JP2007240252A - 検出センサ、振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】貫通孔60や凹部を振動子30に形成し、その表面積を増大させることによって、振動子30の検出感度を向上させ、検出センサ10の高感度化を図る。このとき、貫通孔60は、一辺の長さがaの正方形で、開口面積A(=a2)、開口周長C(=4a)としたときに、貫通孔60を形成することによる振動子30の表面積変化量が正となる条件
p((CT/(2A))−1)>0
を満足するように、空孔率p、開口面積A、開口周長Cを設定するのが好ましい。
【選択図】図1
Description
また、空気の粘性などによる振動エネルギー損失の小さい振動のさせ方(振動モード)を用いることにより、空気中においても極めてQ値(Quality Factor)の高い振動を振動子に起こさせることが可能になり、これにより精度良く周波数の変動を観測することができるようになってきた。
また、味覚や嗅覚を与える分子を、水晶発振器の表面に形成した脂質二重膜に吸着させ、この質量変化を測定する技術も提案されている(例えば、非特許文献2参照)。
また、従来のQCMセンサでは、振動子の加工は、切断・研磨等の機械加工によるものであり、現状レベル以上への小型化・高感度化は困難であった。
本発明は、このような技術的課題に基づいてなされたもので、より高感度化を図ることのできる検出センサ、振動子を提供することを目的とする。
このようにして、孔や凹部や凸部によって振動子の表面積を増大させることで、振動子に対する物質の付着または吸着量を増大させることができるので、振動子の質量に対し、この振動しに付着または吸着する物質の質量の比が大きくなり、検出センサの感度を向上させることができる。なお、振動子の表面積を増大させることができるのであれば、孔、凹部、凸部はいかなる形状であってもよく、凹部としては溝も含み、凸部としては突条をも含みうるものとする。さらには、孔、凹部、凸部を組み合わせ、例えば凹凸を形成するような構成とすることも可能である。いずれも、孔、凹部、凸部を形成することで、これを形成しない場合に比較して振動子の表面積を向上させることが必要である。
特に、孔や凹部を振動子に形成した場合、これによって振動子は軽量化されるため、振動子の質量に対する物質の質量の比が一層大きくなり、感度向上効果はさらに高まる。
p((CT/(2A))−1)>0
を満足するように、空孔率p、孔の開口面積A、孔の開口周長Cを設定するのが好ましい。
これによって、振動子に孔を形成しない状態に対し、孔を形成することで振動子の表面積を増大させることができる。
そして、検出部は、振動子に付着した物質の量を検出することができる。このとき、検出する物質としては、特定種の分子、あるいは特定の特性または特徴を有する複数種の分子がある。
図1は、本実施の形態における検出センサ10の構成を説明するための図である。
この図1に示す検出センサ10は、検知対象となる特定種の分子(以下、単に分子と称する)を吸着することで、ガスや匂い等の存在(発生)の有無、あるいはその濃度の検出を行うものである。この検出センサ10は、分子を吸着する吸着部20を備えた振動子30、吸着部20への分子の吸着を検出する検出部(図示無し)から構成されている。
図1に示したカンチレバー式の振動子30Aは、吸着部20に分子が吸着されると、吸着部20の質量が増加し、これによって振動子30Aのたわみ量が変化するので、その変化量から、検出部(図示無し)にて分子の吸着を検出できるのである。また、分子の吸着により吸着部20の質量が増加すると、振動子30Aと吸着部20とからなる系の共振周波数が変化するので、その変化から分子の吸着を検出することもできる。この場合、振動子30Aは、これを所定の周波数で駆動するための駆動部(図示無し)を備える。このような駆動部としては、静電容量方式と、ピエゾ駆動方式等があり、いずれも所定周波数で振動子30Aを振動させるようになっている。検出部(図示無し)では、静電容量方式等により、振動子30Aの振動周波数の変化を電気信号として検出し、これによって、吸着部20への分子の吸着の有無またはその量を測定する。
吸着部20を構成する無機系材料とすれば、代表的なものに二酸化チタン(TiO2)があり、吸着効率を高めるために二酸化チタンを多孔体状とするのが好ましい。そして、この吸着部20を、振動子30A、30Bの全面を覆うように形成するのが好ましい。吸着部20を構成する有機系材料としては、ポリアクリル酸、ポリスチレン、ポリアクリルアミン、ポリジメチルシロキサン、ポリ塩化ビニル、ポリメタクリル酸メチル等のあらゆる高分子等がある。
この吸着部20では、特定種の分子のみを吸着する、分子に対する選択性を有したものとすることができ、その選択性は、高分子を形成する官能基や、架橋の状態等の様々な要素で決まると考えられる。
貫通孔60や凹部は、これを形成することで振動子30A、30Bの表面積を増大させるとともに、振動子30A、30Bの質量を減少させるために形成されている。
振動子30Aにおいては、表面に質量Δmの物質が付着すると、元の共振周波数f0からΔfだけ共振周波数が低下する。その変化量Δfは、振動子30Aの質量をm0としたとき、
Δf/f0=−Δm/(2m0) …(1)
であることが知られている。
振動子30Aに、貫通孔60を形成した場合、その質量検出感度は、式(1)より、
Δf/f0=−Δm/(2(1−p)m0) …(2)
となる。但しここで、pは、振動子30Aに貫通孔60を形成しない場合を0とし、その全てが貫通孔60となる(すなわち振動子30Aが存在しない)場合を1としたときの、振動子30Aの体積に対する貫通孔60の体積の比を示す空孔率である。
また、振動子30Aに貫通孔60を形成することによって、振動子30Aの表面積も変化する。振動子30Aの長さをL、幅をW、厚さT(但しL>T,W>T)としたときに、振動子30Aの元々の表面積Sは、
S≒2LW …(3)
である。これに対し、振動子30Aの上下を貫通するように、一辺の長さがaの正方形の貫通孔60を形成した場合、開口面積A=a2、開口周長C=4aであり、貫通孔60の上下の開口相当分の面積減少と、貫通孔60の内周面による面積増加分を考えると、貫通孔60を形成することによる振動子30Aの表面積変化率ΔS/Sは、
