JP2010113352A - 透過クロス係数によるスキャナモデル表現 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】特定の諸態様によれば、本発明は透過クロス係数を使用してスキャナデータ及びモデルを表す。他の諸態様によれば、本発明は、正確なリソグラフィシミュレーションに有用なデータ及びモデルを提供しながら、種々のスキャナサブシステムに関する機密データを第三者から見えないように隠すことができる。
【選択図】図1
Description
・プログラマブルミラーアレイ。このようなデバイスの一例は、粘弾性制御レイヤと反射面を有するマトリクスアドレッサブル表面である。このような装置の基本原理は、(例えば)反射面のアドレスエリアが回折光として入射光を反射し、非アドレスエリアが非回折光として入射光を反射することである。適切なフィルタを使用すると、反射ビームから前記非回折光をフィルタで除去し、回折光のみを残すことができ、このように、ビームはマトリクスアドレッサブル表面のアドレッシングパターンに応じてパターン付きになる。適切な電子手段を使用して、必要なマトリクスアドレッシングを実行することができる。このようなミラーアレイに関する詳細情報は、例えば、本明細書に参照により組み込むものとする米国特許第5,296,891号及び第5,523,193号から入手することができる。
・プログラマブルLCDアレイ。このような構造の一例は、本明細書に参照により組み込むものとする米国特許第5,229,872号に示されている。
−投影ビームPBの放射を供給するための放射システムEx、IL。この特定のケースでは放射システムは放射源LAも含む。
−マスクMA(例えば、レチクル)を保持するためのマスクホルダが設けられ、アイテムPLに対してマスクを正確に位置決めするための第1の位置決め手段に接続された第1のオブジェクトテーブル(マスクテーブル)MT
−基板W(例えば、レジストコーティングシリコンウェーハ)を保持するための基板ホルダが設けられ、アイテムPLに対して基板を正確に位置決めするための第2の位置決め手段に接続された第2のオブジェクトテーブル(基板テーブル)WT
−マスクMAの照射部分を基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ又は複数のダイを含む)上に結像するための投影システム(「レンズ」)PL(例えば、屈折、反射、又は反射屈折光学システム)
−ステップモードでは、マスクテーブルMTは本質的に静止状態に保持され、マスクイメージ全体が一度に(すなわち、単一「フラッシュ」で)ターゲット部分Cに投影される。次に、異なるターゲット部分CをビームPBで照射できるように、基板テーブルWTがx方向及び/又はy方向にシフトする。
−スキャンモードでは、所与のターゲット部分Cが単一「フラッシュ」で露光されないことを除いて、本質的に同じシナリオが適用される。その代わりに、マスクテーブルMTは速度vで所与の方向(いわゆる「スキャン方向」、例えば、y方向)に移動可能であり、従って、投影ビームPBはマスクイメージの上をスキャンするようになり、同時に、基板テーブルWTは速度V=Mvで同じ方向又は反対方向に同時に移動し、MはレンズPLの倍率である(典型的に、M=1/4又は1/5)。このように、解像度について妥協する必要なしに、相対的に大きいターゲット部分Cを露光することができる。
1.リソグラフィプロセスのアスペクトをシミュレートするための方法であって、
リソグラフィ装置の特性に関するデータを保護すること、
保護データを表す数学モデルを生成すること、
シミュレーションプロセスに対して隠された保護データを保持しながらシミュレーションプロセスに数学モデルを提供すること、
を含む方法。
2.提供するステップが、
数学モデルの所定の要素を識別すること、
所定の要素に対応する生成済み数学モデルの値をレコードに入力すること、
を含む、1項記載の方法。
3.レコードがXMLファイルを含む、1項記載の方法。
