JP2010108936A - 二重装着光学系を備えた荷電粒子光学系 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 たとえば電子顕微鏡のような荷電粒子光学系(100)は、操作用に多数の試料のうちの特別な1つを収容するための空間(104)を備えた真空チャンバ(102)を有する。当該荷電粒子光学系は、前記空間に対して出し入れできるように動かすことのできる部分(108)を備えた装着体(106)を有する。前記部分は、当該光学系外部から運ばれる試料キャリア(110)を第1ホルダ(112)へ取り付け、又は前記第1ホルダから前記キャリアを外して当該光学系内部から前記キャリアを取り外すように備えられている。前記キャリアは第1試料を収容する。当該光学系は、前記第1ホルダ又は上に第2試料がマウントされる第2ホルダを取り外し可能なように供するため、前記チャンバの壁内にインターフェースを有する。
【選択図】 図1
Description
102 排気可能チャンバ
104 空間
106 装着体
108 部分
110 キャリア
112 第1試料ホルダ
114 第1試料
116 インターフェース
118 第2試料ホルダ
120 第2試料
202 真空ロードロック
204 グリッパ
206 鍵
208 矢印
220 壁
302 チャネル
304 矢印
402 第1部分
404 部分
406 部分
408 部分
Claims (6)
- 動作中に多数の試料のうちの特定の1つを収容する空間を備えた排気可能チャンバを有する荷電粒子光学系と併用される装着体であって、
当該装着対は一部を前記空間に対して制御可能に出入りできるように案内する案内手段を有し、
前記一部は前記チャンバ外部から運ばれるキャリアを第1試料ホルダへ取り付けること、又は、前記第1試料ホルダから前記キャリアを取り外して前記チャンバ内部から前記キャリアを取り除くことを可能にするように備えられ、かつ
前記キャリアは前記試料のうちの特定の1つの試料を収容するように備えられている、
装着体。 - 当該装着体は真空ロードロックを有し、
前記一部はグリッパを有し、
前記案内手段は、前記キャリアへ着脱するように移動するときに、前記グリッパを案内するように備えられ、かつ
前記案内手段は、前記荷電粒子光学系内でかつ前記空間外部の引っ込んだ位置に前記グリッパを固定できるように、前記真空ロードロック及びグリッパを機械的に係合する係合手段を有する、
請求項1に記載の装着体。 - 前記係合手段は鍵及び該鍵と一致する案内チャネルを有し、
前記鍵は前記グリッパ及び真空ロードロックのうちの一の上に設けられ、かつ
前記案内チャネルは前記グリッパ及び真空ロードロックのうちの他の中に設けられる、
請求項2に記載の装着体。 - 上記請求項のうちのいずれかに記載の装着体(loader)を有する荷電粒子光学系であって、
当該荷電粒子光学系は:
当該荷電粒子光学系の動作中に多数の試料のうちの特定の1つを収容する空間を備えた排気可能チャンバ;
一部を前記空間に対して制御可能に出入りできるように案内する案内手段を有する装着体であって、前記一部は前記チャンバ外部から運ばれるキャリアを第1試料ホルダへ取り付けること、又は、前記第1試料ホルダから前記キャリアを取り外して前記チャンバ内部から前記キャリアを取り除くことを可能にするように備えられ、かつ前記キャリアは前記試料のうちの第1試料を収容するように備えられている、装着体;並びに、
当該荷電粒子光学系の動作中、前記第1試料ホルダ又は上に前記試料のうちの第2試料が設けられている第2試料ホルダを取り外し可能なように収容及び位置設定するために前記壁内に存在するインターフェース;
を有する荷電粒子光学系。 - 前記装着体は真空ロードロックを有し、
前記一部はグリッパを有し、
前記案内手段は、前記キャリアへ着脱するように移動するときに、前記グリッパを案内するように備えられ、かつ
前記案内手段は、当該荷電粒子光学系内でかつ前記空間外部の引っ込んだ位置に前記グリッパを固定できるように、前記真空ロードロック及びグリッパを機械的に係合する係合手段を有する、
請求項4に記載の荷電粒子光学系。 - 前記係合手段は鍵及び該鍵と一致する案内チャネルを有し、
前記鍵は前記グリッパ及び真空ロードロックのうちの一の上に設けられ、かつ
前記案内チャネルは前記グリッパ及び真空ロードロックのうちの他の中に設けられる、
請求項5に記載の荷電粒子光学系。
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