JP2010078334A - 検出センサ、振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ディスク状の振動子20の一部を覆うように設けた駆動/検出部40Aによって振動子20を駆動させる方式とすることで、圧電層や駆動電極等によって振動子20の振動が阻害されるのを抑え、振動子20のQ値を向上する。また、駆動/検出部40Aを振動子20の表面に形成することで、当該振動子20を外部から静電容量変化を与えて振動させる場合に比較し、振動子20の外周部と他の部材との間隙を広く確保することができ、製作時における加工容易性を高める。
【選択図】図1
Description
本発明は、上記のような技術的課題のうち、振動子の高感度化を図ることのできる技術を提供することを目的とする。
しかしながら、振動子と駆動電極および検出電極とのギャップを小さくするには、MEMS技術を用いた場合においても現状技術レベル以上の微細加工が要求され、加工コストの飛躍的な上昇が避けられない。
アクチュエータを、振動子の表面の一部の領域のみに設けることで、アクチュエータを構成する層に起因して振動子の振動エネルギに生じるロスを抑えることができる。
さらに、振動子は、振動子が振動したときにその変位がゼロとなる振動子の外周部の複数箇所において、支持部材を介して基板に支持するのが好ましい。
また、アクチュエータおよび検出部は、振動子が振動したときにその変位がゼロとなる振動子の外周部の複数箇所から、振動子の周方向および径方向の少なくとも一方に延びて形成するのが好ましい。これにより、振動子を確実に駆動できる。
また、アクチュエータが検出部を兼ねることもできる。
このような振動子は、前記したような検出センサの他、振動子の振動特性の変化をモニタリングすることで行える様々な用途に用いることが可能である。
さらに、アクチュエータ及び検出部を振動子の表面に形成することで、当該振動子を外部から静電容量変化を与えて振動させる場合に比較し、振動子の外周部と他の部材との間隙を広く確保することができ、製作時における加工容易性が高まり、より低コストでの製造が可能となる。
〔第一の実施形態〕
図1は、本実施の形態におけるセンサ(検出センサ)10の基本的な構成を説明するための図である。
この図1に示す検出センサ10は、検知対象となる特定種の分子(以下、単に分子と称する)を吸着することで、ガスや匂い等の存在(発生)の有無、あるいはその濃度の検出を行うものである。この検出センサ10は、ディスク状の振動子20と、振動子20上に設けられて分子を吸着する吸着部30Aと、振動子20を駆動するとともに吸着部30Aへの分子の吸着を検出する駆動/検出部(アクチュエータ、検出部)40Aとから構成されている。
ここで、振動子20の内径Rbと外径Raとの比Rb/Raを、本出願人が提案した特開2007−248324号に示す技術に基づいて適切に選定することにより、振動子20の外径部分もしくは内径部分においてRadial方向の変位のr成分すなわちU(Ra)もしくはU(Rb)、ならびにTangential方向の変位のr成分すなわちV(Ra)もしくはV(Rb)が0になる場合がある(このような位置を不動点と称することがある。)。そこで、Radial方向またはTangential方向の変位のrが0である位置において支持部材22により振動子20を支持するのが好ましい。このようなディスク状で開口部21を有した振動子20に特有な現象を用いることで、振動子20の共振振動に全く影響を与えず振動子20を保持することが可能となる。
吸着部30Aは、振動子20の周方向において、支持部材22が設けられたのと同角度の位置を含む範囲に形成されている。
図1は、振動子20を振動させて検出を行う場合の例であり、周方向の4箇所で支持部材22により振動子20を支持し、互いに隣接する支持部材22、22の中間部に位置する領域に、駆動/検出部40Aが設けられている。
駆動/検出部40Aにおける駆動・検出を行うため、基板60上に設けられた駆動電極、検出電極(図示無し)と振動子20上の駆動/検出部40Aとを電気的に接続するための配線パターン72は、基板60から支持部材22上を通って振動子20の表面へと至るように配置されている。
このような材料としては、例えば、Pbペロブスカイト二成分・三成分系強誘電体セラミックス、非鉛系ペロブスカイト構造強誘電体セラミックス、BaTiO3(チタン酸バリウム)セラミックス、KNbO3(ニオブ酸カリウム)−NaNbO3系強誘電体セラミックス、(Bi1/2Na1/2)TiO3系強誘電体セラミックス、タングステン・ブロンズ型強誘電体セラミックス、(Ba1−xSrx)2NaNb5O15[BSNN]、BaNa1−xBix/3Nb5O15[BNBN]、ビスマス層状構造強誘電体と粒子配向型強誘電体セラミックス、ビスマス層状構造強誘電体(BLSF)等を用いることができる。
また、PZT材料以外にも、ZnO(酸化亜鉛)や、AlN(窒化アルミニウム)等を圧電層44に用いても良い。
