JP2010080593A - 極端紫外光光源装置用ホイルトラップ - Google Patents

Abstract

【課題】多数のホイルを備えたホイルトラップにおいて、多数のホイルを確実に支持でき、またホイルを放射状に並べることができるようにすること。
【解決手段】ホイルトラップは、ＥＵＶ光の光軸に沿って設けられた円柱部材１８と、該円柱部材１８から半径方向に放射状に配置された複数のホイル２０と、外側リング１９から構成されている。外側リング１９内周には、スリット２１が形成され、そのスリットにホイル２０が挿入され、ホイル２０の他端は、円柱部材１９の周側面に突き当てられる。円柱部材１８を配置し、ホイル２０を円柱部材１８の周側面に突き当てるようにしたので、ホイルの枚数が多くなっても、ホイルを放射状にそろえて並べることができる。なお、円柱部材１８の周側面にスリットを形成し、一部のホイルを挿入するように構成すればホイルトラップの組み立てが容易になる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、極端紫外光を出射する極端紫外光光源装置用のホイルトラップに関し、さらに詳細には、極端紫外光源である高温プラズマから放出されるデブリから集光鏡等を保護するためのホイルトラップに関する。

半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、その製造用の投影露光装置においては解像力の向上が要請されている。その要請に応えるため、露光用光源の短波長化が進められ、エキシマレーザ装置に続く次世代の半導体露光用光源として、波長１３〜１４ｎｍ、特に波長１３．５ｎｍの極端紫外光（以下、ＥＵＶ（Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ）光ともいう）を出射する極端紫外光光源装置（以下、ＥＵＶ光源装置ともいう）が開発されている。

ＥＵＶ光源装置において、ＥＵＶ光を発生させる方法はいくつか知られているが、そのうちの一つに極端紫外光放射種（以下、ＥＵＶ放射種）を加熱して励起することにより高温プラズマを発生させ、この高温プラズマからＥＵＶ光を取り出す方法がある。
このような方法を採用するＥＵＶ光源装置は、高温プラズマの生成方式により、ＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ：レーザ生成プラズマ）方式ＥＵＶ光源装置とＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ：放電生成プラズマ）方式ＥＵＶ光源装置とに大きく分けられる。
上記した両方式のＥＵＶ光源装置において、波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光を放出する放射種、すなわち、高温プラズマ用原料としてＬｉ（リチウム）イオンとＳｎ（錫）イオンが注目されている。

図６に、ＤＰＰ方式のＥＵＶ光源装置の構成例を示す。
ＥＵＶ光光源装置は、放電容器であるチャンバ１を有する。チャンバ１は、放電部２とＥＵＶ光集光部３とを内部に有する。
放電部２は、ＥＵＶ放射種を加熱して励起する加熱励起手段である。ＥＵＶ光集北部３は、放電部２においてＥＵＶ放射種が加熱励起されて生成した高温プラズマから放出されるＥＵＶ光を集光して、チャンバ１に設けられたＥＵＶ光取出部４より、図示を省略した露光装置の照射光学系へ導く。チャンバ１は排気ユニット５と接続されていて、チャンバ１内部はこの排気ユニット５により減圧雰囲気とされる。
放電部２は、第１の放電電極２ａと第２の放電電極２ｂとが絶縁材２ｃを挟むように配置された構造である。両電極はともに金属製の円盤状部材であり、両者の中心は略同軸上に配置され、絶縁材２ｃの厚みの分だけ離間した位置に固定されている。
絶縁材２ｃの厚み、すなわち、第１の放電電極２ａと第２の放電電極２ｂの離間距離は１ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。なお、第２の放電電極２ｂの直径は、第１の放電電極２ａの直径よりもやや大きい。

