JP2010103179A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】外部端子がパッケージ基板から剥離し難いインターポーザ構造を提案する。
【解決手段】本発明の例に係る半導体装置は、パッケージ基板1と、パッケージ基板1の一面側にアレイ状に並んで配置される複数の第一の外部端子8Aと、パッケージ基板1の一面側に複数の第一の外部端子8Aから離れて配置される複数の第二の外部端子8Bとを備える。複数の第二の外部端子8Bの各々は、パッケージ基板1の一面側から他面側に貫通する第一及び第二のスルーホール7と、パッケージ基板1の一面側の第一及び第二のスルーホール7の間に配置される金属層8Bとから構成される。金属層8Bの端部は、第一及び第二のスルーホール7を経由してパッケージ基板1の他面側まで達する。
【選択図】図3
【解決手段】本発明の例に係る半導体装置は、パッケージ基板1と、パッケージ基板1の一面側にアレイ状に並んで配置される複数の第一の外部端子8Aと、パッケージ基板1の一面側に複数の第一の外部端子8Aから離れて配置される複数の第二の外部端子8Bとを備える。複数の第二の外部端子8Bの各々は、パッケージ基板1の一面側から他面側に貫通する第一及び第二のスルーホール7と、パッケージ基板1の一面側の第一及び第二のスルーホール7の間に配置される金属層8Bとから構成される。金属層8Bの端部は、第一及び第二のスルーホール7を経由してパッケージ基板1の他面側まで達する。
【選択図】図3
Description
本発明は、BGA(Ball Grid Array)、LGA(Land Grid Array)などのインターポーザに関する。
BGA、LGAなどのインターポーザは、例えば、異なる機能を有する複数のチップを一つのパッケージ内に収めてSIP(System in Package)を構成する場合に使用される(例えば、特許文献1及び2を参照)。
インターポーザは、曲げや、衝撃などにより発生する応力に対して一定の信頼性を有しなければならないが、この信頼性を確保することが難しい。具体的には、信頼性試験で定められている一定の応力に対して、外部端子(例えば、半田ボール)がパッケージ基板から剥離するという不良モードが発生する。
しかし、このような不良モードに対しては、コストや規格(例えば、非特許文献1を参照)などの制限に起因して十分な対応がなされていないのが実情である。
即ち、前者に対しては、強度のあるパッケージ基板を用いることができない場合があり、後者に対しては、パッケージ基板と金属層との密着性が製造方法に依存するため、これを向上させることが難しい。
特開2003−141485号公報
特開2003−264260号公報
JEDEC STANDARD, Embedded MultiMedia Card (eMMC) Product Standard, Standard Capacity, JESD84-A41, June 2007, JEDEC SOLID STATE TECHNOLOGY ASSOCIATION
本発明は、外部端子がパッケージ基板から剥離し難いインターポーザ構造を提案する。
本発明の例に係る半導体装置は、パッケージ基板と、前記パッケージ基板の一面側にアレイ状に並んで配置される複数の第一の外部端子と、前記パッケージ基板の一面側に前記複数の第一の外部端子から離れて配置される複数の第二の外部端子とを備える。前記複数の第二の外部端子の各々は、前記パッケージ基板の一面側から他面側に貫通する第一及び第二のスルーホールと、前記パッケージ基板の一面側の前記第一及び第二のスルーホールの間に配置される金属層とから構成される。前記金属層の端部は、前記第一及び第二のスルーホールを経由して前記パッケージ基板の他面側まで達する。
本発明によれば、外部端子がパッケージ基板から剥離し難いインターポーザ構造を実現できる。
以下、図面を参照しながら、本発明の例を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
1. 概要
本発明の例に係る半導体装置は、まず、パッケージ基板の一面側に複数の外部端子がアレイ状に並んで配置されるBGA、LGAなどのインターポーザを対象とする。このようなインターポーザにおいては、パッケージ基板のサイズや、外部端子の位置などが規格(例えば、JEDEC規格)により定められている。
本発明の例に係る半導体装置は、まず、パッケージ基板の一面側に複数の外部端子がアレイ状に並んで配置されるBGA、LGAなどのインターポーザを対象とする。このようなインターポーザにおいては、パッケージ基板のサイズや、外部端子の位置などが規格(例えば、JEDEC規格)により定められている。
