターン検査の感度を決定し、決定した感度でウェハ全面のパターン又はチップを検査する。
【選択図】図1
Description
11 半導体ウェハ
12 移動部
13 ドライバ
14 照明部
15 撮像部
16 演算処理回路
17 メモリー
19 モニタ
20 入力部
Claims (2)
- 検査対象であるウェハのパターン又はチップの検査画像を入力し、入力した検査画像と予め記憶されていたリファレンス画像とを比較し、比較画像の相違量よりウェハの良否を判定する段階を備えたウェハのパターン検査方法であって、
検査中に良品率が所定の閾値以下に低下した場合、検査中のパターン又はチップの画像をリファレンス画像として用いて学習処理を再度行い、又は、学習処理でパターンを学習した後に均一なパターンを探し、均一なパターン部分であれば、パターン検査以外の、ピッチ検査などの検査でウェハの検査を行うか、あるいは均一パターン部分でパターン検査とピッチ検査を同時に行ない、ピッチ検査の結果からパターン検査の感度を決定し、決定した感度でウェハ全面のパターン又はチップを検査することを特徴とするウェハのパターン検査方法。 - 検査対象であるウェハのパターン又はチップの検査画像を入力する手段と、入力した検査画像と予め記憶されていたリファレンス画像とを比較する手段と、比較した結果に基づきウェハの良否を判定する判定手段を有する演算処理手段とを備えたウェハのパターン検査装置であって、
演算処理手段は、検査中に良品率が所定の閾値以下に低下した場合、検査中のパターン又はチップの画像をリファレンス画像として用いて学習処理を再度行い、又は、学習処理でパターンを学習した後に均一なパターンを探し、均一なパターン部分であれば、パターン検査以外の、ピッチ検査などの検査でウェハの検査を行うか、あるいは均一パターン部分でパターン検査とピッチ検査を同時に行ない、ピッチ検査の結果からパターン検査の感度を決定し、決定した感度でウェハ全面のパターン又はチップを検査することを特徴とするウェハのパターン検査装置。
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