第２の放電電極２ｂの中心には、モータ６の回転シャフト６ａが取り付けられている。 上記したように、第１の放電電極２ａの中心と第２の放電電極２ｂの中心は、ほぼ一致して固定されているので、回転シャフト６ａが回転すると、第１の放電電極２ａと第２の放電電極２ｂは、同じ回転中心を中心として回転する。
回転シャフト６ａは、例えば、メカニカルシール６ｂを介してチャンバ１内に導入される。メカニカルシール６ｂは、チャンバ１内の減圧雰囲気を維持しつつ、回転シャフト６ａの回転を許容する。
第２の放電電極２ｂの下側には、例えばカーボンブラシ等で構成される第１の摺動子７ａおよび第２の摺動子７ｂが設けられている。第２の摺動子７ｂは第２の放電電極２ｂと電気的に接続される。一方、第１の摺動子７ａは第２の放電電極を貫通する貫通孔２ｅを介して第１の放電電極２ａと電気的に接続される。
なお、図示を省略した絶縁機構により、第１の放電電極２ａと電気的に接続される第１の摺動子７ａと、第２の放電電極２ｂとの間では絶縁破壊が発生しないように構成されている。

第１の摺動子７ａと第２の摺動子７ｂは摺動しながらも電気的接続を維持する電気接点であり、パルス電力発生器７と接続される。パルス電力発生器７は、第１の摺動子７ａ、第２の摺動子７ｂを介して、第１の放電電極２ａと第２の放電電極２ｂとの間にパルス電力を供給する。すなわち、モータ６が動作して第１の放電電極２ａと第２の放電電極２ｂとが回転していても、第１の放電電極２ａと第２の放電電極２ｂとの間には、第１の摺動子７ａ、第２の摺動子７ｂを介して、パルス電力発生器７よりパルス電力が印加される。 パルス電力発生器７は、コンデンサＣと磁気スイッチＳＲとからなる磁気パルス圧縮回路部を介して、負荷である第１の放電電極２ａと第２の放電電極２ｂとの間にパルス幅の短いパルス電力を印加する。なお、パルス電力発生器７から第１の摺動子７ａ、第２の摺動子７ｂとの配線は、図示を省略した絶縁性の電流導入端子を介してなされる。電流導入端子は、チャンバ１に取り付けられ、チャンバ１内の減圧雰囲気を維持しつつ、パルス電力発生器７から第１の摺動子７ａ、第２の摺動子７ｂとの電気的接続を可能とする。

金属製の円盤状部材である第１の放電電極２ａ、第２の放電電極２ｂの周辺部は、エッジ形状に構成される。パルス電力発生器７より第１の放電電極２ａ、第２の放電電極２ｂに電力が印加されると、両電極のエッジ形状部分間で放電が発生する。第２の放電電極２ｂの周辺部には溝部２ｄが設けられ、この溝部２ｄに、原料供給ユニット８０から、高温プラズマ用原料である固体スズ（Ｓｎ）や固体リチウム（Ｌｉ）が供給される。
原料供給ユニット８０を用いる場合、原料供給ユニット８０に加熱機構を持たせ、原料となるＳｎやＬｉを加熱により液化させ、この液化した原料を第２の放電電極２ｂの溝部２ｄに供給するように構成してもよい。
モータ６は一方向にのみ回転し、モータ６が動作する事により回転シャフト６ａが回転し、回転シャフト６ａに取り付けられた第２の放電電極２ｂ及び第１の放電電極２ａが一方向に回転する。第２の放電電極２ｂの溝部２ｄに供給されたＳｎまたはＬｉは、第２の放電電極２ｂの回転により放電部２におけるＥＵＶ光出射側であるＥＵＶ光集光部３側に移動する。

一方、チャンバ１には、上記ＥＵＶ集光部３側に移動したＳｎまたはＬｉに対してレーザ光を照射するレーザ照射機９が設けられる。レーザ照射機９からのレーザ光は、上記ＥＵＶ集光部３側に移動した原料（ＳｎまたはＬｉ）上に照射される。レーザ光が照射された原料は、第１の放電電極２ａ、第２の放電電極２ｂ間で気化し一部は電離する。
このような状態下で、第１、第２の放電電極２ａ，２ｂ間にパルス電力発生器７より電圧が約＋２０ｋＶ〜−２０ｋＶであるようなパルス電力を印加すると、両電極２ａ，２ｂの周辺部に設けられたエッジ形状部分間で放電が発生する。
このとき両電極２ａ，２ｂ間で気化した原料の一部電離した部分にパルス状の大電流が流れる。その後、ピンチ効果によるジュール加熱によって、両電極２ａ，２ｂ間の周辺部には、気化した原料による高温プラズマが形成され、この高温プラズマから波長１３．５ｎｍのＥＵＶ光が放射される。

