JP2010092761A - 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 - Google Patents
有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010092761A JP2010092761A JP2008262791A JP2008262791A JP2010092761A JP 2010092761 A JP2010092761 A JP 2010092761A JP 2008262791 A JP2008262791 A JP 2008262791A JP 2008262791 A JP2008262791 A JP 2008262791A JP 2010092761 A JP2010092761 A JP 2010092761A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- mask
- laser
- air flow
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 105
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 48
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 40
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 25
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 18
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 7
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 199
- 239000000047 product Substances 0.000 description 73
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 30
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 4
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】有機EL用マスク2の表面2Sにレーザを照射して蒸着物質VMを破砕して生じる遊離生成物を上方に飛散させて、有機EL用マスク2の表面から離間した位置に形成した搬送空気流CFにより遊離生成物を除去させる。このとき、有機EL用マスク2に多数形成した開口部2Cに対して裏面2Rから表面2Sに向けて上昇空気流UFを形成しておき、落下した遊離生成物が有機EL用マスク2Rの裏面に回り込まないようにしている。
【選択図】 図3
Description
2C 開口部 2R 裏面
2S 表面 11 ベース
12 搭載ステージ 13 移動部
14 上昇空気流形成装置 15 レーザ光源
16 ガルバノミラー 17 送風部
18 吸引部 20 フレーム
21 エア供給部 22 エア噴出孔
30 プラズマ洗浄装置 CF 搬送空気流
UF 上昇空気流
Claims (6)
- 有機EL用マスクに付着した蒸着物質を除去する有機EL用マスククリーニング装置であって、
前記有機EL用マスクの表面にレーザを照射して前記蒸着物質を破砕して生じる遊離生成物を上方に飛散させるレーザ洗浄手段と、
前記有機EL用マスクの表面から離間した位置に形成した前記遊離生成物を除去する除去手段と、
前記有機EL用マスクに多数形成した開口部に対して裏面から表面に向けて上昇空気流を形成する上昇空気流形成手段と、
を備えたことを特徴とする有機EL用マスククリーニング装置。 - 前記レーザ洗浄手段の後段側に設けられ、前記有機EL用マスクの表面に付着した前記遊離生成物をプラズマ洗浄するプラズマ洗浄手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の有機EL用マスククリーニング装置。
- 前記除去手段は、前記遊離生成物を搬送する搬送空気流を形成する搬送空気流形成手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の有機EL用マスククリーニング装置。
- 請求項1乃至3の何れか1項に記載の有機EL用マスククリーニング装置によりクリーニングされた有機EL用マスクを用いて有機ELディスプレイを製造する有機ELディスプレイの製造装置。
- 請求項4記載の有機ELディスプレイの製造装置により製造された有機ELディスプレイ。
- 有機EL用マスクに付着した蒸着物質を除去する有機EL用マスククリーニング方法であって、
前記有機EL用マスクの表面にレーザを照射して前記蒸着物質を破砕して生じる遊離生成物を上方に飛散させて、前記有機EL用マスクの表面から離間した位置に設けた除去手段により前記遊離生成物を除去させるときに、
前記有機EL用マスクに多数形成した開口部に対して裏面から表面に向けて上昇空気流を形成していることを特徴とする有機EL用マスククリーニング方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008262791A JP2010092761A (ja) | 2008-10-09 | 2008-10-09 | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 |
TW098130217A TWI426964B (zh) | 2008-09-17 | 2009-09-08 | Organic EL mask cleaning device, organic EL display manufacturing device, organic EL display and organic EL mask cleaning method |
KR1020090087371A KR101089188B1 (ko) | 2008-09-17 | 2009-09-16 | 유기 el용 마스크 클리닝장치, 유기 el 디스플레이의 제조장치, 유기 el 디스플레이 및 유기 el용 마스크 클리닝방법 |
CN2013103326681A CN103394490A (zh) | 2008-09-17 | 2009-09-17 | 有机el用掩模清洁装置及方法 |
CN200910174768A CN101677122A (zh) | 2008-09-17 | 2009-09-17 | 有机el用掩模清洁装置及方法、有机el显示器及其制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008262791A JP2010092761A (ja) | 2008-10-09 | 2008-10-09 | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010092761A true JP2010092761A (ja) | 2010-04-22 |
Family
ID=42255287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008262791A Ceased JP2010092761A (ja) | 2008-09-17 | 2008-10-09 | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010092761A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012160262A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-23 | Ulvac Japan Ltd | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
CN104028894A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-09-10 | 南京南车浦镇城轨车辆有限责任公司 | 车身漆激光清洗系统 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003251486A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-09 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | パルスレーザによる繰り返し加工方法及び装置 |
JP2003313654A (ja) * | 2001-12-12 | 2003-11-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜装置および成膜方法およびクリーニング方法 |
JP2004047128A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-12 | Sony Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法 |
JP2004103512A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Fujitsu Ltd | 有機el素子の製造方法および製造装置 |
JP2004261712A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 送風集塵装置および送風集塵方法 |
JP2006066373A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光表示装置及びドナー基板の製造方法 |
JP2006169573A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | 蒸着マスクのクリーニング方法、蒸着マスククリーニング装置、有機el素子の製造方法、および、有機el素子の製造装置 |