4.特性がリソグラフィ装置の1つ又は複数のサブシステムに対応する、1項記載の方法。
5.特性がジョーンズ瞳を含む、1項記載の方法。
6.特性が焦点ボケを含む、1項記載の方法。
7.数学モデルが透過クロス係数(TCC)を含む、1項記載の方法。
8.数学モデルが透過クロス係数(TCC)を含み、所定の要素がTCC固有ベクトルを含む、2項記載の方法。
9.リソグラフィソース情報を受信するステップをさらに含み、受信したリソグラフィソース情報を使用して数学モデルが生成される、1項記載の方法。
10.リソグラフィソース情報が所定の一組のソースパターンから識別される、9項記載の方法。
11.リソグラフィソース情報がユーザ定義のターゲットソースパターンである、9項記載の方法。
12.TCC固有ベクトルが空間周波数の行列形式として表される、8項記載の方法。
13.数学モデルがTCC固有ベクトルから一連の畳み込みカーネルへの変換を含む、8項記載の方法。
14.一連の畳み込みカーネルが空間領域内に表される、13項記載の方法。
15.一連の畳み込みカーネルがリソグラフィプロセスのコヒーレントシステムコンポーネントの合計を表す、13項記載の方法。
16.リソグラフィプロセスのアスペクトをシミュレートするための方法であって、
リソグラフィ装置の1つ又は複数の光学コンポーネント、1つ又は複数の光学特性、あるいはその両方に関する情報を提供すること、
情報を保護する変換関数を使用することにより1つ又は複数の光学コンポーネントの情報をカプセル化すること、
カプセル化した情報をシミュレーションプロセスに提供して、リソグラフィプロセスをシミュレートすること、
を含む方法。
17.変換関数が、1つ又は複数の透過クロス係数を計算することを含む、16項記載の方法。
18.計算した透過クロス係数をソースマスクシミュレーションプロセスに適用して、マスクレイアウトデータファイルの予測輪郭のプロセス品質メトリクスを求める、17項記載の方法。
19.プロセス品質メトリクスが、正規化イメージログスロープ、マスク誤差係数、及びプロセスウィンドウのうちの1つ又は複数を含む、18項記載の方法。
20.計算した透過クロス係数がXMLファイルフォーマットとして出力される、17項、18項、又は19項記載の方法。
21.透過クロス係数が空間周波数の行列フォーマットの一組の固有関数として表される、17項記載の方法。
22.変換関数が、透過クロス係数を一連の畳み込みカーネルに変換することを含む、17項記載の方法。
23.一連の畳み込みカーネルが空間領域内に表される、22項記載の方法。
24.一連の畳み込みカーネルがリソグラフィプロセスのコヒーレントシステムコンポーネントの合計を表す、22項又は26項記載の方法。
25.変換関数によって保護される情報が、シミュレーションプロセスのユーザにとって入手不能である、16項〜24項のいずれかに記載の方法。
26.1つ又は複数の光学コンポーネントが、リソグラフィ装置の照明システム、投影システム、又はその両方を含む、16項〜25項のいずれかに記載の方法。
27.1つ又は複数の光学特性が、イルミネータの形状及び偏光、ジョーンズ瞳、レーザの帯域幅による焦点ボケ、色収差による焦点ボケを含む、16項〜26項のいずれかに記載の方法。
28.リソグラフィプロセスのアスペクトをシミュレートするための方法であって、
リソグラフィプロセスのアスペクトをシミュレートするためのモデルを生成すること、
リソグラフィプロセスの複数のアスペクトに関する情報をモデルに入力すること、
そのモデルを使用して、変換情報のみの場合にその逆が不確定になる変換によりその情報を変換情報に変換すること、
を含み、
そのモデルにより、その変換情報及びリソグラフィプロセスの他のアスペクトに関する追加情報に基づいてシミュレートされたアスペクトを入手できるようにする、方法。
29.複数のアスペクトが、イルミネータの形状、イルミネータの偏光、ジョーンズ瞳、及び焦点ボケのうちの少なくとも1つを含む、28項記載の方法。