放電部により放出されたＥＵＶ光は、ＥＵＶ光集光部３に設けられた斜入射型のＥＵＶ集光鏡３ａにより集光され、チャンバ１に設けられたＥＵＶ光取出部４より図示を省略した露光装置の照射光学系へ導かれる。
ＥＵＶ集光鏡３ａは、径の異なる回転楕円体、または回転放物体形状のミラーを複数枚具える。これらのミラーは、同一軸上に、焦点位置が略一致するように回転中心軸を重ねて配置され、例えば、ニッケル（Ｎｉ）等からなる平滑面を有する基体材料の反射面側に、ルテニウム（Ｒｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、およびロジウム（Ｒｈ）などの金属膜を徴密にコーティングすることで、０°〜２５°の斜入射角度のＥＵＶ光を良好に反射できるように構成されている。
なお、ＥＵＶ集光鏡３ａにおける、複数のミラーの支持は、特許文献２に示されるように、ミラーの径方向に伸びるスパイダと呼ばれる棒状の固定用部材で行われる。

上記した放電部２とＥＵＶ光集光部３との間には、隔壁１２が設けられ、そこにはＥＵＶ集光鏡３ａのダメージを防ぐために、ホイルトラップ１１が設置される。ホイルトラップ１１は、第１および第２の放電電極２ａ，２ｂが高温プラズマによってスパッタされて生じる金属粉等のデブリや、原料のＳｎまたはＬｉに起因するデブリを捕捉してＥＵＶ光のみを通過させる。
上記のＥＵＶ光源装置によれば、第１および第２の放電電極２ａ，２ｂが回転しているので、両電極２ａ，２ｂにおいてパルス放電が発生する位置はパルス毎に変化する。よって、第１および第２の放電電極２ａ，２ｂが受ける熱的負荷は小さくなり、放電電極の磨粍スピードが減少し、放電電極２ａ，２ｂの長寿命化が可能となる。

上記のように、ＥＵＶ光源装置において、放電部とＥＵＶ光集光部との間には、ＥＵＶ集光鏡のダメージを防ぐために、ホイルトラップ１１が設置される。ホイルトラップ１１は、電極がスパッタされて生じる金属粉等のデブリや、原料のＳｎまたはＬｉに起因するデブリを捕捉してＥＵＶ光のみを通過させる働きをする。
このようなホイルトラップとして、次のようなものが提案されてきている。
特許文献１に記載のホイルトラップは、放電部から放射されるＥＵＶ光の光軸を中心として、半径方向に放射状に複数の厚さが０．１〜０．２ｍｍ程度の薄いプレート（以下ホイルと呼ぶ）とリングから構成されている。外側リング内周には、配置するホイルの数だけスリットが形成され、そのスリットにホイルが挿入されている。
複数のホイルのうち、２枚のホイルは、中央部に、切込みが形成され、２枚のホイルを互いの切り込みに差し込んで十字に組み合わせて両端がリングの溝に挿入されている。その他のホイルは、一端をリングの溝に挿入し、他端は十字に組んだホイルの交点付近で、他のプレートの端と突き当てて配置される。十字に組んだホイル以外のホイルは片持ちであるがホイルと他のホイルと突き当たるのでリングの径方向の移動が制限され抜け落ちることなく支持される。図示しないが、ホイルトラップ自体は、リングの部分を支持することによりチャンバ１内部に取り付けられる。

ホイルは、その平面が光軸に平行になるように配置されている。そのため、ホイルトラップを極端紫外光源（高温プラズマ）側から見ると、内側リングと外側リングの支持体の部分を除けば、ホイルの厚みしか見えない。したがってＥＵＶ光のほとんどは、ホイルトラップを通過することができる。
一方、ホイルトラップの複数のホイルは、配置された空間を細かく分割し該空間のコンダクタンスを下げて圧力を上げる働きをする。放電部において生じたデブリは、ホイルトラップにより圧力が上がった領域において衝突確率が上がり、速度が低下して、その多くは、ホイルやホイルの支持体により捕捉される。
また、ＤＰＰ方式ＥＵＶ光源装置においては、光軸上の光（高温プラズマから０°の角度（放射角が０°）で出射する光）は、露光には使用されず、むしろ存在しないほうが好ましい。そのため、ホイルトラップの内部リングを中実な部材である円柱部材とし、光軸上の光を遮光する遮光手段として兼用（使用）することも考えられている。
特開２００７−５５４２号公報 特開２００５−３１０９２２号公報