駆動/検出部40Aに駆動電圧を印加すると、駆動/検出部40Aは膜状で、膜が連続する方向(振動子20の表面に沿った方向)の寸法に対し、膜の厚さ方向(振動子20の表面に直交する方向)の寸法が大幅に小さいため、駆動/検出部40Aの変位は、振動子20の表面に沿った方向に多く出力され、これによって振動子20が駆動される。
また、駆動/検出部40Aを、振動子20において振幅が大きくなる位置に設けることで、効率のよい駆動が行える。
さらに、駆動/検出部40Aを振動子20の表面に形成することで、当該振動子20を外部から静電容量変化を与えて振動させる場合に比較し、振動子20の外周部と他の部材との間隙を広く確保することができ、製作時における加工容易性が高まり、より低コストでの製造が可能となる。
ここで、図3は、駆動/検出部40Aに静的な駆動力を与えたときの、振動子20の挙動の解析結果である。なお、駆動/検出部40Aおよび振動子20の挙動は、S1〜S9の9段階の変位で示した(S1が最小、S9が最大であり、濃色であるほど変位が大きい。)。
次に、本発明にかかる第二の実施形態について説明する。
ここで、上記第一の実施形態との相違は振動子20の構成のみであるため、上記第一の実施形態と共通する構成については同符号を付してその説明を省略する。
図4に示すように、駆動/検出部40Bは、ディスク状の振動子20の表面に形成されている。
ここで、本実施の形態においては、駆動/検出部40Bは、振動子20の周方向において、支持部材22が設けられたのと同角度の位置を含む範囲に形成されている。ここでは、駆動/検出部40Bは、各支持部材22に対応した位置に形成されている。
また、駆動/検出部40Bを振動子20の表面に形成することで、振動子20の外周部と他の部材との間隙を広く確保することができ、製作時における加工容易性が高まり、より低コストでの製造が可能となる。
このようにして、駆動/検出部40Bの設置数を減少させることで、吸着部30Bの面積を拡大することができる。その結果、振動子20における検出感度を高めることも可能である。
上記各実施の形態においては、駆動/検出部40A、40Bにおいて、駆動および検出を行うようにしたが、これらを駆動用と検出用とで別々に設けることも可能である。
これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更することが可能である。
Claims (8)
- ディスク状の振動子と、
前記振動子の表面の一部に設けられて、質量を有した物質を付着または吸着する吸着部と、
前記振動子の表面の一部の領域に設けられて、設定された振動特性で振動するアクチュエータと、
前記振動子における振動の変化を検出することで、前記物質を検出する検出部と、
を備えることを特徴とする検出センサ。 - 前記振動子は、その外周部の複数箇所において、支持部材を介して基板に支持され、
前記アクチュエータおよび前記検出部は、前記支持部材が前記振動子に連結された部位の近傍に設けられ、
前記吸着部は、前記振動子の周方向において互いに隣接する前記アクチュエータ及び前記検出部の中間部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の検出センサ。 - 前記振動子は、前記振動子が振動したときにその変位がゼロとなる前記振動子の外周部の複数箇所において、前記支持部材を介して基板に支持されていることを特徴とする請求項2に記載の検出センサ。
- 前記アクチュエータおよび前記検出部は、前記振動子が振動したときにその変位がゼロとなる前記振動子の外周部の複数箇所から、前記振動子の周方向および径方向の少なくとも一方に延びて形成されていることを特徴とする請求項3に記載の検出センサ。
- 前記振動子は、その外周部の複数箇所において、支持部材を介して基板に支持され、
前記アクチュエータおよび前記検出部は、前記振動子において、前記振動子を振動させたときに変位が最大となる部位を含む領域に設けられ、
前記吸着部は、前記振動子の周方向において互いに隣接する前記アクチュエータ及び前記検出部の中間部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の検出センサ。 - 前記アクチュエータは、
前記アクチュエータに振動を生じさせるために設けられ、圧電材料からなる圧電層と、
前記圧電層に電圧を印加する駆動電極と、
を備えることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の検出センサ。 - 前記アクチュエータが前記検出部を兼ねることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の検出センサ。
- ディスク状の振動子本体と、
前記振動子本体の表面の一部の領域に設けられて、設定された振動特性で振動するアクチュエータと、
前記振動子本体における振動の変化を検出することで、前記物質を検出する検出部と、
を備えることを特徴とする振動子。
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