JP2006192426A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-07-27 | Samsung Sdi Co Ltd | マスク洗浄方法 |
JP2006330684A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-12-07 | Kyocera Corp | マスク洗浄装置、マスク洗浄方法、蒸着膜の形成方法、elディスプレイの製造装置、及びelディスプレイの製造方法 |
JP2009117231A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Hitachi Displays Ltd | 有機el表示装置の製造方法 |
JP2010070785A (ja) * | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 |
-
2008
- 2008-10-09 JP JP2008262791A patent/JP2010092761A/ja not_active Ceased
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003313654A (ja) * | 2001-12-12 | 2003-11-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜装置および成膜方法およびクリーニング方法 |
JP2003251486A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-09 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | パルスレーザによる繰り返し加工方法及び装置 |
JP2004047128A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-12 | Sony Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法 |
JP2004103512A (ja) * | 2002-09-12 | 2004-04-02 | Fujitsu Ltd | 有機el素子の製造方法および製造装置 |
JP2004261712A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 送風集塵装置および送風集塵方法 |
JP2006066373A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光表示装置及びドナー基板の製造方法 |
JP2006192426A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-07-27 | Samsung Sdi Co Ltd | マスク洗浄方法 |
JP2006169573A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | 蒸着マスクのクリーニング方法、蒸着マスククリーニング装置、有機el素子の製造方法、および、有機el素子の製造装置 |
JP2006330684A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-12-07 | Kyocera Corp | マスク洗浄装置、マスク洗浄方法、蒸着膜の形成方法、elディスプレイの製造装置、及びelディスプレイの製造方法 |
JP2009117231A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Hitachi Displays Ltd | 有機el表示装置の製造方法 |
JP2010070785A (ja) * | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012160262A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-23 | Ulvac Japan Ltd | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 |
CN104028894A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-09-10 | 南京南车浦镇城轨车辆有限责任公司 | 车身漆激光清洗系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101089188B1 (ko) | 유기 el용 마스크 클리닝장치, 유기 el 디스플레이의 제조장치, 유기 el 디스플레이 및 유기 el용 마스크 클리닝방법 | |
TWI426962B (zh) | A cleaning device for a mask member and a cleaning method, and an organic electroluminescent display | |
US8581140B2 (en) | Laser processing apparatus, laser processing head and laser processing method | |
CN108474100B (zh) | 具有微细图案的树脂薄膜的制造方法以及有机el显示装置的制造方法与微细图案形成用基材薄膜和具有支撑部件的树脂薄膜 | |
Rajeeva et al. | Patterning and fluorescence tuning of quantum dots with haptic-interfaced bubble printing | |
JP2008091364A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP3479838B2 (ja) | パターン修正方法及びパターン修正装置 | |
JP2007157659A (ja) | 有機el素子の配線パターンの形成方法及び有機el素子の形成装置 | |
JP5248455B2 (ja) | マスククリーニング装置 | |
JP2010092761A (ja) | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 | |
JP2008264858A (ja) | レーザー印字装置 | |
JP5164761B2 (ja) | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置および有機el用マスククリーニング方法 | |
TW201134298A (en) | Mask cleaning method for organic electroluminescence, mask cleaning device for organic electroluminescence, and manufacturing device for organic electroluminescence display | |
JP2010153088A (ja) | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 | |
JP2016198718A (ja) | 異物除去装置、異物除去方法および剥離装置 | |
JP2011058063A (ja) | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 | |
JP2010215981A (ja) | 有機el用マスククリーニング装置、有機el用ディスプレイの製造装置、有機el用ディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 | |
JP6375259B2 (ja) | 異物除去装置、異物除去方法および剥離装置 | |
JP2005252176A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP4292389B2 (ja) | 異物除去方法及び異物除去装置 | |
JP5302724B2 (ja) | 有機el用マスククリーニング装置および有機el用マスククリーニング方法 | |
JP5237982B2 (ja) | 有機el用蒸着マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置および有機el用蒸着マスククリーニング方法 | |
JP2003133283A (ja) | 回路基板のパターニング方法 | |
TWI252050B (en) | Fabrication method of organic electro-luminescent device, film removing equipment and erasing device thereof | |
JP5068577B2 (ja) | 角形被処理体のフォトレジストの除去装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120531 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130329 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20130409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130604 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130801 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140507 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20140930 |