上記したように、特許文献１に記載のホイルトラップにおいては、ホイルはたがいにの端を突き当てることにより保持される。従来は、ホイルの枚数は数十枚であり、このような構成でも問題はなかった。
しかし、近年ＥＵＶ光のパワーアップの要求により、ＥＵＶ光を放射するプラズマのエネルギーも大きくなってきている。このため、従来のようなホイル枚数ではデブリを止める性能は充分でなく、デブリを止める性能を高めるためには、ホイル枚数を２００枚〜５００枚に増やしたいという要望がある。
このようにホイルの枚数が増えて多数になると、特許文献１に示されたような構成では、ホイルの端をホイルトラップの中心（２枚のホイルを十字に組み合わせた部分）に集中させることができなくなり、ホイルを放射状に並べることができず、またホイルを支えることができないという問題が生じた。なお、ホイルを放射状に並べることができないと、ホイルにより遮られるＥＵＶ光の成分が増加する。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その課題とするところは、多数のホイルを備えたホイルトラップにおいて、多数のホイルを確実に支持でき、またホイルを放射状に並べることができるようにすることである。

上記課題を本発明においては、次のように解決する。
（１）極端紫外光光源装置に用いられるホイルトラップにおいて、ホイルトラップの中心（光軸が通過する部分）に、光軸に沿って一方の底面が放電電極側に、他方が反射ミラー側に向くように、円柱部材を配置する。
ホイルは、一端は外側リング（円環状部材）に形成した溝部（スリット）挿入され、他端は、円柱部材の周側面に突き当てられる。
円柱部材は全周方向からホイルによって押される。これにより、外側リング（円還状部材）と円柱部材の位置関係が決まり、ホイルは放射状にそろって並ぶ。また、ホイルは自身の弾性によって支持される。
（２）上記（１）において、円柱部材の周側面にスリットを形成し、一部のホイルをそこに挿入するようにしてもよい。このように構成すれば、円柱部材が回転するのを防ぐことができ、ホイルトラップの組み立てが容易になる。
（３）上記（１）（２）において、円環状部材（外側リング）から伸びる円柱支持部材を設け、上記円柱部材を支持しても良い。
（４）上記（３）のように円柱支持部材を設ける場合には、円柱支持部材をホイルトラップの光出射側に設けることが好ましい。なぜなら、極端紫外光による支持部材の、スパイダ上への投影像が小さくなるからである。
（５）上記（３）（４）において、円柱支持部材を、極端紫外光による支持部材の投影像が、集光鏡の各ミラーを支持するスパイダ上に投影されるように配置する。

本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）ホイルトラップの中心に円柱部材を配置し、一端が円環状部材のスリットに挿入されたホイルの他端を、円柱部材の周側面に突き当てるようにしたので、円環状部材と円柱部材の位置関係が決まり、ホイルの枚数が多くなっても、ホイルを放射状にそろえて並べることができる。また、ホイルも自身の弾性によって支持される。
（２）円柱部材の周側面にスリットを形成し、一部のホイルをそこに挿入するようにすれば、円柱部材の回転を防ぐことができ、ホイルトラップの組み立てが容易になる。
（３）円柱部材を、円環状部材（外側リング）から伸びる円柱支持部材により支持することにより、より確実に円柱部材をホイルトラップの中央部（光軸上）に支持できる。
（４）円柱部材を支持するための円柱支持部材を設ける場合、円柱支持部材をホイルトラップの光出射側に設けることにより、極端紫外光により投影される支持部材の影が小さくなり、光の利用効率の低下をより防ぐことができる。
（５）さらに、円柱支持部材は、放電部からのＥＵＶ光を遮るが、その影が、集光鏡のスパイダ上に投影されるように配置することにより、光の利用効率の低下を防ぐことができる。