例えば、eMMC (embedded Multi Media Card)においては、パッケージ基板の一面側にアレイ状に並んで配置される複数の第一の外部端子と、パッケージ基板の一面側に複数の第一の外部端子から離れて配置される複数の第二の外部端子とを備える。
本発明の例では、このようなインターポーザにおいて、複数の第一の外部端子及び複数の第二の外部端子をパッケージ基板から剥離し難くするために、複数の第二の外部端子について、アンカー構造 (anchor structure)を採用する。
アンカー構造とは、パッケージ基板の一面側に配置される外部端子としての金属層を、パッケージ基板に設けた少なくとも二つのスルーホールを介してパッケージ基板の他面側まで引き出し、外部端子をパッケージ基板に固定する構造のことである。
具体的には、複数の第二の外部端子の各々は、パッケージ基板の一面側から他面側に貫通する第一及び第二のスルーホールと、パッケージ基板の一面側の第一及び第二のスルーホールの間に配置される金属層とから構成され、金属層の端部は、第一及び第二のスルーホールを経由してパッケージ基板の他面側まで達する。
このようなアンカー構造によれば、パッケージ基板がハロゲンフリー基材などの脆い材料から構成される場合であっても、アンカー効果により、例えば、半田ボールがパッケージ基板の一部と共にパッケージ基板からもぎ取れることがない。また、パッケージ基板と金属層との密着性が悪くても、アンカー効果により、例えば、半田ボールが金属層と共にパッケージ基板から剥がれることはない。
従って、外部端子がパッケージ基板から剥離し難いインターポーザ構造を実現できる。
2. 実施形態
図1は、本発明の例に係わる半導体装置の断面図を示している。
図1は、本発明の例に係わる半導体装置の断面図を示している。
この半導体装置は、例えば、eMMCであり、パッケージ基板のサイズや、外部端子の位置などは、規格(例えば、JEDEC規格)に基づいている。
パッケージ基板1は、例えば、ガラスエポキシ基板であり、ハロゲンを含まないハロゲンフリー基材である。パッケージ基板1は、単層であってもよいし、複層から構成されていてもよい。
パッケージ基板1の一面側には、アレイ状に並んで配置される複数の第一の半田ボール2と、パッケージ基板1の一面側に複数の第一の半田ボール2から離れて配置される複数の第二の半田ボール3とが配置される。
複数の第一の半田ボール2と複数の第二の半田ボール3の具体的なレイアウトは、図2に示すようになる。
パッケージ基板1の他面側には、複数の半導体チップが配置される。本例では、パッケージ基板1上に二つのメモリチップ(例えば、フラッシュメモリチップ)4が搭載され、二つのメモリチップ4上にコントローラチップ5が搭載される。
また、コントローラチップ5上にさらに電源チップを搭載してもよい。
パッケージ基板1の他面側のメモリチップ4及びコントローラチップ5は、樹脂層6により覆われる。
図3は、図1の半導体装置の外部端子の構造を示している。
パッケージ基板1の一面側には、アレイ状に並んで配置される複数の第一の外部端子8Aと、パッケージ基板1の一面側に複数の第一の外部端子8Aから離れて配置される複数の第二の外部端子8Bとが配置される。
複数の第一の外部端子8A及び複数の第二の外部端子8Bは、金属層(例えば、銅箔)から構成される。また、複数の第一の外部端子8A及び複数の第二の外部端子8Bからは、金属配線(例えば、銅配線)9が延びる。
複数の第二の外部端子8Bのうちの少なくとも二つは、パッケージ基板1の一面側から他面側に貫通する第一及び第二のスルーホール7と、パッケージ基板1の一面側の第一及び第二のスルーホールの間に配置される金属層とから構成される。その金属層の端部は、第一及び第二のスルーホール7を経由してパッケージ基板1の他面側まで達する。
複数の第二の外部端子8Bの一部又は全ては、インターフェイスとして実際に使用する使用端子であってもよいし、インターフェイスとして実際に使用しない未使用端子であってもよい。
図4は、図3のX−X線に沿う断面図を示している。
但し、図4では、図3に示されていない構成要素として、半田ボール3及び樹脂層10をさらに示している。
この構造の特徴は、第二の外部端子(金属層)8Bがアンカー構造を有している点にある。即ち、パッケージ基板1に第一及び第二のスルーホール7が設けられ、パッケージ基板1の一面側の第一及び第二のスルーホールの間の第二の外部端子8Bの端部は、第一及び第二のスルーホール7を経由してパッケージ基板1の他面側まで達する。
第二の外部端子8Bの端部は、第一及び第二のスルーホール7を経由してパッケージ基板1の他面側で互いに結合される(端部の一部が結合され、他の一部が離れている場合を含む)。但し、図6に示すように、第二の外部端子8Bの端部は、パッケージ基板1の他面側で互いに結合していなくてもよい。