30.追加情報が、パターニング手段上のパターンのレイアウトに関する情報を含む、28項又は29項記載の方法。
31.シミュレートされたアスペクトが、空間像強度、正規化イメージログスロープ、マスク誤差係数、及びプロセスウィンドウのうちの少なくとも1つを含む、28項〜30項のいずれかに記載の方法。
32.変換情報が、透過クロス係数の複数の固有ベクトル及び固有値を含む、28項〜31項のいずれかに記載の方法。
33.変換が追加情報とは無関係である、28項〜32項のいずれかに記載の方法。
[0001] 本出願は、その内容全体を本明細書に参照により組み込むものとする2008年11月10日出願の米国特許出願第61/112,913号に対する優先権を主張するものである。
Claims (14)
- リソグラフィプロセスのアスペクトをシミュレートするための方法であって、リソグラフィ装置の特性に関するデータを保護すること、前記保護データを表す数学モデルを生成すること、シミュレーションプロセスに対して隠された前記保護データを保持しながら前記シミュレーションプロセスに前記数学モデルを提供することを含む方法。
- リソグラフィプロセスのアスペクトをシミュレートするための方法であって、リソグラフィ装置の1つ又は複数の光学コンポーネント、1つ又は複数の光学特性、あるいはその両方に関する情報を提供すること、前記情報を保護する変換関数を使用することにより前記1つ又は複数の光学コンポーネントの前記情報をカプセル化すること、および前記カプセル化した情報をシミュレーションプロセスに提供してリソグラフィプロセスをシミュレートすることを含む方法。
- 前記変換関数が、1つ又は複数の透過クロス係数を計算することを含む、請求項2記載の方法。
- 前記変換関数によって保護される前記情報が、前記シミュレーションプロセスのユーザにとって入手不能である、請求項2記載の方法。
- 前記1つ又は複数の光学コンポーネントが、前記リソグラフィ装置の照明システム、投影システム、又はその両方を含む、請求項2記載の方法。
- 前記1つ又は複数の光学特性が、イルミネータの形状及び偏光、ジョーンズ瞳、レーザの帯域幅による焦点ボケ、色収差による焦点ボケを含む、請求項2記載の方法。
- 前記計算した透過クロス係数をソースマスクシミュレーションプロセスに適用して、マスクレイアウトデータファイルの予測輪郭のプロセス品質メトリクスを求める、請求項3記載の方法。
- 前記プロセス品質メトリクスが、正規化イメージログスロープ、マスク誤差係数、及びプロセスウィンドウのうちの1つ又は複数を含む、請求項7記載の方法。
- リソグラフィプロセスのアスペクトをシミュレートするための方法であって、前記リソグラフィプロセスの前記アスペクトをシミュレートするためのモデルを生成すること、前記リソグラフィプロセスの複数のアスペクトに関する情報を前記モデルに入力すること、前記モデルを使用して、変換情報のみの場合にその逆が不確定になる変換により前記情報を前記変換情報に変換することを含み、前記モデルにより、前記変換情報及び前記リソグラフィプロセスの他のアスペクトに関する追加情報に基づいて前記シミュレートされたアスペクトを入手できるようにする、方法。
- 前記複数のアスペクトが、イルミネータの形状、イルミネータの偏光、ジョーンズ瞳、及び焦点ボケのうちの少なくとも1つを含む、請求項9記載の方法。
- 前記追加情報が、パターニング手段上のパターンレイアウトに関する情報を含む、請求項9又は10記載の方法。
- 前記シミュレートされたアスペクトが、空間像強度、正規化イメージログスロープ、マスク誤差係数、及びプロセスウィンドウのうちの少なくとも1つを含む、請求項9〜11のいずれかに記載の方法。
- 前記変換情報が、透過クロス係数の複数の固有ベクトル及び固有値を含む、請求項9〜12のいずれかに記載の方法。
- 前記変換が前記追加情報とは無関係である、請求項9〜13のいずれかに記載の方法。
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