図１は、本発明のホイルトラップの第１の実施例の構成を示す図である。図１（ａ）はホイルトラップの光軸に沿った面での断面図であり、ホイルに沿った平面で切った断面を示している。また、図１（ｂ）はＥＵＶ集光鏡側から見たホイルトラップの平面図である。
同図において、１８は直径が約１５ｍｍの円柱部材、１９は外側の円環状の支持体（以下、外側リングという）、２０は厚さ約０．２ｍｍ、長さは約１００ｍｍの薄い板状のプレートであるホイルである。外側リング１９には、ホイル２０を挿入するスリット２１がホイルの数だけ放射状に形成されている。
円柱部材１８は中実な部材であり、一方の底面が放電電極側に、他方の集光鏡側に向くように光軸上に配置される。
ホイル２０は、一方の端が、外側リング１９のスリット２１に挿入され、支持される。ホイル２０のもう一方の端は、光軸上に配置される円柱部材１８の周側面に突き当てられる。同図ではホイルは８枚しか示していないが、実際は２００枚から５００枚設ける。

図２は、円柱部材の周側面に多数のホイルの端が突き当てられている部分を拡大して示した図であり、同図（ａ）は円柱部材にホイルが突き当っている様子を示し（ホイルの左半分のみを示している）、同図（ｂ）は円柱部分近傍の拡大図である。
実際は図２に示すようにホイルの端は、円柱部材１８の周側面において隣のホイルと隙間なく接し、これによりホイルは円柱部材を中心にして放射状にそろって並ぶ。円柱部材は全周方向からホイルによって押されて、外側リングに対する位置関係が決まり、また、ホイルは自身の弾性によって支持される。

図１に戻り、円柱部材１８とホイル２０は、プラズマ８にさらされ高温となるため、例えば、モリブデンのような高融点材料により作られる。一方、外側リング１９は、プラズマ８から離れているので、高融点材料を用いる必要がなく、例えばステンレス製である。また、アルミ製であってもよい。
ホイル２０は、プラズマ８からＥＵＶ光を遮らないように、その平面が光軸に平行になるように設けられている。
また、外側リング１９の中央部の開口は、プラズマ８から放射されるＥＵＶ光の拡がりに合わせて、プラズマ８側の内径に対して、ＥＵＶ集光鏡側の内径が広くなっている。すなわち、プラズマ側から見ると、上記開口は底が抜けたすり鉢状に形成されている。
外側リング１９に形成したスリット２１は、外側リング１９の厚さ方向（光軸に沿った方向）に貫通しているが、ホイル２０がスリット２１から抜け落ちることがないように、外側リング１９を挟み込むように、リング状の押さえ板１９ａが止めねじ１９ｂにより取り付けられている。
なお、スリット２１は、貫通させず途中で止めておき、一方からのみリング状の押さえ板１９ａでホイル２０の抜け落ちを防ぐようにしてもよい。なお、図１（ｂ）では、押さえ板を省略して示している。

図３は、ホイルトラップの第２の実施例の構成を示す図であり、図１と同様、図３（ａ）はホイルトラップの光軸に沿った面での断面図、図３（ｂ）はＥＵＶ集光鏡側から見たホイルトラップの平面図である。
本実施例の構成は基本的には、図１に示したものと同様であるが、本実施例では、円柱部材１８の周側面に、数箇所スリット２１を加工し、そこに一部のホイルを挿入する。これにより円柱部材１８の回転を防ぐことができ、ホイルトラップの組み立てが容易になる。なお、円柱部材１８のスリット２１に挿入されるホイルは、他のホイル（スリットに挿入されないホイル）よりも長さがやや長くなる。

なお、第１と第２の実施例において、図４に示すように、円柱部材１８の両底面に、円柱部材の径よりも大きい円盤状のホイル位置規制部材１８ａを取り付けておくと、円柱部材の長手方向に対するホイル２０の位置が決まりやすく、また円柱部材１８も長手方向に移動しにくくなるので、ホイルトラップの組み立てがさらに容易になる。

図５は、ホイルトラップの第３の実施例の構成を示す図である。第３の実施例は、第１の実施例または第２の実施例のホイルトラップにおいて、円柱部材１８の支持を確実にするために、外側リングから伸びる円柱支持部材２２を備える。なお、図５は、集光鏡３ａの光出射側から見た斜視図であり、集光鏡３ａと、ホイルトラップ１１と、ホイルトラップ１１の円柱部材１８を支持する円柱支持部材２２の関係を示している。
上記したように、集光鏡３ａは、径の異なる、回転楕円体または回転放物体形状の、複数のミラーから構成され、これらのミラーは、同一軸上に、焦点位置が略一致するように回転中心軸を重ねて配置されている。
そして、各ミラーの支持は、ミラーの径方向に伸びるスパイダ３１と呼ばれる固定用部材で行われる（スパイダについては、例えば特許文献２に記載されている）。本実施例では、４本のスパイダ３１が直交するように設けられている。