ΔS/S=p((2T/a)−1) …(4)
となる。
したがって、貫通孔60を形成する場合、その開口の一辺の長さaが、振動子30Aの厚さTの2倍(2T)より小さければ(a<2T)、式(4)の表面積変化率ΔS/Sが正となることがわかる。
また、貫通孔60を形成することで、振動子30Aの軽量化が図られる。これにより、振動子30Aの質量感度が向上することになる。
したがって、振動子30Aにおける分子の検出感度は、両者の積の約2.7倍となる。
ΔS/S=p((CT/(2A))−1) …(5)
となる。このとき、ΔS/S>0となるように、空孔率p、開口面積A、開口周長Cを設定することで、上記と同様の効果を得ることが可能となる。
貫通孔60に変えて凹部や凸部を形成する場合、振動子30Aの上下面の表面積は、凹部や凸部を形成しない場合と変わらないため、凹部や凸部の側面積の分だけ単純に振動子30Aの表面積が増大するため、振動子30Aの検出感度を向上させることができる。
また、ディスク状の振動子30Bの場合や、両端部が固定された両持ち端状の振動子の場合も、同様の考え方を適用することができるのは言うまでもない。
しかも、貫通孔60や凹部は、工程を増やすことなく、振動子30Aを形成するためのMEMS加工によって形成することができるため、低コストで上記効果を得ることができ、非常に有効な技術となっている。
これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更することが可能である。
Claims (7)
- 質量を有した物質の付着または吸着により振動特性が変化する振動子と、
前記振動子を振動させる駆動部と、
前記振動子における振動の変化を検出することで、前記物質を検出する検出部と、を備え、
前記振動子に、その表面積を増大させるための孔、凹部、凸部の少なくとも一種が形成されていることを特徴とする検出センサ。 - 前記振動子に前記孔が形成され、
前記孔を形成しない状態での前記振動子の体積に対する前記孔の体積の比である空孔率をp、前記孔の開口面積をA、前記孔の開口周長をCとしたときに、
p((CT/(2A))−1)>0
とされていることを特徴とする請求項1に記載の検出センサ。 - 前記振動子は、一端部または両端部が固定された梁状であることを特徴とする請求項1または2に記載の検出センサ。
- 前記振動子は、ディスク状であることを特徴とする請求項1または2に記載の検出センサ。
- 前記検出部は、前記振動子に付着した前記物質の量を検出することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の検出センサ。
- 前記物質が特定の分子、あるいは特定の特性または特徴を有する複数種の分子であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の検出センサ。
- 質量を有した物質の付着または吸着により振動特性が変化する振動子であって、
その表面積を増大させるための孔、凹部、凸部の少なくとも一種が形成されていることを特徴とする振動子。
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---|---|
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009229344A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Tokyo Institute Of Technology | 匂いセンサ用感応膜および匂いセンサ素子 |
JP2010117184A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 検出センサ |
US8258675B2 (en) | 2008-07-11 | 2012-09-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Detection sensor and resonator of detection sensor |
CN105547901A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-05-04 | 中国电子科技集团公司信息科学研究院 | 颗粒物吸附装置及其制备方法 |
WO2018180589A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 第一精工株式会社 | 物質検出素子 |
JP2021036243A (ja) * | 2020-11-17 | 2021-03-04 | I−Pex株式会社 | 物質検出素子 |
CN112648791A (zh) * | 2019-10-11 | 2021-04-13 | Bsh家用电器有限公司 | 冷却对象的对象重量的确定 |
CN112840197A (zh) * | 2018-09-27 | 2021-05-25 | 爱沛股份有限公司 | 物质检测元件 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06128721A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | 窒素酸化物ガスセンサ用感応薄膜の形成方法 |
WO1999034176A1 (fr) * | 1997-12-26 | 1999-07-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Detecteur de masse a deux tetes et procede de detection de masse |
JP2000321117A (ja) * | 1998-09-04 | 2000-11-24 | Ngk Insulators Ltd | 質量センサ及び質量検出方法 |
JP2004069661A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Mitsubishi Electric Corp | 化学センサ |
