JP2010114471A - プラズマ処理中のアーク減少方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1態様において、プラズマ処理中に使用する為の方法が提供される。第1の方法は、(1)プラズマチャンバの基板ホルダに基板を配置するステップ;(2)その基板の周囲付近の下にカバーフレームを位置決めするステップ;(3)そのカバーフレームを使用してプラズマチャンバ内でプラズマ処理中のアークを減少させるステップ;を含む。数多くの他の態様が提供される。
【選択図】図3
Description
Claims (24)
- プラズマ処理中に使用される方法において:
プラズマチャンバの基板ホルダ上に基板を水平に配置するステップと;
前記基板の下面に接触し、前記基板ホルダの一部に接触すると共に前記基板ホルダの前記一部を被覆するように配置されたカバーフレームを位置決めするステップであって、被覆された前記基板ホルダの前記一部が、前記カバーフレームに接触する前記基板の一部の下、及び、前記基板の周囲の外側で横方向に隣り合う領域の下に配置される、前記ステップと;
前記基板によって被覆されていない前記カバーフレームの一部上にシャドウフレームを位置決めするステップであって、前記シャドウフレームが前記基板に接触せず、前記シャドウフレームと前記基板の前記周囲との間に横方向のギャップが存在する、前記ステップと;
アークの原因となり易い前記基板ホルダへのプラズマの接触を防止するように位置決めされた前記カバーフレームを中立電位に維持しながら、前記基板にプラズマ処理を施すステップであって、前記基板ホルダが電極を含む、前記ステップと;
を含む、前記方法。 - 前記基板の周囲付近の下にカバーフレームを位置決めするステップは、前記カバーフレームの一部が前記基板の下に横たわるように、前記基板の周囲の付近の下にカバーフレームを位置決めする工程を含む、請求項1記載の方法。
- 前記カバーフレームを使用して前記プラズマチャンバ内でプラズマ処理中のアークを減少させるステップは、前記カバーフレームを使用して前記基板ホルダの表面が前記プラズマチャンバ内でプラズマ処理中にプラズマに接触することを防止する工程を含む、請求項1記載の方法。
- 前記プラズマチャンバ内の圧力、電極間隔、RF電力、ガス流のうちの少なくとも一つを調整するステップを更に備える、請求項1記載の方法。
- プラズマ処理中に使用される方法において:
プラズマチャンバの基板ホルダ上に基板を配置するステップと;
前記基板の下面に接触し、前記基板ホルダの一部に接触すると共に前記基板ホルダの前記一部を被覆するように配置されたカバーフレームを位置決めするステップであって、被覆された前記基板ホルダの前記一部が、前記カバーフレームに接触する前記基板の一部の下、及び、前記基板の周囲の外側で横方向に隣り合う領域の下に配置される、前記ステップと;
前記基板によって被覆されていない前記カバーフレームの一部上にシャドウフレームを位置決めするステップであって、前記シャドウフレームは前記基板に接触しないか上に横たわらない、前記ステップと;
アークの原因となり易い前記基板ホルダへのプラズマの接触を防止するように位置決めされた前記カバーフレームを中立電位に維持しながら、前記基板にプラズマ処理を施すステップであって、前記基板ホルダが電極を含む、前記ステップと;
を含む、前記方法。 - 前記基板の周囲付近の下にカバーフレームを位置決めするステップは、前記カバーフレームの一部が前記基板の下に横たわるように、前記基板の周囲の付近の下にカバーフレームを位置決めする工程を含む、請求項5記載の方法。
- 前記カバーフレームを中立電位に維持しながら、前記基板にプラズマ処理を施すステップは、カバーフレーム及びシャドウフレームを使用して前記基板ホルダの表面が前記プラズマチャンバ内でプラズマ処理中にプラズマに接触することを防止する工程を含む、請求項5記載の方法。
- プラズマ処理に使用される方法において:
プラズマチャンバの基板ホルダ上に基板を配置するステップであって、前記基板ホルダが電極を含む、前記ステップと;
前記基板の周囲付近の下にシャドウフレームを位置決めするステップであって、前記シャドウフレームが前記基板に接触しないか上に横たわらない前記ステップと;
前記シャドウフレームを使用して前記プラズマチャンバ内でプラズマ処理中のアークを減少させるステップと;
を含む、前記方法。 - 前記シャドウフレームを使用して前記プラズマチャンバ内でプラズマ処理中のアークを減少させるステップは、前記シャドウフレームを使用して前記基板ホルダの表面が前記プラズマチャンバ内でプラズマ処理中にプラズマに接触することを防止する工程を含む、請求項8記載の方法。
- プラズマ処理中に使用される装置において:
基板を支持するように適合された基板ホルダと;
前記基板の下面に接触するように前記基板の下面付近の下に位置決めされ、前記基板ホルダの一部に接触すると共に前記基板ホルダの前記一部を被覆するように配置されるように適合されたカバーフレームであって、被覆された前記基板ホルダの前記一部が、前記カバーフレームに接触する前記基板の一部の下、及び、前記基板の周囲の外側で横方向に隣り合う領域の下に配置される、前記カバーフレームと;
前記基板によって被覆されていない前記カバーフレームの一部上に位置決めされるように適合されたシャドウフレームであって、前記シャドウフレームが前記基板に接触せず、前記シャドウフレームと前記基板の前記周囲との間に横方向のギャップが存在する、前記シャドウフレームと;
を備え、
前記カバーフレームが中立電位に維持されながら、前記基板にプラズマ処理が施され、 前記カバーフレームが、アークの原因となり易い前記基板ホルダへのプラズマの接触を防止するように位置決めされ、
前記基板ホルダが電極を含む、前記装置。 - 前記カバーフレームの一部は、前記基板の下に横たわるように適合された請求項10記載の装置。
- 前記カバーフレームの少なくとも5mmは、前記基板の下に横たわるように適合されている、請求項10記載の装置。
- 前記カバーフレームは、前記基板ホルダが前記プラズマチャンバ内でプラズマ処理中にプラズマに接触することを防止するように更に適合された請求項10記載の装置。
- 前記カバーフレームは、陽極処理されたアルミニウム又はセラミックの内の少なくとも一つを備える、請求項10記載の装置。
- プラズマ処理中に使用される装置において:
基板の下面に接触するように位置決めされ、基板ホルダの一部に接触すると共に前記基板ホルダの前記一部を被覆するように配置されるように適合されたカバーフレームであって、被覆された前記基板ホルダの前記一部が、前記カバーフレームに接触する前記基板の一部の下、及び、前記基板の周囲の外側で横方向に隣り合う領域の下に配置される、前記カバーフレームと;
前記基板によって被覆されていない前記カバーフレームの一部上に位置決めされるように適合されたシャドウフレームであって、前記シャドウフレームは前記基板と接触しないか上に横たわらない、前記シャドウフレームと;
を備え、
前記カバーフレームが中立電位に維持されながら、前記基板にプラズマ処理が施され、 前記カバーフレームが、アークの原因となり易い前記基板ホルダへのプラズマの接触を防止するように位置決めされ、
前記基板ホルダが電極を含む、前記装置。 - 前記カバーフレーム及び前記シャドウフレームは、前記基板ホルダの表面が前記プラズマチャンバ内でプラズマ処理中のプラズマに接触することを防止する、請求項15記載の装置。
- 前記カバーフレームは、陽極処理されたアルミニウム又はセラミックの内の少なくとも一つを備える、請求項15記載の装置。
- 前記カバーフレームの一部は、前記基板の下に横たわるように適合されている、請求項15記載の装置。
- 前記カバーフレームの少なくとも5mmは、前記基板の下に横たわるように適合されている、請求項15記載の装置。
- 前記カバーフレームは、陽極処理されたアルミニウム又はセラミックの内の少なくとも一つを備える、請求項15記載の装置。
- 前記シャドウフレームの一部は、前記カバーフレームの上に横たわる、請求項15記載の装置。
- 前記シャドウフレームの少なくとも5mmは、前記カバーフレームの下に横たわるように適合されている、請求項15記載の装置。
- 前記シャドウフレームは、前記基板の周囲から少なくとも5mmに位置決めされている、請求項15記載の装置。
- プラズマ処理中に使用される方法において:
プラズマチャンバの基板ホルダ上に基板を水平に配置するステップと;
前記基板の下面に接触し、前記基板ホルダの一部に接触すると共に前記基板ホルダの前記一部を被覆するように配置されたカバーフレームを位置決めするステップであって、被覆された前記基板ホルダの前記一部が、前記カバーフレームに接触する前記基板の一部の下、及び、前記基板の周囲の外側で横方向に隣り合う領域の下に配置される、前記ステップと;
前記基板によって被覆されていない前記カバーフレームの一部上にシャドウフレームを位置決めするステップであって、前記シャドウフレームが前記基板に接触せず、前記シャドウフレームと前記基板の前記周囲との間に横方向のギャップが存在する、前記ステップと;
アークを防止するために前記基板ホルダへのプラズマの接触を防止するように位置決めされた前記カバーフレームを中立電位に維持しながら、前記基板にプラズマ処理を施すステップであって、前記基板ホルダが電極を含む、前記ステップと;
を含む、前記方法。
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