樹脂層10は、パッケージ基板1の一面側及び他面側を覆い、第一及び第二のスルーホール7を満たす。また、樹脂層10は、パッケージ基板1の一面側の第一及び第二のスルーホール7の間に開口部を有する。
樹脂層10は、例えば、ソルダーレジストから構成される。
樹脂層10の開口部に露出した第二の外部端子8Bには、半田ボール3が結合される。但し、図5及び図7に示すように、半田ボールはなくてもよい。
以上のように、本発明の例に係わるインターポーザ構造によれば、外部端子(金属層)にアンカー効果を持たせることにより、外部端子とパッケージ基板との密着性を向上させることができ、曲げや、衝撃などにより発生する応力に対して一定の信頼性を確保することができる。
3. 曲げ試験結果
本発明の例に係わる半導体装置のアンカー効果について説明する。
本発明の例に係わる半導体装置のアンカー効果について説明する。
実施例は、図3及び図4の構造を有するインターポーザである。また、比較例として、図8及び図9に示す構造を有するインターポーザを用意する。
図9は、図8のY−Y線に沿う断面図であるが、図9では、図8に示されていない構成要素として、半田ボール3及び樹脂層10をさらに示している。
実施例と比較例において、複数の第一及び第二の外部端子8A,8Bのレイアウト、及び、金属配線9のレイアウトは、同じである。両者の違いは、複数の第二の外部端子8Bの構造のみである。
即ち、実施例では、複数の第二の外部端子8Bのうちの8割以上を、二つのスルーホール7を有するアンカー構造とし、比較例では、複数の第二の外部端子8Bの全てを、スルーホールを有しない金属層のみの構造とする。
尚、図9において、1は、パッケージ基板、3は、半田ボール、8Bは、第二の外部端子(金属層)、10は、樹脂層である。
アンカー効果は、曲げ試験により確認する。
曲げ試験は、例えば、試料(実施例/比較例)を、半田ボールを介してテストボードに固着し、この状態でテストボードに一定の衝撃を与えたときに半田ボールがテストボードから剥がれる割合を検証することにより行う。
図10は、曲げ試験結果を示している。
試料数は、実施例及び比較例ともに1000以上である。
実施例では、ほとんどの試料について半田ボールの剥離はない。半田ボールの剥離率(平均値)についても、0.5%と非常に小さな値となる。これに対し、比較例では、ほとんどの試料について半田ボールの剥離が発生する。半田ボールの剥離率(平均値)についても、2.8%と非常に大きな値となる。
このように、本発明の例に係わる半導体装置のアンカー効果は有効である。
4. 変形例
アンカー効果は、一つの外部端子に対して、少なくとも二つのスルーホールを対応させることにより発生する。また、少なくとも二つのスルーホールは、一つの外部端子に対して異なる方向に配置されていることが重要である。
アンカー効果は、一つの外部端子に対して、少なくとも二つのスルーホールを対応させることにより発生する。また、少なくとも二つのスルーホールは、一つの外部端子に対して異なる方向に配置されていることが重要である。
即ち、従来の外部端子に対して一つのスルーホールが設けられる場合があるが、この場合には、本発明で期待するようなアンカー効果が得られない。これは、上述の曲げ試験結果からも明らかな事実である。
以上を考慮したうえで、本発明の例に係わる半導体装置の変形例を説明する。
まず、図11の構造は、変形例のベースとなる実施形態に係わる構造である。即ち、二つのスルーホール7の間に外部端子(金属層)8Bが配置される。
次に、図12の構造は、互いに一定距離だけ離れた三つのスルーホール7の間に外部端子(金属層)8Bが配置される点に特徴を有する。この構造において、三つのスルーホール7のうちの二つを選択した場合に、外部端子8Bは、その二つのスルーホールの間に配置されると解釈できるものとする。
次に、図13の構造は、互いを結ぶ線が十字又は四角となるように四つのスルーホール7を設け、これらの間に外部端子(金属層)8Bが配置される点に特徴を有する。
アンカー効果は、図11<図12<図13の順で大きくなると考えられるが、その反面、スルーホールの数も多くなる。従って、これらのうちどの構造を採用するかは、アンカー効果とパッケージ基板上のレイアウトとを考慮したうえで決定する。
次に、スルーホールの向きについての変形例を説明する。
図14は、一つの外部端子に対して二つのスルーホールを対応させた場合に最大のアンカー効果を得るためのスルーホールの向きについて示している。
二つのスルーホールのうちの一つは、これらスルーホールの間の外部端子(金属層)8Bの中心点Oから最も近いパッケージ基板の一辺E1側に配置され、他の一つは、パッケージ基板の一辺E1側とは反対側に配置される。
即ち、外部端子8Bの中心点Oからパッケージ基板の一辺E1までの距離D1は、外部端子8Bの中心点Oからパッケージ基板の一辺E2までの距離D2よりも短い。この場合、二つのスルーホールのうちの一つは、パッケージ基板の一辺E1側に配置され、他の一つは、パッケージ基板の一辺E1側とは反対側に配置される。
