JP2010085597A - エマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液およびそれを用いたエマルジョンマスク - Google Patents
エマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液およびそれを用いたエマルジョンマスク Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】エマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、(メタ)アクリレートオリゴマー及び/又は(メタ)アクリル系モノマーと、前記オリゴマー及び/又はモノマーと共重合可能な反応性親水性物質を含むものとする。さらに反応性親水性物質を、(メタ)アクリル変性親水性物質、特に、(メタ)アクリル変性リン酸エステル及び/又は(メタ)アクリル変性4級アンモニウム塩とする。
【選択図】なし
Description
下記組成の実施例1のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、実施例1のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 3部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・アクリル変性4級アンモニウム塩 1部
(DMAEA−Q:興人社、固形分79%)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.35部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 15部
下記組成の実施例2のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、実施例2のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 3部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1.2部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・アクリル変性4級アンモニウム塩 0.8部
(DMAEA−Q:興人社、固形分79%)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.35部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 15部
下記組成の実施例3のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、実施例3のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 2部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1.2部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・アクリル変性4級アンモニウム塩 2部
(DMAEA−Q:興人社、固形分79%)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.35部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 15部
下記組成の実施例4のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、実施例4のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 3部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1.3部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・アクリル変性4級アンモニウム塩 0.6部
(DMAEA−Q:興人社、固形分79%)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.35部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 15部
下記組成の実施例5のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、実施例5のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 2部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・アクリル変性4級アンモニウム塩 2.2部
(DMAEA−Q:興人社、固形分79%)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.35部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 15部
下記組成の実施例6のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、実施例6のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 3部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1.5部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・アクリル変性4級アンモニウム塩 0.4部
(DMAEA−Q:興人社、固形分79%)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.35部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 15部
下記組成の実施例7のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、実施例7のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1.6部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・アクリル変性4級アンモニウム塩 2.8部
(DMAEA−Q:興人社、固形分79%)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.35部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 15部
下記組成の実施例8のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、実施例8のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 3部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・アクリル変性リン酸エステル 1部
(ライトアクリレート P-1A:共栄社化学社、固形分100%)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.25部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 20.75部
下記組成の比較例1のエマルジョンマスク用熱硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、120℃、3分で乾燥した後、150℃、30分間加熱して硬化反応を促進させて、厚み約3μmの保護膜を形成し、比較例1のエマルジョンマスクを作製した。
・アクリルポリオール 5部
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・硬化剤 1部
(タケネート D110N:三井化学ポリウレタン社、固形分60%)
・希釈溶媒 15部
下記組成の比較例2のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を、パターン形成されたエマルジョンマスク上に、スピンコートにより塗布し、80℃、2分で乾燥した後、紫外線を10秒間(1000mJ/cm2)照射して厚み約3μmの保護膜を形成し、比較例2のエマルジョンマスクを作製した。
・ウレタンアクリレートオリゴマー 4部
(アートレジン UN904:根上工業社)
・ウレタンアクリレートオリゴマー 1部
(NKエステル A-TMMT:新中村工業社)
・離型剤 0.35部
(末端基に不飽和結合を持つポリシロキサン変性ポリマー、固形分70%)
・光カチオン重合開始剤 0.35部
(イルガキュア184:チバ・ジャパン社)
・希釈溶媒 15部
実施例1〜8、及び比較例1、2で得られたエマルジョンマスクと保護膜との接着性を、碁盤目テープ法(JIS K5600−5−6:1999)により評価した。碁盤目テープ法による剥離試験の結果、碁盤目部分が全て剥離してしまったものを「×」、碁盤目部分がいくつか剥離してしまったものを「△」、碁盤目部分が全く剥離しなかったものを「○」とした。結果を表1に示す。
実施例1〜8、及び比較例1、2で得られたエマルジョンマスクの保護膜を、1Kgの荷重においてスチールウール#0000で表面を10往復擦った後、保護膜表面の傷の有無を目視観察した。全面に傷がみられるものを「×」、全面ではないが多少傷がみられるものを「△」、ほとんど傷がみられないものを「○」とした。評価結果を表1に示す。
実施例1〜8、及び比較例1、2の保護膜を観察した。保護膜に白化がみられないものを「○」、保護膜に白化がみられるものを「×」とした。結果を表1に示す。
Claims (5)
- (メタ)アクリレートオリゴマー及び/又は(メタ)アクリル系モノマーと、前記オリゴマー及び/又はモノマーと共重合可能な反応性親水性物質を含むことを特徴とするエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液。
- 前記反応性親水性物質が、(メタ)アクリル変性親水性物質であることを特徴とする請求項1記載のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液。
- 前記(メタ)アクリル変性親水性物質が、(メタ)アクリル変性リン酸エステル及び/又は(メタ)アクリル変性4級アンモニウム塩であることを特徴とする請求項2記載のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液。
- 前記反応性親水性物質は、前記保護液の全固形分の10〜30重量%含まれることを特徴とする請求項1〜3何れか1項に記載のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液。
- エマルジョンマスク上に、請求項1〜4何れか1項に記載のエマルジョンマスク用電離放射線硬化型保護液を用いた保護膜が形成されてなることを特徴とするエマルジョンマスク。
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- 2008-09-30 JP JP2008253094A patent/JP5419410B2/ja active Active
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