ホイルトラップ１１は、集光鏡３ａの光入射側に設けられる。本実施例では、８枚のホイル２０が示されている（前記したように実際には２００枚〜５００枚のホイルが設けられる）。
ホイルトラップ１１の中央部（光軸上）には、中実な円柱部材１８が、その両底面を放電部側と集光鏡側に向けて配置される。
円柱支持部材２２は、その支柱２２ａがホイルトラップ１１の外側リング１９にねじ止めにより固定される。また、円柱支持部材２２は、円柱部材１８をねじ止めにより支持する。このため、円柱部材１８、外側リング１９にはねじ孔２２ｂが設けられ、ねじ２２ｃにより円柱支持部材２２が固定される。

円柱支持部材２２の支柱２２ａは、放電部のプラズマから放射されるＥＵＶ光による自身の投影像が、集光鏡３ａのスパイダ３１上に投影されるように、形状や取り付け方が決められる。本実施例の場合、円柱支持部材２２は、直交して設けられているスパイダに合わせて、その支柱も直交して形成される。そして、円柱支持部材２２は、スパイダ３１の十字の伸びる方向と、支柱２２ａの伸びる方向とが一致するように、外側リング１９に取り付けられる。これにより、円柱支持部材２２自体の影は、集光鏡３ａの集光点には投影されない。
円柱支持部材２２は、ホイルトラップ１１の光出射側に設けることが望ましい。なぜなら、電極で発生した高温プラズマから放射されるＥＵＶ光は広がって進むので、円柱支持部材２２は、高温プラズマから遠ざけたほうが、スパイダ３１上に投影される支柱の影が小さくなるからである。スパイダ３１上に投影される支柱の影が大きくなると、場合によっては、その影がスパイダからはみ出して、ＥＵＶ光を遮ることがあるからである。

本発明のホイルトラップの第１の実施例の構成を示す図である。 円柱部材の周側面に多数のホイルの端が突き当てられている部分を拡大して示した図である。 本発明のホイルトラップの第２の実施例の構成を示す図である。 円柱部材にホイル位置規制部材を取り付けた状態を示す図である。 本発明のホイルトラップの第３の実施例の構成を示す図である。 ＤＰＰ方式のＥＵＶ光源装置の構成例を示す図である。

符号の説明

３ａ 集光鏡
１１ ホイルトラップ
１８ 円柱部材
１８ａ ホイル位置規制部材
１９ 外側リング
１９ａ 抑え板
２０ ホイル
２１ スリット
２２ 円柱支持部材
３１ スパイダ

Claims (5)

1. 極端紫外光光源装置に用いられるホイルトラップであって、
   極端紫外光の光軸上に、一方の底面が放電電極側に、他方が反射ミラー側に向くように配置された円柱部材と、
   上記円柱部材の周側面に、一端を接して設けられ、上記極端紫外光の光軸を中心として、該光軸に対して放射状に伸びる多数のホイルと、
   上記ホイルの他端が挿入されるスリットが形成された円環状部材とを備えている
   ことを特徴とする極端紫外光光源装置用ホイルトラップ。
2. 上記円柱部材にはスリットが設けられ、上記複数のホイルのうち、一部のホイルが、上記円柱部材のスリットに挿入されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の極端紫外光光源装置用ホイルトラップ。
3. 上記ホイルトラップの円柱部材は、上記円環状部材から伸びる円柱支持部材により支持されている
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の極端紫外光光源装置用ホイルトラップ。
4. 上記ホイルトラップの円柱支持部材は、ホイルトラップの光出射側に設けられている
   ことを特徴とする請求項３に記載の極端紫外光光源装置用ホイルトラップ。
5. 上記ホイルトラップの円柱支持部材は、上記極端紫外光による該支持部材の投影像が極端紫外光光源装置に設けられた集光鏡のスパイダ上に投影されるように配置される
   ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の極端紫外光光源装置用ホイルトラップ。

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