ここで、パッケージ基板の一辺E1側とは、パッケージ基板の一辺E1に垂直な線L1に対して左右にそれぞれ45°の位置に引かれた線L2からL3までのE1側の範囲H1内を意味する。
また、パッケージ基板の一辺E1側とは反対側とは、パッケージ基板の一辺E1に垂直な線L1に対して左右にそれぞれ45°の位置に引かれた線L2からL3までのE1とは反対側の範囲H2内を意味する。
5. 適用例
本発明をeMMCに適用したときの例ついて説明する。
本発明をeMMCに適用したときの例ついて説明する。
図15は、eMMCアーキテクチャを示している。
eMMCは、フラッシュメモリとメモリコントローラとから構成される。電源電位Vccは、メモリコントローラに与えられ、データは、eMMCインターフェイスを介して入出力される。
図16は、eMMC外部端子のレイアウトを示している。
アレイ状に並んで配置される複数の第一の外部端子は、使用端子と未使用端子とから構成される。複数の第一の外部端子から離れて配置される複数の第二の外部端子は、全て未使用端子である。
複数の第二の外部端子の全てが未使用のときは、これらについて本発明の構造を適用し易くなる効果がある。
また、本発明は、パッケージ基板が、ハロゲン系難燃剤を含まない基材(例えば、ハロゲンフリー基材)、又は、ハロゲン系難燃剤が少ない基材から構成される場合に有効である。また、アンチモン系難燃剤、リン系難燃剤、金属水酸化物系難燃剤、ホウ酸塩、錫酸亜鉛、Zr化合物などを難燃材として含む基材をパッケージ基板とする場合にも、本発明の効果は大きい。さらに、パッケージ基板が、アンチモン酸化物を多く含む基材、リン酸エステルなどを含む基材、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウムなどを含む基材、ホウ酸塩、錫酸亜鉛、Zr化合物などを含む基材から構成される場合にも、本発明は有効である。
4. むすび
本発明によれば、外部端子がパッケージ基板から剥離し難いインターポーザ構造を実現できる。
本発明によれば、外部端子がパッケージ基板から剥離し難いインターポーザ構造を実現できる。
本発明の例は、上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、各構成要素を変形して具体化できる。また、上述の実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を構成できる。例えば、上述の実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1: パッケージ基板、 2: 第一の半田ボール、 3: 第二の半田ボール、 4: メモリチップ、 5: コントローラチップ、 6,10: 樹脂層、 7: スルーホール、 8A: 第一の外部端子、 8B: 第二の外部端子、 9: 金属配線。
Claims (5)
- パッケージ基板と、前記パッケージ基板の一面側にアレイ状に並んで配置される複数の第一の外部端子と、前記パッケージ基板の一面側に前記複数の第一の外部端子から離れて配置される複数の第二の外部端子とを具備し、前記複数の第二の外部端子の各々は、前記パッケージ基板の一面側から他面側に貫通する第一及び第二のスルーホールと、前記パッケージ基板の一面側の前記第一及び第二のスルーホールの間に配置される金属層とから構成され、前記金属層の端部は、前記第一及び第二のスルーホールを経由して前記パッケージ基板の他面側まで達することを特徴とする半導体装置。
- 前記第一のスルーホールは、前記第一及び第二のスルーホールの間の前記金属層の中心点から最も近い前記パッケージ基板の一辺側に配置され、前記第二のスルーホールは、前記パッケージ基板の一辺側とは反対側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記金属層の端部は、前記第一及び第二のスルーホールを経由して前記パッケージ基板の他面側で互いに結合されることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記パッケージ基板の一面側及び他面側の前記金属層を覆い、前記第一及び第二のスルーホールを満たす樹脂層をさらに具備することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記樹脂層は、前記パッケージ基板の一面側の前記第一及び第二のスルーホールの間に開口部を有することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
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