JP2005308452A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Ngk Insulators Ltd | 質量検出素子 |
-
2006
- 2006-03-07 JP JP2006061123A patent/JP2007240252A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06128721A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | 窒素酸化物ガスセンサ用感応薄膜の形成方法 |
WO1999034176A1 (fr) * | 1997-12-26 | 1999-07-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Detecteur de masse a deux tetes et procede de detection de masse |
JP2000321117A (ja) * | 1998-09-04 | 2000-11-24 | Ngk Insulators Ltd | 質量センサ及び質量検出方法 |
JP2004069661A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Mitsubishi Electric Corp | 化学センサ |
JP2005308452A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Ngk Insulators Ltd | 質量検出素子 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009229344A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Tokyo Institute Of Technology | 匂いセンサ用感応膜および匂いセンサ素子 |
US8258675B2 (en) | 2008-07-11 | 2012-09-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Detection sensor and resonator of detection sensor |
JP2010117184A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 検出センサ |
CN105547901A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-05-04 | 中国电子科技集团公司信息科学研究院 | 颗粒物吸附装置及其制备方法 |
KR102303896B1 (ko) * | 2017-03-31 | 2021-09-17 | 아이펙스 가부시키가이샤 | 물질 검출 소자 |
KR20210064435A (ko) * | 2017-03-31 | 2021-06-02 | 아이펙스 가부시키가이샤 | 물질 검출 소자 |
TWI671538B (zh) * | 2017-03-31 | 2019-09-11 | 日商第一精工股份有限公司 | 物質檢測元件 |
CN110462371A (zh) * | 2017-03-31 | 2019-11-15 | 第一精工株式会社 | 物质检测元件 |
KR20190134712A (ko) * | 2017-03-31 | 2019-12-04 | 다이-이치 세이코 가부시키가이샤 | 물질 검출 소자 |
EP3605057A4 (en) * | 2017-03-31 | 2020-04-01 | Dai-Ichi Seiko Co., Ltd. | SUBSTANCE DETECTION ELEMENT |
US11448619B2 (en) | 2017-03-31 | 2022-09-20 | Dai-Ichi Seiko Co., Ltd. | Substance detecting element |
CN113758972A (zh) * | 2017-03-31 | 2021-12-07 | 第一精工株式会社 | 物质检测元件 |
KR102326647B1 (ko) | 2017-03-31 | 2021-11-15 | 아이펙스 가부시키가이샤 | 물질 검출 소자 |
JP2018173313A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 第一精工株式会社 | 物質検出素子 |
WO2018180589A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 第一精工株式会社 | 物質検出素子 |
CN112840197A (zh) * | 2018-09-27 | 2021-05-25 | 爱沛股份有限公司 | 物质检测元件 |
US11913906B2 (en) | 2018-09-27 | 2024-02-27 | I-Pex Inc. | Substance detection device with improved efficiency |
CN112840197B (zh) * | 2018-09-27 | 2024-04-19 | 爱沛股份有限公司 | 物质检测元件 |
CN112648791A (zh) * | 2019-10-11 | 2021-04-13 | Bsh家用电器有限公司 | 冷却对象的对象重量的确定 |
JP2021101195A (ja) * | 2020-11-17 | 2021-07-08 | I−Pex株式会社 | 物質検出素子 |
JP7088358B2 (ja) | 2020-11-17 | 2022-06-21 | I-Pex株式会社 | 物質検出素子 |
JP2021036243A (ja) * | 2020-11-17 | 2021-03-04 | I−Pex株式会社 | 物質検出素子 |
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